JP2011052969A - 基板検査装置におけるz軸ユニットの配線引き回し構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X−Yユニットの可動部51に配設されるZ軸ユニット11を構成する基台部12側にスライドユニット23をZ軸方向への進退制御を可能に配置し、該スライドユニット22の移動方向にその接触端42aを向けて保持させたプローブ42から引き出されて基台部12側の外部出力用コネクタ49に接続される計測線45と、基台部12側とスライドユニット22との間を電気的に接続するアース線48とを備え、少なくとも計測線45は、プローブ42の移動時にも不動姿勢の維持を可能に二分割して配線され、プロービング時にのみ接点26aを閉じて相互を電気的に接続させるようにして断線を防止できるようにした。
【選択図】図1
Description
12 基台部
12a 水平片部
12b 垂下片部
13 支持板部
13a 一側面
13b 他側面
14 下側部
14a 下端面
15 上側部
16 モータ
16a 回転軸
16b モータ本体部
17 原車
18 従車
19 支軸
20 タイミングベルト
21 張り車
22 保持板部
23 スライドユニット
24 スライド本体部
25 一側スライド部
25a 接点
26 他側スライド部
26a 接点
27 プローブホルダ
28 連結固定片
29 アース側接続用プローブ
29a 接触端
30 計測側接続用プローブ
30a 接触端
32 ガイドレール
32a 一側部
32b 他側部
42 プローブ
42a 接触端
45 計測線
46 引出側計測線部
46a 一端部
46b 他端部
47 送出側計測線部
47a 一端部
47b 他端部b
48 アース線
48a 一端部
48b 他端部
49 外部出力用コネクタ
51 可動部
51a 一側面
P 被検査基板P
Claims (2)
- X−Yユニットが備える可動部に取り付けられる基台部側にスライドユニットをZ軸方向への進退制御を可能に配置し、該スライドユニットの移動方向にその接触端を向けて保持させたプローブから引き出されて前記基台部側に配設された外部出力用コネクタに接続される計測線と、前記基台部側と前記スライドユニットとの間を電気的に接続するアース線とを備えてなるZ軸ユニットであって、
少なくとも前記計測線は、前記プローブの移動時においても不動姿勢の維持を可能に二分割して配線され、前記プローブを被検査基板の検査ポイントに接触させた際にのみ接点を閉じて相互を電気的に接続させたことを特徴とする基板検査装置におけるZ軸ユニットの配線引き回し構造。 - 前記アース線は、前記プローブの移動時においても不動姿勢を維持させつつ、前記プローブを被検査基板の前記検査ポイントに接触させた際にのみ接点を閉じて前記基台部と前記スライドユニットとの間を電気的に接続させた請求項1に記載の基板検査装置におけるZ軸ユニットの配線引き回し構造。
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JP2009199242A JP2011052969A (ja) | 2009-08-31 | 2009-08-31 | 基板検査装置におけるz軸ユニットの配線引き回し構造 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2009
- 2009-08-31 JP JP2009199242A patent/JP2011052969A/ja active Pending
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