JPS589054A - 湿度検出装置 - Google Patents

湿度検出装置

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JPS589054A
JPS589054A JP10702781A JP10702781A JPS589054A JP S589054 A JPS589054 A JP S589054A JP 10702781 A JP10702781 A JP 10702781A JP 10702781 A JP10702781 A JP 10702781A JP S589054 A JPS589054 A JP S589054A
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JP
Japan
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temperature
heating element
resistance
humidity
sensor
Prior art date
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Pending
Application number
JP10702781A
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English (en)
Inventor
Shoichi Iwanaga
昭一 岩永
Nobuo Sato
信夫 佐藤
Akira Ikegami
昭 池上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPS589054A publication Critical patent/JPS589054A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • G01N27/121Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid

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  • Immunology (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、空調器や食品調理器をはじめとする各種機1
1において、湿度の検出をする湿度検出装置に関し、4
1に加熱クリーニング機能を有する温度検出装置に関す
る0 金属酸化物を用い九温度センナは、一般的に。
温度の検出方法として、前記センナの表面部に&ける水
分子01脱着によって生じる電気抵抗の変化を利用した
ものであるoしたがりて、am七ンtの11面部が汚染
されると、鋺記センサO感度が低下する。
とくに、空調1!に使用し九場合には、塵埃、油滴、腐
食性ガスなどが付着して sitセン10@性が大暑〈
変化するので、定期的を九は任意0時に元の特性にもど
すことが望まれる。そ0*J6にけ、汚染物質を前記セ
ンナ表面から除去することが必要となる。
また、11度センナを清浄な雰囲気中で使用した場合で
も、水分子が徐々に前記センナの表両に化学1着して、
七の結果、前記センナの特性が徐々に変化する。そζで
、化学吸着し九本分子を、センナ表面から除去すること
が必要となる。
前記したような汚染物質や、化学吸着した水分子を、s
ttセンサの表面から除去すゐ手段としては、前記セン
ナ表面を所定の温度に加熱する加熱クリーニング方法が
一般的である。
従来、加熱クリー二/グ機能を有する濃度検出装置にお
いては、温度センナの表面の加熱温度を制御するための
@度検出手段としては、よく知られているように、前記
センナの外部より#電対あるいはサーミスタなどの温度
検出11によって。
その温度を検出していた0そのために S度検出装置0
@成が非常に複雑となり、その結果、量産性が悪いのみ
ならず、コストの点においても高価となるという欠点が
めった。
また、温度センサの温度を検、出する熱電対中サーミス
タなどの温度検出!!を、ffi度センナに密着させる
ことがむずかしいために、前記センナの加熱温ll!を
、正確に検出することは不可能で小ったO畜らKt九、
風速によって、湿度センナの温度と、熱電対あるいはサ
ーミスタなどの温度検出器との温度差が異なってくるた
めに、#記風連が変化した場合には、fl1度センナの
クリーニング温度を所望の温度に保持することが困難と
な如、その結果、加熱クリーニングが充分に行なわれな
いという欠点もあった。
本発明の目的は、上記の欠点をなくシ、構成が非常に簡
単で、しかも正確Kl[度センナの加熱温度を検出で龜
る温vL検出手段を提供する仁とによっテ、完全な加熱
クリーニングができる濃度検出装置な提供するKある0 前記01的を達成する九めに、本naost度検出装置
では、11度センナを加熱する抵抗発熱体を。
加熱温*a城で温度上昇とともに、その抵抗値が変化す
るサーミスタ特性を有するもので構成し九〇さらに1本
発明では、前記サーミスタ特性を利用して温III竜ン
す。ia変に対応した電圧を検出−する一方、予め設定
し九加熱りリーニングS度に対応しに電圧と比較して、
#記抵抗発熱体に加える電力を、その葺に応じて制御す
ることとした。
以下に、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1mlは本発明に係る湿度検出装置の一実施例を示す
斬億図である。同図において、1轄セラ建ツタ基板の1
種であるアル建す基板、2はll直に応じて、その抵抗
値が変化する感応体、3は下部電極、4は上部電極であ
る。なお、前記2〜4は11度センナを構成している。
まえ、5は抵抗発熱体を示す〇 本夷廁例の濃度検出装置で轄1図から明らかなように、
アルミナ基I[1上に、感応体2を挟んで、導体で参る
下部電@3と、上部型4114とが配設されている。一
方 m記アルンナ基l111の裏mには。
抵抗発熱体5が配設されている。
抵抗発熱体5は、 Ilj[Kよる抵抗O変化が太きい
白金ペーストを印刷し、1100℃で2時間焼付けして
作成した。ま九、温度センサは、よく知られているよう
に、アル建す基板1上に、下部電極3として、白金ペー
ストを印刷し、そO上に感応体2と上部電極4とが一体
となったものを置いて、これらを同時に1100℃で2
時間焼付けして作成した。
次に、このようにして得た湿度検出装置の抵抗発熱体8
に加える電力を変えて%抵抗発熱体5の温度を制御し、
 4rS縦における一抗値を橢定いbその結果を篇2図
に示す。なお、同図では横軸に温度(’C) 、 m軸
に抵抗(Ω)をとっであるO第3図から明らかなように
、この抵抗発熱体Sでは、加熱iI度によって抵抗値が
大きくかわることが確認で自九〇仁の抵抗発熱体器の?
〒01特性を利用すれば%後述するようにして、I1度
令ンナO加熱−at制御することができる。
次に、第imlに示す構造で、かつ第21に示すナー々
スタ轡性(ilIL−抵抗特性)を有すゐll[検出装
置を構成費素として、嬉3g1に示すような加熱量比制
御機構を付加した湿度検出装置を構成した。
第311において、6はii*検出1路、7Fi比較回
路、8Fiと−タ電力制御回路である。また、■は検出
s11信号、P祉制御信号、Tは基準温度信号を示す・
なお、5は第1図と同様、抵抗発熱体である。
以下、その動作についてのべる。S度検出団結6では%
抵抗QlI体5のi![を検出する。前記の1IIII
i検出社1例えば、つぎのようにして行なうことができ
る@すなわち、抵抗発熱体5に直列K11il定抵抗S
を接続し、 1lllkJ固定抵抗器の両端電圧を一定
する・ [2−から明らかなように、抵抗発熱体5の抵抗値は、
抵抗発熱体5のii*と1対10対F6會している。し
九がって、前記固定抵抗lIO両端電圧社、抵抗発鴎体
5のii度と1対IK対応することに1にゐ。七れ故に
、−記極短抵抗器の両端電圧が、抵抗発熱体5の検出S
t信号HとしてS度検出回路6から出力される。
この信号を、比較回路7に供給し、そこで抵抗発熱体5
の設定温度に対応するように設定された=基準ii*信
号Tと比較し、その偏差に基づいて。
次段のヒータ電力制御回路8を制御するための制御信号
Pを出力する。ヒータ制御回路8では、M記制御信号P
に応じて、抵抗発熱体5t−設定ii*に保持するよう
な電力をこれに供給する。
以上の説明から明らかなように、本発明では。
湿度センナを加熱するための抵抗発熱体を、−直上外と
と4に、その抵抗値が変化するナー々スー轡性をもつ抵
抗材料で、かり湿IL−に7fと一体化して形威し九。
その結果、従来のように、外部からの熱電対やサーiス
タなどOiI度検比検出器費としなくなシ、構造が簡単
となった九めに、態量性が良くなるとともに、コスト的
にも安くなり’kts壜た、本発明においては、アル(
す基板を挾んで、湿度センナと一体に構成されている抵
am熱体が、Il&検出器の働きをもする丸めに、正確
に加熱クリーニング温度を検出することができるととも
に、自動的に加熱湯度が制御されるので、異常加熱によ
って湿度センナが損傷されることもないO なお、本発明では、前述しえように、湿度センナと一体
化している抵抗発熱体が2gA度検出器の働きをする九
めに、風速の変化によって、濃度センナのクリーニング
温度を所望のstl、に保持しにくいという、従来技術
の欠点も解消された。
さらに1本発明にかかるg1度検出鋏装は1通常の厚膜
製造技術で簡単に製造することがで自るもOであ〕、さ
らに1gA用の製造設−で容J!1に量産することがで
きる・ 4、 ail ill Ofl単ta11m1図は本発
@に係る湿度検出装置の一実施例を示す断dii図、1
12図は第1図に示す抵抗発熱体5の1If−抵抗特性
図、 gilglは本発明に係る加ss1直制御機構を
付加し九湿度検出装置の一実施例を示すプ撃ツク図であ
る。
1・・・アルンナ基板、 2・・・感応体、 3・・・
下部電極、  4・・・上部電極、  5・・・抵抗発
熱体。
6・・・il&検出回路、  7・・・比較回路、  
8・・・ヒータ電力制御回路、 H・・・検出温度信号
P・・・制御信号、 T・・・基準at傷信号代理人弁
理士 平 木 道 人 才1図 牙 2!i3!1 it a、16 @イ本S3%fiL    (C’)
才3図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  セラζツク基板上に配設された湿度センナと
    。 前記湿度センナを所望の一度に加熱するために、前記セ
    ラミック基板上の前記fi度センサに接近して配設され
    九抵抗発熱体とを具−し、前記抵抗発熱体d、Il&上
    昇にともなって、七〇抵抗値が変化する抵抗材料で構成
    され九ことt411Ilkとする湿度検出装置。
  2. (2)  セラζツク基板上に配設された湿度センナと
    、―起湿度センナを所望の温度に加熱するために、#I
    I起セクミツク基板上の前記ff1度センナに接近して
    配設され、その一度上昇にともなって、その抵抗値が変
    化する抵抗材料で構成され九抵抗発熱体を、*記抵抗発
    熱体Kfiれる電流から一記抵抗発熱体のatを表わす
    検出i11信号を発生する手段と、#i記検出温度信号
    の基準温度信号からの偏差に基づいて、前記抵抗発熱体
    の温度を所望値に制御する手段とを具−したことを特徴
    とする温度検出装置。
JP10702781A 1981-07-10 1981-07-10 湿度検出装置 Pending JPS589054A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60164241A (ja) * 1984-02-06 1985-08-27 Nippon Denso Co Ltd 酸素濃度センサ用ヒ−タの制御装置
JPS63307347A (ja) * 1987-06-09 1988-12-15 Nok Corp 絶対湿度センサ
US7062968B2 (en) * 2001-12-21 2006-06-20 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Temperature control apparatus for humidity sensor
CN102096984A (zh) * 2011-03-01 2011-06-15 北京雪迪龙科技股份有限公司 湿度报警装置

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