CN111693602A - 声检查装置和操作方法 - Google Patents

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Abstract

提供了一种用于检查组件的声检查装置和相关联的方法。所述声检查装置是便携的并且包括可安置在组件表面上的检查区域的相对侧上的声发射器和接收器。所述声发射器具有用于生成沿着组件的表面行进的声波的声换能器阵列，并且所述声接收器具有用于接收该声波的声换能器阵列。控制器根据所测量的声波确定组件的至少一个表面特性，诸如其晶体结构或晶粒尺寸。

Description

声检查装置和操作方法
优先权信息
本申请要求2019年3月14日提交的、序列号为62/818229的美国临时专利申请的优先权，其通过引用结合在本文中。
技术领域
本公开一般涉及用于检查（inspect）组件的系统和方法，或更特别地涉及便携（portable）声检查装置和相关联的操作方法。
背景技术
针对可能影响组件或机器的性能的缺陷或特性，经常检查各种行业中的机器组件。例如，此类特性可用于预测过早的组件故障，以针对此类组件制定维护计划，或者以其它方式评估组件质量或状况。例如，针对如果不进行修理可能导致组件和/或系统故障的瑕疵和缺点，经常检查航空、机动车、油气、核能发电和其它行业中的组件。另外，特别是当组件由一种或多种金属形成时，此类技术可用于评估组件的结晶学取向（crystallographicorientation）、晶粒尺寸（grain size）或其它表面特性。
检查组件的一个常规方法包括使用激光来生成激发（excite）组件的表面的能量，以及获得表面波速度测量值以检查该组件的表面。然而，此类系统要求光学平台设置（setup）和非便携电源。因此，此类系统的使用限于分析如下所述的组件：所述组件从它们在其中操作的机器中移除并且具有足够小的尺寸以准许安装在光学平台上。此外，此类系统复杂、昂贵、并且不适于对组件进行快速和准确的检查，从而降低了它们在各种应用中的商业可行性。
因此，便于快速、容易和准确的组件检查的改进的检查装置将是有用的。更特别地，下述声检查装置将特别有益：所述声检查装置提供了有成本效益、准确且便携的方式来检查组件而无需从它们在其中操作的系统中移除这些组件。
发明内容
方面和优点将在下面的描述中部分地阐述，或者可根据描述是明显的，或者可通过实践本发明而获知。
根据本主题的一个实施例，提供了一种用于检查组件的便携声检查装置。声检查装置包括：用于生成沿着组件的表面行进的声波的声发射器（acoustic transmitter）；通过换能器（transducer）间隙与声发射器间隔开的声接收器，该声接收器被配置用于接收声波；以及与声接收器可操作地通信的控制器。控制器被配置用于：从声接收器获得指示声波的数据，并且至少部分地基于指示声波的数据来确定组件的至少一个表面特性。
根据另一个示例性实施例，提供了一种检查组件的方法，该方法包括：从第一位置沿着组件的表面引导声波；在与第一位置间隔开的第二位置处接收声波；以及基于所接收的声波来确定组件的至少一个表面特性。
参考以下描述和所附权利要求，这些和其它特征、方面和优点将变得更好理解。结合在本说明书中并构成本说明书一部分的附图示出了本发明的实施例，并且与说明书一起用于解释本发明的某些原理。
附图说明
在对附图进行参考的说明书中，阐述了针对本领域技术人员的、包括其最佳模式的本发明的完整且能够实现的公开。
图1提供了根据本主题的示例性实施例的检查组件的声检查装置的透视图。
图2提供了根据本主题的示例性实施例，图1的示例性声检查装置的声发射器和声接收器的示意视图，该示例性声检查装置检查组件的表面。
图3提供了根据本主题的示例性实施例的发射声波的多个声换能器的示意视图。
图4提供了根据本主题的示例性实施例的检查组件的方法。
在本说明书和附图中参考字符的重复使用旨在表示本发明的相同或相似的特征或元件。
具体实施方式
现在将详细地对本发明的实施例进行参考，在附图中示出了本发明的一个或多个示例。通过解释本发明而不是限制本发明的方式来提供每个示例。实际上，对本领域技术人员将显而易见的是，在不脱离本发明的范围的情况下，可在本发明中进行各种修改和变型。例如，作为一个实施例的部分示出或描述的特征可与另一个实施例一起使用以得出又一实施例。因此，预期本发明涵盖如所附权利要求及其等同物的范围内随之而来的此类修改和变型。
如本文中所使用的，术语“第一”、“第二”、和“第三”可互换地用于将一个组件与另一个组件区分开，并且不旨在表明各个组件的位置或重要性。另外，术语“上游”和“下游”指的是相对于物体的运动或流体、声波、光波等的流动的相对方向。例如，“上游”指的是下述方向：物体已经从该方向移动或流体已经从该方向流动；并且“下游”指的是下述方向：物体正在向该方向移动或流体正在向该方向流动。此外，如本文所使用的，诸如“近似地”、“大体上”或“大约”之类的近似的术语指的是在百分之十的误差裕度内。
本主题一般涉及一种用于检查组件的声检查装置以及相关联的方法。所述声检查装置是便携的并且包括可安置在组件表面上的检查区域的相对侧上的声发射器和接收器。所述声发射器具有用于生成沿着组件的表面行进的声波的声换能器阵列，并且所述声接收器具有用于接收该声波的声换能器阵列。控制器根据所测量的声波确定组件的至少一个表面特性，诸如其晶体结构或晶粒尺寸。
参考图1，将根据本主题的示例性实施例描述可用于检查组件102的声检查装置100。如所图示的，声检查装置100包括通过合适的电连接器或导线110连接到装置外壳108的声发射器104和声接收器106。装置外壳108可进一步包括安装夹112，该安装夹112安装在装置外壳108上并且被配置用于容纳在不使用时的声发射器104和声接收器106，例如，以便于运输和改进声检查装置100的便携性。装置外壳108一般可包括用于促进声检查装置100的操作的任何合适的电组件，如下文详细描述的那样。
用户界面面板120位于装置外壳108上，并且可包括一般被配置用于控制由声检查装置100执行的操作和检查过程的各种用户输入122。虽然用户输入122被图示为按钮，但是应当理解，仅通过示例的方式来提供图1中所示的声检查装置100的配置和用户输入122。更具体地，用户界面面板120可包括各种输入组件，诸如以下中的一个或多个：各种触摸型控件（control）；包括旋转表盘（rotary dial）、按钮和触摸板的电、机械或机电输入装置。用户界面面板120还可被提供有被设计成向用户提供操作反馈或其它信息的一个或多个图形显示装置或显示组件124，诸如数字或模拟显示装置。
一般来说，声检查装置100可包括与用户界面面板120、声发射器104、声接收器106或声检查装置100的任何其它合适的组件可操作地通信的控制器126。声检查装置100的用户界面面板120可经由例如一个或多个信号线或共享的通信总线与控制器126通信，并且控制器126中生成的信号响应于经由用户输入122的用户输入而操作声检查装置100。输入/输出（“I/O”）信号可在控制器126和声检查装置100的各种操作组件之间路由，使得声检查装置100的操作可由控制器126调整。此外，控制器126还可与诸如声发射器104和声接收器106之类的一个或多个传感器或探针通信，所述一个或多个传感器或探针可用于使用声波来检查组件102并且将检查数据提供给控制器126以便分析。
控制器126是“处理装置”或“控制器”并且可如本文中所描述的那样体现。控制器126可包括存储器和一个或多个微处理器、微控制器、专用集成电路（ASICS）、CPU等，诸如可操作以执行与声检查装置100的操作相关联的编程指令或微控制代码的通用或专用微处理器，并且控制器126不一定限于单个元件。存储器可表示随机存取存储器（诸如，DRAM）、或者只读存储器，诸如ROM、电可擦除可编程只读存储器（EEPROM）或FLASH。在一个实施例中，处理器执行存储在存储器中的编程指令。存储器可以是与处理器分离的组件，或者可内建（onboard）包含在处理器内。备选地，可在不使用微处理器的情况下，例如代替依赖于软件，使用执行控制功能性的分立模拟和/或数字逻辑电路（诸如，开关、放大器、积分器、比较器、触发器、与门等）的组合来构造控制器126。
根据所图示的实施例，声检查装置100是配置用于容易地从一个位置运输到另一个位置的手持便携单元。在这方面，声检查装置100可被携带到含有要被检查的组件102的机器（未示出）。值得注意的是，由于声检查装置100的紧凑尺寸和便携性，可减少显著的机器停机时间，因为在检查期间不需要从机器移除组件102。另外，被检查组件的尺寸可增大，因为检查尺寸仅受电线110的长度（其可以是任何合适的长度）限制，并且检查过程可以是快速、便宜和准确的。
如图1中所示，组件102是用于燃气涡轮发动机（gas turbine engine）的风扇盘。然而，应当领会，根据备选实施例，组件102可以是来自任何合适的行业中使用的任何合适的机器或装置的任何合适的部分、部件（feature）、组件或系统组件。本文中将风扇盘用作组件102不旨在以任何方式限制本主题的范围。另外，本文中使用的声检查装置100的特定配置、装置外壳108的封装以及发射器和接收器的类型不旨在限制本主题的范围。实际上，设想的是，声检查装置100可用于检查下述行业中的组件：油气行业、航空行业、机动车行业、游乐园行业、核能行业、发电行业或任何其它合适行业。
另外，尽管本文中将组件102描述为至少部分地由金属形成，但是应当领会，声检查装置100可用于检查具有任何其它合适的形状、尺寸和材料（例如，诸如热塑性塑料、陶瓷等）的组件。例如，声检查装置100可用于检查以下各项的内径、外径或腹板（web）：风扇盘、组件法兰、锻造盘、材料坯、成品、或具有任何其它合适尺寸和形状并由任何其它合适材料形成的任何其它合适组件。
现在也参考图2，将根据示例性实施例描述声检查装置100检查组件102所采用的方式。一般来说，声检查装置100使用声发射器104来发射或生成沿着组件102的表面132行进的声波130。同时，声波检查装置100使用声接收器106来接收声波130。具体地，声检查装置100的操作者可将声发射器104放置在组件102上的一个位置（即，激发区域），而同时将声接收器106放置在与组件102的表面132上的声发射器104间隔开的第二位置（即，检查或询问（interrogation）区域）。
如本文中所使用的，术语“声发射器”和“声接收器”一般用于指发射或生成与组件102相互作用以促进检查过程的声波130的传感器、换能器或装置。例如，声发射器104可以是用于利用声波来激发组件102的区域的任何合适的装置或系统。在这方面，声发射器104可以是激发源、能量源、振动（vibration）源或用于生成可通过组件102或沿着组件表面132行进的振动、声波或表面声波的任何其它装置。类似地，声接收器106可以是用于接收、测量、量化或以其它方式检测此类声波或更特别地在声波已经与组件102的表面相互作用之后的声波响应的任何合适装置或系统。
因此，一般来说，声接收器106可被配置用于测量声波130，或组件102的表面132上的一个或多个位置处的声波响应。在这方面，例如，组件102的区域的声传播性质可影响振动或声波通过材料行进的方式。例如，所使用的材料、形成方法、结构配置和其它因素可影响组件102的声学性质。声接收器106可检测诸如声音衰减或速度之类的变化以促进声检查并提供关于组件102的有用信息。激发和询问、读取、映射或以其它方式获得关于组件102的声学响应的有用数据的该过程可揭示关于组件102的表面特性的有用信息。
根据示例性实施例，声发射器104和声接收器106包括声换能器140的阵列。一般来说，声换能器是将电信号或控制信号转换成声波或将声波转换成电信号的任何装置。声发射器104和声接收器106可进一步包括用于调节所生成的电信号或声波的任何其它合适的电子组件，诸如放大器、调节电路等。另外，应当领会，如本文中所描述的声换能器可按发射模式、接收模式或发射/接收模式中的一种或所有模式来操作，使得可在声发射器104和声接收器106中使用相同的换能器。
此外，应当领会，虽然本文将声检查装置100描述为具有用于发射声波130的一个声发射器104和用于接收声波130的一个声接收器106，但是本主题的范围被认为包括用于发送和/或接收声波或信号的以任何合适方式放置的任何合适数量的发射器和接收器。在这方面，当需要时，控制器126可将声接收器106作为发射器来操作并且将声发射器104作为接收器来操作。
此外，控制器126可被配置成按声学接收或发射模式操作声发射器104或声接收器106内的多个声换能器140。换句话说，在单个检查过程期间，声发射器104可正在一些声换能器140处生成声波130，而同时在其它声换能器140接收声波130。本文中描述的声检查装置100的操作不旨在是限制性的。例如，虽然本文将声发射器104和声接收器106描述为包括声换能器140的阵列，但是应当领会，这些装置在保持在本主题的范围内的同时，每个可包括少至一个的声换能器140。
另外，根据示例性实施例，控制器126可被配置用于操作声发射器104和声接收器106以实现由声检查装置100生成的声波130的全矩阵捕获（FMC）。如本文中所使用的，术语“全矩阵捕获”（FMC）等旨在指的是提供用于每个发射器和接收器在它们之间传递声学数据的数据获取策略。以这种方式，全矩阵捕获针对给定超声或声换能器实现每种可能的发射-接收组合的捕获。因此，全矩阵捕获可提高超声检查的可靠性、提供更高分辨率的图像或数据以促进改进的分析、以及实现组件微结构、表面纹理、晶粒尺寸和取向之类的有成本效益的检测。
在图3中图示了全矩阵捕获的操作的示例性图示，图3将声发射器104中的每个声换能器140示为向声接收器106内的声换能器140中的每个发射声波130。虽然本文仅图示了三个声换能器140，但是应当领会，根据备选实施例，声发射器104和声接收器106可包括任何合适的数量、位置、配置和操作模式的声换能器140。
再次参考图2，在检查过程期间，声接收器106可通过换能器间隙160与声发射器104间隔开。例如，根据所图示的实施例，换能器间隙160近似为0.15英寸。然而，根据备选实施例，换能器间隙160可在大约0.05和1英寸之间、大约0.1和0.25英寸之间、或是用于促进声检查过程的任何其它合适的距离。
另外，声发射器104和声接收器106可包括沿着限定扫描宽度152的大体直线而间隔开的多个声换能器140。值得注意的是，根据示例性实施例，多个声换能器140通过换能器间隙或间隔154彼此间隔开。可选择换能器间隔154，使得多个声换能器140检查组件102的表面132的条（strip）。当跨要检查的扫描长度150一前一后地（in tandem）移动声发射器104和声接收器106时，可通过使用位置编码装置将扫描长度150细分成所测量的增量。可使用编码装置和换能器位置信息来组合这些数据条，以形成表面132的完整图片。
更具体地，当声发射器104和声接收器106跨组件102的表面一前一后地平移时，控制器126可获得表面132的二维图像（例如，如图2中由虚线156所指示的那样）。因此，二维图像156可映射表面132的剖面，并具有扫描长度150乘以扫描宽度152的大小。操作者可连续重新放置声发射器104和声接收器106以获得表面132的多个图像，控制器126可将所述多个图像缝合在一起以形成组件102的表面132的总体图像，该总体图像可用于检测组件特性、缺陷、瑕疵等。
值得注意的是，扫描长度150、扫描宽度152和换能器间隔154可取决于声检查装置100的特定配置、使用的换能器的类型、被检查的组件或任何其它合适的因素或应用而变化。例如，根据所图示的实施例，扫描长度150近似为20英寸。然而，根据备选实施例，扫描长度150可在大约0.5和50英寸之间、大约5和40英寸之间、大约10和30英寸之间、或者是用于促进声检查过程的任何其它合适的距离。
例如，根据示例性实施例，声发射器104和声接收器106中的每个可具有大约四个和256个之间的声换能器140的阵列，并且声发射器104可具有与声接收器106类似或与声接收器106不同数量的声换能器140。根据其它实施例，声发射器104和声接收器106中的每个可包括大约16个和128个之间的声换能器、大约40个和80个之间的声换能器、或大约64个声换能器。另外，应当领会，声换能器140虽然被示为沿着直线对准，但是可按多个行来堆叠、或者可按任何其它合适的方式被放置在声发射器104和声接收器106内。
例如，根据所图示的实施例，换能器间隔154可在大约0.005和0.5英寸之间、大约0.01和0.02英寸之间、或是大约0.016英寸。然而，换能器间距154一般可选择成与从每个声换能器140发射的声波130的声音转向角（sound steering angle）134相对应。
值得注意的是，声发射器104和声接收器106可生成和接收适合于针对所需的表面特性而测量组件102的任何合适的振幅、波长和频率的声波。在这方面，例如，声波130可具有大约0.1和80 MHz之间的频率。根据备选实施例，声波130可具有大约0.5和20 MHz之间或大约10 MHz的频率。然而，应当领会，可使用任何其它合适的频率，并且可使声波130适合检测某些缺陷、表面质量特性等。
如本文中所使用的，术语“表面特性”等旨在指组件102的或更具体地组件102的表面132的定量特性、定量测量特征或其它性质。例如，由声检查装置100测量的表面特性可包括微纹理、表面粗糙度、裂纹、微破裂、表面缺陷或其它表面畸变（aberration）或特征。另外，特别是当组件102由金属形成时，表面特性可包括与以下有关的信息：表面132的晶体结构、晶体/晶粒取向（例如，诸如微纹理）、晶粒尺寸、晶粒形状（例如，诸如蜂窝）、或任何其它冶金表面质量特性。另外，控制器126可被配置用于计算表面质量特性的统计数据（诸如，声音衰减或速度的标准差），由此控制器126分析由扫描长度150和扫描宽度152限定的数字2-D图像156，并计算该区域内一些或所有测量信号的统计数据，以预测、测量、估计或以其它方式获得平均晶粒特性。
由于已经根据本主题的示例性实施例描述了声检查装置100的构造和配置，将根据本主题的示例性实施例描述用于检查组件的示例性方法200。方法200可用于使用声检查装置100来检查组件102，或者可用于使用任何其它合适的检查系统来检查任何其它合适的组件。在这方面，例如，控制器126可被配置用于实现方法200的一些或所有步骤。此外，应当领会，本文仅讨论示例性方法200以描述本主题的示例性方面，并且不旨在是限制性的。
现在参考图4，方法200包括，在步骤210，从第一位置沿着组件的表面引导声波。具体地，从上面继续该示例，控制器126可使用声发射器104跨组件102的表面132发射来自多个声换能器140的多个声波。如所图示的，声发射器104中的多个换能器140可以大体上沿着直线按阵列取向，使得它们限定扫描宽度152。
步骤220包括：在与第一位置间隔开的第二位置处接收声波。例如，控制器126可从声接收器106获得指示声波130的数据。值得注意的是，根据所图示的实施例，声接收器106包括相同数量和间隔的声换能器140，但是其通过换能器间隙160与声发射器104中的声换能器140间隔开。因此，控制器126可获得表面132的二维图像156。如上面所解释的，控制器126可使用此类二维图像156来确定组件102的表面特性。另外，操作者可按顺序围绕组件102的表面132一前一后地移动声发射器104和声接收器106以获得整个组件102的总表面图像。
步骤230包括基于所接收的声波来确定组件的至少一个表面特性。例如，如上面所解释的，声波可由控制器126用于确定表面微结构，诸如晶体结构和/或晶粒尺寸。此外，表面特性可以与微纹理、表面粗糙度、组件裂纹或缺陷（其可导致故障）、或者组件102的表面132内的任何其它合适的声学可检测特征有关。
图4描绘了出于说明和讨论的目的，具有按特定顺序执行的步骤的示例性控制方法。使用本文中提供的公开，本领域技术人员将理解，可按各种方式对本文讨论的任何方法中的任何方法的步骤进行适配、重新布置、扩展、省略或修改而不偏离本公开内容的范围。此外，虽然使用声检查装置100作为示例解释了方法的方面，但是应当领会，这些方法可应用于使用任何合适的声学监测装置来检查组件。
通过以下条款（clause）的主题来提供本发明的另外的方面：
1. 一种用于检查组件的便携声检查装置，所述声检查装置包括：用于生成沿着所述组件的表面行进的声波的声发射器；通过换能器间隙与所述声发射器间隔开的声接收器，所述声接收器被配置用于接收所述声波；以及与所述声接收器可操作地通信的控制器，所述控制器被配置用于：从所述声接收器获得指示所述声波的数据；以及至少部分地基于指示所述声波的所述数据来确定所述组件的至少一个表面特性。
2. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述声发射器和所述声接收器各自是按发射模式和接收模式可操作的声换能器。
3. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述声发射器或所述声接收器中的至少一个包括：多个声换能器，所述多个声换能器中的每个通过换能器间隔彼此间隔开。
4. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述多个声换能器包括沿着大体上直线放置的大约20个和100个之间的换能器。
5. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述换能器间隔在大约0.05和0.15英寸之间。
6. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述控制器被配置用于获取由所述多个声换能器生成的多个声波的全矩阵捕获。
7. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述声发射器具有大约0.5到2英寸之间的扫描宽度。
8. 任何前述条款的所述声检查装置，其中指示所述声波的所述数据形成所述组件的所述表面的二维图像。
9. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述声发射器和所述声接收器的扫描长度在大约5和40英寸之间。
10. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述声波具有大约0.5和20 MHz之间的频率。
11. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述声波具有大约10 MHz的频率。
12. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述至少一个表面特性包括所述组件的所述表面的晶体结构或平均晶粒尺寸。
13. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述声发射器、所述声接收器、和所述控制器被存储在便携装置中。
14. 任何前述条款的所述声检查装置，其中所述组件是金属。
15. 一种检查组件的方法，所述方法包括：从第一位置沿着所述组件的表面引导声波；在与所述第一位置间隔开的第二位置处接收所述声波；以及基于所接收的声波来确定所述组件的至少一个表面特性。
16. 任何前述条款的所述方法，其中引导声波包括：从多个声换能器生成多个声波，其中多个换能器中的每个由换能器间隔彼此间隔开。
17. 任何前述条款的所述方法，进一步包括：获取由所述多个声换能器生成的所述多个声波的全矩阵捕获。
18. 任何前述条款的所述方法，进一步包括：根据所接收的声波形成所述组件的所述表面的二维图像。
19. 任何前述条款的所述方法，其中所述声波具有大约0.5和20 MHz之间的频率。
20. 任何前述条款的所述方法，其中确定所述至少一个表面特性包括：确定所述组件的所述表面的晶体结构或平均晶粒尺寸。
本书面描述使用示例性实施例来公开本发明（包括最佳模式），并且还使任何本领域技术人员能够实践本发明，包括制造和使用任何装置或系统以及执行任何结合的方法。本发明的可取得专利范围由权利要求限定，并且可包括本领域技术人员想到的其它示例。如果此类其它示例包括并非异于权利要求的字面语言的结构元件，或者如果它们包括具有与权利要求的字面语言的非实质性差异的等效结构元件，则它们旨在权利要求的范围内。

Claims (10)

1.一种用于检查组件的便携声检查装置，所述声检查装置包括：
声发射器，所述声发射器用于生成沿着所述组件的表面行进的声波；
声接收器，所述声接收器通过换能器间隙与所述声发射器间隔开，所述声接收器被配置用于接收所述声波；以及
控制器，所述控制器与所述声接收器可操作地通信，所述控制器被配置用于：
从所述声接收器获得指示所述声波的数据；以及
至少部分地基于指示所述声波的所述数据来确定所述组件的至少一个表面特性。
2.如权利要求1所述的声检查装置，其中所述声发射器和所述声接收器各自是按发射模式和接收模式可操作的声换能器。
3.如权利要求1所述的声检查装置，其中所述声发射器或所述声接收器中的至少一个包括：
多个声换能器，所述多个声换能器中的每个通过换能器间隔彼此间隔开。
4.如权利要求3所述的声检查装置，其中所述多个声换能器包括沿着大体上直线放置的大约20个和100个之间的换能器。
5.如权利要求3所述的声检查装置，其中所述换能器间隔在大约0.05和0.15英寸之间。
6.如权利要求3所述的声检查装置，其中所述控制器被配置用于获取由所述多个声换能器生成的多个声波的全矩阵捕获。
7.如权利要求1所述的声检查装置，其中所述声发射器具有大约0.5到2英寸之间的扫描宽度。
8.如权利要求1所述的声检查装置，其中指示所述声波的所述数据形成所述组件的所述表面的二维图像。
9.如权利要求1所述的声检查装置，其中所述声发射器和所述声接收器的扫描长度在大约5和40英寸之间。
10.如权利要求1所述的声检查装置，其中所述声波具有大约0.5和20 MHz之间的频率。
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