JPS5872157U - イオン応用熱処理炉 - Google Patents

イオン応用熱処理炉

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JPS5872157U
JPS5872157U JP3093082U JP3093082U JPS5872157U JP S5872157 U JPS5872157 U JP S5872157U JP 3093082 U JP3093082 U JP 3093082U JP 3093082 U JP3093082 U JP 3093082U JP S5872157 U JPS5872157 U JP S5872157U
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JP
Japan
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heat treatment
treatment furnace
applied heat
ion
ion applied
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JP3093082U
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JPS623385Y2 (ja
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良治 藤野
治夫 中村
進 森川
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株式会社島津製作所
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Publication date
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  • Furnace Details (AREA)
  • Discharge Heating (AREA)
  • Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案にかかる一実施例を示し、第1図はイオン
応用熱処理炉の構造と制御装置の結線を示す構成図、第
2図は操炉サイクルの一例を示すグラフである。 11・・・・・・炉本体、12・・・・・・冷却水路、
13・・・・・・被処理物、14・・・・・・架台(陰
極)、15・・・・・・輻射防熱板、16・・・・・・
ヒータ(陽極)、17・・・・・・攪拌機、18・・・
・・・熱電対、19・・・・・・モータ、20・・・・
・・導入管、21・・・・・・排気管、22・・・・・
・排気ポンプ、23・・・・・・温度制御器、24・・
・・・・操作器、25・・・・・・制御装置、26・・
・・・・安定器、27・・・・・・整流器、28.29
・・・・・・変圧器、30・・・・・・電流制御器、3
1.32,33,34,35,36,37゜38・・・
・・・スイッチ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 所定圧力の所定ガス雰囲気中で電極間に所定電圧を印加
    することによりグロー放電を起こして被処理物の表面処
    理を行なうイオン応用熱処理炉において、上記グロー放
    電用の一方の電極を兼ねる、被処理物を加熱するための
    発熱手段と、炉本体内のガスを強制循環させる攪拌手段
    とを備えたことを特徴とするイオン応用熱処理炉。
JP3093082U 1982-03-04 1982-03-04 イオン応用熱処理炉 Granted JPS5872157U (ja)

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JP3093082U JPS5872157U (ja) 1982-03-04 1982-03-04 イオン応用熱処理炉

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JP3093082U JPS5872157U (ja) 1982-03-04 1982-03-04 イオン応用熱処理炉

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Publication Number Publication Date
JPS5872157U true JPS5872157U (ja) 1983-05-16
JPS623385Y2 JPS623385Y2 (ja) 1987-01-26

Family

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JPS623385Y2 (ja) 1987-01-26

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