JPS5890176A - プロ−ブ - Google Patents
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- JPS5890176A JPS5890176A JP18834481A JP18834481A JPS5890176A JP S5890176 A JPS5890176 A JP S5890176A JP 18834481 A JP18834481 A JP 18834481A JP 18834481 A JP18834481 A JP 18834481A JP S5890176 A JPS5890176 A JP S5890176A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- ground
- input terminal
- wire
- voltage measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
- G01R19/145—Indicating the presence of current or voltage
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高感度な電圧測定器に用いられるプローブに関
するものである。
するものである。
高感度な電圧測定器は、被測定体にプローブの接触子を
接触させて、測定を行う前に、プローブのグランド接触
端子を入力端子線の接触子に接触させてグランド電位の
校正を行い、そのグラン・ド電位を基準にして被測定体
の高精度の電位測定を行うものである。こうして高感度
な電圧測定器は、電子回路の発展に伴い広く用いられて
おり、常に高確度な電圧測定を能率良く測定できる装置
とプローブが求められていた。
接触させて、測定を行う前に、プローブのグランド接触
端子を入力端子線の接触子に接触させてグランド電位の
校正を行い、そのグラン・ド電位を基準にして被測定体
の高精度の電位測定を行うものである。こうして高感度
な電圧測定器は、電子回路の発展に伴い広く用いられて
おり、常に高確度な電圧測定を能率良く測定できる装置
とプローブが求められていた。
本発明は、以上のような点に鑑みて成されたものであり
、校正作業時に、プローブのグランド接触端子を入力端
子線の接触子に接続してグランド電圧の校正をする手間
を必要とせず、常時校正状態にして測定の時のみ簡tl
iなボタン操作で信号端子を信号ラインに接続させるこ
とができるプローブを提供することを目的とするもので
ある。
、校正作業時に、プローブのグランド接触端子を入力端
子線の接触子に接続してグランド電圧の校正をする手間
を必要とせず、常時校正状態にして測定の時のみ簡tl
iなボタン操作で信号端子を信号ラインに接続させるこ
とができるプローブを提供することを目的とするもので
ある。
すなわち、本発明の一つは、電圧測定器に接続されるプ
ローブであって、被測定体と接触される接触子と、被測
定体のグランド電位と接触されるグランド接触端子と、
上記接触子と上記電圧測定器との間を結ぶ入力端子線と
、上記グランド接触端子と電圧測定器内のアース端子と
の間を結ぶアース線と、上記入力端子線の途中に設けら
れ、コモン端子が電圧測定器側の入力端子線に接続され
ていると共に、ノーマルクローズ接点とノーマルオープ
ン接点の一方が」二記接触千側の入力端子線と接続され
、他方が上記アース線の一部と接続される切換スイッチ
と、を具備することを特徴とするものであり、今一つの
発明は第1の発明を主要部とし、かつ切換スイッチの切
換状態を検出するスイッチ信号検出回路の信号接点を具
備することを特徴とするものである。
ローブであって、被測定体と接触される接触子と、被測
定体のグランド電位と接触されるグランド接触端子と、
上記接触子と上記電圧測定器との間を結ぶ入力端子線と
、上記グランド接触端子と電圧測定器内のアース端子と
の間を結ぶアース線と、上記入力端子線の途中に設けら
れ、コモン端子が電圧測定器側の入力端子線に接続され
ていると共に、ノーマルクローズ接点とノーマルオープ
ン接点の一方が」二記接触千側の入力端子線と接続され
、他方が上記アース線の一部と接続される切換スイッチ
と、を具備することを特徴とするものであり、今一つの
発明は第1の発明を主要部とし、かつ切換スイッチの切
換状態を検出するスイッチ信号検出回路の信号接点を具
備することを特徴とするものである。
次に、本発明に係るプローブの第1の実施例を第1図【
こついて説明する。図中1が本発明に係るプローブであ
り、2はこのプローブ1と接続される電圧測定器である
。上記プローブIは絶縁材よりなる円筒状の外筐部3を
有しており、この外筐部3の前端3aには被測定体と接
触される接触子4が取り付けられている。この接触子4
は針状とされ、その先端4aは外筐部3の前端3aより
さらに前方に突出されており、基部側は前端3a内に埋
設されて゛いると共に、基部側端部4bは外筐部3の内
空部3b内に露出されている。上記外筐部3の内空部3
bには、上記接触子4と電圧測定器2との間を結ぶ入力
端子線5と、グランド接触端子6と電圧測定器2内のア
ーム端子7との間を結ぶアース線8が通挿されており、
上記グランド接触端子6はワニグチクリップが用いられ
、アース線8はこのグランド接触端子6から外筐部3の
側壁を貫通して内空部3bに引き入れられている。さら
に、内空部3bにおける上記入力端子線5の途中には切
換スイッチSが設けられており、この切換スイッチSと
してリードスイッチが用いられ、該切換スイッチSのコ
モン接点COが電圧測定器2側の入力端子線5aに接続
されていると共に、ノーマルオープン接点NOがffl
触子441m+7)入力端子線5bに接続され、ノーマ
ルクローズ接点NCが上記アース線8の一部と接続され
ている。また、上記外筐部3における上記切換スイッチ
Sと対応する箇所にはスイッチ操作ボタン取付スリット
9が形成されており、この取付スリット9にはスイッチ
操作ボタン10が該取付スリット9に沿って滑動自在と
して取り付けられ、このスイッチ操作ボタン10の内空
部3b側には、前記切換スイッチSを励磁して該切換ス
イッチSのコモン接点COとノーマルクローズ接点NC
との接触からコモン接点COとノーマルオープン接点N
Oとの接触に切り換えるマグネツ)Mが固着されている
。また、測定器2側の入力端子IJ5aの途中には、入
力電圧の分割を目的とする抵抗Rと交流特性改善のため
のコンデンサCによる並列回路11が挿入されている。
こついて説明する。図中1が本発明に係るプローブであ
り、2はこのプローブ1と接続される電圧測定器である
。上記プローブIは絶縁材よりなる円筒状の外筐部3を
有しており、この外筐部3の前端3aには被測定体と接
触される接触子4が取り付けられている。この接触子4
は針状とされ、その先端4aは外筐部3の前端3aより
さらに前方に突出されており、基部側は前端3a内に埋
設されて゛いると共に、基部側端部4bは外筐部3の内
空部3b内に露出されている。上記外筐部3の内空部3
bには、上記接触子4と電圧測定器2との間を結ぶ入力
端子線5と、グランド接触端子6と電圧測定器2内のア
ーム端子7との間を結ぶアース線8が通挿されており、
上記グランド接触端子6はワニグチクリップが用いられ
、アース線8はこのグランド接触端子6から外筐部3の
側壁を貫通して内空部3bに引き入れられている。さら
に、内空部3bにおける上記入力端子線5の途中には切
換スイッチSが設けられており、この切換スイッチSと
してリードスイッチが用いられ、該切換スイッチSのコ
モン接点COが電圧測定器2側の入力端子線5aに接続
されていると共に、ノーマルオープン接点NOがffl
触子441m+7)入力端子線5bに接続され、ノーマ
ルクローズ接点NCが上記アース線8の一部と接続され
ている。また、上記外筐部3における上記切換スイッチ
Sと対応する箇所にはスイッチ操作ボタン取付スリット
9が形成されており、この取付スリット9にはスイッチ
操作ボタン10が該取付スリット9に沿って滑動自在と
して取り付けられ、このスイッチ操作ボタン10の内空
部3b側には、前記切換スイッチSを励磁して該切換ス
イッチSのコモン接点COとノーマルクローズ接点NC
との接触からコモン接点COとノーマルオープン接点N
Oとの接触に切り換えるマグネツ)Mが固着されている
。また、測定器2側の入力端子IJ5aの途中には、入
力電圧の分割を目的とする抵抗Rと交流特性改善のため
のコンデンサCによる並列回路11が挿入されている。
上記切換スイッチSと並列回路11を内包する外筐部3
の後端3cからは、上記入力端子線5とアース線8が外
部に導出されており、各端部は着脱コネクタ12a、1
2bにより前記電圧測定器2に接続されている。上記ア
ース線8はコネクタ12bを介して電圧測定器2内のア
ース端子7に接続され、上記入力端子線5はコネクタ1
2aを介してFET13等による高入力インピーダンス
回路14Dこ接続されており、この高入力インピーダン
ス回路14は電位差計(図示せず)4升に接続されてい
る。
の後端3cからは、上記入力端子線5とアース線8が外
部に導出されており、各端部は着脱コネクタ12a、1
2bにより前記電圧測定器2に接続されている。上記ア
ース線8はコネクタ12bを介して電圧測定器2内のア
ース端子7に接続され、上記入力端子線5はコネクタ1
2aを介してFET13等による高入力インピーダンス
回路14Dこ接続されており、この高入力インピーダン
ス回路14は電位差計(図示せず)4升に接続されてい
る。
次に、上述したff’f IJ7.に」:るプローブの
作用を説明する。
作用を説明する。
まず、プローブlの入力端r・線5とアース線8をコネ
クタ12a、1.21)により電圧測定器2に接続し、
グランド1゛ト触!M11子Gを被測定体のグランド電
位となるf冷所に挟持さぜる。この状態が測定の待機状
態であって、この待機状態においてグランド接触端子6
からのグランド電位は、電圧測定器2内のアース’MI
5子7と一致されると共に、そのグランド電位G」、切
換スイッチSのノーマルクローズ+1i 点N C、コ
モン接点co。
クタ12a、1.21)により電圧測定器2に接続し、
グランド1゛ト触!M11子Gを被測定体のグランド電
位となるf冷所に挟持さぜる。この状態が測定の待機状
態であって、この待機状態においてグランド接触端子6
からのグランド電位は、電圧測定器2内のアース’MI
5子7と一致されると共に、そのグランド電位G」、切
換スイッチSのノーマルクローズ+1i 点N C、コ
モン接点co。
並列回路11及び入力端子線5を介して電圧測定器2の
高入力インピーダンス回路14に加えられており、これ
により1図中2に示す電圧測定器の測定回路動作の1つ
であるグランド電圧の校正が行われる。次に、接触子・
4を被測定体に接触させて、スィッチ11°曾作ボタン
1oをマグネツ)Mが切換スイッチSに近接する方向に
スライド操作すると、スイッチSは励磁され、ノーマル
クローズ接点NCとコモン接点COとの接触が断たれる
と共にノーマルオーブン接点NOとコモン接点COとの
接触が成される。従って、被測定体の電位は、接触子4
.切換スイッチSのノーマルオーブン接点NO、コモン
接点N c 。
高入力インピーダンス回路14に加えられており、これ
により1図中2に示す電圧測定器の測定回路動作の1つ
であるグランド電圧の校正が行われる。次に、接触子・
4を被測定体に接触させて、スィッチ11°曾作ボタン
1oをマグネツ)Mが切換スイッチSに近接する方向に
スライド操作すると、スイッチSは励磁され、ノーマル
クローズ接点NCとコモン接点COとの接触が断たれる
と共にノーマルオーブン接点NOとコモン接点COとの
接触が成される。従って、被測定体の電位は、接触子4
.切換スイッチSのノーマルオーブン接点NO、コモン
接点N c 。
並列回路11及び入力端子線5を介して電圧測定器2の
高入力インピーダンス回路14に加えられて電圧が測定
される。このように、待機中は常にグランド電位の校正
信号が測定器に与えられるため、計測直前に校正が成さ
れたことになり、高精度の測定を行うことができ、且つ
校正作業のためにグランド接触端子6をわざわざ接触子
4に接続するという手間を必要としないものである。従
って第5図に示すように従来グランド電位を測定器に与
え、測定器内のDCオフセット電圧を校正しOvとし、
次に測定に移りそのまま測定を継続すると温度変化など
により測定器内のDCオフセットが変化し測定値の誤差
が大きくなったが、この発明によるプローブを用いれば
、電圧計のグランド電位校正をスイッチ操作ボタン10
を押すたびに行うため多数f;f7i所の測定にあたっ
てもDC電圧校正が容易に成され能率良く高確度測定が
可能となる。
高入力インピーダンス回路14に加えられて電圧が測定
される。このように、待機中は常にグランド電位の校正
信号が測定器に与えられるため、計測直前に校正が成さ
れたことになり、高精度の測定を行うことができ、且つ
校正作業のためにグランド接触端子6をわざわざ接触子
4に接続するという手間を必要としないものである。従
って第5図に示すように従来グランド電位を測定器に与
え、測定器内のDCオフセット電圧を校正しOvとし、
次に測定に移りそのまま測定を継続すると温度変化など
により測定器内のDCオフセットが変化し測定値の誤差
が大きくなったが、この発明によるプローブを用いれば
、電圧計のグランド電位校正をスイッチ操作ボタン10
を押すたびに行うため多数f;f7i所の測定にあたっ
てもDC電圧校正が容易に成され能率良く高確度測定が
可能となる。
次に、本発明に係るプローブの第2.第3゜第4の実施
例をそれぞれ第21図、第31図、第4園について説明
する。なお、上述した第1の実施例と同様の箇所には同
等の符号をイ」シ、その説明は省略する。
例をそれぞれ第21図、第31図、第4園について説明
する。なお、上述した第1の実施例と同様の箇所には同
等の符号をイ」シ、その説明は省略する。
第2図に示す第2の実施例は、上述した第1の実施例に
よるtan成のほかに切換スイン−f−817)切換状
態を検出するスイッチ信号検出回路2゜の信号接点20
aを設け、電圧測定器2側において切換スイッチSの切
換状態を認識できるようにしたものである。プローブ1
内に前記切換スイッチSと近接してリードスイッチが設
けられ、そのリードスイッチのコモン接点cO′とノー
マルオープン接点NO′が上記スイッチ信号検出回路2
0の信号接点20aとされており、コモン接点co’は
検出線21とコネクタ21dを介して電圧測定器2内の
スイッチ信号検出回路20に接続され、ノーマルオープ
ン接点NO′は電源線22とコネクタ12eを介して電
圧測定器2内の電源23に接続され、ノーマルクローズ
接点NC’はアース線23とコネクタ12eを介して電
圧測定器2内のアース端子24に接続されている。
よるtan成のほかに切換スイン−f−817)切換状
態を検出するスイッチ信号検出回路2゜の信号接点20
aを設け、電圧測定器2側において切換スイッチSの切
換状態を認識できるようにしたものである。プローブ1
内に前記切換スイッチSと近接してリードスイッチが設
けられ、そのリードスイッチのコモン接点cO′とノー
マルオープン接点NO′が上記スイッチ信号検出回路2
0の信号接点20aとされており、コモン接点co’は
検出線21とコネクタ21dを介して電圧測定器2内の
スイッチ信号検出回路20に接続され、ノーマルオープ
ン接点NO′は電源線22とコネクタ12eを介して電
圧測定器2内の電源23に接続され、ノーマルクローズ
接点NC’はアース線23とコネクタ12eを介して電
圧測定器2内のアース端子24に接続されている。
第2の実施例によるプローブは上述した構成とされてい
るので、スイッチSの切換操作に連動して信号接点20
aが操作され、これにより電源23よりコネクタ12c
、電源線22.ノーマルオーブン接点No’、コモン接
点CO’ 、 検出ffA21、及びコネクタ21dを
介してスイッチ信号検出回路20に電流が供給されてス
イッチSの切換操作が成されたことが電圧測定器2側で
認識される。従って、この信号をタイミングとして測定
と自己校正動作を測定器内部で切換えることにより校正
作業を自動化することができ、且つ測定の都度(スイッ
チ10を押された都度)測定値を表示すれば測定値の誤
読のおそれがなく、測定値を電圧測定器に接続された記
録計に入力させる際には記録のタイミング信号として用
いることによりスイッチを押す都度測定値が記録可能と
なる。
るので、スイッチSの切換操作に連動して信号接点20
aが操作され、これにより電源23よりコネクタ12c
、電源線22.ノーマルオーブン接点No’、コモン接
点CO’ 、 検出ffA21、及びコネクタ21dを
介してスイッチ信号検出回路20に電流が供給されてス
イッチSの切換操作が成されたことが電圧測定器2側で
認識される。従って、この信号をタイミングとして測定
と自己校正動作を測定器内部で切換えることにより校正
作業を自動化することができ、且つ測定の都度(スイッ
チ10を押された都度)測定値を表示すれば測定値の誤
読のおそれがなく、測定値を電圧測定器に接続された記
録計に入力させる際には記録のタイミング信号として用
いることによりスイッチを押す都度測定値が記録可能と
なる。
第3図に示す第3の実施例は、上述した第2の実施例で
示した信号接点201として、手動操作のマイクロスイ
ッヂが用いられており、その信号接点20aの一方が電
源線22と接続され、他方が検出線21と接続されてい
る。さらに、上記検出線2]の途中にはリレー駆動用コ
イル30が設けられ、このリレー駆動用コイル30はリ
ードスイッチである切換スイッチSに巻回されてリード
リレーがf、+77成されている。
示した信号接点201として、手動操作のマイクロスイ
ッヂが用いられており、その信号接点20aの一方が電
源線22と接続され、他方が検出線21と接続されてい
る。さらに、上記検出線2]の途中にはリレー駆動用コ
イル30が設けられ、このリレー駆動用コイル30はリ
ードスイッチである切換スイッチSに巻回されてリード
リレーがf、+77成されている。
第3の実施例によるプローブは上述した構成とされてい
るので、その信号接点20aが手動操作によりONされ
ると、リレー駆動用コイル30とスイッチ信υ・検出回
路20に電流が供給されて、切換スイッチSが切換操作
されると共に、第2の実施例と同様にしてスイッチSの
切換操作が成されたことが電圧側シ、12藩2何で認識
される。第:3図中の能動回路3Iは第1.2図におけ
る並列回路11が例えば増幅器などに置きかえられたも
のであり、プローブ内に能動回路31が実装された時の
温度変化によるDCオフセット電圧の影響を校正する時
にはこの実施例の切換スイッチの設置は特に有効である
。
るので、その信号接点20aが手動操作によりONされ
ると、リレー駆動用コイル30とスイッチ信υ・検出回
路20に電流が供給されて、切換スイッチSが切換操作
されると共に、第2の実施例と同様にしてスイッチSの
切換操作が成されたことが電圧側シ、12藩2何で認識
される。第:3図中の能動回路3Iは第1.2図におけ
る並列回路11が例えば増幅器などに置きかえられたも
のであり、プローブ内に能動回路31が実装された時の
温度変化によるDCオフセット電圧の影響を校正する時
にはこの実施例の切換スイッチの設置は特に有効である
。
第4図に示す第4の実施例は、スイッチ操作ボタン10
′を押しボタン式にしたものであり、マグネットMが切
換スイッチSに向けて進退自在となるようにスイッチ操
作ボタン10′は、板バネ40を介して外筐部3に取り
付けられている。
′を押しボタン式にしたものであり、マグネットMが切
換スイッチSに向けて進退自在となるようにスイッチ操
作ボタン10′は、板バネ40を介して外筐部3に取り
付けられている。
以上説明したように本発明によれば、プローブにグラン
ド接触端子と接触子とを切り換えて入力端子線に接続す
る切換スイッチを設けた構成としたので、計測待機中は
常にグランド電位を電圧測定器に対し直流校正用のQV
倍信号与える効果があり、これにより計測直前に校正が
成されることになり高精度の測定を行うことができる効
果がある。従って校正作業のためにグランド接触端子を
わざわざ接触子に接続するという手間が省け、多数1:
01所を順次測定している時でも1回ごとにOV校正を
しながら計測することができる効果があり、そのため本
プローブを用いる電圧測定器本体が安価なりCドリフト
の大きなものであっても高確度測定可能となる効果があ
る。
ド接触端子と接触子とを切り換えて入力端子線に接続す
る切換スイッチを設けた構成としたので、計測待機中は
常にグランド電位を電圧測定器に対し直流校正用のQV
倍信号与える効果があり、これにより計測直前に校正が
成されることになり高精度の測定を行うことができる効
果がある。従って校正作業のためにグランド接触端子を
わざわざ接触子に接続するという手間が省け、多数1:
01所を順次測定している時でも1回ごとにOV校正を
しながら計測することができる効果があり、そのため本
プローブを用いる電圧測定器本体が安価なりCドリフト
の大きなものであっても高確度測定可能となる効果があ
る。
また本発明において切換スイッチの切換状態を検出する
スイッチ信号検出回路を設けた構成とすると、その信号
をタイミング信号として用いることにより校正作業を自
動化することができる効果があり、且つ操作スイッチを
押された都度測定値を表示すれば測定値の1y1続のお
それがなく、データを記録31に入力させる際には測定
させようとしたその時の測定値が記録されるため事後の
確認が容易となる効果がある。
スイッチ信号検出回路を設けた構成とすると、その信号
をタイミング信号として用いることにより校正作業を自
動化することができる効果があり、且つ操作スイッチを
押された都度測定値を表示すれば測定値の1y1続のお
それがなく、データを記録31に入力させる際には測定
させようとしたその時の測定値が記録されるため事後の
確認が容易となる効果がある。
第1図は本発明に係るプローブの第1の実施例を示す断
面図、第2図は同第2の実施例を示す回路図、第3図は
同第3の実施例を示す回路図、第4図は、第4の実施例
における切換スイッチの周辺を示す説明図、第5図は第
2、第3の実施例のスイッチ動作と自己校正、測定との
時間関係を示すタイミングチャート説明図である。 1・・・プローブ、2・・・電圧測定器、4・・接触子
、5・・・入力端子線、6・・・グランド接触端子、7
・・・アース端子、8・・・アース線、20・・・スイ
ッチ信号検出回路、20a・・・信号接点、S・・・切
換スイッチ、CO・・・コモン接点、NO・・・ノーマ
ルオープン接点、NC・・・ノーマルクローズ接点。 特許出願人 安立電気株式会社 代理人 弁理士 西 村 教 光
面図、第2図は同第2の実施例を示す回路図、第3図は
同第3の実施例を示す回路図、第4図は、第4の実施例
における切換スイッチの周辺を示す説明図、第5図は第
2、第3の実施例のスイッチ動作と自己校正、測定との
時間関係を示すタイミングチャート説明図である。 1・・・プローブ、2・・・電圧測定器、4・・接触子
、5・・・入力端子線、6・・・グランド接触端子、7
・・・アース端子、8・・・アース線、20・・・スイ
ッチ信号検出回路、20a・・・信号接点、S・・・切
換スイッチ、CO・・・コモン接点、NO・・・ノーマ
ルオープン接点、NC・・・ノーマルクローズ接点。 特許出願人 安立電気株式会社 代理人 弁理士 西 村 教 光
Claims (2)
- (1) 電圧測定器に接続されるプローブであって、
被測定体と接触される接触子と、被測定体のグランド電
位と接触されるグランド接触端子と、上記接触子と上記
電圧測定器との間を結ぶ入力端子線と、上記グランド接
触端子と電圧測定器内のアース端子との間を結ぶアース
線と、上記入力端子線の途中に設けられ、コモン接点が
電圧測定器側の入力端子線に接続されていると共に、ノ
ーマルクローズ接点とノーマルオープン接点の一方が上
記接触子側の入力端子線と接続され、他方が上記アース
線の一部と接続される切換スイッチと、を具備すること
を特徴とするプローブ。 - (2)電圧測定器に接続されるプローブであって、被測
定体と接触される接触子と、被測定体のグランド電位と
接触されるグランド接触端子と、上記接触子と上記電圧
測定器との間を結ぶ入力端子線と、上記グランド接触端
子と電圧測定器内のアース端子との間を結ぶアース線と
、上記入力端子線の途中に設けられ、コモン接点が電圧
測定器側の入力端子線に接続されていると共に、ノーマ
ルクローズ接点とノーマルオープン接点の一方が上記接
触子側の入力端子線と接続され、他方が上記アース線の
一部と接続される切換スイッチと、を具備しており、か
つ上記切換スイッチの切換状態を検出するスイッチ信号
検出回路の信号接点を具備することを特徴とするプロー
ブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18834481A JPS5890176A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | プロ−ブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18834481A JPS5890176A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | プロ−ブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5890176A true JPS5890176A (ja) | 1983-05-28 |
JPS6248194B2 JPS6248194B2 (ja) | 1987-10-13 |
Family
ID=16221969
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18834481A Granted JPS5890176A (ja) | 1981-11-26 | 1981-11-26 | プロ−ブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5890176A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6221065A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Koichi Yoshida | スプリング・コンタクト式プロ−ブ |
JPS62104165U (ja) * | 1985-12-19 | 1987-07-02 | ||
JPS6366470A (ja) * | 1986-04-07 | 1988-03-25 | テクトロニツクス・インコ−ポレイテツド | プロ−ブ装置 |
US7504837B2 (en) | 2004-03-26 | 2009-03-17 | Nec Corporation | Electrical characteristics measurement method and electrical characteristics measurement device |
JP2011052969A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置におけるz軸ユニットの配線引き回し構造 |
JP2013113822A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Hioki Ee Corp | 測定装置 |
JP2013120077A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Hioki Ee Corp | 測定装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5415657U (ja) * | 1977-07-01 | 1979-02-01 |
-
1981
- 1981-11-26 JP JP18834481A patent/JPS5890176A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5415657U (ja) * | 1977-07-01 | 1979-02-01 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6221065A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Koichi Yoshida | スプリング・コンタクト式プロ−ブ |
JPS62104165U (ja) * | 1985-12-19 | 1987-07-02 | ||
JPS6366470A (ja) * | 1986-04-07 | 1988-03-25 | テクトロニツクス・インコ−ポレイテツド | プロ−ブ装置 |
US7504837B2 (en) | 2004-03-26 | 2009-03-17 | Nec Corporation | Electrical characteristics measurement method and electrical characteristics measurement device |
JP2011052969A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Hioki Ee Corp | 基板検査装置におけるz軸ユニットの配線引き回し構造 |
JP2013113822A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Hioki Ee Corp | 測定装置 |
JP2013120077A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Hioki Ee Corp | 測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6248194B2 (ja) | 1987-10-13 |
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