JPS5880607A - 焦点検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 重置＠Ｆｉ像変位検出装置に係る。ζＯ懺置紘、結像光
学系の焦点買近傍における光像パターンの変位の量と方
向のいずれかまたは双方な光電的に量子化して検出する
。

ζ０＠０＠変位検出義置紘例えばｌｌ１ｌ距装置に応用
される。そＯＩｌ距懺置装１ＤＪ’１０例としては、基
線長側石方式がある。ζＯ方式では例えは、カメラにお
ｉで撮影レンズとは異なる２りの測距用光学系Ｏ細像藺
近傍に２りＯ光電変換素子アレイを設け、両アレイ上に
結像した被写体の光像０パタ一ンＯ相対的変位を検出し
、その変位に基づ−て被写体距離な摺電する。この場合
０両７レイ上の光像の変位を光電的に検出するのに像変
位検出装置が用いられる。

ま九、別の測距方法の例としてＴＴＬ方式であ〉、この
方式で紘撮影しンズＯ異なる瞳部分を通過した光束によ
る像を１対Ｏ光電変換素子７レイ上に結像させ、その両
７レイ上の光＠０相対的変位によって被写体距離を求め
る。ζＯ方法の例としては、特開１３才５１−８７２２
２号、特１１１Ｂ５４−１０４８５９号、および米ｆｆ
ｌ特許、？４１８５１９１号に開示のものがある。この
方法にお−て、両７レイ上Ｏ光像Ｏ変位を光電的に検出
する０にも像変位　・検出装置を用％Ａ＄ことかで龜る
。

このような像変位検出装置において、光電変換素子７レ
イの光電出力には、ｆｆｉ想的に被写体輝度分布による
成分に、更にその他１０ｇ４差成分が混入すゐ場合があ
る。この娯差成分紘空間的にゆるやかに変動するいわゆ
る低空間周波数成分等である。従りて、光電変換素子７
レイの光電出力をそのまま用−て像変位を検出すると、
その検出精度は低下する。

この検出精度の低下を防止する方法として光電変換素子
アレイに含まれる各光電変換素子の隣接する素子間の光
電出力の差分を演算し、その差分に基づｉて像変位を検
出する方法が考えられる。この方法によやと、前記の低
９間周波数成分が除去され成る程度は像変位検出の精度
が上がる。

しかしながら、この方法による光電出力の差分にはまだ
過渡的に変動する成分がむしろ強調された形で混入し、
この差分による出カバターンは光像の変位に対応してな
めらかに変位しない、し九がうて、像変位にりいて充分
に高ｉ検出精度を与えることがで龜なｉとｉう問題が残
る。

本発明は、このような低空間周波数成分による誤差を完
全に除去し、更に光像の変位になめらかに対応して変位
する光電出力を与えそれによって高い精度の像変位検出
装置を提供することを目的とする。そのために本発明に
よる像変位検出装置では、光電変換素子アレイにおいて
−ク以上の光電変換素子をはさんで隣接する２りＯ光電
素子間Ｏ出力の差分を演算し、その差分に基づいて像変
位を検出します。

最初に、光電変換素子アレイの光電出力をそのまま用ｖ
′ｈｆｉ−場合にクーての−、低空間周波数成分による
影響にりいてａ＠すゐ。

矛１図はカメラの測距装置に用ｉられる臘の像検出＠置
の概略を示す。

フィールドレンズ１を通過した被写体光は瞳分割され、
集光レンズ２，３によりて矛１次焦点面上Ｏ空中像七光
電変換素子７レイ４゜５上に再鰯像される。レンズ２．
Ｂは各々絞！？６．７を備える。

、？１ｅＫ、焦点面近傍に設けられ九フィールドレンス
１は前記絞シロ、７が撮影レンズの瞳位置８に共役にな
るように曲率をもたせている。仁のような条件によシ撮
影レンズの射出瞳が８近傍にある場合に紘結像光束をケ
ルことが全く無いので、両７レイ４．５上の像は重々９
合う。この両アレイ４および５上に結像される両党像パ
ターンを牙２図（ａ）　、　（ｂ）で示す。この両パタ
ーン間の変位が検出ナベ龜像変位である。

とζろが、撮影レンズを交換する仁とによｐｌ例えば射
出瞳８の位置が９の位置に来ると、牙１図に示すように
、光束によってはその一部（斜一部）がケラれるｉ′わ
ゆるケラレ効果のために７レイ４上の強度は（ハ）”側
で低下し、アレイ５の上では反対側（イ）”０＠ｑ）強
度が低下する。このための光電変換素子アレィ４．５の
充電出力中には才２　ＩＩ　Ｃ＠）　、　（ｄ）で示す
低空間周波数成分が混入し、その結果光電変換素子アレ
イ４．５０光電出力は矛２図（・）　、　（ｆ）に示す
ように１全く重ならな１異なりたパターンとなりてしま
い、両パターン間の変位を検出すること拡困離になる。

このようなケラレ効果等による低空間周波数成分の影譬
にクーて、以下ＫＩＫ詳細に説明する。

１６図（暑）は、光電変換素子アレイ４または５上に結
像した光像の強度分布を示す。もし、低９間周波数成分
が混入しなければ、才４図（暑）に示すような均一に１
のフィルタ効果が働龜１．ＩＦｓ図（ａ）に示す結像パ
ターンがそのｔ家、光電変換素子アレイ４において各充
電変換素子層、〜畠。から光電出力ｆ１〜ｆ　として出
力される。しかしながら、前記に示したように、ケラレ
効果等によ〕、低空間周波数成分が混入すると、ｊＩ１
４図（ｂ）のｇ（ｔ）Ｏような不均一なフィルタが働き
、その結果、一方０７レイ４０″ｊｔ、電出カバターン
はｆ　（ｔ）　Ｘ　ｇ、（ｔ）となル、矛５図（すＱ実
線で示すよう一変化する。（点線は光像パターンの強度
分布を示す。）。したがって、一方のアレイ４上の光電
出カバターンは他方の７レイｓ上の光電出カバターン（
不図示）とは全く重ならなくなｐ％このため両者の相対
的変位を検出することが国難になる。

才４図（＠）は、検出光学系壁面の１１ｋ乱その他の原
因により加算的に働ら〈誤差成分を示し丸ものである。

このような成分が存在すると龜、光電変換素子アレイ４
．５の充電出力唸、牙３図（Ｃ）の実線で示すｆ　（ｘ
）　＋　ｇ、（ｘ　）のようになる。このような場合に
も、誤差成分の大きさは、一般に両アレイ４，５につい
て異なるので、両アレイ４．５の光電出カバターンが非
対称となり重ならなくなり、両パターン間の相対的変位
の検出が困離になる。

次に、この７レイ４．５の出カバターンから低次！間周
波数成分を除去するために、７レイ４．５上にお−で隣
接する光電変換素子の出力差分を用−ゐ方ｆｆ１Ｋりｉ
て説明し、併せて本発明に従って、７レイ上で１り以上
Ｏ光電変換素子をはさんで並置すゐ光電変換素子間Ｏ出
力差分を用−ゐ方法にクーて比較して説明する。

尚、以上において言及した１出力差分０とは、通常の出
力差分すなわち光電賓換素子Ｏ光電出力をそのまま用ｉ
て演算し九七〇出力差のみを意味するもＯではない、こ
の′″出力差分“は光電変換素子出力を対数圧細し、そ
の対数−線出力間の差分を演算した出力差を後者の一分
出力は、前者Ｏ差分出力と？対照にｓＰ％Ａで、むしろ
“出力比″七表現した方がよｐ明確Ｋｆｆｉ解できると
思われゐ、したがりて、以下におｉて前者を単Ｋ”差分
出力”、門者を”出力比“と表現することとする。

まず、ケラレ効果によｐ１才４　＠　（ｂ）　ｔ）よう
に片側が（１−））、反対側が（１−１−６］ −）であるような遥Ａ！ｌｌｌ＆を有するフィルターが
かかりた場合を考える。

２ｓ−の光電変換素子７レイ４の鵬１ＩＩｉｉの光電変
換素子の出力を！、と、して、童ずｉＩ績差の演算を行
なわずにそのままの１を号を利用する場合にりいて考え
る。誤差を金型な一場会の信号（原信号）をム、とする
とム。ｍｌ。

であル、また矛４１１Ｉ（ｂ）のフィルター効果による
誤差を含んだ信号をＢ、とすれば、Ｂ、＝ｆＸ（１−（
〕十−一））である、ｌ！うて！Ｉ　　　　　　　　　
　　　　　Ｎ この場合のム、に対すゐＢ、の誤滌Ｏ大龜さはｌノ＋−
Ｊｊである。次にＰ儒隣りＯ光電変換素子間Ｏ光電出力
の比をとりで比較する゛“−”、Ａ　ａ、、：：：：、
ｏ：：：：：Ｐ”　：’＠＋Ｐ　　　Ａ　　　　　　　
　　　　　　ＩＳＢ’＝（ｆ　　Ｘ（１−（］＋−＃）
））／６　　　　ｎ＋Ｐ　　　　　　　　　Ｎ（ｔ、ｘ
　（１−（ａ＋ｌ−ａ　）））　　’；；：　　ｔ、＋
、／？ ｆ、　Ｘ　（１−−ｙ−Ｐ　）でる〉ム、に対するＢ。

０ｗ４量の大暑さはｌ’ｌｌｉ’Ｉでゐゐ。　ζ０よう
に両者の場合に関してそれぞれ原信号とＩＫ趙を會む信
号の違１／＆Ｏ撫嵐を比べてみれは、一般Ｋｌ’の小域
いとζ６では１〉１ノ＋−！−ａ　ｔ　〉ＰＪ、なので
、近接する出力（Ｐ菖１，２゜１丁 ｌ５）０比をとった場合には、誤差を含む信号ＢＰも原
信号ム　Ｋ＃ｔとんど等しくなって−する。すなわち、
１ｔＬＳする光電変換素子Ｏ出力の比をとることで１．
ｉｔ’　４　ｍ　（ｂ）滲Ｏ趣應装置フイルターがかか
り九場会に対して紘、ＪＫ４ｍａｙ４蕪を相殺で龜るこ
とがわかる。この例では、近縁する光電変換素子Ｏ比を
とるとｉう一般論七巡ぺ九が、価述Ｏ鳳自によシＨａ出
力比よ）１りお龜の＃１力の比、２りお龜Ｏ出力ｏ＃：
、ｏ方が像の動電が滑らかなＯでよ）遍蟲である。　　
　　　　　□”□ 卑−〇像変位検出装置では、演算をそのまま貴行すゐこ
と拡困−なＯで、対数化して引算を行なえによｉ、すな
わち、 ４ｍ（ｆＸ（１−ノー−！−ａ＞　） 暑　　　　　　　　　　Ｎ ；Ｉｎ　（’ａ＋Ｐ’　ｆ、　Ｘ　（１−Ｌり　）次に
、才４図（ｅ）のように、片ｌＩＩが４゜、反対側がｊ
、＋Ｊ、　　なる誤差成分が、本来の信号（才１図（暑
））に加算されてｉる場合を考える。。この場合は原信
号人、ｍｌ、に対しテｌＡ門’ｒＨ４’ｊＢ　　ｓａ　
ｆ、　　＋　（ｉ。十−一。）Ｍ　　　　　　　　　　
　　　ｎ となシ、Ｐ個隣シとの差を原信号とすれば、ム、　”　
’ｓ＋Ｐ　−ｆａ　＊　それに対応する鵬差信１’　　
　　　　　　　　　　　　　ｔｓ＋Ｐ号はＢ１ニー十、
＋（）。＋］こ−・）’−’ｆ、”（ｊ＠　＋−ａｍ　
）　＝　’ｓ＋１−　ｆｊ１＋□となＮ　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　Ｈる。両者の場合に関してそ
れ着れ原信号と誤差を含む信号を比べてみる０才５図（
ａ３ＫＪＫ信号ム　ｇ＝ｆ　　のパターンが、才５図（
ｂ）に膳　　　　　　易 隣ＩＩｋ！１１出カム＠　−’ｓ＊＋ｌ−’ａオＩＩＩ
（・）に装置ｆ！ＡＫｉ！りて１ク一−Ｏ羞出幾分少々
ｉが、オーダー的にはム、４ム二もあｐ、この場合にも
差出力に関して比べることによりて誤差成分をかな〕除
去で龜ゐことがわかる・ 以上ＩＦ＃殊な具体例を用ｉてａ＠を行なう九が、一般
に原信号に、低空間周波数成分の誤差が含まれる場合に
は、黴分相蟲Ｏ演算（この例では、差分量たは対数４俵
の差分）により低空関周ｔＩＬａ成分を除去すゐことで
誤差Ｏ小さ一情報を慢ることが可能である。

ところが、この差分演算が低空関周ｗＬ数成分除去の手
段として大−に有効であうでも、前記のような隣撫差分
（場合によりて紘対数鳳自によ如、あま）適切ではなｉ
０本発明で紘、一つ以上の光電変換素子をはさんで並置
した光電変換素子間０ＩＩｉ分出力をとることによシ、
低９間周波数成分を除去して、よｐ高−精度の像変位検
出を行なう。

像位置変位検出には、隣接する光電変換素子間の差分演
算はあまシ適切ではなく、１りおきの光電変換素子に関
する差分（または対数化後の差分）が遣蟲であることの
ｌ！明を１６図１．？７図１．オ８図、１９図を用−て
行なう。？６図およびオフ図は、光電変換素子幅−の光
電変換素子７レイ４の上に１／２ｄの周波数の強度分布
を有するパターン１０が投影された場合を示して−ゐ。

、？７図（−）の１１〜１ｓは、このようなパターンが
少しづつ光電変換素子７し４４に対して変位した一場会
を−／ 示しており、矛７１１　（ｂ）は各充電変換素子出出ａ
、〜ａ、が像パターンの移動１７−１５に対応して変化
する様子を示してｉる。また、オフ図（１）紘隣接出力
１１ｂ　膳−１＋、−蟲、烏 、オフ図（４）は１りお龜Ｏ出力！１＠、ａａａ、＋。

−ａ、Ｏ変化の様子を示したもの′ｅある。これから’
Ｆｌｊｋ　如、２７　ａｌｌ　（ｂ）　、　（＊）　ｔ
）場合に紘、ζＯ！２！間周波数の儂パターンの移動に
対して光電出力およびＩＩＩＭＩ１分出カバターンは振
幅を変えるだけで、それらの出カバターンの変位から結
像パターンの変位を絖みとゐことはで自なｉ、オフ図（
−）の場合は出力が変化せず、従ってこの態量周波数成
分を完全に除去することがで龜る。、１ｐｅｍｌ（ａ）
は少し周期の長い（！関周期長４ｓ１）像パターンが２
１〜２ｓとその位置を変見丸場合を示してｉる。

、１’８１１（ｂ）、（ζ）、（ｄ）はそれぞれ７レイ
４の西電出力ら、隣接差分出力す、、１りおき差分出力
−のパターンを示したもの′ｃＴ。

ｐ％嵐〈みると判るように、像変位！！１〜２ｓに対応
して−ａ　、ｂ　ａ　ｓ　　ｃ、の各パターンも同一方
向にその位相を変化させておシ、逆に畠、＊丸線す、ま
た紘ｅ、の位相０変位を調べることによル像の変位を知
ることが可能である。次に、矛９　Ｈ（ａ）ＯＳ１〜５
５．のような像パターン（９間周期長が２ｄＯものと４
４のものとの合成パターン）の変位の場合を脚ぺてみる
と、光電出力ａｍ　　（才？１１１（ｂ））およびｌｆ
Ｍ分出力ｂ　　（Ｊ’９図（＊））ａ像膳 変位に伴なう出カバターンの動きが滑らかでなｉが、（
ｊ１〜５墨までほとんど動かず！４〜５５で急に変化す
る）、１／）おＩＩＫ並置した光電変換素子の出力差の
出力ａ　ｍ　（矛９図（ｄ））は位相が比較的滑らかに
移動しておル、これから像パターンの変位を比較的ｎ度
良く演算することが可能である。このように出カバター
ンの動きが滑らかでなくなるのは、像の中に含まれる空
間周波数が１／２ｄよシも高い成分の存在によるのであ
る。矛１０図は光電変換素子の間隔がｄ（Ｑ光電変換素
子７レイ４を示したものであ珈、素子Ｏ関ｍが小さい場
合には、解像力を表わすＭ’ｌ’Ｆａ嵩子の感度分布に
よ）幾分＾なるが、概略、才１１図のごとくなる。こむ
で墾関周波数が２６よｐ大１１％Ａとζろの情報（％／
％わ−ゐナイ中スト編界以上０ｊＩｌ波数に相幽する）
は、ＩＩＯ移動に伴なう出力の滑らかな移動を呻ける作
用を持ってｉる。ところで、隣豪葺を計算することは、
１１２Ｍ（１）の夷ＩｉＡの示すよう／＆！関周掖数液
関する情報を主に抽出することに相蟲し１　ｏ成分を多
く含むＯで像Ｏ＄１ｌｊＫ伴なうｄ 出力Ｏなめらかな移動が妨けられる場合が多い、一方、
１つお龜Ｏ差を計算する場合には、１２１１（ｂ）ｇＤ
ように−７７の！間周波数成分を中心に抽出することに
相幽し、不都合な振舞いをする土以上の！２！間周波数
成分の抽出効率が低−ので、結果として、この場合には
像の移動に伴なう出カバターンＯ比軟的なめらかな移＃
が得られる。２りお龜ＯＩ１分を針Ｏ！１間周技数成分
を主に抽出しているので、この成分に関して線出力のな
めらかな移動がとになる。要約すゐと、光電出力の差分
を行なうことでｗＡｍの多い低次空間周波数成分を除去
し、かつ像の移動に対応して滑らかに移動する出カバタ
ーンを得るためには、１りお龜の差分をとることが最も
好まし−と考えられる。

次に、本発明の実施例についてＩ！明する。

才１３図はリアルタイム並列演算の場合であシ、光電変
換素子７レイ４の出力はバッファアンプ〉、〜ｂ１に導
かれる。この場合、帰還回路Ｃ８〜Ｃｆｉとしては通准
抵抗やダイオード（ｌｏｇ変換するとき）等が用ｉられ
る。

バッフ７７ンブｂ、〜ｂユの出力は、差動回路ｄ１　〜
ｄ、によシ１′：）おきの光電変換素子出力に関して差
動演算が行なわれる。この後の像変位検出のための演算
法に−しては、矛１４　＠Ｏようにフーリエ変ＩＩＩ＆
俵の位相を比砿してもよＩＡＬ　（４１１１１１Ｊ５４
−１０４１８９号）。

才ＩＳＥのように相関演算を行なりてもよ−（４ＩＮ！
Ｉｌｉ才Ｂ４−８１２２２号）。

光電変換素子ルイ４からの出力が時系列化して出てくる
場合には才１４Ｅのどと〈遥ｇｍ路５５，５４．ｓ７お
よび差動回路ｓ８を用−て、１りおｉて餉Ｏ出力とＯ差
動演算を行なえはよい。そのような例を１１７図、才１
９図に示す。、？１７図におｉて、一定Ｏ蓄横時間の後
に、光電変換素子７レイ４．ＳＯ光電出力による電荷は
シフトパルスによ〕００Ｄ転送部４０に送られ、そＯ電
荷は順次転送されて、ＯＯＤ転送部の端に設けられ先端
子付転送部６１に送られて、差動回路５Ｉによ〕１りお
きの光電変換素子出力に関する差分演算が行なわれ、そ
の出力がム／Ｄ＊＊部６’６によってディジタル信号に
変換され冑位演算部６４に入力される。尚、演算部６４
は記憶素子を偏見、この記憶素子は最初に演算部６４に
送られて！九７レイ５の光電出力による信号を一時記憶
する。次に、７レイ４０光電出力による信号が演算部４
４に送られこの７レイ４の信号と一時記憶されたルイＳ
ｏ儒号とについて両信号が演算鵡塩され、７レイ４およ
び５上の光像間の変位が検出される。端子対００Ｄ転送
部６２０様子を、１′１８図に示す。このＯＯＤ転送部
６ｏは５相のクロックで動作する０才１７図５の光電素
子７レイからの出力−、〜ａ　および４の光電素子７レ
イからの出力す、〜ｂＮは順次端子付ＯｑＤ転送部６１
Ｋａ１〜リ　ｂ１〜ｂＮ。

願に転送される。この端子対００Ｄ転送部はＪ’１８図
のように位相φ、でＰｉｓ　ｅ　Ｐｇ□？　’３１１Ｐ
、、のゲートが、また位相φ２でゲートＰ、１゜Ｐｏｅ
　’＄１が、位相φ、でゲー”　１１　＃　’ｆｆ１ｓ
　１Ｐｓｓが駆動されている。１つおｉ九充電変換素子
に関する情報電荷な絖み出すために、閏に１Ｒ分の転送
Ｒ（Ｐ、、〜Ｐ２．）をあけて、’ｌｊと’ｓｓをフロ
ーテ（イングゲート構成となし、この段に入りた電荷量
に応じてバッフ７アンプ６５．６４のゲート電位をコン
トロールする。バ・ツ７７７ンプ４５．４４０出力電位
は差動７ンプ５６によ〜シ葺動演算され、ＯＯＤの転送
とと−に、１りお龜の差出力が差動７ンブ５８の出力に
翼われゐことになる。

、ｌ’Ｉ　ＰＨはデジタル的に１りお龜Ｏ差分０演算を
行なう場合であシ、充電変換素子４゜５からは時系列化
され九光電出力が交互に、ム／Ｄ便換部６５に転送され
る０例見ば、８１１１１＼ にム／Ｄ変換された７レイ４　、　ｒｓＯ光電出力によ
る信号は、シフトパルスによｊ）　８　ｂｉｔシフトレ
ジスター７０に転送され、ム／Ｄ＊換部６ｓは次の信号
のム／Ｄ変換を開始する。

シフトレジスター７０からはＬ　８１　ｂｉｔか−も順
次８　ｋｌ電信号が次＊０ＩＩｂｉｔシフトレジスター
７１に転送され、さらに、次Ｏ各８ｂＪｔシフトレジス
ター７２．７５．７４へと順次転送される。この場合、
２りの７レイ４．ＳからＯ出力を交互に一！ンプルして
ｖｈるので、一方の７レイ４．Ｓ０１つお龜の光電変換
素子出力は、シフトレジスター７０〜７４で５ｄａｔａ
　分間をおいて格納されていることになる。し九がって
、シフトレジスター７ｏおよびシフトレジスター７４か
ら順次Ｌ８Ｂから転送される信号を減算部７５によｐ差
動演算を行なうことによシ、一方の光電変換素子７レイ
４上で１つ関をおいた光電変換素子に関する差出力を両
方０７レイ４．５に関して交互に得ゐことがで−る。こ
のようにして得られ九１りお電層０出カバターンは演算
部６４によシ、その変位の量と方向の一方まえは双方が
演算される。

以上のように、本発明の像変位検出装置によると、滑ら
かな像変位検出出力が得られるＯで、検出Ｓ度を着るし
く向上させることかで龜る。

４ｗＪ面の簡単なａｎ 矛１１！！ｌｌは、像変位検出装置を側石装置に応用し
丸場合の概略を説明する図、 矛２図は、：＃Ｐ１図示の＠置の出力を示す閣１．？墨
図なめし才５図、オフ図なｉし矛９図。

才１１図および才１２！１１は、像変位検出の信号を示
す図、 ：Ｊ−６図および才１０図は、光電変換素子７レイを示
す図、 才１Ｓ図ないし矛１９図は、本発明の実施例Ｏ像変位検
出装置を′示す図である。

（主要部分の符号Ｏａ＠） 結像光学系　−”−−＝−−−−一−−−１、２，１光
電変換手段　、−＋−＋−＋−−−−−−＋＋−−−−
＄４−・−−−−４，８光電賓換素子　−−−−−−−
−−−−−−−’　ａ□ｍ　Ｊ＠１’５ｅａｓｅ＊ａ＊
　＠ｙ１差分演算手段　−−−−一−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−１，１変位検出手段　
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−＝　　４４光電変換素子−−−一一一−−−−
−−−−−・　―８．蟲ｇ　＊−−−−＊−＊　ａ＠光
電吹換素子７レイ　−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−一−−４，＠、／ｌ−１ α１α１１１３α４１１５ａ６σＰｒａ図 １香１灸か４３４も５仇剖ＣＩＣ２Ｃ３ムＣ５Ｃｔ；　
　　　−矛ｃ８．ｅ オｑ図 ａｔ　（ｌｚ　Ｏｓ　Ｏ４σ５αＧ勿（招 ハ　も各２もｒｌｊａ移５各ｓ４ｑ・ＣＩ　Ｃ２Ｃ３Ｃ
ａ　ＯｔＣｃ、ｔ′１０図 、／′１″′１２図 （α）　　　　　　　　（４）　　　　　　　　（ｃ）
第１４図　　　、 不１５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｔｍ像光学系Ｏ焦点面近傍ＫＭけられ九複数の光電変換
   素子から成る光電変換手段、前記光電変換素子を１２以
   上関にはさんで並置し九２りの前記光電変換素子間の出
   力の差分を演算し出力する差分演算手段、及び前記差分
   出力に基づ龜、―記光電東換手段上Ｏ像の変位の量と方
   向の少なくとも一方を検出する変位検出手段を偏見えこ
   とを特徴とする像変位検出装置。 ｉ　畳＃Ｖ−請求の範−才１項に記載Ｏ像変位検出装置
   にお−て、 ｍＩｅｌｌ１分演算手段紘餉記光電麦換素子を１つ関に
   紘さんで並置し丸！りＯ＃Ｉ記光電変換素子閏の光電出
   力の差分を演算し、出力すゐことをＩｌ＃黴と會る儂変
   位検出＃＆雪。 ！Ｌ　特許請求の＠Ｉ１才１項に記載の像変位検出装置
   Ｋｊｐｈで、 前記光電変換手段は、それぞれ―記焦点爾近傍の異なり
   た位置にある才１の光電変換素子７レイおよび、？２０
   光電変換素子７レイを含み、 前記差分演算手段は前記才１の光電変換素子７レイから
   才１葺分出力を前記矛２の光電変換手段７レイかｂ才２
   差分出力を得、鋳記変位検出手段紘、前記矛１差分出力
   と前起才２差分出力とに基づ龜才１およ′び矛２の光電
   変換素子７レイ上ＫＩＩＩ像した像間Ｏ相対的−位の量
   と方向との少なくとも一方を検出することを脣黴とする
   像変位検出装置。