JPS5871709A - 振動子 - Google Patents

振動子

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Publication number
JPS5871709A
JPS5871709A JP17113281A JP17113281A JPS5871709A JP S5871709 A JPS5871709 A JP S5871709A JP 17113281 A JP17113281 A JP 17113281A JP 17113281 A JP17113281 A JP 17113281A JP S5871709 A JPS5871709 A JP S5871709A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrator
oscillator
oscillations
parts
thickness direction
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17113281A
Other languages
English (en)
Inventor
Kunihiro Takahashi
邦博 高橋
Hirochika Sato
弘親 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP17113281A priority Critical patent/JPS5871709A/ja
Publication of JPS5871709A publication Critical patent/JPS5871709A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders; Supports
    • H03H9/0504—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices
    • H03H9/0514—Holders; Supports for bulk acoustic wave devices consisting of mounting pads or bumps

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は振動子の形状に関するものでＴｏ々。
第１図は愚動子勿容器に封入した状態を示している。１
１は振切子、１２と１５は励畿電極への電気的導通【兼
ねた支持材、１４は振動子ｔその中に封入する容器【表
わ丁０ 振動子の壺動が支持材１２と１５７介して容器１４に伝
わる（以後、この現象を振動モレと呼ぶ］ｍ会、その重
が大きいと倣動子１１０局波数温度丑性や筒波数経時変
化に多大な悪影響を与える事が矧ら几ている。
振動子１１の利用する＃Ｒ１＠の主要な変位方向か振動
子の厚み方向にある振動子を考える。例として、厚みた
て振動、厚み屈曲振動、捩ｎ畿動等七利用する振動子か
挙げら’ｒＬ　４　ｏ利用する壺動の主４！Ｌな変位方
向が振動子の厚み方向ＫＴｏる振動子を第１図に示す構
造で容器に封入した場合、ｔ！動子１１の厚み方向の叢
位は少しも緩衝さｎる拳な（、［Ｅ［ｃｆｆｌ、＊材１
２　ト１３　Ｋ伝ワ４．そ）結果、振動モレは大きく、
Ｍ５波数温ｆ％性や周波数経時変化を性の安定な振動子
は得られない大きな欠点上付ってし暑う。本発明は、第
１図の構造が持つ従来の欠点を改善し、利用する機動の
主要な変位方向が厚み方向にある振動子の振動モレを小
さくし、安定な周ｆ数ＹＭｌｆ特性と周波数経時変化特
性を持つ振動子を提供する事を目的とするものである０
以下、図面荀参照し、本発明の詳細ｔ−ａ＃４する０第
２図に本発明の一実施例を示す０２１杜振動子の機動部
、２２と２５は振動子の支持部、２４と２５は支持材を
示している０振動子の支持部でめる２２と２５ｒＸ、、
振動子の＃ＲＩＩＩＪ鄭２１よりも厚くなっている。こ
の厚くなった支持＄２２と２５は、振動子にとって大き
な負荷ｉｔとして考えら几、伝＊ｍの厚み方向の変位は
支持部２２と２３に２いて恩赦に減少する０即ち、支持
ｓ２２と２５は、振動の緩衝材としての役割を果友して
いる。
その結果、支持材２４と２５に伝わる厚み方向の振動は
殆んどなくなり、振動モレも殆んど生じない０ 第３図に本発明の他の実施例を示す。３１は振動子の振
動部、５２は振動子の支持部、５３は支持材を示してい
る。第３図は振動子のＱ値の低下を防ぐ片輸支持の例を
示している。振動子の支持ｆｌＡ５２は、振動子の振＠
ｓ３１ニジも厚くなっている。第５図に示す不発明の実
施例は、第２図の本発明の実施例と全く四様に、支持材
３３に伝わる振！＠ｓ５１における厚み方向の娠ＩＩＪ
に殆んどなく、振動モレも殆んど生じない。
ところで、以上の説明では、振動子が利用する振動は一
個の場曾てめつ九が、本発明は複数の像勤【利用する振
動子ｒ（ついてもめてはする０即ち、複数の畿鋤の弾性
結合を利用する振動子や、弾性Ｎｉ曾さぜないで独立に
複数の振動を利用する振動子においても、そ几ら複数の
振動の内−個でも。
主要な変位成分が振動子の厚み方向にめる振動子であｎ
ば、本発明に甘１ｎる０ 以上、詳細に説明した様ＶＣ１本発胸０振動子嬬奈動モ
レが少なく、安定な周波数温度時性と周波ｌ！経経時変
化注性得らｎｌしカー４量産に通した優ｎた長所を持っ
てｂる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、振動子の容器と構造を表わす側面図。 第２図と第５図は本発明の振動子とその支持方法を示す
側面図でろる０

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）　　利用する振動の主要な変位方向が振動子の厚
    み方向にある振動子にお＾て、振動子の支持部の厚み１
    Ｆ−振動子の他の部分の厚みより厚くしｔ畢を特徴とす
    る＆＃子〇
JP17113281A 1981-10-26 1981-10-26 振動子 Pending JPS5871709A (ja)

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JP17113281A JPS5871709A (ja) 1981-10-26 1981-10-26 振動子

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JP17113281A JPS5871709A (ja) 1981-10-26 1981-10-26 振動子

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JPS5871709A true JPS5871709A (ja) 1983-04-28

Family

ID=15917570

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JP17113281A Pending JPS5871709A (ja) 1981-10-26 1981-10-26 振動子

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4827689A (ja) * 1971-08-12 1973-04-12
JPS5272590A (en) * 1975-12-15 1977-06-17 Seiko Epson Corp Crystal resonator

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4827689A (ja) * 1971-08-12 1973-04-12
JPS5272590A (en) * 1975-12-15 1977-06-17 Seiko Epson Corp Crystal resonator

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