JPS5868956A - Resin composition for semiconductor sealing - Google Patents
Resin composition for semiconductor sealingInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体素子との密着性、接着性にすぐれ、し
かも、硬化物は低弾性率、低膨張率、高ガラス転移点の
耐熱性、可撓性にすぐれた半導体封止用樹脂組成物に関
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention has excellent adhesion and adhesion to semiconductor elements, and the cured product has low elastic modulus, low expansion coefficient, high glass transition temperature, heat resistance, and flexibility. The present invention relates to a resin composition for semiconductor encapsulation.
近年、電子部品の分野においては、小型軽量化および高
信頼度化に伴い、半導体素子ペレットの大型化、能動素
子、受動素子の複合などによる多機能化が指向されてい
る。In recent years, in the field of electronic components, as the size and weight of electronic components have been reduced and reliability has increased, the trend has been to increase the size of semiconductor element pellets and to increase their functionality by combining active elements and passive elements.
そのため、各種半導体素子の封止用材料としては、金属
インサート物(At電極、リード線、フレー′ムなどを
含む)に対する密着性、接着性を向上させ、封止材料と
素子界面よシ侵入する水分によシ、金属(アルミニウム
電極、リード線など)腐蝕が発生するのを極力抑える方
策が盛んに試みられている。Therefore, as a sealing material for various semiconductor devices, it is recommended to improve the adhesion and adhesion to metal inserts (including At electrodes, lead wires, frames, etc.), and to prevent penetration from the interface between the sealing material and the device. Many attempts are being made to minimize the occurrence of water damage and corrosion of metals (aluminum electrodes, lead wires, etc.).
また、封止用材料には、半導体素子に直ちにモールドし
てもインサートに対する応力の影響が小さいと云う特性
が強く要求されている。Further, there is a strong demand for the sealing material to have a property that the influence of stress on the insert is small even when it is immediately molded into a semiconductor element.
従来、半導体の封止用材料としては、エポキシ系、シリ
コーシ系、フェノール系、ジアリル系などの材料が使用
されてきた。、その中でも、フェノ。Conventionally, epoxy-based, silicone-based, phenol-based, diallyl-based materials, and the like have been used as semiconductor encapsulation materials. , among them, Pheno.
−ルとホルムアルデヒドとを酸性触媒の元で縮合反応し
て得られるフェノールノボラシク樹脂を硬化剤とするエ
ポキシ樹脂組成物が、インサートに対する密着性、接着
性の点で比較的すぐれており、半導体封止用樹脂の主流
となっている。An epoxy resin composition whose curing agent is a phenol novolasic resin obtained by condensing alcohol and formaldehyde under an acidic catalyst has relatively excellent adhesion and adhesion to inserts, and is suitable for semiconductor encapsulation. It has become the mainstream of stopper resins.
しかし、この系統の樹脂組成物で敏、末だ金属インサー
ト物に対する密着性、接着性が十分でなく、両者の界面
などよシ侵入する水分により、アルミニウム電極などが
腐蝕断線する障害がみられる。また、素子ペレット上に
可撓性保護コートを施すことなく直接に該樹脂組成物で
モールドすると、素子ベレットに割れを生じたシ、ボン
ディング線が切断されるなど、封止用樹脂のインサート
物対する応力に起因する障害も見られる。However, this type of resin composition does not have sufficient adhesion or adhesion to metal inserts, and problems such as corrosion and breakage of aluminum electrodes are observed due to moisture entering the interface between the two. In addition, if the resin composition is directly molded onto the element pellet without applying a flexible protective coat, the element pellet may crack or the bonding wire may be cut, resulting in damage to the sealing resin insert. Failures caused by stress are also observed.
その対策としては、封止用樹脂のインサート物(索子ペ
レ゛ット、ポンディジグ線、フレームなど)に対する密
着性、接着性を向上させ、しかもインサート物に対する
応力を低減させることが重要である。As a countermeasure against this problem, it is important to improve the adhesion and adhesion of the sealing resin to the insert (cord pellet, pondage wire, frame, etc.) and to reduce the stress on the insert.
この観点から、金やアルミニウム、銀、ニッケル、コバ
ルトなどの金属に対しては密着性、接着性にすぐれ、金
型の材質である鉄やクロム、マンガンなどの金属に対し
ては離型性の良好な、金属の種類により、選択性のある
接着性を示し、しかも、硬化物については低弾性率で、
低膨張率、高ガラス転移点をもつ対土用樹脂組成物の開
発が要封止用樹脂の密着性、接着性を向上し、低弾性率
化を図る手段の一つとして、可撓化剤の−tf= 7J
11が考えられる。しかし、この方法では、金属インサ
ート物(フレーム)との密着性、接着性の向上と、金型
離型とのバランスを取シ難いこと、・、硬化物のガラス
転移点が低下し、信頼性の高いモールド製品が得がたい
問題であった。From this point of view, it has excellent adhesion and adhesion to metals such as gold, aluminum, silver, nickel, and cobalt, and has excellent mold releasability to metals such as iron, chromium, and manganese, which are the materials of molds. It shows good, selective adhesion depending on the type of metal, and the cured product has a low elastic modulus.
The development of soil-compatible resin compositions with low expansion coefficients and high glass transition points improves the adhesion and adhesion of sealing resins, and as a means of lowering the modulus of elasticity, the use of flexibilizing agents. -tf=7J
11 are possible. However, with this method, it is difficult to achieve a balance between improving adhesion and adhesion with the metal insert (frame) and mold release, and the glass transition point of the cured product decreases, resulting in poor reliability. The problem was that it was difficult to obtain a molded product with a high value.
本発廟は、上述のような状況に鑑みてなされたもので、
その目的は、インサート物に対する密着性、接着性にす
ぐれ、低弾性率、低線膨張係数で、し示も、高ガラス転
移点を有する半導体封止用樹脂組成物を提供することに
ある。This temple was built in view of the above-mentioned situation.
The object is to provide a resin composition for semiconductor encapsulation that has excellent adhesion and adhesion to inserts, a low elastic modulus, a low coefficient of linear expansion, and a high glass transition point.
本発明の要点は、
(1)多官能エポキシ化合物〔A〕と、エポキシ樹脂の
公知の硬化剤(Blと、分子中にヒドロキシル基ト、フ
ェニルアゾ基、シッフ基の少すくとも1ケを含むキレー
ト剤〔c〕とからなる半導体封止用樹脂組成物。および
(2)エポキシ樹脂の公知の硬化剤′CB〕が、フェノ
ール−ホルムアルデヒド樹脂である半導体封止用樹脂組
成物。The main points of the present invention are as follows: (1) A polyfunctional epoxy compound [A], a known curing agent for epoxy resin (Bl, and a chelate containing at least one hydroxyl group, phenylazo group, or Schiff group in the molecule) and (2) a resin composition for semiconductor encapsulation, in which the known curing agent 'CB' for epoxy resin is a phenol-formaldehyde resin.
にある。It is in.
本発明において、多官能エポキシ化合物〔A〕としては
、例えばビスフェノールAのジグリシジルエーテル、ブ
タジエンジエポキサイド、3,4−エポキシシクロヘキ
シルメチル−(3,4−エポキシ)シクロヘキサンカル
ボキシレート、ビニルシクロヘキサンジオキサイド、4
.4’−ジ(1,2−エポキシエチル)ジフェニルエー
テル、4.4’ −(1,2−エポキシエチル)ビフェ
ニル、2.2−ビス(3,3−エボキシシクロヘキ/ル
)プロパン、レゾルシンのグリシジルエーテル、フロロ
グルシンのジグリシジルエーテル、メチル70ログルシ
ンのジグリシジルエーテル、ビス−(2,3−エポキシ
シクロベンチル)エーテル、2−(3,4−エポキシ)
シクロベキサン−5,5−スピロ(3,4−エポキシ)
−シクロヘキサン−m−ジオキサン、ビス−(,3、4
−エポキシ−6−メチルシクロヘキシル)アジペート、
N、N’−m−7エニレンビス(4,5−エポキシ−1
,2−シクロヘキサン)ジカルボキシイミドなどの2官
能のエポキシ化合物、バラアミノフ千ノールのトリグリ
シジルエーテル、ポリアリルグリシジルエーテル、1’
、3.5−)す(1,2−エポキシエチル)ベリゼリ、
2.2’、4.4’−チートラグリシドキシベンゾフェ
ノン0.フェノールホルムアルデヒドノボラックのポリ
グリシジルエーテル、グリセリンのトリグリシジルエー
テル、トリメチロールプロパンのトリグリシジルエーテ
ルなど3官能以上のエポキシ化合物が用いられる。In the present invention, examples of the polyfunctional epoxy compound [A] include diglycidyl ether of bisphenol A, butadiene diepoxide, 3,4-epoxycyclohexylmethyl-(3,4-epoxy)cyclohexane carboxylate, vinylcyclohexane dioxide, 4
.. 4'-di(1,2-epoxyethyl)diphenyl ether, 4.4'-(1,2-epoxyethyl)biphenyl, 2.2-bis(3,3-epoxycyclohexyl)propane, glycidyl ether of resorcinol , diglycidyl ether of phloroglucin, diglycidyl ether of methyl 70roglucin, bis-(2,3-epoxycyclobentyl) ether, 2-(3,4-epoxy)
Cyclobexane-5,5-spiro(3,4-epoxy)
-cyclohexane-m-dioxane, bis-(,3,4
-epoxy-6-methylcyclohexyl)adipate,
N,N'-m-7enylenebis(4,5-epoxy-1
, 2-cyclohexane) dicarboximide, triglycidyl ether of baraminophenol, polyallyl glycidyl ether, 1'
, 3.5-)su(1,2-epoxyethyl) verizeli,
2.2',4.4'-cheetraglycidoxybenzophenone 0. Tri- or higher functional epoxy compounds such as polyglycidyl ether of phenol formaldehyde novolak, triglycidyl ether of glycerin, and triglycidyl ether of trimethylolpropane are used.
上記化合物は、用途、目的に応じて1種以上を併用して
使用することも出来る。The above compounds can also be used in combination of one or more types depending on the use and purpose.
次に、本発明において、エポキシ樹脂の公知の硬化剤〔
B〕としては、垣内弘著:エポキノ樹脂昭和45年9月
発行109〜149ページ、l、ee、Nevile著
: Epoxy )j、eS ins : MCQra
w −Hi J 113ook Company 、
Inc 、 New York 、1957年発行63
〜141ページh BruInst P t E著:
Epoxylljesins technology
: Jnterscience publi−5her
s : New York 196’8年発行、45〜
111ページなどに記載の化合物であり、例えば、脂肪
族ポリアミン、芳香族ボリアばン、第2および第37ε
ンを含むアミン類、カルボン酸類、カルボン酸無水物類
、脂肪族および芳香族ポリアミドオリゴマおよびポリマ
類、ポリスルフィド樹脂類。Next, in the present invention, a known curing agent for epoxy resin [
B], written by Hiroshi Kakiuchi: Epokino Resin, published September 1970, pages 109-149, written by l, ee, Neville: Epoxy)j, eS ins: MCQra
w -Hi J 113ook Company,
Inc., New York, 1957 Published 63
~Page 141 h Written by BruInst PtE:
Epoxylljesins technology
: Jnterscience publi-5her
s: New York Published in 196'8, 45~
Compounds described on page 111, for example, aliphatic polyamines, aromatic polyamines, second and 37ε
amines, carboxylic acids, carboxylic acid anhydrides, aliphatic and aromatic polyamide oligomers and polymers, polysulfide resins.
三フッ化ホウ素−アミンコンプレックス類、フェノール
樹脂、メラミン樹脂、ウレア樹脂、ウレタン樹脂などの
合成樹脂初期縮合物類、その他、ジンアンジアミド、カ
ルボン酸ヒドラジド、ポリアミツマレイはド類などがあ
る。上記硬化剤は、用途、目的に応じて、1種以上併用
して使用することが出来る。Synthetic resin initial condensates such as boron trifluoride-amine complexes, phenol resins, melamine resins, urea resins, and urethane resins, as well as dianediamides, carboxylic acid hydrazides, and polyamide resins, etc. One or more of the above curing agents can be used in combination depending on the use and purpose.
また、本発明において、分子中にヒドロキシル績と、フ
ェニルアゾ基、シック基の少なくとも1ケを含むキレー
ト剤〔C〕としては、例えば、ヒドロキシアルデヒド系
化合物
〔上記式Xは何もない場合、 CH’2−9SO2’
。Further, in the present invention, the chelating agent [C] containing a hydroxyl group and at least one of a phenylazo group and a thick group in the molecule may be, for example, a hydroxyaldehyde compound [when the above formula X has nothing, CH'2-9SO2'
.
−o−、−co−のいずれかである。)〕と、第1級ア
ミン類との反応によって得られる反応物(中間体、Hp
repolymerを含む)である。これらの例として
は、
あるいは
などがあす、これらの1種以上を併用して使用できる。-o- or -co-. )] with primary amines (intermediate, Hp
(including repolymer). Examples of these include: or, etc. One or more of these can be used in combination.
上記、キレート剤〔C〕の添加量は、前記エポキシ化合
物〔A3100重量部に対して、50重量部以下の範囲
で用いれば1本発明の目的を達することができる。The object of the present invention can be achieved by adding the chelating agent [C] in an amount of 50 parts by weight or less based on 100 parts by weight of the epoxy compound [A3].
また1本発明においては、封止用樹脂組成物の硬化反応
を促進する目的で、各種の触媒を添加することができ、
この触媒としては、例えばトリエタノールアミン、テト
ラメチルブタンジアミン、テトラメチルペンタンシアば
ン、テトラメチルヘキサンジアミン、トリエチレンジア
ミン及びジメチルアニリン等の第3級アミン、ジメチル
アミンエタノール及びジメチルアミノペンタノール等の
オキシアルキルアミンならびにトリス(ジメチルアミノ
メチル)フェノール及びメチルモホリン等のアミン類を
適用することができる。In addition, in the present invention, various catalysts can be added for the purpose of promoting the curing reaction of the sealing resin composition,
Examples of the catalyst include tertiary amines such as triethanolamine, tetramethylbutanediamine, tetramethylpentanethiabane, tetramethylhexanediamine, triethylenediamine and dimethylaniline, and oxidative amines such as dimethylamineethanol and dimethylaminopentanol. Alkylamines and amines such as tris(dimethylaminomethyl)phenol and methylmofoline can be applied.
また、同じ目的で、触媒として1例えばセチルトリメチ
ルアンモニウムブロマイド、セチルトリメチルアンモニ
ウムクリライド、ドデシルトリメチルアンモニウムアイ
オダイド、トリメチルドデシルアンモニウムクロライド
、ベンジルジメチルテトラデシルアンモニウムクロライ
ド、ペンジルメチルパルミチルアンモニウムクロライド
、アリルドテシルトリメチールアンモニウムプロマイト
、1ベンジルジメチルステアリルアンモニウムブロマイ
ド、ステアリルトリメチルアンモニウムクロライド及び
ベンジルジメチルテトラデシルアンモニウムアセテート
等の第4級アンモニウム塩を適用することができ、更に
は、2−ウンデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾ
ール、2−エチルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミ
ダゾール、2−メチル−4−エチルイミダゾール、1−
ブチルイミダゾール、1−プロピル−2−メチルイミダ
ゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−
シアンエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアンエ
チル−2−ウンデシルイミダゾール。For the same purpose, catalysts such as cetyltrimethylammonium bromide, cetyltrimethylammonium chloride, dodecyltrimethylammonium iodide, trimethyldodecylammonium chloride, benzyldimethyltetradecylammonium chloride, penzylmethylpalmitylammonium chloride, allyldotecyl Quaternary ammonium salts such as trimethylammonium bromite, 1-benzyldimethylstearylammonium bromide, stearyltrimethylammonium chloride and benzyldimethyltetradecylammonium acetate can be applied, as well as 2-undecylimidazole, 2-methyl Imidazole, 2-ethylimidazole, 2-heptadecyl imidazole, 2-methyl-4-ethylimidazole, 1-
Butylimidazole, 1-propyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-
Cyanethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole.
1−シアノエチル−2−フェニルイミタソール、■−ア
ジンー2−メチルイミダゾール及びl−アジン−2−ウ
ンデシルイミダゾール等のイミダゾール化合物あるいは
、t7h、)リフェニルホスフ/
インテトラフェニルボレート、トリエチルアミンテトラ
フェニルボレート、N−メチルモルホリンテトラフェニ
ルボレート、ピリジンテトラフェニルボレート、2−エ
チル−4−メチルイミダゾールテトラフェニルボレート
及び2−エチル−1゜4−ジメチルイミダゾールテトラ
フェニルボレート等のテトラフェニルボロン塩等が有用
である。Imidazole compounds such as 1-cyanoethyl-2-phenylimitasol, ■-azine-2-methylimidazole and l-azine-2-undecylimidazole, or t7h,) liphenylphosph/intetraphenylborate, triethylaminetetraphenylborate , N-methylmorpholine tetraphenylborate, pyridine tetraphenylborate, 2-ethyl-4-methylimidazole tetraphenylborate, and 2-ethyl-1°4-dimethylimidazole tetraphenylborate, and other tetraphenylboron salts are useful. .
上記の触媒はその2種以上を併用することができる。Two or more of the above catalysts can be used in combination.
上記触媒の添加量については、特に限定するものではな
いが10重量係以下の範囲で用いれば十分である。The amount of the catalyst added is not particularly limited, but it is sufficient to use it within a range of 10% by weight or less.
さらに、本発明の樹脂組成物には、その用途になわち、
例えば封止用材料としての用途には、ジルコン、シリカ
、アルミナ、水酸化アルミニウム、チタニア、亜鉛華、
炭酸カルシウム、マグネサイト、クレー、カオリン、メ
ルク、珪砂、ガラス、溶融石英ガラス、アスベスト、マ
イカ、各種ウィスカー、カーボンブラック、黒鉛、二硫
化モリブデンなどのような無機質充填剤、高級脂肪酸や
ワックスなどの離型剤、エポキシシラン、ビニルシラン
、ポランやアルコキシチタネート系化合物などのような
カップリング剤などの少なくとも1種を配合す不ことが
できる二また、゛必要に従って、含ハロゲン化合物、酸
化アリチモンやリン化合物などの難燃性付与剤を用いる
ことができ蝉。Furthermore, the resin composition of the present invention has the following properties depending on its use:
For example, zircon, silica, alumina, aluminum hydroxide, titania, zinc white,
Inorganic fillers such as calcium carbonate, magnesite, clay, kaolin, Merck, silica sand, glass, fused silica glass, asbestos, mica, various whiskers, carbon black, graphite, molybdenum disulfide, etc., release materials such as higher fatty acids and waxes. At least one type of coupling agent such as a molding agent, epoxy silane, vinyl silane, poran or alkoxy titanate compound may be added, and if necessary, a halogen-containing compound, acymonium oxide, phosphorus compound, etc. Flame retardant agents can be used for cicadas.
上記各成分は、ロール、ニーグー、コニ−ター及びヘン
シェルミキサー等を用いて加熱混練することにより配合
きれる。また、各成分がすべて固体である場合には、微
粉化した後、混合するトライブレンド法を採用してもよ
い。The above components can be blended by heating and kneading using a roll, niegu, coneater, Henschel mixer, or the like. Furthermore, if all the components are solid, a tri-blend method may be adopted in which the components are pulverized and then mixed.
以下、本発明を実施例を挙げて具体的に説明す実施例1
〜11
多官能エポキシ化合物として、ECN1273(チベ社
製エポキシ当量225)、EpIool(シェル社製、
エポキシ当量475)の2種、硬化剤として、ノボラッ
ク型フェノール樹脂HP607N ・(日立化成製)
、無水マレイン酸・4,4′−ジアミノジフェニルメタ
ン溶融反応物、テトラヒドロ7タル酸無水物を、また、
キレート剤としては、第1表記載のCI]、 [II]
、 [I[I:]を、また、硬化促進剤としては、トリ
エチルアミンテトラフェニルボレート、カップリング剤
としてはエポキシシランKBM403(信越化学製)、
充填剤としては溶融石英ガラス粉を、また、各種離豫剤
、着色剤を、第1表記載の所定配合量に調合した。Example 1 Hereinafter, the present invention will be specifically explained with reference to examples.
~11 As polyfunctional epoxy compounds, ECN1273 (epoxy equivalent: 225, manufactured by Chibe), EpIool (manufactured by Shell,
Two types of epoxy equivalent (475), novolak type phenolic resin HP607N (manufactured by Hitachi Chemical) as a curing agent
, maleic anhydride/4,4'-diaminodiphenylmethane melt reaction product, tetrahydro-7talic anhydride,
As the chelating agent, CI listed in Table 1], [II]
, [I[I:], triethylamine tetraphenylborate as a curing accelerator, epoxysilane KBM403 (manufactured by Shin-Etsu Chemical) as a coupling agent,
Fused silica glass powder was used as a filler, and various release agents and colorants were mixed in the predetermined amounts shown in Table 1.
次に、前記諸成分を含む配合物をそれぞれ、70〜80
Cの熱ロールで10分間混練したのち、粗粉砕して、目
的とする半導体封止用樹脂組成物を得た。Next, the formulation containing the above ingredients was added to 70-80%
After kneading for 10 minutes with a hot roll of C, the mixture was coarsely ground to obtain the desired resin composition for semiconductor encapsulation.
これらの組成物を、xsoC,7oK9/(7)2.2
分の条件でトランスファ成形して、第1表記載の特性の
試片を作成した。゛These compositions were converted into xsoC, 7oK9/(7)2.2
Transfer molding was carried out under the conditions of 10 minutes to prepare specimens having the characteristics listed in Table 1.゛
Claims (1)
知の硬化剤(BEと、分子中にヒドロキシル基と、フェ
ニルアゾ基、シッフ基の少なくとも1ケを含むキレート
剤〔C〕とからなることを特徴とする半導体封止用樹脂
組成物。 2、 エポキシ樹脂の公知の硬化剤〔B〕が、フェノー
ル樹脂またはホルムアルデヒド樹脂であることを特徴と
する特許趙求の範囲第1項記載の半導体封止用樹脂組成
物。[Claims] 1. A polyfunctional epoxy compound [A], a known curing agent for epoxy resins (BE, and a chelating agent [C] containing at least one of a hydroxyl group, a phenylazo group, and a Schiff group in the molecule) ] A resin composition for semiconductor encapsulation characterized by comprising: 2. Scope No. 1 of the patent, characterized in that the known curing agent for epoxy resin [B] is a phenol resin or a formaldehyde resin. The resin composition for semiconductor encapsulation as described in 2.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56167093A JPS5868956A (en) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | Resin composition for semiconductor sealing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56167093A JPS5868956A (en) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | Resin composition for semiconductor sealing |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5868956A true JPS5868956A (en) | 1983-04-25 |
Family
ID=15843285
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56167093A Pending JPS5868956A (en) | 1981-10-21 | 1981-10-21 | Resin composition for semiconductor sealing |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5868956A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5665772B2 (en) * | 2010-01-29 | 2015-02-04 | 綜研化学株式会社 | New azomethine oligomer |
-
1981
- 1981-10-21 JP JP56167093A patent/JPS5868956A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5665772B2 (en) * | 2010-01-29 | 2015-02-04 | 綜研化学株式会社 | New azomethine oligomer |
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