JPS5882137A - 圧力検出器 - Google Patents
圧力検出器Info
- Publication number
- JPS5882137A JPS5882137A JP17974281A JP17974281A JPS5882137A JP S5882137 A JPS5882137 A JP S5882137A JP 17974281 A JP17974281 A JP 17974281A JP 17974281 A JP17974281 A JP 17974281A JP S5882137 A JPS5882137 A JP S5882137A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- diaphragm
- conversion section
- single crystal
- strain
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/147—Details about the mounting of the sensor to support or covering means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は圧力検出器に係り、特に安定した検出性能が得
られるようにするのに好蓮な圧力検出器に関するもので
ある。
られるようにするのに好蓮な圧力検出器に関するもので
ある。
従来、金属や半導体などの材料を真空蒸着法やスパ゛ツ
タリング法などにより形成したひずみ抵抗素子を用いた
圧力検出器がよく使われている。
タリング法などにより形成したひずみ抵抗素子を用いた
圧力検出器がよく使われている。
この種圧力検出器においては、測定する圧力が加わ、る
受圧室と基準となる圧力を有する基準圧力室との間に隔
膜を設け、この隔膜上に薄膜のひずみ抵抗素子を形成し
て圧力変換部とし、受圧室に印加された圧力をひずみ抵
抗素子の抵抗値の変化として検出するようしである。
受圧室と基準となる圧力を有する基準圧力室との間に隔
膜を設け、この隔膜上に薄膜のひずみ抵抗素子を形成し
て圧力変換部とし、受圧室に印加された圧力をひずみ抵
抗素子の抵抗値の変化として検出するようしである。
上記原理に基づく圧力変換部を用いて圧力検出器を構成
する場合は、一般に測定圧力が印加される金属製の気密
の受圧室の壁面に圧力変換部を機械的に、かつ、気密的
に固定し、しかも、固定による残留歪が圧力変換素子に
及ぼさないようにし、さらに、ひずみ抵抗素子は隔膜か
ら電気的に絶縁しておく必要がある。
する場合は、一般に測定圧力が印加される金属製の気密
の受圧室の壁面に圧力変換部を機械的に、かつ、気密的
に固定し、しかも、固定による残留歪が圧力変換素子に
及ぼさないようにし、さらに、ひずみ抵抗素子は隔膜か
ら電気的に絶縁しておく必要がある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、感歪部を設けた半導体単結晶の隔膜上に絶縁膜を形
成し、前記感歪部の前記絶縁膜上に薄膜ひずみゲージを
固着してなる圧力変換部を備え、該圧力変換部の前記半
導体単結晶の隔膜をこれとほぼ等しい熱膨張係数の流体
導入穴を設けた部材に陽極接合して受圧室を形成しであ
ることを特徴とする圧力検出器。 ２、前記部材が硼珪酸ガラス製である特許請求の範囲第
１項記載の圧力検出器。 ３、前記絶縁膜上に前記半導体単結晶の隔膜と電気的に
導通した陽極接合用の電極を設けである特許請求の範囲
第１項または第２項記載の圧力検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17974281A JPS5882137A (ja) | 1981-11-11 | 1981-11-11 | 圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17974281A JPS5882137A (ja) | 1981-11-11 | 1981-11-11 | 圧力検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5882137A true JPS5882137A (ja) | 1983-05-17 |
Family
ID=16071067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17974281A Pending JPS5882137A (ja) | 1981-11-11 | 1981-11-11 | 圧力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5882137A (ja) |
-
1981
- 1981-11-11 JP JP17974281A patent/JPS5882137A/ja active Pending
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