JPS5887439A - ブラウン管内部の真空度測定方法 - Google Patents

ブラウン管内部の真空度測定方法

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Publication number
JPS5887439A
JPS5887439A JP18523581A JP18523581A JPS5887439A JP S5887439 A JPS5887439 A JP S5887439A JP 18523581 A JP18523581 A JP 18523581A JP 18523581 A JP18523581 A JP 18523581A JP S5887439 A JPS5887439 A JP S5887439A
Authority
JP
Japan
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cathode
grid
ray tube
vacuum
degree
Prior art date
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Pending
Application number
JP18523581A
Other languages
English (en)
Inventor
Chutaro Hiraide
平出　忠太郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokuda Seisakusho Co Ltd
Original Assignee
Tokuda Seisakusho Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS5887439A publication Critical patent/JPS5887439A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L21/00—Vacuum gauges
    • G01L21/30—Vacuum gauges by making use of ionisation effects
    • G01L21/32—Vacuum gauges by making use of ionisation effects using electric discharge tubes with thermionic cathodes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 １）発明の技術分野 この発明はブラウン管内部の真空＆１１４定方法に関す
る。
２）従来技術 従来ブラウン管内部の真空度は、只Ｓ曽するだけであり
、これを測定する方法はなかった。そのため従来ブラウ
ン管の真否判定はブラウン管に実際に映ＩＩを写してみ
るしかなく、品質管理上開−となっていた。
３）発明の目的 本発明は上記した間勉点に艦みてなされたものでブラウ
ン管内部の真空ＦＩＬを測定する方法ｔ−提供しようと
するものである。
４）発明の構成 この目的のために、本発明はブラウン管電子銃ツカソー
トと任意の−の電極との間にエミッシミンＩＥＬ、この
工τツシ薦ンにより生じたイオンを他の電極に集め、こ
のイオン電流が真空度と相関関係にあることを利用して
ブラウン管内部の真空度を側ることを基本的な特徴とす
るものである。
５）発明の実施例 以下本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
、図示するようにブラウン管の電子銃には、カソードに
１第１グリツドＧ３、第２グリッドＧ、、第４グリツド
Ｇ６等の電極が入っている。このカッ−ＦＫと他の電極
との間に工業ツシ目ンを流す。
この実施例では第１グリッドＧ、に正電圧をかけ、第２
グリッドＧ、はカソードより負電圧にしておき、ヒータ
ｈｔ−加熱しカソードにとＩＫＩグリッドＧ、との間に
エミッションを流している。そしてエミッシヨンが気体
分子と衝突して生じたイオンを負電圧である第２グリッ
ドＧ、に集める。このイオン電流Ｉｔは真空度と相関関
係にあるから、これによりブラウン管内部の真空１１−
知ることができる。
なお、図中Ｉｅはエミッション電流、Ｐはプレートであ
る。
６）発明の変形例 上記した実施例の他に、第２グリツドＧ１に正電圧、第
１グリッドＧ、に負電圧をかけ、カソードと第２グリッ
ド間にエミッシヨンを流し、＠１グリッドＧ、からイオ
ン電流を測定しても良い。
また＃！２グリッドＧ、に正電圧、第４グリツドＧ４に
負電圧をかけ、ｇ２グリッドＧｌとカソードに間にエミ
ッションを流し、纂番グリッドＧ４からイオン電流を測
定することも可能である。
更に第１グリツドＧｌに正電圧、第４グリツドからイオ
ン電流を測定する方法、或いは第１グリツドＧｌ、第２
とリッドＧ、共に正（圧にし、カソードにと第２グリッ
ドＧ３間にエミッション全流し、ＩＮ４グリッドＧ４か
らイオン電流を測定する方法郷が可能である。
７）発明の詳細 な説明したように本発明によればブラウン管内部の真空
度を測定する事が可能となり、これによりブラウン管の
良否判定が行える効果がある。
Ｗ４島の簡単ａ−説明 図面は本発明方法の一実施例を説明するための回路図で
ある。
Ｋ・−カソード、Ｇ、−第１グリツド、Ｇ雪・・・第２
グリツドｓＧ４−第４グリツド、Ｈ・−ヒーター。
出願人代理人　　渚　股　　　　清

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. ブラウン管電子銃のカソードと任意の−の成極との間に
    エミッタ１ンを流し、該エミッシ薗ンにより生じたイオ
    ンを他の電極に集め、これにより真空ｆｔ−欄ろことを
    特徴とするブラウン管内部の真空度測定方法。
JP18523581A 1981-11-20 1981-11-20 ブラウン管内部の真空度測定方法 Pending JPS5887439A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60259924A (ja) * 1984-06-05 1985-12-23 Ryuichi Shimizu イオン源の真空度測定方法
KR100477450B1 (ko) * 2002-08-30 2005-03-23 재단법인 포항산업과학연구원 마이크로 프로세서를 이용한 소프트웨어 기반 진공이온펌프 컨트롤러 및 이를 이용한 진공도 측정방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5574038A (en) * 1978-11-29 1980-06-04 Hitachi Ltd Vacuum measuring device for picture tube

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5574038A (en) * 1978-11-29 1980-06-04 Hitachi Ltd Vacuum measuring device for picture tube

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60259924A (ja) * 1984-06-05 1985-12-23 Ryuichi Shimizu イオン源の真空度測定方法
JPH0585858B2 (ja) * 1984-06-05 1993-12-09 Ryuichi Shimizu
KR100477450B1 (ko) * 2002-08-30 2005-03-23 재단법인 포항산업과학연구원 마이크로 프로세서를 이용한 소프트웨어 기반 진공이온펌프 컨트롤러 및 이를 이용한 진공도 측정방법

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