JPS589019A - 変位速度検出装置 - Google Patents
変位速度検出装置Info
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- JPS589019A JPS589019A JP10698781A JP10698781A JPS589019A JP S589019 A JPS589019 A JP S589019A JP 10698781 A JP10698781 A JP 10698781A JP 10698781 A JP10698781 A JP 10698781A JP S589019 A JPS589019 A JP S589019A
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/22—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
- G01D5/225—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the mutual induction between the two coils
- G01D5/2258—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils by influencing the mutual induction between the two coils by a movable ferromagnetic element, e.g. core
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、１個の検出装置によって変位と速度の２種の
機械量を電気信号として同時に検出する場合に、簡単逐
電気回路構成で特に変位及び速度の８／Ｎ特性に優れた
サーボ系の検出装置に好適な変位速度検出装置に関する
。
機械量を電気信号として同時に検出する場合に、簡単逐
電気回路構成で特に変位及び速度の８／Ｎ特性に優れた
サーボ系の検出装置に好適な変位速度検出装置に関する
。
従来、１個の検出器で変位と速度を同時に検出する方法
としては、変位信号を電気的に微分して速度信号ｔ−収
シ出しているが、近似的な微分回路による方法であるた
め、低速度の場合は、本方式を用いることができず、使
用できる速度範囲が制約される欠点があった。
としては、変位信号を電気的に微分して速度信号ｔ−収
シ出しているが、近似的な微分回路による方法であるた
め、低速度の場合は、本方式を用いることができず、使
用できる速度範囲が制約される欠点があった。
また、１個の検出装置で変位を微分せずに変位量と速度
量を同時に検出することができる従来の速度速度検出装
置を第、１図によって説明する。
量を同時に検出することができる従来の速度速度検出装
置を第、１図によって説明する。
第１図において、１は差動トランス５の１次コイル、２
および３は２次コイル、４はコアである。
および３は２次コイル、４はコアである。
差動トランス５の１次コイル１には、電圧源６によシ交
流電圧と直流電圧を重畳した電圧を励磁する。４はコア
である。
流電圧と直流電圧を重畳した電圧を励磁する。４はコア
である。
この構成によシ、差動トランス５の２次コイル２．３に
生ずるコア４の変位数と速度量が重畳した変位電圧と速
度電圧を分離するために、２次コイル２．３の各々の出
力電圧を、ホロワ７．８を介して、半波整流器９、加算
器１０からなる全波整流回路１３および半波整流器１１
、加算器１２からなる全波整流回路１４で互いに全波整
流を行い、その出力を減算器１５で減算することにより
速度電圧成分を除去し、低域濾波器１６で平滑した後、
増幅器１７で変位電圧信号をとり出すようにしている。
生ずるコア４の変位数と速度量が重畳した変位電圧と速
度電圧を分離するために、２次コイル２．３の各々の出
力電圧を、ホロワ７．８を介して、半波整流器９、加算
器１０からなる全波整流回路１３および半波整流器１１
、加算器１２からなる全波整流回路１４で互いに全波整
流を行い、その出力を減算器１５で減算することにより
速度電圧成分を除去し、低域濾波器１６で平滑した後、
増幅器１７で変位電圧信号をとり出すようにしている。
また、２次コイル２．３のいずれか片側の出力信号を低
域濾波器１８に通し、変位電圧信号を除去することによ
って、増幅器１９で速度電圧成分をとりだすようにして
いる。上記従来の変位を取り出す方法では、２次コイル
２．３の出力信号を個々に全波整流した後、減算する必
要があることから、２次コイル２．３のコイル形状及び
巻数をまったく同一のものにすること、全波整流１−路
１３．１４における半波整流器９．１１および加算器１
０．１２の特性はまつ九〈同一のものにする必要があり
、半導体素子の選択および回路の調整が困難となる上に
、回路構成が複雑になる欠点があった。前記２次コイル
２．３の巻数形状に差異がある場合、また全波整流回路
１３゜１４の特性に差異がある場合には、全波整流回路
１３及び１４の出力信号間には位相差が生じ、減算器１
５の出力には、変位信号の他に速度信号の歪が重畳した
電圧信号が生じ、変位の検出信号においては変位信号と
速度信号を完全に分離できない欠点があった。
域濾波器１８に通し、変位電圧信号を除去することによ
って、増幅器１９で速度電圧成分をとりだすようにして
いる。上記従来の変位を取り出す方法では、２次コイル
２．３の出力信号を個々に全波整流した後、減算する必
要があることから、２次コイル２．３のコイル形状及び
巻数をまったく同一のものにすること、全波整流１−路
１３．１４における半波整流器９．１１および加算器１
０．１２の特性はまつ九〈同一のものにする必要があり
、半導体素子の選択および回路の調整が困難となる上に
、回路構成が複雑になる欠点があった。前記２次コイル
２．３の巻数形状に差異がある場合、また全波整流回路
１３゜１４の特性に差異がある場合には、全波整流回路
１３及び１４の出力信号間には位相差が生じ、減算器１
５の出力には、変位信号の他に速度信号の歪が重畳した
電圧信号が生じ、変位の検出信号においては変位信号と
速度信号を完全に分離できない欠点があった。
本発明の目的は上述の点にかんがみなされたもので、２
個の２次コイルの巻数、形状の差異および半導体素子の
差異に影響されずに、簡単な回路構成で変位と速度を完
全に分別できるようにし、変位と速度の８７Ｎ特性及び
変位利得、速度利得に優れた変位速度検出装置を提供す
ることを目的とする。
個の２次コイルの巻数、形状の差異および半導体素子の
差異に影響されずに、簡単な回路構成で変位と速度を完
全に分別できるようにし、変位と速度の８７Ｎ特性及び
変位利得、速度利得に優れた変位速度検出装置を提供す
ることを目的とする。
本発明は上記の目的を達成するために、差動トランスの
１次コイルを交流励磁するとともに、磁性体のコアを磁
化することによつ１．２個の２次コイルを差動的ｇ８埠
し、高域濾波器で変位信号を、低域濾波器で速度信号を
検出し、変位信号と速度信号を完全に分別できるようＫ
したものである。
１次コイルを交流励磁するとともに、磁性体のコアを磁
化することによつ１．２個の２次コイルを差動的ｇ８埠
し、高域濾波器で変位信号を、低域濾波器で速度信号を
検出し、変位信号と速度信号を完全に分別できるようＫ
したものである。
以下、本発明の一実施例を第２図、第３図によシ説明す
る。第２図は差動トランス５の構成を示すもので、１は
１次コイル、２および３は２次コイル、４社コアである
。差動トランス５の１次コイル１には交流電圧源６によ
シコアの変位および速度の周波数に比べてはるかに大き
い高周波の交流電圧を励磁する。一方、コア４は強磁性
体の磁石である。この構成によシ、差動トランス５の２
次コイル２．３には１次コイルＩＫ励磁された交流電圧
によって生ずる磁束変化によシコア４の変位に対応した
逆起電力と、磁石であるコア４が発生する一定の磁束は
、コア４が動作することによって２次コイル２．３にお
いては変化するために、コア４の速度に対応した逆起電
力が発生する。
る。第２図は差動トランス５の構成を示すもので、１は
１次コイル、２および３は２次コイル、４社コアである
。差動トランス５の１次コイル１には交流電圧源６によ
シコアの変位および速度の周波数に比べてはるかに大き
い高周波の交流電圧を励磁する。一方、コア４は強磁性
体の磁石である。この構成によシ、差動トランス５の２
次コイル２．３には１次コイルＩＫ励磁された交流電圧
によって生ずる磁束変化によシコア４の変位に対応した
逆起電力と、磁石であるコア４が発生する一定の磁束は
、コア４が動作することによって２次コイル２．３にお
いては変化するために、コア４の速度に対応した逆起電
力が発生する。
次に、上述した作用を以下に詳述する。第２図において
、２次コイル２及び３に生ずる逆起電力は次のようにな
る。
、２次コイル２及び３に生ずる逆起電力は次のようにな
る。
差動トランス５の１次コイルＩＫ交流電圧を励磁したと
き、１次コイルＩＫ流れる電流量は次のようになる。
き、１次コイルＩＫ流れる電流量は次のようになる。
ｉ ＝ｘ ｉ 、ｓｉａ ωｔ ””・（
１）コア４が中立位置から下方ＫＸ変位した場合に、コ
ア４がｉ次コイル２及び３の中に挿入された長さ１Ｓ
とｔ、は次のようになる。
１）コア４が中立位置から下方ＫＸ変位した場合に、コ
ア４がｉ次コイル２及び３の中に挿入された長さ１Ｓ
とｔ、は次のようになる。
とこに、コア４の全長を２％２次コイル２と３両コイル
間の間隔を楓とする。
間の間隔を楓とする。
磁石であるプ７４１１’Ｃ，よって生ずゐ磁束密度のう
ち、２次コイル２．３に直交すゐ成分をＢ、 （Ｘ）と
する、２次コイル２．３のコイル径を’１ ｍ Ｇ、コ
イル巻数をｎとする。まえ、２次コイル３のコイル両端
位置をＩｎ、２ｍとし、２次コイル２の両端位置を３ｎ
、４ｎとすると、２次コイル２゜３に生じる誘導起電圧
ｏｌ ｅ ％は次のようになる。
ち、２次コイル２．３に直交すゐ成分をＢ、 （Ｘ）と
する、２次コイル２．３のコイル径を’１ ｍ Ｇ、コ
イル巻数をｎとする。まえ、２次コイル３のコイル両端
位置をＩｎ、２ｍとし、２次コイル２の両端位置を３ｎ
、４ｎとすると、２次コイル２゜３に生じる誘導起電圧
ｏｌ ｅ ％は次のようになる。
式（４）、 （５）における第１項はコア４の速度電圧
に対応し、磁化されたコア４が生ずる磁束密度、コイル
径およびコイル巻数によって定まる。ま九、第２項はコ
ア４の変位電圧に対応し、１次コイル１の励磁電流、励
磁周波数およびコイル巻数によって定まる。
に対応し、磁化されたコア４が生ずる磁束密度、コイル
径およびコイル巻数によって定まる。ま九、第２項はコ
ア４の変位電圧に対応し、１次コイル１の励磁電流、励
磁周波数およびコイル巻数によって定まる。
上述のように、２次コイル２．３にはコア４の変位電圧
及び速度電圧が重畳した電圧が誘起されるので、両者を
完全に分別する方法を第３図によって説明する。
及び速度電圧が重畳した電圧が誘起されるので、両者を
完全に分別する方法を第３図によって説明する。
第３図は２次コイル２．３に生ずる電圧信号をコア４の
変位量と速度量に対応した電圧信号に分別するための具
体的な電気回路のブロック図の構成を示す、第４図は、
第３図のブロック図を実現するための具体的な電気回路
の一実施例である。
変位量と速度量に対応した電圧信号に分別するための具
体的な電気回路のブロック図の構成を示す、第４図は、
第３図のブロック図を実現するための具体的な電気回路
の一実施例である。
第３図において、７は２次コイル２．３に接続される電
気回路の負荷抵抗の影響をなくすためのホロワ、１９は
１次コイルに励磁された交流励磁周波数０以上の周波数
成分の電圧信号を通す高域浦波器、２０紘全波整流器、
２１は増幅器である。
気回路の負荷抵抗の影響をなくすためのホロワ、１９は
１次コイルに励磁された交流励磁周波数０以上の周波数
成分の電圧信号を通す高域浦波器、２０紘全波整流器、
２１は増幅器である。
また、２２は１次コイルに励磁された交流励磁周波数参
以上の周波数成分の電圧信号を速断する低域浦波器、２
３は増幅器である。
以上の周波数成分の電圧信号を速断する低域浦波器、２
３は増幅器である。
（４）式と（５）式よ〕
ｘ
”＊−”＊ −” （２ｋ”−’ （ｄ山ａ＋ｄ山ｍ
） ） 、１ 。
） ） 、１ 。
１
＋２ ｆｌ ｋ ！ −−””・・・・・イ６）ｔ
を得る。
（６）式をもとにして１．上記検出回路の構成からなる
＝７４の変位と速度を検出するための動作原理を以下に
述べる。
＝７４の変位と速度を検出するための動作原理を以下に
述べる。
２次プイル゛２とｓ＜ｑ動的ＫＩＩｉＩ線するととによ
って、２次オイル２の端子４ｎには、（６）式に示す電
圧＠、−６，が生ずる。そζで、コア４の変位電圧成分
は次のようにして求める仁とができる。
って、２次オイル２の端子４ｎには、（６）式に示す電
圧＠、−６，が生ずる。そζで、コア４の変位電圧成分
は次のようにして求める仁とができる。
差動的に結線した２次コイルの端子４ｎの出力電圧を、
高域浦波器１９に通す。高域濾波器１９は１次コイル１
への交流励磁周波数０以上の周波数成分の電圧信号を通
し、交流励磁周波数ωよシはるかに小さいコア４の動作
による周波数成分電圧信号を除去する。（６）式より、
高域浦波器１９の出力信号・−は となシ、磁石であるコア４によって生ずるコア４の速度
量に対応する誘起電圧が遮断される。（７）弐において
、第１項に交流励磁によるコア４の速度電圧信号が残っ
ているが、＠２項に比べて無視で龜る微小な値である丸
め、（７）式社 コア４の変位量に対応した電圧信号となる。し九がって
高域濾波器１９の出力電圧＠−を絶対値回路２０ｍ及び
交流励磁周波数０以上の周波数成分を除去する低域濾波
器２０ｂからなる整流回路２０によって平滑し、直流信
号にした後、増幅器２１によって増幅することによって
コア４の変位信号のみを取シ出すことができる。
高域浦波器１９に通す。高域濾波器１９は１次コイル１
への交流励磁周波数０以上の周波数成分の電圧信号を通
し、交流励磁周波数ωよシはるかに小さいコア４の動作
による周波数成分電圧信号を除去する。（６）式より、
高域浦波器１９の出力信号・−は となシ、磁石であるコア４によって生ずるコア４の速度
量に対応する誘起電圧が遮断される。（７）弐において
、第１項に交流励磁によるコア４の速度電圧信号が残っ
ているが、＠２項に比べて無視で龜る微小な値である丸
め、（７）式社 コア４の変位量に対応した電圧信号となる。し九がって
高域濾波器１９の出力電圧＠−を絶対値回路２０ｍ及び
交流励磁周波数０以上の周波数成分を除去する低域濾波
器２０ｂからなる整流回路２０によって平滑し、直流信
号にした後、増幅器２１によって増幅することによって
コア４の変位信号のみを取シ出すことができる。
次にコア４の速度信号を検出する方法を以下に述べる。
２次コイル２の端子４ｎの出力電圧を低域浦波器２２に
通す。低域濾波器２雪は１次コイル１への交流励磁周波
数０以上の周波数成分の電圧信号を除去し、交流励磁周
波数ωよシはる７ｂ−に小さいコア４の動作による周波
数成分の電圧信号を取シ出す、（６）式よシ低域濾波器
２２の出力信号・１は ＠４ｘＥ１ｇ（ｄｌＢ４ｍ＋ｄ＠Ｂ、ａ）ａ、 ””
””イ９）となり、コア４の°速度量に対応した電圧信
号となる。したがって、低域浦波器２２の出力電圧＠１
を増幅器１９で増幅することによって、コア４の速度信
号のみを取）出すことができる。
通す。低域濾波器２雪は１次コイル１への交流励磁周波
数０以上の周波数成分の電圧信号を除去し、交流励磁周
波数ωよシはる７ｂ−に小さいコア４の動作による周波
数成分の電圧信号を取シ出す、（６）式よシ低域濾波器
２２の出力信号・１は ＠４ｘＥ１ｇ（ｄｌＢ４ｍ＋ｄ＠Ｂ、ａ）ａ、 ””
””イ９）となり、コア４の°速度量に対応した電圧信
号となる。したがって、低域浦波器２２の出力電圧＠１
を増幅器１９で増幅することによって、コア４の速度信
号のみを取）出すことができる。
コア４の材質として、強磁性体の磁石を使えば磁束密度
を大きくとれ、コア４が低速度で動作する場合において
も、速度電圧信号を十分検出することが゛できる。
を大きくとれ、コア４が低速度で動作する場合において
も、速度電圧信号を十分検出することが゛できる。
なお、速度信号は２次コイル２．ｉのいずれか一方のコ
イルの電圧信号を用いてもよい。本発明では２次コイル
２および３を差動的に結線し、差動電圧を用いて速度信
号を取シ出しているため、上述の場合に比べて大きな速
度電圧信号を検出できる利点がある。
イルの電圧信号を用いてもよい。本発明では２次コイル
２および３を差動的に結線し、差動電圧を用いて速度信
号を取シ出しているため、上述の場合に比べて大きな速
度電圧信号を検出できる利点がある。
第４図は本発明の装置の具体的な電気回路を示すもので
、図において第３図と同符号のものは同一部分である。
、図において第３図と同符号のものは同一部分である。
このように構成したことＫより、１個の装置によって変
位を微分することなく変位と速度の２種の機械量を同時
に電気信号として検出することができ、装置がコンパク
トになる効果がある。特に速度信号はコアの磁束密度が
大になる磁石を用いることによって大きな値でとシ出す
ことができ、１次コイルに直流電圧を・励磁する必要が
ないため、２次コイルに誘起するコアの変位および速度
に対応した電圧信号がひずむこともなく、差動トラン・
スのコイルが過熱する問題本なく、速度信号のＳ／Ｎ特
性を向上させることができる。また、変位信号は差動的
に結線した２次コイルの差動電圧を高域濾波器に通し、
１個の全波整流回路によって取シ出している。したがっ
て、従来の変位速度検出回路においては、２−の２次コ
イルを別々に同期整流するために、同期整流後の信号を
減算するときに問題となる２個の同−整流後の位相ずれ
の補償を解決するのに、半導体素子を同じものにすると
か、２個の同期整流回路の微妙な調整が必要であったが
、本発明によれば、同期整流回路を必要とせず、１個の
高域濾波器のみで速度信号を除去でき、回路構成が簡単
になシ、シかも変位信号を完全に取）出すことができ、
変位情性においてもＳ／Ｎ特性にすぐ・れ九効果がある
。本発明の変位速度検出装置は、低速度から高速度の範
囲で制御されるサーボ系の変位及び速度フィートノ（ツ
ク要素の信号としそも応用できる上に、単独に変位及び
速度の検出装置に用いることができ汎用性に富む検出装
置である。
位を微分することなく変位と速度の２種の機械量を同時
に電気信号として検出することができ、装置がコンパク
トになる効果がある。特に速度信号はコアの磁束密度が
大になる磁石を用いることによって大きな値でとシ出す
ことができ、１次コイルに直流電圧を・励磁する必要が
ないため、２次コイルに誘起するコアの変位および速度
に対応した電圧信号がひずむこともなく、差動トラン・
スのコイルが過熱する問題本なく、速度信号のＳ／Ｎ特
性を向上させることができる。また、変位信号は差動的
に結線した２次コイルの差動電圧を高域濾波器に通し、
１個の全波整流回路によって取シ出している。したがっ
て、従来の変位速度検出回路においては、２−の２次コ
イルを別々に同期整流するために、同期整流後の信号を
減算するときに問題となる２個の同−整流後の位相ずれ
の補償を解決するのに、半導体素子を同じものにすると
か、２個の同期整流回路の微妙な調整が必要であったが
、本発明によれば、同期整流回路を必要とせず、１個の
高域濾波器のみで速度信号を除去でき、回路構成が簡単
になシ、シかも変位信号を完全に取）出すことができ、
変位情性においてもＳ／Ｎ特性にすぐ・れ九効果がある
。本発明の変位速度検出装置は、低速度から高速度の範
囲で制御されるサーボ系の変位及び速度フィートノ（ツ
ク要素の信号としそも応用できる上に、単独に変位及び
速度の検出装置に用いることができ汎用性に富む検出装
置である。
以上詳述したように、本発明によれば、装置全体をコン
パクトにすることができると共に１変位と速度の２種の
機械量を同時に検出することができる。
パクトにすることができると共に１変位と速度の２種の
機械量を同時に検出することができる。
第１図は従来の変位速度検出装置に用いられる検出回路
のブロック図、第２図は本発明に用いられる差動トレン
スの原運を示す構成図、第３図は本発明の装置の一実施
例を示すブロック図、第４図は本発明の装置の具体的な
電気回路である。 ｌ・−ｉ 次コイル、２．８・−２次コイル、４・・・
コア、５・・・差動トランス、７・・・ホロワ、１９・
・・高域濾波器、２０ｍ・・・絶対値回路、２０ｂ・・
・低域濾波器、２１・・・直流増幅器、２２・・・低域
濾波器、１１３・・・直流増幅器。 第 １ 図
のブロック図、第２図は本発明に用いられる差動トレン
スの原運を示す構成図、第３図は本発明の装置の一実施
例を示すブロック図、第４図は本発明の装置の具体的な
電気回路である。 ｌ・−ｉ 次コイル、２．８・−２次コイル、４・・・
コア、５・・・差動トランス、７・・・ホロワ、１９・
・・高域濾波器、２０ｍ・・・絶対値回路、２０ｂ・・
・低域濾波器、２１・・・直流増幅器、２２・・・低域
濾波器、１１３・・・直流増幅器。 第 １ 図
Claims (1)
- １次コイル、２個の２次コイル及びコアよシなる差動ト
ランスにおいて、差動トランスの１次コイルを交流励磁
するとともに、前記磁性体のコアを磁化することによっ
て、コアの変位量と速度量に応じて２個の２次コイル側
に誘起される変位電圧と速度電圧とが重畳した電圧信号
を分別するために、２個の２次コイルを差動的に結線し
、その出力１５号を交流励磁周波数以上の電圧信号を通
過する高域１波器に通して速度信号を除去し、整流回路
で平滑することによってコアの変位量に応じた変位電圧
信号を検出するとともに、前記２次コイルの差動出力信
号を交流励磁周波数以上の電圧信号を除去する低威鑵波
器によシ変位信号を取シ除き、コアの速度量に応じた電
圧信号を検出し、１個の検出装置で変位と速度を同時に
検出し、両者を完全に分別できるようにしたことを特徴
とする変位速度検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10698781A JPS589019A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 変位速度検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10698781A JPS589019A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 変位速度検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS589019A true JPS589019A (ja) | 1983-01-19 |
Family
ID=14447599
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10698781A Pending JPS589019A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 変位速度検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS589019A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62148462U (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-19 | ||
| EP1607721A2 (en) * | 2004-05-24 | 2005-12-21 | Mitutoyo Corporation | Signal processing apparatus and method of differential transformer |
-
1981
- 1981-07-10 JP JP10698781A patent/JPS589019A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62148462U (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-19 | ||
| JPH0333570Y2 (ja) * | 1986-03-14 | 1991-07-16 | ||
| EP1607721A2 (en) * | 2004-05-24 | 2005-12-21 | Mitutoyo Corporation | Signal processing apparatus and method of differential transformer |
| EP1607721A3 (en) * | 2004-05-24 | 2007-01-03 | Mitutoyo Corporation | Signal processing apparatus and method of differential transformer |
| US7395044B2 (en) | 2004-05-24 | 2008-07-01 | Mitutoyo Corporation | Signal processing apparatus and method of differential transformer |
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