JPS5866913A - レ−ザ干渉計等のための光路差増倍装置 - Google Patents
レ−ザ干渉計等のための光路差増倍装置Info
- Publication number
- JPS5866913A JPS5866913A JP56166003A JP16600381A JPS5866913A JP S5866913 A JPS5866913 A JP S5866913A JP 56166003 A JP56166003 A JP 56166003A JP 16600381 A JP16600381 A JP 16600381A JP S5866913 A JPS5866913 A JP S5866913A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- prism
- corner
- point
- corner cube
- optical path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02015—Interferometers characterised by the beam path configuration
- G01B9/02017—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations
- G01B9/02018—Multipass interferometers, e.g. double-pass
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レーザ干渉計等に使用して光路差をにレーザ
干渉針が盛んに用いられている。そのため、レーザ干渉
計として高感度にして且つ高精度Ωものが望まれている
。
干渉針が盛んに用いられている。そのため、レーザ干渉
計として高感度にして且つ高精度Ωものが望まれている
。
光路差を増倍して感闇を高める手段として、従来、マイ
ケルノン形干渉計の移動反射体に工夫を加えることが考
えられている。即ち、第１図に示すように一対の直角プ
リズムα、ｂを対向させ、あるいは第２図に示すように
一対のコーナキューブプリズムｃ、ｄを対向させ、一方
のプリズムに入射させた入射光線Ｃを対向する他方のプ
リズムとの間で■〜０の番号順に複数回反射させた後射
出光＠ｆとして取出し、対向する一対のプリズムの間隔
を広けることにより、光路差の増倍を可能にするもので
ある。この場合、一対のプリズムの間で、複数回反射す
る光線の光路は、全て一平面上に一列に並ぶことになり
、そのため往復反射回数の増加によって、それだけ感度
が上ることにはなるが、各プリズムにおいて上記平面を
含む部分化に伴って製作精度も低下するという難点があ
ったＯ １１ 、・！’−ｊ１本発明け・上目ｅ難点に鑑み・°−す“
−２２リズムの入射面における光の入射、射出の位置が
コーナポイントに対し互いに点対称な位置にあるという
性質を利用して、コーナプリズムの入射面積をできるだ
け有効に入射・反射に関与させることにより光の往復反
射回数を増加させ、従来のものと同じ感度倍率を得るの
に必要なプリズムの直径または辺の長さを著しく小さく
できるようにしたものである。
ケルノン形干渉計の移動反射体に工夫を加えることが考
えられている。即ち、第１図に示すように一対の直角プ
リズムα、ｂを対向させ、あるいは第２図に示すように
一対のコーナキューブプリズムｃ、ｄを対向させ、一方
のプリズムに入射させた入射光線Ｃを対向する他方のプ
リズムとの間で■〜０の番号順に複数回反射させた後射
出光＠ｆとして取出し、対向する一対のプリズムの間隔
を広けることにより、光路差の増倍を可能にするもので
ある。この場合、一対のプリズムの間で、複数回反射す
る光線の光路は、全て一平面上に一列に並ぶことになり
、そのため往復反射回数の増加によって、それだけ感度
が上ることにはなるが、各プリズムにおいて上記平面を
含む部分化に伴って製作精度も低下するという難点があ
ったＯ １１ 、・！’−ｊ１本発明け・上目ｅ難点に鑑み・°−す“
−２２リズムの入射面における光の入射、射出の位置が
コーナポイントに対し互いに点対称な位置にあるという
性質を利用して、コーナプリズムの入射面積をできるだ
け有効に入射・反射に関与させることにより光の往復反
射回数を増加させ、従来のものと同じ感度倍率を得るの
に必要なプリズムの直径または辺の長さを著しく小さく
できるようにしたものである。
而して、本発明の光路差増倍装置は、一対のコ ・−ナ
キューブプリズムを互いの稜線が一致する位置から捩る
と共にコーナポイント同士を僅かにずらして対向させ、
あるいはコーナキューブプリズムと直角プリズムを互い
の稜線が一致する位置から捩ると共にコーナポイントと
直角プリズムの稜―を僅かにずらして対向させ、それに
より光線が各プリズム上における一平面上だけでなく、
多数点を効率よく利用するようにして、各プリズムを少
なくとも一方向に大きな幅を有するものとして構成する
必要をなくシ、各プリズム及びそれらによシ構成される
光路差増倍装置の小形化を可能にすると共に、光路差を
著しく増倍できるようにしたことを特徴とするものであ
る。
キューブプリズムを互いの稜線が一致する位置から捩る
と共にコーナポイント同士を僅かにずらして対向させ、
あるいはコーナキューブプリズムと直角プリズムを互い
の稜線が一致する位置から捩ると共にコーナポイントと
直角プリズムの稜―を僅かにずらして対向させ、それに
より光線が各プリズム上における一平面上だけでなく、
多数点を効率よく利用するようにして、各プリズムを少
なくとも一方向に大きな幅を有するものとして構成する
必要をなくシ、各プリズム及びそれらによシ構成される
光路差増倍装置の小形化を可能にすると共に、光路差を
著しく増倍できるようにしたことを特徴とするものであ
る。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳絹に鰭明する
。第３図は一対のシーナキーーププリズムを用いた実施
例を示し、大径の入射出面１２を有する大きいコーナキ
ューブプリズム１１と、小径の入射出面１４を有する小
さいコーナキューブプリズム１３を備え、それらの入射
出面１２ 、１４を適当な距離を隔てて平行に対向させ
、さらに互いの稜線１５゜１６が一致した位置から中心
軸のまわりに捩ると共−す６゜ −： １２ 、１４と平行なｒｙ座標面を図示のように設定し
、而して一搬にコーナキューブプリズムにおいては入射
光線がコーナポイントと点対称の位置から射出する性質
があることから、ａｅｙ座標面にお叶るＡ点（−４７２
，２４）から入射光＠１９をコーナキューブプリズムＩ
ＩＫ垂直に入射すると、その光線ハコーナキエーププリ
ズム１１の内部で反射して、コーナポイント１フ即ち原
点（０，０）ＩＣ対して点対称ＯＢ点（”／ ２− ２
４）から垂直に射出する。
。第３図は一対のシーナキーーププリズムを用いた実施
例を示し、大径の入射出面１２を有する大きいコーナキ
ューブプリズム１１と、小径の入射出面１４を有する小
さいコーナキューブプリズム１３を備え、それらの入射
出面１２ 、１４を適当な距離を隔てて平行に対向させ
、さらに互いの稜線１５゜１６が一致した位置から中心
軸のまわりに捩ると共−す６゜ −： １２ 、１４と平行なｒｙ座標面を図示のように設定し
、而して一搬にコーナキューブプリズムにおいては入射
光線がコーナポイントと点対称の位置から射出する性質
があることから、ａｅｙ座標面にお叶るＡ点（−４７２
，２４）から入射光＠１９をコーナキューブプリズムＩ
ＩＫ垂直に入射すると、その光線ハコーナキエーププリ
ズム１１の内部で反射して、コーナポイント１フ即ち原
点（０，０）ＩＣ対して点対称ＯＢ点（”／ ２− ２
４）から垂直に射出する。
次いで、この光線は上記Ｂ点（’Ｉ／ ２ 、 ２４
）からコーナキューブプリズム１３の入射出面１４に垂
直に入射し、内部で反射してコーナポイン）１８（０゜
１１２）と点対称の０点（４／ ２．１２）から射出し
、さらにコーナキューブプリズム１１に垂直に入射して
同様な反射を繰返し、コーナキー−ブプリなシ、隣接す
る各点の２方向幅は１１、ν方向幅はｊｌとなる。而し
て、上記２方向幅！、は入射光線が入射するＡ点（ｊｓ
／２．２１ｚ ）の２成分の絶対値１１／２の２倍であ
ることから、その２方向幅を変えるＫは入射光１１１９
の座標２成分を変えればよく、また上記ｙ方向幅６は一
対のコーナポイン） １７ 、１８のずれｌｘ／２の２
倍であることから、そのｙ方向幅を変えるには一対のコ
ーナポイン） １７ 、１８のずれを変えればよい。な
お、上記ずれを著しく小さくすれば、コーナキューブプ
リズム１１における最初の入射点大がコーナキューブプ
リズム１３の裏側に隠れてしまい、入射光）ｉ１１９を
入射させることができなくなる場合もあるが、この場合
には、コーナキューブプリズム１３を部分的に削り落す
か、後述するように、一方のコーナキューブプリズムに
代えて直角プリズムあるいは直角千面鋺等を用いれはよ
い。
）からコーナキューブプリズム１３の入射出面１４に垂
直に入射し、内部で反射してコーナポイン）１８（０゜
１１２）と点対称の０点（４／ ２．１２）から射出し
、さらにコーナキューブプリズム１１に垂直に入射して
同様な反射を繰返し、コーナキー−ブプリなシ、隣接す
る各点の２方向幅は１１、ν方向幅はｊｌとなる。而し
て、上記２方向幅！、は入射光線が入射するＡ点（ｊｓ
／２．２１ｚ ）の２成分の絶対値１１／２の２倍であ
ることから、その２方向幅を変えるＫは入射光１１１９
の座標２成分を変えればよく、また上記ｙ方向幅６は一
対のコーナポイン） １７ 、１８のずれｌｘ／２の２
倍であることから、そのｙ方向幅を変えるには一対のコ
ーナポイン） １７ 、１８のずれを変えればよい。な
お、上記ずれを著しく小さくすれば、コーナキューブプ
リズム１１における最初の入射点大がコーナキューブプ
リズム１３の裏側に隠れてしまい、入射光）ｉ１１９を
入射させることができなくなる場合もあるが、この場合
には、コーナキューブプリズム１３を部分的に削り落す
か、後述するように、一方のコーナキューブプリズムに
代えて直角プリズムあるいは直角千面鋺等を用いれはよ
い。
上記装置において、光路差を増倍するには、一対のコー
ナキューブプリズム１１ 、１３にお叶る入射出面１２
、１４間の間隔を広げればよく、大きいコーナキュー
ブプリズム１１を変位させれば光路差は５倍に増倍され
、小さいコーナキューブプリズム１３を変位させれば光
路差は４倍に増倍され、感度４第４図は、コーナキュー
ブプリズムと直角プリズムを用いた実施例を示し、第３
図の実施例において小さいコーナキューブプリズムに代
えて直角プリズムを用いたものである。即ち、この光路
差増倍装置では、コーナキューブプリズム２１と直角プ
リズムるを備え、コーナキューブプリズム２１の入射出
面ηと直角プリズム乙の底面詞を適当な距峻だけ隔てて
平行に対向させ、さらに互いの４１１！線δ、２６が一
致した位置から中心軸の鷹わりに捩ると共に、直角プリ
ズムるをずらして配置したものである。
ナキューブプリズム１１ 、１３にお叶る入射出面１２
、１４間の間隔を広げればよく、大きいコーナキュー
ブプリズム１１を変位させれば光路差は５倍に増倍され
、小さいコーナキューブプリズム１３を変位させれば光
路差は４倍に増倍され、感度４第４図は、コーナキュー
ブプリズムと直角プリズムを用いた実施例を示し、第３
図の実施例において小さいコーナキューブプリズムに代
えて直角プリズムを用いたものである。即ち、この光路
差増倍装置では、コーナキューブプリズム２１と直角プ
リズムるを備え、コーナキューブプリズム２１の入射出
面ηと直角プリズム乙の底面詞を適当な距峻だけ隔てて
平行に対向させ、さらに互いの４１１！線δ、２６が一
致した位置から中心軸の鷹わりに捩ると共に、直角プリ
ズムるをずらして配置したものである。
上記構成の反射装置において、第６図の場合と同様に、
コーナポイン）２７’ｌ原点とするｘｙ座標面を設定し
、そのｘｙ座標面におけるＡ Ａ、 （−Ａｌ１゜２／
りから入射光線画をコーナキューブプリズム２１の入射
出面乙に垂直に入射すると、その光線は一対のプリズム
２］ 、 ２３の間で第３ Ｅ＠Ｉの場合とけ異寿る順
序で反射を繰返し、■〜［Ｆ］の番号順に通過Ｌ−ｃｌ
！ｅＡＩｔｆｆｌ＃２２ｆｏＲ，ａ （！ｒ／３．２ｚ
ｔ ） ｄ、ｄ′垂直に射出する。而して、光線の入射
出点の座柳け、第３回の場合と同様に、隣接する各点の
Ｘ方向幅Ｆｉｔ＋ 、 ｙ方向幅Ｆｉｚ、となる。また
、第６図の場合と同様に、上記Ｘ方向幅は入射光線画の
入射点、の座標のＸ成分を変えることによシ調節でき、
上記ｙ方向幅はコーナポイントｎと直角プリズムｎの稜
１ｓ２６とのずれを変えることにより調節できる０ 第５図は、第４図の実施例をさらに高感度となるように
改良した実施例を示し、餉４図においてコーナキューブ
プリズム２１０入射出面ηのＲ点から射出する射出光線
Ｉをコーナキューブプリズム２１と対向させた小口径の
コーナキューブプリズム３１の中心で反射して、上記往
光路を再び帰戻させ、上記入射点大から射出させるよう
に構成したものである。この場合、光路が第４図のもの
の２倍に増倍されるため、コーナキューブプリズム２１
を移動すれば、光路差＃′ｉ１０倍に増倍され、感度も
１０倍となる。
コーナポイン）２７’ｌ原点とするｘｙ座標面を設定し
、そのｘｙ座標面におけるＡ Ａ、 （−Ａｌ１゜２／
りから入射光線画をコーナキューブプリズム２１の入射
出面乙に垂直に入射すると、その光線は一対のプリズム
２］ 、 ２３の間で第３ Ｅ＠Ｉの場合とけ異寿る順
序で反射を繰返し、■〜［Ｆ］の番号順に通過Ｌ−ｃｌ
！ｅＡＩｔｆｆｌ＃２２ｆｏＲ，ａ （！ｒ／３．２ｚ
ｔ ） ｄ、ｄ′垂直に射出する。而して、光線の入射
出点の座柳け、第３回の場合と同様に、隣接する各点の
Ｘ方向幅Ｆｉｔ＋ 、 ｙ方向幅Ｆｉｚ、となる。また
、第６図の場合と同様に、上記Ｘ方向幅は入射光線画の
入射点、の座標のＸ成分を変えることによシ調節でき、
上記ｙ方向幅はコーナポイントｎと直角プリズムｎの稜
１ｓ２６とのずれを変えることにより調節できる０ 第５図は、第４図の実施例をさらに高感度となるように
改良した実施例を示し、餉４図においてコーナキューブ
プリズム２１０入射出面ηのＲ点から射出する射出光線
Ｉをコーナキューブプリズム２１と対向させた小口径の
コーナキューブプリズム３１の中心で反射して、上記往
光路を再び帰戻させ、上記入射点大から射出させるよう
に構成したものである。この場合、光路が第４図のもの
の２倍に増倍されるため、コーナキューブプリズム２１
を移動すれば、光路差＃′ｉ１０倍に増倍され、感度も
１０倍となる。
第６図は、第４図の実施例を高感度になるように改良し
た他の実施例を示し、第５図では射出光１ｇ４３ｏがそ
のまま往光路を戻るように［７ているのに対し、第６図
では異なる光路で戻らせている。即ち、第５図では射出
光線画をコーナキューブプリズム３１の中心に入射させ
ているのに対し、第６図では射出光線Ｉをコーナキュー
ブプリズム３２の中心から偏寄した８点に入射させ、コ
ーナポイント幻と点対称なＴ点から射出させて、これを
コーナキューブプリズム２１の７点に入射させ、これに
より上記と同様に、一対のプリズム２１．２３の間で複
数回反射させて７点から射出するように構成している。
た他の実施例を示し、第５図では射出光１ｇ４３ｏがそ
のまま往光路を戻るように［７ているのに対し、第６図
では異なる光路で戻らせている。即ち、第５図では射出
光線画をコーナキューブプリズム３１の中心に入射させ
ているのに対し、第６図では射出光線Ｉをコーナキュー
ブプリズム３２の中心から偏寄した８点に入射させ、コ
ーナポイント幻と点対称なＴ点から射出させて、これを
コーナキューブプリズム２１の７点に入射させ、これに
より上記と同様に、一対のプリズム２１．２３の間で複
数回反射させて７点から射出するように構成している。
この場合、第５図の実施例と同様に、感度は１０倍あが
る。
る。
第７図は、第６図の実施例をさらに改良した実 ゛施
例を示し、コーナキューブプリズム２１のＶ点から射出
する光線Ｕを小口径のコーナキューブプリズムあの中心
で反射させ、光線がそれまでの光路をそのまま帰戻する
ように構成している。この場合、光路差は加倍に増倍さ
れ、感度もｍ倍となる。
例を示し、コーナキューブプリズム２１のＶ点から射出
する光線Ｕを小口径のコーナキューブプリズムあの中心
で反射させ、光線がそれまでの光路をそのまま帰戻する
ように構成している。この場合、光路差は加倍に増倍さ
れ、感度もｍ倍となる。
上記各実施例において以下のような問題点が考えられる
が、それはいずれも技術的に解決可畦である。即ち、 （１） プリズムの内部における反射回数が多くなる
と光の強度が低下する。
が、それはいずれも技術的に解決可畦である。即ち、 （１） プリズムの内部における反射回数が多くなる
と光の強度が低下する。
仁の問題を解決するには、直角プリズムに代えて直角ミ
ラーを用い、その直角ミラーを誘電体多層膜コーティン
グによる多層膜蒸着により構成し、極めて全反射に近い
反射を行うものとすればよく、これにより、光強度の低
下はコーナキューブプリズムの入射面における表面反射
によるものが大部分で、その他では低下しない°ものと
することができる。
ラーを用い、その直角ミラーを誘電体多層膜コーティン
グによる多層膜蒸着により構成し、極めて全反射に近い
反射を行うものとすればよく、これにより、光強度の低
下はコーナキューブプリズムの入射面における表面反射
によるものが大部分で、その他では低下しない°ものと
することができる。
（２）偏光特性については、コーナキューブプリズムを
任意の位置に回転して、信号が鵠・も強く得られるよう
にセットすることにより解決できる。
任意の位置に回転して、信号が鵠・も強く得られるよう
にセットすることにより解決できる。
１゛１
精度（ｌｏＩＩＪｌｍの移動−ｃ １ｎｙｒ Ｋ４ｆｌ
当） １４！１）ｑ−ｐ、コーナキューブプリズムの相
互の直角精度を±７５″′とする必要がある。この精度
でコーナキューブプリズムを製作することは十分可能で
あり、これに＋１ 倍装置を用いて構成したＬＳＩのマイクロパターン測定
用差動式レーザ干渉計を示し、左右に微小距離移動でき
る微動台４１の上に一対のコーナキューブプリズム４２
．４３を背向状愈に配設すると共に、それらと対向して
大小の直角プリズムを組合わせて作った一対の直角平面
ミラー４４ 、４５を設け、互いに差動関係にある一対
の光路差増倍装置４６ 、４７を構成している。従って
、上記微動台４１を例えば左方に微小距離Δｌだけ移動
すれば、右方の光路差増倍装ｆｆ４６においてはコーナ
キューブプリズム４２と直角平面ミラー４４０間隔が微
小距離Δｔｐｈ広がるように構成している。而して、上
記各反射装置ｅ４６’、４ｒは、それぞれ光路を５往復
させているので、５倍の感度になり、さらに上記差動式
の移１動量検出を行うため、感度は１０倍となる。
当） １４！１）ｑ−ｐ、コーナキューブプリズムの相
互の直角精度を±７５″′とする必要がある。この精度
でコーナキューブプリズムを製作することは十分可能で
あり、これに＋１ 倍装置を用いて構成したＬＳＩのマイクロパターン測定
用差動式レーザ干渉計を示し、左右に微小距離移動でき
る微動台４１の上に一対のコーナキューブプリズム４２
．４３を背向状愈に配設すると共に、それらと対向して
大小の直角プリズムを組合わせて作った一対の直角平面
ミラー４４ 、４５を設け、互いに差動関係にある一対
の光路差増倍装置４６ 、４７を構成している。従って
、上記微動台４１を例えば左方に微小距離Δｌだけ移動
すれば、右方の光路差増倍装ｆｆ４６においてはコーナ
キューブプリズム４２と直角平面ミラー４４０間隔が微
小距離Δｔｐｈ広がるように構成している。而して、上
記各反射装置ｅ４６’、４ｒは、それぞれ光路を５往復
させているので、５倍の感度になり、さらに上記差動式
の移１動量検出を行うため、感度は１０倍となる。
通過するビーム５０と反射するビーム５１とに等しい強
度のものとして分けられ、通過ビーム５０は直角プリズ
ムの底面に多層膜蒸着して構した平面ミラー５２，５３
．５４で順次反射してコーナキューブプリズム４２へ入
射する。仁のビームはコーナキューブプリズム４２の内
部で反射した後点対称の位置から射出し、上記平面ミラ
ー５４の上位に位置する直角平面ミラー４４に入射し、
これによりビームは相対−向するコーナキューブプリズ
ム４２と直角平面ミラー４４との間で５往復の入反射を
繰返した捗、平面ミラー５４，５３．５２で順次反射し
て、ビーム５６としてレーザヘッドへ戻る。これと並行
して、上記反射ビーム５１も、上記通過ビーム５ｏと同
様に、平面］５ラ−５７、５８で順次反射してコーナキ
ューブプリしつつレーザヘッドへ戻ル。
度のものとして分けられ、通過ビーム５０は直角プリズ
ムの底面に多層膜蒸着して構した平面ミラー５２，５３
．５４で順次反射してコーナキューブプリズム４２へ入
射する。仁のビームはコーナキューブプリズム４２の内
部で反射した後点対称の位置から射出し、上記平面ミラ
ー５４の上位に位置する直角平面ミラー４４に入射し、
これによりビームは相対−向するコーナキューブプリズ
ム４２と直角平面ミラー４４との間で５往復の入反射を
繰返した捗、平面ミラー５４，５３．５２で順次反射し
て、ビーム５６としてレーザヘッドへ戻る。これと並行
して、上記反射ビーム５１も、上記通過ビーム５ｏと同
様に、平面］５ラ−５７、５８で順次反射してコーナキ
ューブプリしつつレーザヘッドへ戻ル。
図中、ωは固定状態とした基礎板でビームスプリッタ−
４９等を収納した複数のハウジング６１を固定してあり
、略中央部分における凹部ωαの内部には、上記微動台
４１を微動用アクチュエ＝−夕６２によ少数百ミクロン
メートルの範囲で駆動可卵に配設している。また、上ｒ
微動台４１上に取付台６３を固定すると共に、その取付
台によりＬＳＩなどのマイクロパターン試料６４を保持
する試料台６５を固定し、さらにその試料６４の測定箇
所と機動台４１上のコーナキューブプリズム４２．４３
のコーナポイント４２α、４３ａを結ぶ線の中心及び高
さを一致させて、測定におけるアツベの原理を満足する
ように構成している。
４９等を収納した複数のハウジング６１を固定してあり
、略中央部分における凹部ωαの内部には、上記微動台
４１を微動用アクチュエ＝−夕６２によ少数百ミクロン
メートルの範囲で駆動可卵に配設している。また、上ｒ
微動台４１上に取付台６３を固定すると共に、その取付
台によりＬＳＩなどのマイクロパターン試料６４を保持
する試料台６５を固定し、さらにその試料６４の測定箇
所と機動台４１上のコーナキューブプリズム４２．４３
のコーナポイント４２α、４３ａを結ぶ線の中心及び高
さを一致させて、測定におけるアツベの原理を満足する
ように構成している。
このように本発明の光路差増倍装置によれば、入射させ
た光線を一対の対向させたプリズム間における多数の部
分で反射するようにしたので、各プリズムを小形に構成
してもそれらのプリズムの間で所要回数だけ入反射を繰
返えさせることができ、それにより光路差及び感度を十
分増倍することができ、また各プリズムを小形化するこ
とにより製作精度を高めることができる。
た光線を一対の対向させたプリズム間における多数の部
分で反射するようにしたので、各プリズムを小形に構成
してもそれらのプリズムの間で所要回数だけ入反射を繰
返えさせることができ、それにより光路差及び感度を十
分増倍することができ、また各プリズムを小形化するこ
とにより製作精度を高めることができる。
１１図及び第２図は従来例の斜視図、第３図及至第７図
は本発明のそれぞれ異なる実施例の正面し］１．第８図
及至第１１図は本発明の光路差増倍装置を用いて構成し
た差動式レーザ干渉計の平面ジ１、正面図、断面図及び
側面図である。 指定代理人 第１ＩＱ 第３図 第２図 第４ＷＡ 第８図
は本発明のそれぞれ異なる実施例の正面し］１．第８図
及至第１１図は本発明の光路差増倍装置を用いて構成し
た差動式レーザ干渉計の平面ジ１、正面図、断面図及び
側面図である。 指定代理人 第１ＩＱ 第３図 第２図 第４ＷＡ 第８図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １一対のコーナキューブプリズムの入射出面同士を平行
に対向させ、それらを互いの稜線が一致する位置から捩
ると共に、両コーナキューブプリズムのコーナポイント
同士を相互にずらして配管し、両コーナキエーブプリズ
ム間における往復反射回数を増大させたことを特徴とす
るレーザ干渉計等のための光路差増倍装置。 ２、 コーナキューブプリズムの入射出面と直角プリズ
ムあるいは直角ミラーとを対向させ、それらを互いの稜
線が一致する位置から捩ると共に、コーナキューブプリ
ズムのコーナポイントと直角プリズムあるいは直角ミラ
ーの稜線を相互にずらして配置し、両者間における往復
反射回数を増大させたことを特徴とするレーザ干渉計等
のための光路差増倍装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56166003A JPS5866913A (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | レ−ザ干渉計等のための光路差増倍装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56166003A JPS5866913A (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | レ−ザ干渉計等のための光路差増倍装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5866913A true JPS5866913A (ja) | 1983-04-21 |
| JPH0213765B2 JPH0213765B2 (ja) | 1990-04-05 |
Family
ID=15823072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56166003A Granted JPS5866913A (ja) | 1981-10-16 | 1981-10-16 | レ−ザ干渉計等のための光路差増倍装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5866913A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63172116A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 光遅延装置 |
| JPH01107905U (ja) * | 1988-01-13 | 1989-07-20 | ||
| JP2007285872A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Mitsutoyo Corp | 光路差増倍装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51134141A (en) * | 1975-05-16 | 1976-11-20 | Agency Of Ind Science & Technol | Optical system for multiplication of two beam interference path difference |
| JPS541468A (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-08 | Nippon Petrochemicals Co Ltd | Continuous suction filter press |
-
1981
- 1981-10-16 JP JP56166003A patent/JPS5866913A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51134141A (en) * | 1975-05-16 | 1976-11-20 | Agency Of Ind Science & Technol | Optical system for multiplication of two beam interference path difference |
| JPS541468A (en) * | 1977-06-06 | 1979-01-08 | Nippon Petrochemicals Co Ltd | Continuous suction filter press |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63172116A (ja) * | 1987-01-09 | 1988-07-15 | Hamamatsu Photonics Kk | 光遅延装置 |
| JPH01107905U (ja) * | 1988-01-13 | 1989-07-20 | ||
| JP2007285872A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Mitsutoyo Corp | 光路差増倍装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0213765B2 (ja) | 1990-04-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE112009005524B3 (de) | Vorrichtung und Verfahren zum Messen von sechs Freiheitsgraden | |
| US9036154B2 (en) | Four-axis four-subdividing interferometer | |
| US3930732A (en) | Device and process for testing a lens system | |
| CN108775878B (zh) | 光栅外差干涉系统及其滚转角测量方法 | |
| CN100570276C (zh) | 二维横向塞曼双频激光直线度/同轴度测量装置 | |
| US9036155B2 (en) | Six-axis four-subdividing interferometer | |
| CN110174054A (zh) | 一种高稳定性四光程激光干涉测量系统 | |
| CN104142123B (zh) | 应用于机械设备几何误差测量的三自由度激光测量系统 | |
| CN106500602A (zh) | 氦氖激光器纳米测尺系统 | |
| CN106017864A (zh) | 摆镜特性参数测试装置及测试方法 | |
| EP1031868A1 (de) | Kompensierter Parallel-Strahlteiler mit zwei Platten sowie Interferometer | |
| JPS5866913A (ja) | レ−ザ干渉計等のための光路差増倍装置 | |
| US3926523A (en) | Optical system for angle measurement by interferometry | |
| CN110530297B (zh) | 一种激光光束准直的判断方法及采用该方法的剪切干涉仪 | |
| US4836678A (en) | Double-path interferometer | |
| CN107121071B (zh) | 二维位移测量装置及测量方法 | |
| CN116086310A (zh) | 基于kb镜纳米实验系统的高精度定位测量方法及装置 | |
| CN209513047U (zh) | 一种用于静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜和光谱仪 | |
| CN106017441B (zh) | 一种便携式高精度激光大工作距自准直装置与方法 | |
| DE3737426A1 (de) | Interferometer | |
| US5923426A (en) | Bi-lateral shearing interferometer | |
| US6717678B2 (en) | Monolithic corrector plate | |
| CN109738066A (zh) | 一种用于静态傅里叶变换光谱仪的微阶梯反射镜及其制作方法 | |
| JP3551266B2 (ja) | 鋭角後方反射装置 | |
| DE102018112204A1 (de) | Verlagerungsdetektionsvorrichtung |