JPS5883141U - 半導体拡散装置 - Google Patents
半導体拡散装置Info
- Publication number
- JPS5883141U JPS5883141U JP17870581U JP17870581U JPS5883141U JP S5883141 U JPS5883141 U JP S5883141U JP 17870581 U JP17870581 U JP 17870581U JP 17870581 U JP17870581 U JP 17870581U JP S5883141 U JPS5883141 U JP S5883141U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- semiconductor diffusion
- diffusion
- diffusion equipment
- resistant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、本考案の要部の上部よりみた長手方向の断面
図、第２図は同じく要部正断面図、第３図は第２図の■
−■矢視図である。 １・・・放出管、２・・・半導体、３・・・炉心管、４
・・・気体状拡散源供給管、５・・・炉心管キャップ、
６・・・接触部分。 ゛
図、第２図は同じく要部正断面図、第３図は第２図の■
−■矢視図である。 １・・・放出管、２・・・半導体、３・・・炉心管、４
・・・気体状拡散源供給管、５・・・炉心管キャップ、
６・・・接触部分。 ゛
Claims (1)
- 横型拡散炉心に挿入、設置された耐熱耐高、陽化学安定
性物質から成る炉心管内に、半導体装置し、気体状拡散
源を放出する半導体拡散炉に於いて、半導体装置領域ま
で、気体状拡散源放出口をもたらすように、前記炉心管
内に前記耐熱耐化学安定性物質の細管から成る放出管を
設置したことを特徴とする半導体拡散装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17870581U JPS5883141U (ja) | 1981-12-02 | 1981-12-02 | 半導体拡散装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17870581U JPS5883141U (ja) | 1981-12-02 | 1981-12-02 | 半導体拡散装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5883141U true JPS5883141U (ja) | 1983-06-06 |
| JPS626685Y2 JPS626685Y2 (ja) | 1987-02-16 |
Family
ID=29973743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17870581U Granted JPS5883141U (ja) | 1981-12-02 | 1981-12-02 | 半導体拡散装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5883141U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4944517U (ja) * | 1972-07-21 | 1974-04-19 | ||
| JPS5720142U (ja) * | 1980-07-09 | 1982-02-02 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5720142B2 (ja) * | 1973-11-13 | 1982-04-27 |
-
1981
- 1981-12-02 JP JP17870581U patent/JPS5883141U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4944517U (ja) * | 1972-07-21 | 1974-04-19 | ||
| JPS5720142U (ja) * | 1980-07-09 | 1982-02-02 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS626685Y2 (ja) | 1987-02-16 |
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