JPS5881475A - 超音波洗浄器 - Google Patents
超音波洗浄器Info
- Publication number
- JPS5881475A JPS5881475A JP17997981A JP17997981A JPS5881475A JP S5881475 A JPS5881475 A JP S5881475A JP 17997981 A JP17997981 A JP 17997981A JP 17997981 A JP17997981 A JP 17997981A JP S5881475 A JPS5881475 A JP S5881475A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- cleaning
- cleaning liquid
- reflecting plate
- cleaned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は被洗浄物を超音波で洗浄する超音波洗浄器に関
する。
する。
一般に１従来知られている超音波洗浄器は洗浄槽の中に
洗浄用液を入れ、この洗浄用液中に被洗浄物を浸漬させ
ながら超音波を出射し、この超音波が引き起すキャビテ
ーションを利用して洗浄するものである。この場合、超
音波振動子は貯液槽の底壁部に固定的に設置されておシ
、また、洗浄中水位も一定である。したがって、洗浄中
に生じる定常波の状態は変らないため、その水深によシ
キャビテーションの強弱が定ま置をわざわざ変えてやら
なければならず、非常に面倒であった。
洗浄用液を入れ、この洗浄用液中に被洗浄物を浸漬させ
ながら超音波を出射し、この超音波が引き起すキャビテ
ーションを利用して洗浄するものである。この場合、超
音波振動子は貯液槽の底壁部に固定的に設置されておシ
、また、洗浄中水位も一定である。したがって、洗浄中
に生じる定常波の状態は変らないため、その水深によシ
キャビテーションの強弱が定ま置をわざわざ変えてやら
なければならず、非常に面倒であった。
本発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的
とするところは一回の洗浄中において洗浄むらをなくす
ようにした超音波洗浄器を提供することにある。
とするところは一回の洗浄中において洗浄むらをなくす
ようにした超音波洗浄器を提供することにある。
以下、本発明の一実施例を第１図にもとづいて説明する
。
。
図中１は洗浄−であシＪこの洗浄槽１は内壁層２と外壁
層３からなシ、その内部には水などの洗浄用液４が入れ
である。洗浄槽１の底部には排液口５が形成され、この
排液口５には排液チューブ６が接続されている。
層３からなシ、その内部には水などの洗浄用液４が入れ
である。洗浄槽１の底部には排液口５が形成され、この
排液口５には排液チューブ６が接続されている。
洗浄槽ｌの底部における内壁層２には複数の超音波振動
子７が埋設されていて、この超音波振動子７から洗浄用
液４中に超音波を出射するようになっている。また、上
記超音波振動子１に対向してその上方には円板状の反射
板８が水平に設置され、この反射板８は洗浄用液４の中
に浸漬させられている。
子７が埋設されていて、この超音波振動子７から洗浄用
液４中に超音波を出射するようになっている。また、上
記超音波振動子１に対向してその上方には円板状の反射
板８が水平に設置され、この反射板８は洗浄用液４の中
に浸漬させられている。
そして、反射板８は次に述べる反射板駆動装置９によシ
洗浄中上下方向へ振動させられるようになっている。す
なわち、反射板駆動装置９は、洗浄槽１の上縁部に支え
１１を介して中間部を枢着した揺動杆１−２を設け、と
の揺動杆１２の一端に、反射板８の支持杆１３の上端を
枢着してなり、さらに、揺ｉ杆１２の他端をクランク１
４を介してモータ１５によって駆動するようになりてい
る。また、揺動杆１２の他端部には長孔１６が形成され
、この長孔１６にはクランク１４０回動端に設けたピン
１７を挿入係止したものである。
洗浄中上下方向へ振動させられるようになっている。す
なわち、反射板駆動装置９は、洗浄槽１の上縁部に支え
１１を介して中間部を枢着した揺動杆１−２を設け、と
の揺動杆１２の一端に、反射板８の支持杆１３の上端を
枢着してなり、さらに、揺ｉ杆１２の他端をクランク１
４を介してモータ１５によって駆動するようになりてい
る。また、揺動杆１２の他端部には長孔１６が形成され
、この長孔１６にはクランク１４０回動端に設けたピン
１７を挿入係止したものである。
なお、上記反射板８は金属またはガラスによって形成さ
れている。
れている。
しかして、モータ１５を作動させることによ如クランク
１４が回転し、揺動杆１２は揺動するため、この揺動杆
１２に取り付けられた反射板８を上下に振動させること
ができる。
１４が回転し、揺動杆１２は揺動するため、この揺動杆
１２に取り付けられた反射板８を上下に振動させること
ができる。
そζで、洗浄する場合には、第１図で示すように洗浄槽
１の洗浄用液４中に被洗浄物１８を設置したのち、超音
波振動子１を励起するとともに、モ タ１５を作動させ
る。これによシ反射板８は洗浄用液４中において上下方
向にたとえば１０回／分以上の速さで移動する。また、
超音波振動子７から出射する超音波による圧力の波は反
射板８に反射され、その圧力波の腹も上下に移動する。
１の洗浄用液４中に被洗浄物１８を設置したのち、超音
波振動子１を励起するとともに、モ タ１５を作動させ
る。これによシ反射板８は洗浄用液４中において上下方
向にたとえば１０回／分以上の速さで移動する。また、
超音波振動子７から出射する超音波による圧力の波は反
射板８に反射され、その圧力波の腹も上下に移動する。
したがって、被洗浄物１８が定位置にあっても、全体的
に均一に洗浄される。
に均一に洗浄される。
つまシ、洗浄むらが起きない。
第２図は反射板駆動装置の肇形例を示すものである。す
なわち、これはモータ２１の出力軸２２に欠歯歯車２ｉ
を設けてなシ、この欠歯歯車２３の左右瞥位置するラッ
ク２４．２５を有した摺動枠２６が案内枠２７によって
上下方向８が取シ付けられている。
なわち、これはモータ２１の出力軸２２に欠歯歯車２ｉ
を設けてなシ、この欠歯歯車２３の左右瞥位置するラッ
ク２４．２５を有した摺動枠２６が案内枠２７によって
上下方向８が取シ付けられている。
しかして、モータ２１を作動して欠歯歯車２３を第２図
で示す実線矢印方向へ回転させれば、摺動枠２６の各ラ
ック２４．２１がその欠−歯車２３に交互にかみ合い係
合して摺動枠２６を上下に移動する。そして、反射板８
は摺動枠２６とともに上下に移動して前記実施例と同様
の動作を行なう。
で示す実線矢印方向へ回転させれば、摺動枠２６の各ラ
ック２４．２１がその欠−歯車２３に交互にかみ合い係
合して摺動枠２６を上下に移動する。そして、反射板８
は摺動枠２６とともに上下に移動して前記実施例と同様
の動作を行なう。
以上説明したように本発明は洗浄用液中において超音波
振動子に対向して反射板を設置するとともに、その反射
板を洗浄中夢動させるようにしたので、それに応゛じて
超音波による圧力波の腹も移動する。したがって、被洗
浄物が定位置にあっても全体的に均一に洗浄する仁とが
できる。
振動子に対向して反射板を設置するとともに、その反射
板を洗浄中夢動させるようにしたので、それに応゛じて
超音波による圧力波の腹も移動する。したがって、被洗
浄物が定位置にあっても全体的に均一に洗浄する仁とが
できる。
第１図は本発明の一実施例を示す概略的な正向断面図、
第２図は本発明の他の実施例を示す反射板駆動装置の構
成図である。 、１・・・洗浄槽、４・・・洗浄用液、７・・・超音波
振動子、８・・・反射板、９・・・反射板駆動装置、１
２・・・揺動杆、１４・・・クランク、１５・・・モー
タ、１６・・・長孔、１７・・・ピン、１８・・・被洗
浄物、２１・・・モータ、２２・・・出力軸、２３・・
・欠歯歯車、２４゜２５・・、う、り、２６・・・摺動
枠。
第２図は本発明の他の実施例を示す反射板駆動装置の構
成図である。 、１・・・洗浄槽、４・・・洗浄用液、７・・・超音波
振動子、８・・・反射板、９・・・反射板駆動装置、１
２・・・揺動杆、１４・・・クランク、１５・・・モー
タ、１６・・・長孔、１７・・・ピン、１８・・・被洗
浄物、２１・・・モータ、２２・・・出力軸、２３・・
・欠歯歯車、２４゜２５・・、う、り、２６・・・摺動
枠。
Claims (3)
- （１）被洗浄物を洗浄槽の洗浄用液中に浸漬し、超音波
振動子から洗浄用液中に超音波を出射して上記被洗浄物
を一音波洗浄する超音波洗浄器において、上記洗浄用液
中に浸漬するとともに超音波振動子に対向して設置され
る反射板と、この反射板を洗浄中移動させる反射板駆動
装置を具備した□ことを特徴とする超音波洗浄器。 - （２）上記反射板は金属製とし九ことを特徴とする特許
請求の範囲第１項に記載の超音波洗浄器。 - （３）上記反射板はガラス製としたことを特徴とする特
許請求の範囲第１項に記載の超音波洗浄器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17997981A JPS5881475A (ja) | 1981-11-10 | 1981-11-10 | 超音波洗浄器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17997981A JPS5881475A (ja) | 1981-11-10 | 1981-11-10 | 超音波洗浄器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5881475A true JPS5881475A (ja) | 1983-05-16 |
Family
ID=16075326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17997981A Pending JPS5881475A (ja) | 1981-11-10 | 1981-11-10 | 超音波洗浄器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5881475A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6366366A (ja) * | 1986-09-02 | 1988-03-25 | 中小企業事業団 | 布帛の連続洗浄装置 |
| JPH02130553A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Hitachi Ltd | フォトレジストの除去方法および装置 |
-
1981
- 1981-11-10 JP JP17997981A patent/JPS5881475A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6366366A (ja) * | 1986-09-02 | 1988-03-25 | 中小企業事業団 | 布帛の連続洗浄装置 |
| JPH02130553A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-18 | Hitachi Ltd | フォトレジストの除去方法および装置 |
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