JPS5870612A - 結合水晶振動子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は撮動部と支持部が一体に形５！すれ、複数の縦
振動モードが結合した。いわゆる結合水晶振動子の電極
構造に関する１本発明の目的は周波数理ｒ＃特性（以下
温度特性と呼ぶ）の優れた結合水晶振動子を提供するこ
とＫある９本発明の他の目的はＯＸ　（ｃｒｙｓｔａＩ
Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ　）　の小さい結合水晶振動子を提
供することにある０本発明の他の目的は作業性の良い結
合水晶振動子の電極構造。

特に、マウント作業が容易となる電極構造を提−するこ
とＫｌｈる。温度特性の優れた。しかも。

ＣＩの小さい振動子を要求する民生機器は多く夛るが、
、これらＫはムチカット水晶振動子が使用されて来た。

しかし、最近は色々な民生機器で小型化がなされ、それ
に従って、ＡＴカット水晶振動子も小型化が要求されて
来ているが、このタイプの振動子はスプリアス振動（８
ｐｕｒｉｏｕａＶｉｂｒａｔｉｏｎ　）　　が多く小型
化が難しく、同時に。

ホー化するとａＸが高くなってしまうのが実状である。

％に、腕時計用水晶振動子としてＡＴカット水晶振動子
を使用する場合相当に小型化する兵曹があり、音叉形屈
曲水晶振動子と比較したとき。

サイズの面では全く満足できるものではない、そこで、
最近は工Ｃの技術を応用したフォトリングラフィによる
振動梁の形成方法が振動子製造に応・用され、その結果
、大変に小型の振動子を提供することができるようにな
った０例えば、振動子の厚みを大変に薄くできる温度特
性の優れたＧＴカット水晶振動子に応用され、非常に小
型のものが可能になった。しかし、これらＧＴカット水
晶振動子は良好な温度特性を得るために二つの振動モー
ト°、即ち、主振動と副振動の結合を利用している。そ
れ故、温度特性は主振動、副振動の共振周波数の差によ
ってほぼ決定される。Ｓ論的には優れた温Ｖ特性を与え
る共振周波数の差をどの位にすれば良いか分かるが、実
際にけ、製造上のバラツキがあり、一定に押えることは
難しく、温＊＊性のバラツク原因であった。この温Ｗ４
Ｉ性のバラツキを吸収する方法がいくつか提案されてい
る。

例えば、４？公昭４７−５５０８でけ励振電極を除去し
て温度特性を調整する方法を提案しているが励振電極を
除去するため実質電界効率が低下するのでｏｘ値が高く
なるという不具合が生じる。父。

蒸着で電極膜の厚みを変えて周波数微調整することを述
べているが具体的にどのようにするのが全く述べられて
いない、更に、水晶振動子を二本の細いリード線で支持
するため小型化が難しく、（ロ）時に、衝撃に対しても
弱いという欠点があった。

父、フォトリングラフィによって非常に小型の亀のが可
能になったが、その反面、小型のためにマウント等の作
業性が悪くなるという欠点が従来の電極構造ではあった
。そこで１本発明はこれらの不具合、欠点を改善した。

即ち、支持力法の改善、並びに、新しい温度特性調整方
法と共振周波数調整方法、更に、新しい電極構造を見い
出し改善を図った。以下、図面に沿って本発明の詳細な
説明する。

第１図は本発明の結合振動子の形状と電極の一実論例で
、振動部２とその両＠に配ｌｌｌされた二つの支持部５
とが一体に形成され７’（ＧＴカント水晶振動子の例で
ある。第１関（ム）は平面図を、第１図（Ｂ）はｌＩｉ
面図を示す。水晶１の振か部２の上面４と下面５にけ励
振Ｗ極６．７が各々全面に、一様に配置され、励４１電
極６け一方の支持部３に延びて配置され、励振電極７け
・他方の支持部３に延びて・配置されている。即ち、支
持部には片面にのみ電極が配着され、Ｗ界が印加これな
い構造となっている。従ってこれは振動部のエネルギー
をできるだけ振動部−内部［Ｐｌじ込め、支持部に伝達
しないようＫなっている。換言すれば、振動部２から支
持部３へ延びｆｃ電極は電界を印加するために兵曹な端
子電極にすぎない、支持部３Ｋまで延びた両電極に交帯
電田を印加することによって容易に振１子を励振すると
とができ石。父１幅Ｗと長さＬによって２つのモードの
共振周波数は各々決定さり１幅Ｗによって主振動の共振
周波数ｆｗが、長−ＥＬＫよって副振動の共振周波数ｆ
１−が決定される６次に、励振電極を振動部２の上下面
、全面に配置する理由を説明する。第２図（局げ本発明
の振部部２と支持部３が一体に形成されているＧＴカッ
ト水晶振動子のＨ図である。

断面Ａ−ムの各位ａＫ対する賛位との関停の計算値を示
している。即ち、点Ｃで貸付は零となり点Ｃから点ａ　
、　ｅｆＣ行くに従って変位の給交ｆ値は大★くなる振
動である（　ｕｓ　”ｕｓ　）＊第２し１（Ｂ）は各位
Ｉｌニ対する歪みとの関係を示している。即ち１点Ｃで
歪みは最大となり、端部に行くに従って小さくなる。し
かし、第２図、第３図から叫らかなように端部ａ、ｅで
は歪みが零とならず、歪みが生じている。これは振動部
の端部に励振電極を配置した場合としない場合でけ水晶
振動子のａＸ値が異なることを意味している。即ち、振
部部の端部−Ｋまで励振電ｆ＃を配置することにより供
いＯＸ値を得ることができる。

第Ｓ図は振動部の上下ｍ、全全面励振箇＠Ｉケ配値した
場合と部分（振動部の約７５チ）に配置した場合のｏＩ
値の分布のヒストグラムで実験値である。第３−回頭は
励振電極を部分に配置したと六の個数ｎｍ２００に対す
るＣＩ値の分布を示すヒストグラムで、平均値Ｈ−１４
−ｏ（ロ）である。

これに対して、第３図（Ｂｌけ振動部の上下面、全面に
＾ｅ＃したと六の個数ｎ＝２００のと負のＯＸイ旧の分
布を示すヒストグラムで、−平均値ｉ８４＠と約４割Ｃ
工１１ｔ１を座上くすることができ、全面にＭｒ　ｊＨ
ｔ　棒を配置したと１の効果が著しく大尊い事か分かる
。

第４図は本発明のＧＴカット水晶振動子９を支持台８に
マウンドしたときの一実施例で平面図（４）と仙面図（
１３）を示す。支持台８には水晶振動子９がｈｒ′置で
ね、振りす子の端部１２，１３で接着剤、あるいけ、半
田付けによって固着されている。水晶振動子の上下面に
け励振短電極１０．１１が配置されている。水品振か子
９１１″を支持台８に両端で固討シわるので血・ｆ衝動
件に優れた水晶振動子を提供することかで衡る。更ｆｆ
、水晶振動子９は複雑な形状をしているがフォトリング
ラフィによって容易に形成することができる。その結果
、非常に小憎の水晶振動子を提供することができるよう
になった０次に、温扉脣囲について説明する１幅Ｗによ
る主振動の共振周波数ｆｖ　と長−ｇＬＫよる副振動の
共振ＷＲｔＩ！数ｆ−との間には次の関係がある。

ｆｗ＠ｃ−−（１） ｆｚ’−−（２１ 更に、温度特性は両共振周波数の差ｆｗ−ｆＬＫよって
はぼ決定される。第５図はフォトリングラフィによって
形成された本発明のＧ？カット水晶振動子の温度特性の
例で、結合の強さによって温度特性は異なる。主振動と
副振動の間の結合が弱いとき、即ち、δ＝ｆｗ−ｆＬが
大きいときは直線。

のように、父、結合が強いとき、即ち、δが小はいとき
は直線すのようになる。このと負−広温度係数αの絶対
値は約２．５　Ｘ　１０−’　７℃と大女〈。

満足できる温度特性とならないやしがし、δが最適値の
ときけ直線Ｃのようになり、良好な温度特性を示す、一
般に作られる結合振動子はこのようなバラライタ温Ｖ％
性を示す、即ち、直ｌｆＭａのように一次躯度係数αが
約−２，５Ｘ１０″″＠１℃とバうように負の値を持つ
もの、−刀、直線すのように、αが約＋ｚｓｘｔｏ−・
７℃と正のｇｉを持つもの、それから、直線Ｃのように
αがほとんど零にたるものと、多軸多様の温度特性を示
す、父、形トｖ後の振動子のαは−Ｌ５ＸＩＱ″／”Ｃ
〜＋２．５×１０−・）℃のｗｊ囲四ＫＴｏる。ここで
αが正、負。

それからほとんど零ということは次のように定義する。

（１）−次温＃′係数αがはとんど零ということけαが
±１．　ＯＸ　ｉロー！／℃以内にあるものを言う。

（２）−次濡叶條数αが正ということけαがα〉１５口
×１Ｏ−１ｌ″Ｃ４Ｃおるものを百な。

（５）−次混度傍数αが角ということはαがａ＜　−１
，０Ｘ　１　ｏ−ｖ　　１′ｃ（ｇｌｈるものを言う。

２１１６図Ｖｓ水発明のＧＴカット水晶蛋動子の一実施
汐１１で、振動部１４の上面１５と下面１６（図示さハ
でない）にげ、励振用電極１７　、１−８　（図示され
てない）が全面に一様に配ｆｌｉｔされていて、上面１
５に配＃ざｆまた励振短電極１７の幅Ｗ方向の端部、そ
して、長ざ方向のほぼ中央位置に、対称的に、中央部電
極１９より厚く電極２０，２１が蒸着によって配装され
ている。振動部の端部の電極を厚く配置すると次の３つ
の効果を有する。

（１）振動部端部の励振電極を厚くすることけ電接負荷
効果、即ち、錘りの働きをする。それ故、共振１ｉｉｌ
ｔＩｌ数で、並びに、温度特性を変えることができる。

同時に。

（２）電極負荷効果によって、振動部端部での弾性波の
反射を少なくシ、スプリアス振動を抑制することができ
る。

（３）電極負荷効果によって、振動部内部に励振エネル
ギーをトラップすることができる。

それ故、ＣＩ値を更に低くすることができる。

第７図は第６図の電＠ｚｏ、２１を蒸着によって厚くし
たときの電極付加量に対−する−広温度係数αの変化を
示している。即ち、励振電極２０　、２１を厚くするに
従って一次温度係数αは負債１へと移動する。第８図は
本発明のＧＴカット水晶振動子の他０実施例で４隅に蒸
着によって電極２２゜２３．２４．２５を付着した例で
ある。第９し１は第８図の電ｗ２２，２５．２４．２５
を蒸着で付着、厚くしたと負の電極の付着ｔｆｆ対する
一次温Ｉ；を係数αの関件を示す、電極の付着量を多く
するに従って一次年庁係数αは正＠ｌへと移動する。こ
２１らのことから分かるようｒ、ｉ６１＠の電ダのと＊
＠、ｍ部のｗ脩を付着することによって、−次７、′晶
背係数αは狛の方向に、父、第８図の電極の付ン、−の
と六は、電極を付着することによって、−次Ｇ扉係数α
け圧伸へと移虻する。即ち、第６図の外部電極２，０　
、２１と第８ｕの端部電極２２゜２５．２４．２５の闇
に電極を付着したと′ｔｋ？ｔ。

−次温産係数αけ全く変化しない事が予測できる。

第１０図げ本発明のＧＴカット水晶振動子の電極付着の
他の実施例で、第６図の電極２０と第８図の電極２２．
２５の間にあるように厚く電極２６．２９が付着でね、
電極２１と電極２５゜２４の間にあるように電極２７．
２８が付着された平面図である。＠１１図は第１０図の
端部電極２６．２７，２８．２９を蒸着で付着したとき
のＶｔ極付着＠に対する一次温度係数αとの関係を示し
、電極の付着によって一次温変俤数αは全く変ｆ？　Ｌ
ない事が分かる。第１２図は第６ｆｌｌＪの電極２０．
２１．第８図の電極２２，２５，２４゜２５、第１０図
の電極２６，２７．２８．２９を蒸着で各々付着したと
きの電極付着量に対する土掘の共振周波数の変化を示し
、直線り、Ｆｊ、？。

けそれぞれ第６図、第１０図、第８図の場合に対応して
いる。いづれの場合でも端部電極の付着量によって主１
動Ｏ共振周波数は低くなることが分かる０次に１周波数
調整と温度特性調整方法を具体的に説明する。

第１図ＯＧ？カット水晶振動子はフォトグラフィによっ
て形成された後１次のような特性を持つように設計する
。

（１）　　主振動の共振周波数は合わせ込む規準周波数
ｆｏ　Ｘシ高い値を持つ１通常１１０００ｐｐ　″′２
０００　ｐｐｍ　　高くなっている、このような振動子
は形状、エツチング時間を選択することによって容易に
得られる０次に、この振動子Ｆｉある任意の温度に置き
、この温度をサーミスター等の温度計によって読み取妙
、この温度ををｔ、とする。このときの土掘すの共振同
波数ｆ１を測定する。更に、他の任意の温度に前記振動
子を置負、この時の温度ｔ、を＃配−々同様に読み早る
。温度ｔ＊、ｔｔＪ−共振ｗＲ波数ｆｘ、ｆｔＫヱって
次式から一次温摩係数αを求める。

ｔ　禦　−１１ 父１合わせ込む規準同波数ｆＯを使って書き改めると次
のようになる。

ｆ　＠　　　　　　　ｔｓ−ｔｓ 第１５図はこの様子を示し、直１ｇはαが正の場合の例
である。温度ｔｅＶｉ主振の土掘周波数を規酩周波数ｆ
ｏ　Ｋ合わせ込むときの温度である。温度ｔ・のと六−
土掘の共振周波数ｆｔｌ！規準同波数ｆＯよ抄も高くな
っている。従って、土掘の共振同波数ｆを規準周波数ｆ
ｏＫｆＩＩＡ部電棲の厚みを厚くしイ合わせ込む７ｊ法
は前記した５つの方法がある。

しかし、この場合、αけ正であるからαが９僻に移動す
る方法を採用すればαを更に小ζ（することができる、
即ち、第６図の電極２０．２１を付着する方式である。

第１３図の直線りと１は共振周波数ｆを規準周波数ｆＯ
Ｋ合わせ込む場合の温度特性の変化を示している。規準
周波数ｆＯに近づくに従って、αは零に近づき（直線ｈ
）、規準同波数ｔｏ　Ｋ合わせ込まれたときはαけほぼ
零になる（直線１）、第１４図はこのようにして得られ
た友発明Ｏ温変特性の一実徴例を示す。直線ｊは振動子
形成後の温度特性でα中１．５Ｘ１０−“ｌ″Ｇ。

直＠には土掘の共振同波数ｆを規準周波数ｆｏに合わせ
込んだときの温度特性でα中Ｓ　Ｘ　１０”−’　／’
Ｃと相当小さくなり、良好な温度特性を示すことが分か
る。全く一様に、αが負のときけ土掘の共振周波数ｆを
規準周波数ｆｏに合わせ込むと衣αが正−に移動する方
法を採用すればαを更に’４に近づけることができる。

即ち、第８図の電極２２゜２Ｎ、２４．２５を厚く付着
する方法である、又。

αがはとんど零のときＫは、αを変化させる必費がない
から共振同波数ｆを規準周波数ｆｏ　Ｋ合わせ込むとち
αが変什しない方法、即ち、第１０図の電極２６，２７
．２Ｂ、２９を付着する方法を採用すわば良い。第１５
図は本発明のＧＴカット水晶振動子の一実施例の斜視図
を示し、水晶振動子３０の上面３１と下面５２にけ励振
電極３３゜３４が振動部３５全面に配着され、電極３３
の端部電極２０，２１は中央部電接３６よ抄も厚くなっ
ている。ところで１本発明では電極の厚みを厚くする材
料としてＡｕ、Ａｇが使用される。

第１６図は本発明の水晶振動子の電極配置の一実施例を
示す、第１６図（Ａ）は平面図、第１６図（Ｂ）け伊面
図を示す。水晶振動子３８の振動部３９の上下面にけ励
振電極４０，４１が各々配＃され。

励振電極４０け−ヵの支持部４２に延びて配置され、更
に、支持端部４４の下面にも電極４６が配置されている
、父、励振電極４１は他方の支持部４３に延びて配＠さ
れ、更に、支持端部４５の上面にも電極４７が配されて
いる。第１７図は第１６図の本発明の電極構造の水晶振
動子５８を支持台５２にマウントした一実施例を示し１
．第１７図（４）は平面図、第１７図（Ｂ）は−面図を
示す。水晶振動子３Ｂの上下面には電極４０．４１が配
ｔｆ！ｔされ、下面電極４ｏけ一方の支持部の端部４４
Ｋまで嶌びて配置されている。支持端部４４の下面にけ
電極４６が配置されている。更に、もう−刀の電極４１
け他方の支持端部４５Ｋまで延びて配置され、同時に、
支持端部４５の上面にも電極４７が配置されている。支
持台５２の両端には電極５５．５４が設けられ、この両
端の上に半田４６゜４９を介して水晶振動子３８は置か
れ、その後。

半田を溶かして水晶振動子３８け支持台５２［固着され
るこの固着は支持端部の電極４６．４１と支持台の電極
５３．５４の間に設けられた半田４８゜４９によって固
着されている。このと負、電極４０と５５．電［ｉ４１
と４７は半田５０．５１１７よって各々接続される。第
１８図は本発明の水晶振動子の他の実施例を示す、第１
８図（Ａ）は平面図。

第１８ｒＩ！Ｊ（Ｂ）は−面図を示す、水晶振動子５５
の上下面には電極５６．５９が配置され、電極５６は支
持端部６２の上面と下面Ｋ　ｆｉｒ’、　’Ｉｔ　Ｆｌ
ｈ、下面電極５７け伊面′Ｍ極５８を通して電極５６に
接続ばれている、父、＠ｔ４５９は他方の支持端部６５
に延びて配置ζわ、細面電極６１を介して下面電極６０
へト延びて配＃されている。第１９関は第１８図の本発
明の電極構造の水晶振動子５５を支持台６８にマウント
した他の実施例を示し、第１９図体）は平面図、第１９
図（ｎ）は側面図を示す。

水晶振動子の上下面には電極５６．５９が配置でね、上
面電Ｓｋｉ　５６は一方の支持部の端部６２にまで延び
て１ｖ置ざ力、更に、倶１面電極５８を介して支持部の
下面にも電極５７か配＃されている。又。

下面電極５９け同様Ｖｒ、伊１面電極６１を介しで。

支持部端部の上面にも電極６０が配置されている。

支持台６８の両端部には電極６６．６７が設けらハ、水
晶振動子５５は電極５７，６６、電極５７と６７の間の
半田６４．６５によって固着されている。これによって
、固着と電極散り出しは充分であるが、史に１強度を増
すために、半田６９゜７０が一面、上面に付着されてい
る。

以上・述べたように本発明は結合振動子の振動部の上下
面、全面に励振電極を配置し、主振の共振周波数を決め
る幅方向の端部電極を中快部電極より厚く配置すること
によって、０工値の小ざい。

スプリアス振動のない結合振動子を提供することができ
た。更に、結合振動子の周波数調整前の最適温度４Ｉ性
、並びに、主振動の最適共振周波数を得る振動子の設計
をし、任意の温度ｔｘ　、を富での主振動の共振＃１ｉ
ｌｆＩｉ数ｆｔ、ｆ−を測定し、この値から一次温変係
数αを計算し、更に、蒸着によって一次ａｍ係数αがほ
とんど零で、しかも、主根の共振周波数ｄｌｆｏＫ合わ
せ込まれた温＃特性の優れたＧＴカット水晶振動子を提
供することができた。父１本発明は水晶振動子の電極配
＃′ｆ改善することによって、支持端部で強固に固着す
ることができ、耐衝撃性に強い振動子を提供することが
できるようになった０本発明の考え方は他の結合水晶振
動子、例えば、ＺＴカット水晶振動子にも適用できるこ
とは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１１Ａ　Ｏ，１、（Ｂ）は、それぞれ本発明の結合振
動子の形状七電椿の一実施例を示す平面図、ｌｌ１１面
図で。 振動部２とその両側に配置された二つの支持部３とが一
体に形成されたＧＴカント水晶振動子の例を示す。第２
図（Ａ）は本発明の振動部２と支持部５が一体に形成さ
れているＧＴカット水晶振動子の鴨説明図であるや第２
図（Ｂ）は第２図Ｃ）のＧＴカット水晶振動子の各位置
に対する歪みとの関係を示すグラフである。第３図（Ａ
）け励振電極を振動部の部分に配置したときのＣＩ値の
ヒストグラムでおる。 第３図（Ｂ）け励振電極を駆動部の上面、全面に配置し
たときのＣＩ値のヒストグラムで享る。第４し１は本発
明のＧＴカット水晶振勧子９を支持台８ｆマウントした
ときの一実施例で平面図体）と―面図（Ｂ）を示す＊ｘ
ｓｔｇａフォトリングラフィによって彫成さｔ１′ｆｃ
本発明のＧＴカット水晶振動子の温材特性の例を示すグ
ラフである。第６図はＧＴカント水晶振動子ＶＣ＃着に
よ抄電極を厚くした一実電極を蒸着によって厚くしたと
きの電極の付加量に対する一次温変係数αの変化を示す
グラフである。第８図けＧＴカット水晶振動子の４隅に
蒸着によって電極を厚くした一実施例を示す平面図であ
る。第９図は第８図の端部電極を蒸着で厚くしたときの
電ｖｉ、ｏ付加量に対する一次温変係数αの関係を示す
グラフである。第１０図けＧＴカット水晶振か子の電極
を厚くした他の実施例を示す平面図である。第１１図は
第１０図の端部電極を蒸着で付着したときの電極付着量
に対する一次塀度係数αとの関係を示すグラフである。 第１２図は第８図の端部電極２０，２１．第８図の端部
電極２２．２５．２４．２５．第１０図の端部電極２６
．２７．２Ｂ、２９を蒸着で各々厚くしたときの電極の
付着量に対する主振動の共振周波数の変化を示すグラフ
であり、直線り、Ｅ、Ｆけそわぞれ第６図、＠１０図、
第８図の場合に対応している。第１５図の直線ｇｔｉ−
次温度係斂αが正の振動子の温度に対する土掻の共振周
波数との関係を示すグラフであ５，６線りと１は共振周
波数を４ｇｕ漁唱波ｌ’５ｆｏに合わせ込む場合の温間
特性の変化を示す、第１４図は本発明によって得ら引た
儒ｍ特性の一実１１１を示すグラフで−る。第１５図ヲ
ー丁本発明のＧＴカット水晶振竪子の一実施例の斜松図
を示す、卯：１６ｕけ本発明の水晶振動子の電極ａ？置
の一実施例を示す、第１６図（Ａ）は平面図。 む、す６図（Ｂ）け仰１面図を示す、第１７［１６Ｆｉ
第１６図のオご発明の水晶振１子を支持台にマウントし
た一実施例を示し５．第１７図（Ａ）は平面１第１７図
（Ｂ）Ｉｄ　＠１１面図を示す。第１８図は本発明の水
晶振動子の他の実施例１′（ｉ−示し、第１８図（Ａ）
は平面図、第１８グ（Ｂ）は側面図を示す。第１９図は
第１８図の本発明の％極構逓の水晶振動子を支持台にマ
ウントした他の実施例を示し、第１９−（ハは平面図、
浄１９図（Ｂ）け側面図を示す。 ２０〜２９厚い電極 以　　上 出願人　株丈会社　第二精工舎 代迎人　弁理士　最上　　務 第１図（Ａ）　　　　　第２図（Ａ＞ 第３図（Δ）　　　　第３図（Ｂ） 傷　　　　　　　　　　　　　個 奴　　　　　　　　　　　敬 −聞　　　　　　　　　Ｘ−８４聞 ｘ−／４（７ れ舅２６６　　　　　　　　　　　　　　　ｎ−２００
品 叶Ｌ 第４−図（Ａ）　　　　　　　第５図 第４１￥ｌ　（Ｂ） 第６図　　　　　　　　　　第７［２１第１７図（Ａ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の縦振動モードが結合した結合水晶振動子で
   、＃記結合水晶振動子の撮動部と支持部が一体に形成さ
   れ、幀配水晶振動子の振動電極は振動部の上下面、全面
   に配着され、振動部の一方の励振電極の厚みは一様に、
   他方の励振電極の厚みは中央部より端部の万が厚くなっ
   てお抄、ＩＩｔｌ配振動部の上面の電極は一方の支持部
   の上面に延びて配置され、１記振動部の下面の電極は他
   方の支持部の下面に延びて配置されており、前記一方の
   支持部の下面と、前６ピ他方の支持部の上面に電極を配
   置した事を特徴とする結合水晶振動子。 ｅ２、特許請求の範囲第（１）項に於いて、支持部の上
   下面に１胃これた電極は振動子の清面を通して接Ｈされ
   ている事を特徴とする結合水晶振動子。