JPS5866368U - 電気測定治具 - Google Patents

電気測定治具

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Publication number
JPS5866368U
JPS5866368U JP16191681U JP16191681U JPS5866368U JP S5866368 U JPS5866368 U JP S5866368U JP 16191681 U JP16191681 U JP 16191681U JP 16191681 U JP16191681 U JP 16191681U JP S5866368 U JPS5866368 U JP S5866368U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stoppers
end surface
measurement jig
electrical measurement
pantograph
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Pending
Application number
JP16191681U
Other languages
English (en)
Inventor
稲垣　公夫
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP16191681U priority Critical patent/JPS5866368U/ja
Publication of JPS5866368U publication Critical patent/JPS5866368U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は半導体単結晶の端面の比抵抗測定点の位置の規
格を示したもので、第２図は本考案の一実施例の外観図
である。 第１図において、１．　２．　３．　４．　５・・・・
・・測定点、６・・・・・・半導体結晶。 第２図において、１０．１１・・・・・・ストッパ、１
２．１３，１４，１５．１６・・・・・・電気プローブ
、１７・・・・・・パンタグラフ機構、１８・・・・・
・中心棒、１９・・・・・・ピン、２０・・・・・・溝
、２１・・・・・・端子、２２・・・・・・接続ケーブ
ル、２３・・・・・・ばね、２４・・・・・・半導体単
結晶。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 円筒形半導体結晶の側面を両側からはさむ２個のストッ
    パと、前記両ストッパの一定距離内側に単結晶円筒端面
    垂直方向を向いて固定され、前記端面と電気的に接触す
    る２本の電気プローブと、前記両ストッパ間に位置し、
    両ストッパと連結された複数連の等辺パンタグラフ機構
    と、パンタグラフの各節の先端に、前記端面の垂直方向
    を向き、円筒端面と電気的に接触する電気プローブを配
    置してなることを特徴とする測定治具。
JP16191681U 1981-10-30 1981-10-30 電気測定治具 Pending JPS5866368U (ja)

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JP16191681U JPS5866368U (ja) 1981-10-30 1981-10-30 電気測定治具

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JP16191681U JPS5866368U (ja) 1981-10-30 1981-10-30 電気測定治具

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JPS5866368U true JPS5866368U (ja) 1983-05-06

Family

ID=29954252

Family Applications (1)

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JP16191681U Pending JPS5866368U (ja) 1981-10-30 1981-10-30 電気測定治具

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