JPS586584A - Semiconductor storage device - Google Patents

Semiconductor storage device

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JPS586584A
JPS586584A JP56104048A JP10404881A JPS586584A JP S586584 A JPS586584 A JP S586584A JP 56104048 A JP56104048 A JP 56104048A JP 10404881 A JP10404881 A JP 10404881A JP S586584 A JPS586584 A JP S586584A
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transistor
potential
cell
drain
level
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JP56104048A
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Masahiko Yoshimoto
雅彦 吉本
Hiroshi Shinohara
尋史 篠原
Kenji Anami
穴見 健治
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PURPOSE:To decrease the probability of software error generation at the operation, by setting the threshold voltage of a MOSFET constituting a bistable circuit for memory cells to the high level and fixing a potential of H level of a cell at readout to a power supply voltage. CONSTITUTION:A memory cell 1a is at the initial state, a potential v1 of a drain D of a MOSFET2a is set to a power supply voltage VCC level, a potential v2 of the drain D of a MOSFET3a is at ground potential, a word line 12a is set to L level and the stable point of the cell 1a is P(VCC, 0). When the line 12a is charged, MOSFETs 15a and 16a are conductive to start readout. In this case, the stable point of the cell 1a is transited to R(VCC, VRL) and an H level potential VH of the cell 1a is kept to a voltage VCC. Thus, the threshold voltage VTH of the cell can be set higher than the potential of the L side of the cell at readout.

Description

【発明の詳細な説明】 この発明轄スタティック型メモリセルにおいて、メモリ
セルの動作状態におけるソフトエラー発生確率を低減す
ることができる半導体記憶装置に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a semiconductor memory device that can reduce the probability of soft errors occurring in a static memory cell in an operating state of the memory cell.

第1図は従来の半導体記憶装置のメモリアレイを示す回
路図である。同図において、(1す〜(1n)はメモリ
セル、(2a)−(2n) Fiそのドレイン(D)が
それぞれノード(4a)〜(4n)に接続し、ゲート(
G)がそれぞれノード(5a)〜(5n)に接続し、ソ
ース(S)がアースに接続する工ンノ・ンスメント截の
MO8[界効果トランジスタ(以下単にMO8F11i
Tと言う)、(3a83n)はそのドレイン(D)がそ
れぞれノード(5a)(5n)に接続し、ゲート(0)
がそれぞれノード(41L84n)に接続し、ソース(
8)がアースに接続するwoeyBr 、  (6a)
−(an) bよび(7a)(1n)は電源端子、(8
a88n)はこの電源(6a)−(6n)とノード(4
a)−(4n)との間にそれぞれ接続した高負荷抵抗、
(9a)−(gin)“はこの電源端子(7a)〜(7
n)とノード(5a)(5n)との間にそれぞれ接続し
た高負荷抵抗、(lea)(Ion)はノード(4a8
4n)とアースとの間にそれぞれ接続し、記憶情報を蓄
積する寄生容量、(11a)〜(lln)はノード(5
a)(5n)とアースとの間にそれぞれ接続し、記憶情
報を蓄積する寄生容量、(121L)〜(17n)はワ
ードライン、(13)および(14)はビットライン、
(15&)〜(15n) aドレイン(またはソース)
がビットライン(13)に接続し、ゲートがワードツイ
ン(12a)〜(12n) Kそれぞれ接続し、ソース
(またはドレイン)がノード(4a)〜(4n)にそれ
ぞれ接続し、・メモリセル(1a)〜(1n)の書き込
みおよび読み出しの制御機能を龜つゲート用MO8PK
丁、(16a)〜(16n)はドレイン(またはソース
)がビットライン(14)に接続し、ゲートがワードラ
イン(12a)〜(12n)にそれぞれ接続し、ソース
(tたはドレイン)がノード(5a)〜(5n)にそれ
ぞれ接続するゲート用uosymT、  (17a)お
よび(17b)ed電源端子、(18)紘ドレインおよ
びゲートが電源端子(17a)に接続し、ソースがビッ
トライン(13)に接続し、ビットライン(13)をプ
リチャージするダイオード接続のMO8FI?、  (
19)はドレインおよびゲートがI![#端子(17b
)に接続し、ソースがビットライン(14)に接続し1
 ビットライン(14)をプリチャージするダイオード
接続のMospmt、 (20)はコラム選択信号が入
力する入力端子、(21)および(22)はVOライン
、(23)はドレイン(またはソース)がカライン(2
1)に接続し、ゲートが入力端子(20)に接続し、ソ
ース(またはドレイン)がビットライン(13)に接続
するMO8F]IIT、 (24)はドレイン(または
ソース)が工んライン(21)に−続し、ゲートが入力
端子(20)に接続し、ソース(またはドレイン)がビ
ットライン(14)に接続するMO81QnTである。
FIG. 1 is a circuit diagram showing a memory array of a conventional semiconductor memory device. In the figure, (1s to (1n) are memory cells, (2a) to (2n) Fi, whose drains (D) are connected to nodes (4a) to (4n), respectively, and gates (
G) are connected to nodes (5a) to (5n), respectively, and the source (S) is connected to ground.
T), (3a83n) have their drains (D) connected to the nodes (5a) and (5n), respectively, and their gates (0)
are connected to the node (41L84n) respectively, and the source (
8) is connected to ground woeyBr, (6a)
-(an) b, (7a) and (1n) are power supply terminals, (8
a88n) is connected to this power supply (6a)-(6n) and the node (4
a) High load resistors connected between each of (4n),
(9a)-(gin)" is this power supply terminal (7a)-(7
The high load resistors (lea) (Ion) connected between the nodes (5a) and (5n) are connected to the node (4a8)
The parasitic capacitances (11a) to (lln) are connected between the node (5n) and ground to store memory information, respectively.
a) Parasitic capacitances connected between (5n) and ground to store storage information, (121L) to (17n) are word lines, (13) and (14) are bit lines,
(15&) ~ (15n) a drain (or source)
is connected to the bit line (13), the gate is connected to the word twins (12a) to (12n) K, respectively, the source (or drain) is connected to the node (4a) to (4n), respectively, and the memory cell (1a) is connected to the bit line (13). )~(1n) MO8PK for gates with write and read control functions
D, (16a) to (16n) have their drains (or sources) connected to the bit line (14), gates connected to the word lines (12a) to (12n), respectively, and sources (t or drain) connected to the node. uosymT for gates connected to (5a) to (5n) respectively, (17a) and (17b) ed power supply terminal, (18) Hiro drain and gate connected to power supply terminal (17a), source connected to bit line (13) A diode-connected MO8FI? that connects to and precharges the bit line (13). , (
19) has drain and gate I! [# terminal (17b
), the source is connected to the bit line (14), and the source is connected to the bit line (14).
A diode-connected Mospmt precharges the bit line (14), (20) is an input terminal to which a column selection signal is input, (21) and (22) are VO lines, and (23) has a drain (or source) connected to a column select signal ( 2
1), whose gate is connected to the input terminal (20), and whose source (or drain) is connected to the bit line (13); ), the gate is connected to the input terminal (20), and the source (or drain) is connected to the bit line (14).

なお、−例として、128 X 128プレーンの16
にスタティックRAMでは!コラムに128個配列され
、それぞれ同一のビットラインに連結している。
In addition, - as an example, 16 of 128 x 128 planes
In static RAM! 128 bit lines are arranged in columns, and each bit line is connected to the same bit line.

次に、上記構成による半導体記憶装置の動作、特にメモ
リセルにα粒子が照射し、発生する少数キャリアによっ
て、任意のメモリセルにソフトエラーが発生するメカニ
ズムについて説明する。まず、説明を簡単にするため、
メモリセル(1a)に着−目する。初期状態でir、M
Osyr(2a) ノ)”L/イン(D)の電位v1が
“rレベルvi+(?m=Voo)てh b、MosF
mT(3a) o ドレイン(D)の電位v2が“LI
T vべn、 VL (vL=(1)てあシ、ワードラ
イン(12a)が“L”レベルに設定され、ラッチが安
゛定状態にある亀のとする。一方、メモリセルに照射し
たα粒子はシリコン基板中を約30μm走シ、この間に
電子−正孔対を発生する。
Next, a description will be given of the operation of the semiconductor memory device having the above configuration, particularly the mechanism by which a soft error occurs in any memory cell due to the minority carriers generated when the memory cell is irradiated with α particles. First, to simplify the explanation,
Let's focus on the memory cell (1a). ir, M in initial state
Osyr(2a) ノ)"L/In(D) potential v1 is "r level vi+(?m=Voo)h b, MosF
mT(3a) o Drain (D) potential v2 is “LI”
T v Ben, VL (vL = (1), the word line (12a) is set to "L" level, and the latch is in a stable state. On the other hand, when the memory cell is irradiated The α particles travel approximately 30 μm through the silicon substrate, during which time electron-hole pairs are generated.

これらの電子−正孔対のうちの正孔は基板81111極
に流れ落ち、電子はMO8FICT(2a)のドレイン
(D)を形成する?拡散層に収集される。そして、この
収集にtilo〜100naを要するが、この時間は高
負荷抵抗(8a)を通して電源からの寄生容量(10a
)への電荷供給に要する数μeの時定数に比較してはる
かに短かい。したがって、ラッチを反転するに必要な電
荷量Qo以上の量の電子があらかじめ“■”レベルに充
電しているuosmT(3a)のドレイン(D)に注、
入すると、これを打消すだけの正電荷の供給が間に合わ
ず、メモリセル(la)を構成する7リツプ70ツブが
反転し、ソフトエフ−を発生する。この場合、ソフトエ
ラーの発生確率はMO8FEiT(2a)のドレイン(
D)の初期電位Vwに大きく依存し、この初期電位VB
が増加すればソフトエラー発生確率は減少し、初期電位
vHが減少すればソフトエラー発生確率は増大する。し
かるに、動作状態において、この初期電位Vmが時間と
共に変化することを第2図および第3図を参照して説明
する。まず、詑2図は第1図のメモリセルの入出力伝達
特性の相関関係を示す図てあJ)、x軸にnosyR′
r(2a)のドレイン(D) O電位v1をとD’=x
軸にMO8FIT(3a)2)ドレイン(D)の電位v
2をとったとき、メモリセル(1a)が初期状態にある
、と、メモリセル(1a)の安定点はP(Too、O)
にある。次に、第3図におけるt=tlにおいて、ワー
ドライン(12,a )が充電されると、nosymr
(15a)および(16a)が導通し、読み出し動作が
開始する。この読み出し時のメモリセル(1a)の安定
点はQ(Van 、VIL)に移行する。ただし、71
111は読み出し時のメモリセル(la)の“H”レベ
ル側の電位で;l)?)、VmT、は読み出し時のメモ
リセル(1a)の“L”レベル側の電位である。すなわ
ち、読み出し時にはnosIPTfr(2a)のトレイ
ン(D)の1位はVmiまて低下し、MO8FIn’I
’(3a)のドレイン(D)の電位は一1=1gにおい
て、ワードライン(12a)が放電すると、M08IF
RtT(15a)および(16a)がカットオフする。
The holes among these electron-hole pairs flow down to the substrate 81111 pole, and the electrons form the drain (D) of MO8FICT (2a)? collected in the diffusion layer. This collection requires ~100 na, but this time requires a parasitic capacitance (10 a) from the power supply through a high load resistor (8 a).
) is much shorter than the time constant of several μe required to supply charge to Therefore, the drain (D) of uosmT (3a), which has been charged in advance to the "■" level, is charged with an amount of electrons greater than the amount of charge Qo required to invert the latch.
If this occurs, the supply of positive charge sufficient to cancel this is not in time, and the 7 lip 70 tubes constituting the memory cell (la) are inverted, generating a soft effect. In this case, the probability of soft error occurrence is the drain (
D) greatly depends on the initial potential Vw, and this initial potential VB
As the initial potential vH increases, the soft error occurrence probability decreases, and as the initial potential vH decreases, the soft error occurrence probability increases. However, how this initial potential Vm changes over time in the operating state will be explained with reference to FIGS. 2 and 3. First, Figure 2 shows the correlation between the input and output transfer characteristics of the memory cell in Figure 1.
Drain (D) of r(2a) O potential v1 and D'=x
MO8FIT (3a) 2) Drain (D) potential v on the axis
2, the memory cell (1a) is in the initial state, and the stable point of the memory cell (1a) is P(Too, O)
It is in. Next, at t=tl in FIG. 3, when the word line (12,a) is charged, nosymr
(15a) and (16a) become conductive, and a read operation starts. The stable point of the memory cell (1a) during this reading shifts to Q(Van, VIL). However, 71
111 is the potential on the “H” level side of the memory cell (la) during reading; l)? ) and VmT are potentials on the "L" level side of the memory cell (1a) during reading. That is, at the time of reading, the Vmi of the first place of the train (D) of nosIPTfr (2a) decreases, and MO8FIn'I
'When the potential of the drain (D) of (3a) is -1=1g, when the word line (12a) is discharged, M08IF
RtT (15a) and (16a) are cut off.

このとき、MO8FI[1T(3a)のドレイン(D)
の電位はMO8Fff(2a)を通して直ちに接地電位
まで低下するが、MOSFET(2a)のドレイン(D
)の電位は高負荷抵抗(8a)を通して電源から正電荷
が供給されるので、極めて大きな時定数(10〜100
μmりで電源電圧Vooまで充電される。その後、ワー
ドライン(121L)がt=ts、t=1+で充電され
るたびに、MO8Fm(2a)のドレイン(D)の電位
VxはTh冨まで低下し、t=t4゜t=tsてワード
ライン(12a)が放電すると、MOEIFII:T(
2a)のドレイン(D)は電源電圧Voaまての充電を
開始する。すなわち、動作時にはVmは時間と共に変化
し、ワードライン(12a)の充放電回数が多くなるほ
ど、■!Iの平均電圧レベルは低下し、v!LHに近づ
いてゆく。この現象はメそリアレイの中の全てのメモリ
セル゛で生ずる。・したがって、動作状態ではVmの平
均電圧レベルの低下のために、ソフトエラーの発生確率
が増大することになる。
At this time, the drain (D) of MO8FI[1T (3a)
The potential of MOSFET (2a) immediately drops to the ground potential through MO8Fff (2a), but the drain (D
) has an extremely large time constant (10 to 100
It is charged to the power supply voltage Voo in micrometers. After that, every time the word line (121L) is charged at t=ts, t=1+, the potential Vx of the drain (D) of MO8Fm (2a) decreases to Th value, and the word line (121L) is charged at t=t4゜t=ts. When the line (12a) is discharged, MOEIFII:T(
The drain (D) of 2a) starts charging to the power supply voltage Voa. That is, during operation, Vm changes with time, and the more the word line (12a) is charged and discharged, the more ■! The average voltage level of I decreases and v! Approaching LH. This phenomenon occurs in all memory cells in the memory array. - Therefore, in the operating state, the probability of soft errors occurring increases due to the decrease in the average voltage level of Vm.

このように、従来の半導体記憶装置では前記したように
動作時のメモリセルの“Hルベル側の電位の平均レベル
が低下するために、動作状態でソフトエラーの発生確率
が増大するなどの欠点があった。
In this way, conventional semiconductor memory devices have drawbacks such as an increase in the probability of soft errors occurring in the operating state because the average level of the potential on the H level side of the memory cell during operation decreases as described above. there were.

したがって、この発明の目的は読み出し時のメモIJ 
4ルの“H″aaレベル側位を電源電圧’Vooに固定
し、動作状態におけるソフトエラー発生確率を低減する
ことができる半導体記憶装置を提供する本のである。
Therefore, the object of the present invention is to
This book provides a semiconductor memory device that can fix the "H" aa level side of 4 to the power supply voltage 'Voo and reduce the probability of soft error occurrence in the operating state.

このような目的を達成するため、この発明はメモリセル
の2安定回路を構成するMOBFIeτのしきい値電圧
を高く設定することにより、読み出し時のメモリセルの
“H″レベル側電位を電源電圧To。
In order to achieve such an object, the present invention sets the threshold voltage of the MOBFIeτ that constitutes the bistable circuit of the memory cell to be high, thereby lowering the "H" level side potential of the memory cell during reading to the power supply voltage To. .

に固定するようにしたものであシ、以下実施例を用いて
詳細に説明する。
This will be explained in detail below using an example.

第4図はこの発明に係る半導体記憶装置の一実施例を示
す回路図である。同図において、−(25)および(2
6)は電源電圧Vooが印加する電源端子、(27)は
ドレインおよびゲートが電源端子(25)に接続し、ソ
ースがビットフィン(13)に接続し、このヒツトライ
ン(13)をプリチャージする負荷トランジスタ、(2
8)はドレインおよびゲートが電源端子(26)に接続
シ、ソースがビットライン(14)に接続し、このビッ
トライン(13)をプリチャージする負荷トランジスタ
である。
FIG. 4 is a circuit diagram showing an embodiment of a semiconductor memory device according to the present invention. In the same figure, −(25) and (2
6) is a power supply terminal to which the power supply voltage Voo is applied, (27) is a load whose drain and gate are connected to the power supply terminal (25), whose source is connected to the bit fin (13), and which precharges this hit line (13). Transistor, (2
Reference numeral 8) is a load transistor whose drain and gate are connected to the power supply terminal (26), and whose source is connected to the bit line (14) and precharges the bit line (13).

表お、mosFTiT(2a)〜(2n)および(3a
)〜(3n)の動作時のオン抵抗をRDOII 、 M
O87に丁(15a )〜(15n)および(16&)
〜(16n)の動作時のオン抵抗をRto冨。
In the table, mosFTiT (2a) to (2n) and (3a
) to (3n) during operation is RDOII, M
O87 (15a) to (15n) and (16&)
The on-resistance during operation of ~(16n) is Rto.

MO8FRiT(27)および(28)の動作時のオン
抵抗をRLOIIとする。また、uosyI!!T(3
a)〜(3n)および(4a)〜(4n)のしきい値電
圧7丁HDは成仏)を満足するように設定する。
Let RLOII be the on-resistance of MO8FRiT (27) and (28) during operation. Also, uosyI! ! T(3
The threshold voltages 7 HD of a) to (3n) and (4a) to (4n) are set to satisfy the following conditions.

この(m1式を満足するように、MOSFET(3a)
〜(釦)および(41〜(4n)のしきい値電圧V−r
HDを設定することによl+、Vmは時間と共に変化せ
ず、電源電圧Vooに固定される。また、第5図は読み
出し動作時におけるメモリセルの入出力伝達特性の相関
関係を示す図である。
In order to satisfy this (m1 formula), MOSFET (3a)
~(button) and (41~(4n) threshold voltage V-r
By setting HD, l+ and Vm do not change over time and are fixed to the power supply voltage Voo. Further, FIG. 5 is a diagram showing the correlation between input and output transfer characteristics of memory cells during a read operation.

次に、上記構成による半導体記憶装置の動作、特に、動
作状態におけるソフトエラー発生確率の増大を抑止する
動作について説明する。ここで説明を簡単にするため、
メモリセル(1a)について説明する。今、初期状態と
して、MO8FIliT(2a)のドレイン(D)の電
位v1は電源電圧Voaレベルにあシ、Mo5IPW!
(3a)のドレイン(D)の電位V!は接地電位にアシ
、かつワードライン(12a)は“L”レベルに設定さ
れ、メモリセル(1a)の安定点は請5図に示す(vl
、Vo)=P(Woo、O)である。次に、ワードフィ
ン(12a)が充電されると、i&)8FICT(15
a)および(16a)が導通し、読み出し動作を開始す
る。このとき、第5図に示すように、読み出し時のメモ
リセルの安定点は(Vl、Vt)=(Too、VmL)
に移行すルノテ、メモリセル(1a)の“H”レベル側
電位vHは電源電圧Voaに維持されたままである。す
なわち、前記式(A)を満足する構成ては読み出し時の
“L″にベル側電位VIILが、MO8FRiT(2a
)のしきい値電圧VTIDよシ低くなるので、このMO
811TXT(2a)は導通せず、そのドレイン(D)
の電位はVoaよシ低下することはない。
Next, the operation of the semiconductor memory device having the above configuration, particularly the operation for suppressing an increase in the probability of soft error occurrence in the operating state, will be described. To simplify the explanation here,
The memory cell (1a) will be explained. Now, in the initial state, the potential v1 of the drain (D) of MO8FIliT (2a) is at the power supply voltage Voa level, and Mo5IPW!
Potential V of the drain (D) of (3a)! is set to the ground potential, and the word line (12a) is set to "L" level, and the stable point of the memory cell (1a) is shown in Figure 5 (vl).
, Vo)=P(Woo, O). Next, when the word fin (12a) is charged, i&)8FICT (15
a) and (16a) become conductive and start a read operation. At this time, as shown in FIG. 5, the stable point of the memory cell during reading is (Vl, Vt) = (Too, VmL)
During the transition, the "H" level side potential vH of the memory cell (1a) remains maintained at the power supply voltage Voa. That is, in a configuration that satisfies the above formula (A), the bell side potential VIIL at "L" during reading is MO8FRiT (2a
) is lower than the threshold voltage VTID of this MO.
811TXT (2a) is not conducting and its drain (D)
The potential of Voa does not decrease as much as Voa.

したがって、vHは時間的に変化することなく 、Vo
Therefore, vH does not change over time and Vo
.

レベルのまま維持される。このため、動作状態でのソフ
トエラー発生確率の増大を抑止することができる。
maintained at the same level. Therefore, it is possible to suppress an increase in the probability of soft error occurrence in the operating state.

なお、上記実施例ではメモリセルMO8PKTのしきい
値電圧Vtwを、読み出し時のメモリセルの“L″′側
の電位よシも高くなるように設定したが、前記式(A)
を満足するため、メモリ回路のMOSFETのしきい値
電圧V!gを一様にして、各MO8FETのディメン−
ジョンを設定してもよいし、また、各MOEIFETの
βを設定してもよいことはもちろんである。また、MO
8PR’l’(2a)および(3a)のVTIIDを他
のMOSFETのVtiと社異なる値に設定してもよい
ことは本ちろんである。また、上記実施例ではnチャン
ネル型M)8mについて説明したが、pチャンネル型M
O87]CTの場合にも同様にできることはもちろんで
ある。この場合、電圧の極性を逆にすればよい。また、
上記実施例ではメモリセルのブルーアップデバイスとし
て高負荷抵抗を用いたが、デプレッション型M:1sm
を用いてもよいこと社もちろんである。
In the above embodiment, the threshold voltage Vtw of the memory cell MO8PKT was set to be higher than the potential on the "L" side of the memory cell during reading, but the equation (A)
In order to satisfy the following, the threshold voltage of the MOSFET in the memory circuit is V! By making g uniform, the dimensions of each MO8FET are
Of course, it is also possible to set the value β of each MOEIFET. Also, M.O.
Of course, the VTIID of 8PR'l' (2a) and (3a) may be set to a different value from the Vti of other MOSFETs. In addition, in the above embodiment, an n-channel type M)8m was explained, but a p-channel type M)8m was explained.
O87] Of course, the same can be done in the case of CT. In this case, the polarity of the voltage may be reversed. Also,
In the above embodiment, a high load resistor was used as the blue-up device of the memory cell, but the depression type M: 1sm
Of course, you may also use .

以上、詳細に説明したように、この発明に係る半導体記
憶装置によれば動作状態におけるメモリセルの“H″レ
ベル側電位が低下することがないので、動作状態でのン
7トエラー発年確率を低減することができる効果がある
As explained above in detail, according to the semiconductor memory device according to the present invention, the "H" level side potential of the memory cell in the operating state does not decrease, so that the probability of occurrence of an error in the operating state can be reduced. There are effects that can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

!1図は従来の半導体記憶装置のメモリアレイを示す回
路図、第2図は第1図におけるメモリセルの入出力伝達
特性の相関関係を示す図、第3図は第1図におけるメモ
リセルの2安定回路を形成するトランジスタのドレイン
の電位を示すタイムチャート、第4図はこの発明に係る
半導体記憶装置の一実施例を示す回路図、第5図は第4
図におけるメモリセルの入出力伝達特性の相関関係を示
す図である。 (1a)〜(1n)・・・・メモリセル、(2a)〜(
2n)および(3a)〜(3n)・・・・MO8電界効
果トランジスタ、(4a)〜(4n)および(5a)〜
(5n)・・・・ノード、(6a) 〜(6n)および
(7a) 〜(7n) −−・・電源端子、(8a)〜
(8n)・・・・高負荷抵抗、(9a)〜(9n)・・
・・高負荷抵抗、(1G&)〜(Ion)および(11
a)〜(11n)・・・・寄生容普、(12a)〜(1
2n)・ ・ ・・ワードライン、(13)および(1
4)・・・・ヒツトライン、(15a)〜(15n)お
よび(16a)〜(16n)・・・・ゲート用MO8電
界効果トランジスタ、(17a)および(17m))・
・・・電源端子、(18)および(19)・・・・MO
8電界効果トランジスタ、(20)・・・・入力端子、
(21)および(22)・・・・5勺ライン、(23)
および(24)・・・。 MO8電界効果トランジスタ、(25)および(26)
・・・・電源端子、(27)および(28)・・・・負
荷トランジスタ。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 葛野信−(外1名) 第2図 v2 第3図 H ム 手続補正書(自発) 特許庁長官殿 2、発明の名称 半導体記憶装置 −13,補正をする者 5、補正の対象 (1)明細書の発明の詳細な説明の欄 (2)明細書の図面の簡単な説明の欄 (3)図 面 6、補正の内容 +11 11A細書第9頁第18行〜第10頁第6行の
「(ハ)および〜である。」を次の文のとおり補正する
。 r MOSFET(25m) 〜(25n) 、 MO
SFET(26a)〜(26n)は、それぞれ第1図に
ヤける(2a)〜(2n)、(3m)〜(3n)に対応
するものであるが、MOSFET (25m)(25n
) 、 (26m)(26n)のしきい値電圧は、メモ
リ回路中の他のMOS−FETわしきい値電圧より高く
設定されている点ニオイテ、(2m)8(2m) 、 
(3m)(3n)とは異なる。 また、(27a)(27m)はメモリセルを表わしてい
る。」 (21回書第10頁第7行、第11頁第6行、第11頁
第19行、同頁第20行、第12頁第13行のr (2
a) Jをそれぞれ[25a)Jと補正する。 (3)同書第10頁第7行のr (2n) Jをr (
25n)Jと補正する。 (4)同書第10頁第7行X、第11頁第8行、第12
頁第13行のr(3a)Jをそれぞれr (26a)」
と補正する。 (5)  同書第10頁第7行のr (3n) Jをr
 (26n)」と補正する。 (6)同省第10頁第1θ行の「■および(至)」を「
錦およびa9Jと補正する。 (7)同書第10頁第11〜12行、同頁第15〜16
行のr (3a)〜(3n)および(4&)〜(4n)
 Jをそれぞれr (25m) 〜(25n)および(
26m) 〜(26n) Jと補正する。 (8)同書第11頁第10行、同頁第16行のr(1m
)」をそれぞれr(27a) Jと補正する。 (9)同書第14頁第11〜13行の「(ハ)および■
〜負荷トランジスタ。」をr (25m)〜(25n)
 。 (26m) 〜(26n) * * * * M 08
電界効果トランジスタ、(27a)〜(27n)・・・
・メモリセル。」と補正する。 αQ 図面の第3図、第4図をそれぞれ別紙のとおシ補
正する。 以  上 第3図 H
! Figure 1 is a circuit diagram showing a memory array of a conventional semiconductor memory device, Figure 2 is a diagram showing the correlation between the input and output transfer characteristics of the memory cells in Figure 1, and Figure 3 is a diagram showing the correlation between the input and output transfer characteristics of the memory cells in Figure 1. FIG. 4 is a time chart showing the potential of the drain of a transistor forming a stable circuit, FIG. 4 is a circuit diagram showing an embodiment of the semiconductor memory device according to the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a diagram showing a correlation between input and output transfer characteristics of memory cells in the figure. (1a) to (1n)...memory cells, (2a) to (
2n) and (3a) to (3n)...MO8 field effect transistor, (4a) to (4n) and (5a) to
(5n)...Node, (6a) to (6n) and (7a) to (7n) ---Power terminal, (8a) to
(8n)...High load resistance, (9a)~(9n)...
・・High load resistance, (1G &) ~ (Ion) and (11
a) ~ (11n)... Parasitic disease, (12a) ~ (1
2n)...Word line, (13) and (1
4)...Hit line, (15a) to (15n) and (16a) to (16n)...MO8 field effect transistor for gate, (17a) and (17m))
...Power terminal, (18) and (19)...MO
8 field effect transistors, (20)...input terminals,
(21) and (22)...5 lines, (23)
and (24)... MO8 field effect transistor, (25) and (26)
...Power supply terminal, (27) and (28) ...Load transistor. In addition, in the figures, the same reference numerals indicate the same or corresponding parts. Agent Makoto Kuzuno - (1 other person) Figure 2 v2 Figure 3 H Mu procedural amendment (voluntary) Commissioner of the Japan Patent Office 2, Name of the invention semiconductor storage device - 13, Person making the amendment 5, Subject of the amendment ( 1) Column for detailed explanation of the invention in the specification (2) Column for brief explanation of drawings in the specification (3) Drawing 6, content of amendment +11 11A Specification, page 9, line 18 to page 10, line 6 Correct the line "(c) and..." as shown in the following sentence. r MOSFET (25m) ~ (25n), MO
SFETs (26a) to (26n) correspond to (2a) to (2n) and (3m) to (3n) shown in Fig. 1, respectively, but MOSFETs (25m) (25n)
), (26m) The threshold voltage of (26n) is set higher than that of other MOS-FETs in the memory circuit.
(3m) is different from (3n). Further, (27a) and (27m) represent memory cells. ” (21st edition, page 10, line 7, page 11, line 6, page 11, line 19, page 11, line 20, page 12, line 13 r (2
a) Correct J to [25a) J, respectively. (3) Same book, page 10, line 7, r (2n) J to r (
25n) Correct as J. (4) Same book, page 10, line 7, X, page 11, line 8, 12
r(3a)J on page 13th line respectively r(26a)”
and correct it. (5) Same book, page 10, line 7, r (3n) J to r
(26n)”. (6) “■ and (to)” on page 10, line 1θ of the Ministry of Health, Labor and Welfare
Correct with Nishiki and a9J. (7) Same book, page 10, lines 11-12, same page, lines 15-16
Row r (3a) to (3n) and (4&) to (4n)
J as r (25m) ~ (25n) and (
26m) to (26n) J. (8) r (1 m
)” are respectively corrected as r(27a) J. (9) “(c) and ■” on page 14, lines 11-13 of the same book
~Load transistor. ” to r (25m) ~ (25n)
. (26m) ~ (26n) * * * * M 08
Field effect transistors, (27a) to (27n)...
・Memory cell. ” he corrected. αQ Figures 3 and 4 of the drawings will be corrected as separate sheets. Above Figure 3 H

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)菖xトランジスタおよびH2トランジスタを有し
、そのドレインを各々第1プルアップ手段および第2プ
ルアップ手段を介して電源に接続し。 そのソースを各々接地し、そのゲートおよびドレインを
相互に交差接続して2安定回路を構成するメモリセルと
、前記@1トランジスタおよび第2トランジスタの各ド
レインにソースまたはドレインを各々接続し九ゲート用
の第3トツンジスタおよび第4トランジスタと、この#
I3I3トランジスタび第4トランジスタのドレインま
たはソースにそれぞれ接続された書き込み情報線ならび
に読み出し情報線を共通にする第1ビツトラインおよび
t!g2ビットラインと、前記第3トツンジスタおよび
II4トランジスタのゲートに接続され書き込6みなら
びに読み出し選択線を共通にするワードラインと、第1
ビツトツインおよび第2ビツトツインに各々連結された
負荷回路とを備えた半導体記憶回路において、データの
読み出し時に第1トランジスタあるいは第2トランジス
タの一方を遮断状態にする1略を備えたことを特徴とす
る半導体記憶装置。
(1) It has an iris x transistor and an H2 transistor, the drains of which are connected to a power supply via a first pull-up means and a second pull-up means, respectively. A memory cell whose sources are grounded, and whose gates and drains are cross-connected to form a bistable circuit; and the third transistor and fourth transistor of #
A first bit line and a t! g2 bit line, a word line connected to the gates of the third transistor and the II4 transistor and sharing the write 6 and read selection lines;
A semiconductor memory circuit comprising a load circuit connected to a bit twin and a load circuit connected to each of the second bit twin, characterized in that the semiconductor memory circuit is characterized in that the semiconductor memory circuit includes: (1) for turning one of the first transistor or the second transistor into a cut-off state when reading data; Storage device.
(2)前記第1トランジスタおよび第2トランジスタの
しきい値電圧を第3トランジスタおよび第4トランジス
タのしきい値電圧と異なる鎧に設定することを特徴とす
る特許請求の範囲第1項記載の半導体記憶装置。
(2) The semiconductor according to claim 1, wherein the threshold voltages of the first transistor and the second transistor are set to be different from the threshold voltages of the third transistor and the fourth transistor. Storage device.
(3)前記プルアップ手段を高抵抗体、高抵抗ポリシリ
コン、あるいはデプレッション型MO8Fl’rで構成
することを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導
体記憶装置。
(3) The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the pull-up means is composed of a high resistance material, high resistance polysilicon, or depletion type MO8Fl'r.
(4)繭記第1トランジスタおよび第2トランジスタの
しきい値電圧を嬉3トランジスタおよび第4トランジス
タのしきい値電圧より大きい値に設定することを特徴と
する特許請求の範囲第2項記載の半導体記憶装置。
(4) The threshold voltage of the first transistor and the second transistor is set to a value larger than the threshold voltage of the third transistor and the fourth transistor. Semiconductor storage device.
JP56104048A 1981-07-01 1981-07-01 Semiconductor storage device Granted JPS586584A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0289293A (en) * 1987-09-07 1990-03-29 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor memory device

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