JPS5868666A - プレ−トフイン型熱交換器の欠陥検査方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、プレートフィン型熱交換器の欠陥検査方法及
びその装置に関し、特に検査の１勅化、＾能率化を可能
となした検音方法等に関する。

プレートフィン型熱交換器は、所要間隔をおいて平行に
多段に配刺されたアルミニウム、ステンレス−等の各プ
レート間に波形フィンを配して積層物となし、これを一
体に高温の塩浴中に浸漬して、各部材をその接触御所に
て相互にろう付けした所謂コア構造を含む。従って、例
えば、大型のプレートフィン型熱交換器の製作において
、上記プレートとフィンとの積層物を塩浴に浸漬してろ
う付けを行なうときに、積層物内に空気が残り、波形フ
ィンがある面積にわたってプレートにろう付けされない
ような欠陥部を生じる場合がある。

一方、通常の鋼板、鋼管、鋼棒等の鋼材につし１ては、
周波数千ＫＨｚ以上の超音波を用いる超’ｆ肢ｌｌ働に
よって内部欠陥を検出することが広く行なわれているが
、プレートフィン型熱交換器のように、本来、液体又は
気体の流路としての空洞を多く有する製品については、
その空洞部での超音波の反射に基づく減衰が着しく、超
音波探傷は通用で赤ない。

本発明者らは上記番こ轟みて脱慈研穴した結果、超音波
律偽ｌこは塘しない低＃１波数のパルス音ｔコアの嘴層
方１ｉ１＋］に入射すれは、コｒには履体又は気体の流
路としての空洞を多数Ｈ？るにもかかわらず、コア？よ
く大管ケるので、ろう付は不良専の欠陥管プレートの二
次元平面十１と検出８きると共に、放射Ｊ４透過ｔｆＩ
：ｋｉ併／１１することによって欠配管圧次元的に検出
できることを見出した。

しかしながら上記欠陥検査方法で大型の熱交換器の検査
を全部人手で行なうには多大の時間と手間を要する。

従って本発明の目的は、プレートフィン型熱交換器の欠
陥検量七自鯖ｔｒツに行いつる方法及びその装置の提供
を目的とし、プレートとフィンとを交Ｆｉに、平行且つ
多投に配設し、その４々触箇所を相互にろう付けして積
層コア栖造となしたプレートフィン型熱交換器の欠陥検
査方法及びその％Ｍｌｌであって、上記コアを透過する
パルス材の１１ｔｔ検出するためのパルサ及びセンサ七
コアに対して相対的に移動可能に保持し、コア内の二次
元的な欠陥部１１を検査しうる如くなした方法及びその
装−１更に上記二次元的な位置情報と、放射線透過検査
装置のプレートに直角方向への移動によって得られた位
置情報とより三次元的な欠陥の位ｄ＊検出しつるように
なした欠陥検査方法及びその装置を提供するものである
。

続いて本発明の基礎となる欠陥検出方法の＊ｍについて
説明し、その後本発明を具体化した実雄例について図面
を参照しつつ詳述する。

第１図に本発明の基礎となる欠陥検査方法のブロック図
を示す。前記のように一体にろう付けされたコアＣの積
層方向の一方の竣外側のプレート１０上にパルサ１１を
配し、他方の峡外側のプレー）１２上に上記パルサに対
応する位Ｉｌｌにセンサ１３に配する。パルサ同期ｙＮ
＠１４に同期されたパルス発生機１５からパルス音が発
生され、パルサからコアの積一方向に入射され、その透
過音がセンナにて受信される。センサで受信された透過
音は前置増幅器１６、フィルタ１７倉僅で主増幅器１８
にて増幅されて、緒音波探傷横★と同様に、探傷図形が
オシロスコープ１９上に表示される。

この方法において用いるパルス音は、従来、超音波探傷
に用いられでいるパルス音と異なり、その周波数は数十
Ｗ−ｋｉｇ乃至数百ｋｋ口であり、例えば、５　Ｑ　Ｋ
）ｌｘ乃至１４０　ｆｆ１）五Ｘ、ｏｆ好適である。パ
ルス音の周波数が式中ＫＨＸより小さいときは、熱交換
器内にろう付は不良等の欠陥があっても、パルス音が迂
回伝搬し、欠陥検出の端間が者しく悪い。−万、数千Ｋ
Ｈｚ以上では、前記したように、コア透過時の減衰が着
しく、また、反射音が多すぎて、コアを有効に透過しな
い。

探傷図形は、時間が横軸に、また、パルス音透過瀘が電
圧表示でＭ−にオシロスコープ上に表示される。従って
、陥示したように、プレートフィン型熱交換器にろう付
は不良等の欠陥があった場合には、パルス音がその欠陥
によって反射され、パルス音透過量が小さくなるので、
欠陥を検出することができる。即ち、コアを挾んでパル
サとセン量とを対応させつつ、峡外側のプレート曲を走
査することにより、欠陥の位置と寸法をプレート半面上
に二次元的に検出できるものである。

欠陥の三次元的な位ｓｇｔｔ−知るには、上記のように
して、プレート平向上での二次元的な位置が予め知られ
ているので、その位置を考慮して、プレートと平行な方
向、即ち、上記パルス音の入射方向と直交する方向から
の探傷探査を行なえばよい。

しかし、この場合に上記のパルス音検査は適用できない
。パルス音がプレートや波形フィンを伝搬し、欠陥を検
出できないからである。プレートと平行な方向の探傷試
験には放射線透過試験が適し、欠陥が二次元的なプレー
ト平面上にその位置が検出されたときは、その位ｋを考
慮しつつ、コア積層方向に定量して、欠陥の三次元的な
位置、即ち、何段目のプレートと波形フィンに欠陥があ
るかを検出するのである。放射線透過検査による欠陥の
検出は既によく知られているところであり、ここでは詳
細な説明は省略するが、本発明においても、放射線とし
てはＸ線及びｒ線が好ましく用いられる。

次いで、第２図以下の添附図ｕｉＪＪｋ：＃蕉して、本
発明を具体化した実ｍ例にっき絆しく説明する。

ここに第２図は、本発明の一実施例である検査装置の斜
視しｊ１第３図及び第４図は、同装置の制（２）をコン
ピュータで行った場合のブロック図及びフローチャート
である。

！ｉ８２図において、定１１２０の上面には、フィン２
１とプレート２２とを平行につ多段に積層ロウ付けした
コアＣを載置する。コアＣ４載瀘する方向は、定盤の上
面に対してプレート２２が垂直に起立する方向で、横長
に載−し、定盤２ｏの側部に定盤に平行ｌｃ設けたレー
ル２３．２３と平行となるように位置決めする。

上記レール２３．２３上を走量する台車２４上には、２
債の減速モータ＆１１及び褪雪が取付けられている。減
速モータＭ＋は、レール２３．２３に平行に設けたラッ
ク２５と噛合うビニオン２６を駆動軸に固着しており、
その回転によって台車が矢印Ｘの方向へ走行する。台４
Ｌ２４には、垂直方向にのみ移動自在の略コ字状遅結砕
２７が取り付けられており、この連結枠２７の側聞に刻
設したラック２８に、上記減速モータＭｌの駆動軸にｄ
＃したピニオン２９がｉｉ！ｉｌ＃されている。従って
、減速モータ駒の回転により連結枠２ｔが、矢印Ｙの方
向へ平行移動する。３０．３１は連結枠２７の傾きを防
止するガイドローラである。

連結枠２７は、上記コアＣの底面３２に平行で最外層の
プレート３３に垂直な平面内に保持され、連結枠２７の
左右腕部３４及び３５には、中間にコアＣを挾んで前記
パルサＰ及びセンサＳが対向配備されており、該パルサ
Ｐ及びセンサＳは同断でコアのプレート２２に対してＩ
Ｉ！直な＠線上に配備されている。従ってパルサＰより
Ｎ（Ｋされた矢印２で示すパルス音は、コアＣを透過し
た後、センサＳに受信される。従って減速モータＭ１及
びＭｌを回転させると、パルサＰ及びセンサＳが同軸性
を保持しつつ、且つコアに対する距＃ＩＩを一定に保っ
たまま、矢印Ｘ及びＹの方向へ平行移動する。

上記減速モータＭ１及びＭｍは、その回転角度を正確に
制御しつるパルスモータ等で構成される。

このような装置で欠陥の検査を行うには、モータ＆ｂを
停止させてパルサ、センサの鍋さを一定に保ちながら、
モータＭｓ１間欠回転させる。パルサＰからセンサＳへ
のパルス音の＠信は、モータＭ１の間欠的な停止時毎に
行う。モータｈｉｔの間欠停止は、台車２４が例えば数
１０％石から左へ移動する鍼に行い、パルサ？、センサ
Ｓがコアの左端へ来ると、モータＭ！７１ピッチ分（＆
１０％）回転させたところで停止させ、モータＡｌｌ／
ミニ逆転させて台本２４を左から右へ間欠停止させなが
ら移動させる。

これらの動作を繰り返すことによってパルサとセンサの
停止点（即ちＳ足点）は、プレートに半行な二次元平面
Ｊｕｌこ基盤の目状に形成される。各停止点において受
（ｌされた透過ｆ？轍は、即刻印字されるか、他の記憶
′ｋｒｊＩｔに格納され、測定終了後、各測定場所を示
すデータと共に印字又はＣ１ＬＴデイスプレー装置に表
示される。最終的には、ある一定艦以下の透過音量を得
た位確縛ち欠陥の位置がわかれはよいから、印字等は、
そのような欠陥として測定された場所のみについて行っ
てもよい。

次に上記＊１１１＊コンピュータを用いて自動的に制御
して検査を行う場合について説明する。本−御機構は、
第３図示の如（中央処遜装＠ＣＶＵと、このＣ１’ＬＪ
　Ｋ接続された入力専用のキーボードｋｉｔ、梼々の数
値を記憶するメモリーＲＡＭ、インターフェース回路Ｉ
Ｆｓ及びｌＦｍを介して接続されたプリンタ等の表示装
置及びモータ、パルサ等の入出力装置（Ｉｌｏｓ）　（
Ｉｌｏりより成る。

これらの装−の作動を、第４図に示したフローチャート
に従って第２図、第３図を参焦しつつ蝋を追って説明す
る。まずイニシャライズのため檀々の初期値をキーボー
ドｋＢからＣＰＬＩに入力する。即ち前記のようにパル
サＰはコアに対して、たて方向、よこ方向に１ピツチづ
つ移動して発信するから横方向にｍ回停止し、たて方向
に１回停止するとして、このｍ　、　ｎをキーボードよ
り入力する。ｍ　、　ａの算出は、計測６螢な長方影部
分のよと長さ及びたて長さを１ピツチ（例えば微１０％
）分の長さで瞼して行う。又、検出すべき暖界透過量Ｇ
についても入力してＳく。このＧの値は、◆嗣に部分的
な透装置ｔ＃を測して健全部における平均値に適当な係
数をかけて算出する。この係数は、パルサの使用周波数
が例えば１４０　ｋＨｚの場合０２Ｉ！ｉ度の値である
。上記各値の入力が終ると、ＣＰＵはメモリＭｉにｓ−
５−１ｖに１−１ケ格納する（ステップ３）。’＋Ｊは
、よこ方向及びたて方向の測定１歓である。このＷ期時
点では、パルサＰ及びセンサＳは、鰻左寄りで最下段の
スタート位置にセットされている。従ってますこの位置
におけるパルサＰの発信及びセンサＳの受信が行われ（
ステップｂ）；その位置でのパルス音の実透過量と前記
限界透過鍵らとを比較する（ステップＣ）。比較の結果
、実透過量が（・より大きい場合には、その場所は健全
部であるので、次の位置へ１ピツチ移動する。但しこの
場合石刀向へ移動するか、左方向へ移動するかは、現在
の検査位置が最上段から何役目であるかによって決まる
。例えば奇数段目は右行き、偶数段目では圧行きとなる
。

このたて方向の段数はｊの値によって決まるので、ｊが
偶数か否かの判定を行う（ステップｄ）。上記のように
１Ｍｋ目の場合はｊ−１で奇数であるから処理はステッ
プＣの方向へ進み、モータＭｓｌｌピッチ分正転（右行
）させる。上記ステップＣで、実透過量がＧ以下の場合
には、その場所の位置情ｌ１ｌｌｉ、ｊと実透過量Ｇｉ
ｊとをメモリ領域Ｍ工に記憶する（ステップｆ）。この
際赤ランプ等を点灯させて機台を停止させオペレータを
呼んだり、マーカー等でその部分に印を付けてもよい。

又ステップｄに詔いて、例えば上から２段目の検査を社
っている場合にはｊ−２でｊが偶数であるからステップ
ｇ８ｃ進み、モータＭ１を１ピツチ分逆転（左行）させ
る。こうして台車がモータＭｓによって１ピツチ分横方
向へ移動すると、メモリＭｓに格納されたｉの値に１を
加算しくステップｈ）、ｉの値をｍと比較する（ステッ
プｌ）。ｉｍａｒであれば台車（パル４ｔｈ）が最古位
置又は最左位置にあることを示し、ｉ＜ｍであれば、史
Ｋ［７ｊ同へ移動するためループｋに分岐して発信、受
信のステップｂＩｃａむ。検査が進んでパルサが最右端
へ来るとｉ−ｍとなる。するとステップ監の判定で処理
がステップＯへ至り、メモリｓ１ｊｇ）憤ｊに１を加算
してＭｌに格納すると共に、メモリＭｍにｉ＝１を転送
する。ここでｊと鶴とを比較する（ステップＰ）が、ｊ
ｔ１１ｊ≦勤であれば、パルサはまた最下段に達してい
ないからモータｂ１ｍ（１ピツチ分回転させ（ステップ
９）、１つ下の行についての第１回目の検ｆ（ステップ
ｂ）に移行する。判定ステップＰでｊ＞ｎと判定されれ
ば、既に最下段の検査を終了したことｆｆｉわすから、
ステップｒへ進み、メモリ領域Ｍｘに記憶した欠陥部の
実透過ｄＧｘをそれに対応する位ｆ情報’ｔＪと共にプ
リンタ又はＣＲＴディスプレーに表示して処理を終了す
る。

上記実弛例ではモータＭ１を間欠運転して、各停止位置
で実透過量の検出を行ったが、モータＭｌの連続運転中
に連続的に発信、受信を行い、透過敏が暉界値以下とな
った位置のみを瞬１団「Ｊに記憶して検査終了後に全デ
ータを印字させてもよい。尚モータＭ＋　、　Ｍ＊は、
それぞれ制御回路３６．３７を介してインターフェース
回路ＩＦｌと接続され、パルサＰ及びセンサＳは制御回
路３Ｂ及び変換器３９４介してインターフェース回路Ｉ
Ｆｔと接続されている。

上記実施例においては、自動的に欠陥を検査する手段に
ついて説明したが、例えばモータＮｉｔ、Ｍｍを省略し
、コアの最外層プレート３３にけがいた印に合わせて台
車を移動又は停止させ、その−で透過音量をオシロスコ
ープ等で嫌認しながら、手助で検査することも可能であ
る。又、上記間欠的自動検査の場合は、台車が停止した
その都ば、パルサＰとセンサＳとを最外−のプレートに
押し付けるべくコアの方向ヘパルサとセンサを水平移動
させ、検出精度の向上を図ってもよい。史にセンナ又は
パルサをたて、よこ方向にマトリックス状にＩＩ数配置
し、パルサ又はセンサのみｖｌピッチづつ間欠的に移動
する如（なしてもよい。

第５図に示したのは、パルサ及びこれに同軸のセンサ倉
マトリックス状に複数配列させた場合で、これらのパル
サに同時に又は順次発信４Ｍ　＋を送り、これに対応す
るセンサの受装置によって欠陥の利金と較べて能率が闘
士する。又、第６図に小したのはたて方向にのみパルサ
ＰとセンサＳとτ複数配列し、センサ５、パルサＰとコ
アＣに接触させたまま移動させ、連続的に検査’ｅ？Ｔ
う場合で、第２図示の場合より能率が良く、社つ第５図
示の場合より経済的である。

上記のいずれの実施例においても、コア側ｆ固定して、
パルサやセンサを平行移動させているが、本発明におい
ては、これに＃Ｓ足されることなく、パルサ及びセンサ
を固定してコア４ＩｌＩＩを定盤と共に移動してもよい
。又、横方向へはコアを移動させ、たて方向の移動はパ
ルサ及びセンサを移動させるようにしてもよく、姿する
（パルサ及びセンサとコアとを相対的にプレートに平行
な方向へ移動させるのが本発明の１眼である。

以上述べたようにすればプレートに平行な平曲に投影し
たコア内の欠陥の二次元的／ｊ位置及びその大きさが検
査される。更に三次元的な位置を検出するには、第７図
に示す如く、コアを９０度横転させた位置で、プレート
３３に平行な軸上に放射巌＃４０とフィルム４１に保持
しつつ、上述の方法で検出された二次元的欠陥位＆’ｋ
ｄってプレートに垂直な軸４２に平行な方βＩに、欣射
線麺４０とフィルム４１とを移動させながら、放射＆！
Ｖ−よる透過写真を撮影する。この際撮影は、各段のプ
レート毎に行う、このような撮影は第２図に示した装置
又はこれに類似の装置における連結枠２７等に放射Ｓａ
とフィルムを取付けて行ってもよい。

この場合、自動的に撮影するには、モータ山を一段分づ
つ間欠回転させてもよい。

本発明は、以上述べた如く、プレートとフィンとを交互
に、平行且つ多投に配設し、その接触Ｎ所を相互にろう
付けして積層コア構造となしたプレートフィン型熱交換
器の欠陥検査方法及びそのＳｋ置であうで、上記コアを
透過するパルス音の量を検出するためのパル量及びセン
ｔをコアに対して相対的（移動可能に保持し、コア内の
二次元的な欠陥位置を検査しうる如くなした方法及びそ
のＶｉ蝋と、上記二次元的な位置情報と、放射線透過検
査装置のプレー）Ｋ−直角な力μすへの移動によって得
られた位置情報とより二次元的な欠陥の位置倉検出しつ
るようになした欠舶横會方法及びそのｙｋ直とに関する
ものであるから、プレートフィン型熱交換器のろう付は
時に生じる有号な剥離等の欠陥を出荷Ｆｉｉ１に完全に
検出することができ、しかも検査を自動化しつるから大
型の熱交換器であっても人手を要せず、且つ短端１田で
横置を完了しつるものである。

【図面の簡単な説明】

第１Ｉ５Ｉ！ｌは、本発明の基礎となる音響による欠陥
検査方法の原Ｊ！４−示すブロック図、茅２図は本発明
の一実施例である検査装置の斜視図、第３図及び＠４図
は、同装置の制−をコンピュータを用いて行った場合の
ｔｆｉｌＪ　＆系統を示すブロック図及びフローチャー
ト、第５図、第６図は、それぞれ他の実施例に係る検査
装置の蝋略倉小す斜視図、ｌｓ７図は、放射線透過検査
装ｋｌｆ用いた他の実施例についての斜視間である。 （符号の説明） ２２．２３−・・プレート、２１−フィン、４０・・・
放ＭＩＭ源、４１−・・フィルム、Ｃ−・コア、Ｐ−ノ
ずルサ、Ｓ・・・竜ンサ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　プレートとフィンとを交互に平行且つ多段に配設
   し、その接触箇所を相互にろう付けして積層コア構造と
   なしたプレートフィン型熱交換器の欠陥検査方法におい
   て、中間に上記コアを挾んでコアのプレートに対して◆
   龜な軸線上にパルサ及びセンサを対向配備し、上記パル
   サ及び／又はセンサをプレートに平行な面内でコアＩＣ
   対して相対的に移動させ、パルサからセンサに向けて発
   信されたパルス音の透過量に基づいてコア内の二次元的
   な欠陥位ｌｌｌ１を検出するととｔ特徴とするプレート
   フィン型熱交換器の欠陥検査方法。 ２、　プレートとフィンとを交互に平行且つ多設に配設
   し、その接触論断を相互にろう付けして積層コア４１１
   １Ｉ造となしたプレートフィン型熱交換器の欠陥検査方
   法において、中１＋λ１に上記コアを挾んでコアのプレ
   ートに対１で！ｆ！直な軸線上にパルサ及びセンサ電対
   自記−し、上記パルサ及び／又はセンサ上プレートに平
   行な［ＭＩ内でコアに対して相対的に移動させ、パルサ
   からセンサに回けて＠慎されたパルス酋のＩｈ、結社に
   坂づいてコア内の三次元的な欠間位置を槓出し、続いて
   プレートと半行な方向に配漏した放射−透過検倉装置を
   、上記二次元的に検出された欠陥の位Ｊを通リブレート
   に争直Ｉ孟軸に半行に、コアに対して相対的に杼蛎させ
   、上記欠陥の三次元的な位置を検出する如くなしたプレ
   ートフィン型熱交換器の欠陥検査方法。 ３、パルサの発信崗肢数七、数十ｋＨｚから数百にム１
   ｘの領域で選択する特許請求の範囲第１項に記載された
   欠陥検査方法。 ４、パルサの発イイ絢肢数ｔ、故十にム１χから敬白に
   １−１　ｚ以内の領域で選択する特許請求の範囲第２墳
   に記載された欠陥検査方法。 ５、パルサ及び／又はセンサをコアに対して連続的又は
   間欠的に相対移動させる如くなした特許請求の範囲ｊＩ
   Ｉ１項に記載された欠陥検量方法。 ６、パルサ及び／又はセンサをコアに対して連続的Ｘは
   間欠的に相対移動させる如くなした特許請求の範囲第２
   項に記載された欠陥検査方法。 ７、　コアを固定してパルサ及び／又はセン量を移動さ
   せるか、若しくはパルサ及び／又はセン量を固定してコ
   アを移動させる如くなした特許請求の範囲第５項に記載
   された欠陥検査方法。 ８、　コアを固定してパルサ及び／又はセンサを移動さ
   せるか、若しくはパル量及び／又はセンサを固定してコ
   アを移動させる如くなした特許請求の範囲第６項に記載
   された欠陥検査方法。 ９、放射線としてｘ！ｌ又はｒ線を使用「る特許請求の
   範囲第２積に記載された欠陥検査装置。 １０、コアを固定して放射線透虐検★装置１１−移動さ
   せるか、若しくは放射ｌｌｌ１１！１過検食装値を１定
   してコアＪｋＩｌ！ｆｉ動させる如くなした特許請求の
   範囲第２項に記載された欠陥検査方法。 １１、プレートとフィンとを交互に平行且つ多段に配設
   し、その接触向迂を相互にろう付番りして積層コア構造
   とｒｉ　したプレートフィンｔＥ！熱交僕器の欠陥検査
   １ｔｌｌｆｔにおいて、甲同−Ｃコアを挾んで上記コア
   のプレートに対して歩直な軸線上に対同配備されるパル
   量及びセンサと、該パルサ及びセンサを上記プレートに
   対して＊　ＩＩ！　ｆｔ　＄１１１　Ｍ上にパルサとセ
   ンサとの同軸性を保って保持する連結手段と、上記パル
   サ、センサ、及び連結手段を有して成る音書検出１装置
   ｔプレートに平行な方向にコアに対して相対的に移動さ
   せる駆動装置とを有してなるプレートフィン型熱交換器
   の欠陥検査装置。 １２、プレートとフィンと電父互に平行且つ多投に配設
   し、その接触箇所を相互にろう付けして横軸コア構造と
   なしたプレートフィン型熱交換器の欠陥検査装置におい
   て、中間にコアを挾んで上記コアのプレートに対して歩
   ＋ｌｉｉは軸線上に対向配備されるパルサ及びセンサと
   、該パルサ及びセンナを上記プレートに対して垂直な軸
   線上にパルサとセンナとの一輪性を保って保持する連結
   手段と、上記パルサ、センサ、及び連結手段を有して成
   る音豐検出Ｖ装置をプレートに平行な方向にコアに対し
   て相対的に移動させる駆動ｙｋｔ＊と、プレートと平行
   な方向に配備される放射巌透過検ｆ装置とを有し、上記
   パルサ及びセンサのコアとの間の相対移動によって検出
   された欠陥の位置を通りプレートに垂直な軸に半行な方
   向に上記放射１Ｍ透過検査Ｓｋ踵をコアに対して相対移
   動させることによって上記欠陥を三次元的に検出する如
   くなしたプレートフィン型熱交換器の欠陥検査装置。 １３、パルサの発信周波数を、数十にＨｚから数百ｋＨ
   ｚの領域で選択する特許請求の範囲第１１項に記載され
   た欠陥検査＠蝋。 １４、パルサの発信周波数を、数十Ｋ）ｆから数自に１
   １ｘ以内の領域で選択する特１ｆＶ−請求の範囲第１２
   積に記載された欠陥検査装置。 １５、パルサ及び／又はセンサをコアに対して連続的又
   は間欠的に相対移動させる如くなした特許請求の範囲第
   １１項に記載された欠陥検査装置。 １６、　　パルサ及び／又はセンサｔコアに対して連続
   的又は間欠的に相対移動させる如くなしたｑ＃奸請求の
   軸１／Ｉ’ｉ＄１２項に記載された欠陥検査装置。 １７、　　コアヶ固定してパルサ及び／叉はセンサｆ：
   移動させるか、若しくはパルサ及び／Ｘはセンサを固定
   してコアを移動させる如くなした特ｒＴｒ請求のｌ？Ｉ
   囲第１５項に記載された欠陥検査装置。 １８、　　コアを固定してパルサ及び／又はセンサを移
   動させるか、右しくはパルサ及び／又はセンサを固定し
   てコアを移動させる如くなした特許請求の範囲第１６墳
   に記載された欠陥検査装置。 １９、放射線としてＸ線又はｒ線を使用する特許請求の
   範ｉ１Ｂ＄１２項に記載された欠陥検査装置。 ２０、コアを固定して放射線ＩＰＪ過検★装置１を移動
   させるか、若しくは放射Ｉ！＋透過櫨食装置を固定して
   コアを移動させる如くなした特許請求の範囲第１２項に
   記載された欠陥検査装置。