JPS5855667Y2 - ガスレ−ザ電源装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、ガスレーザ管の放電電流を安定化する電源制
御部を備えた電源装置に係わり、特に放電開始性能の向
上をはかったガスレーザ電源装置に関する。

一般に、ガスレーザ装置では、レーザ出力の変動を低減
する必要から、ガスレーザ管の放電電流を安定化するた
めの電流制御部を備えた電源装置を多く使用している。

第１図はこの電源装置の構成を示すブロック図である。

この電源装置は、トリガ回路１で発生した直流トリガ電
圧をガスレーザ管２に印加してガスレーザ管２を放電さ
せ、放電開始後は直流高電圧発生回路３の出力電流を安
定化抵抗４を介してガスレーザ管２に供給して放電を保
持させるとともに、その放電電流を電流制御回路５で基
型電圧発生回路６の出力と比較することにより安定化す
るようにしたものである。

ここで上記電流制御回路５としては、高精度、低雑音お
よび取り扱いの容易さ等により例えばシリーズレギュレ
ータが多く使用される。

ところが、このような電源装置にあっては、電流制御回
路５がガスレーザ管２に対して直列に挿入しであるため
電源装置のインピーダンスが大きく、この結果放電開始
時の放電電流の立上がりが遅くなるという欠点がある。

この立上がり遅れは、放電動作の信頼性を低下させる原
因となって非常に好ましくない。

特に高電圧・小電流を取り扱う場合には、電流制御回路
５のインピーダンスが通常より大きくなるため、放電電
流がトリガ電圧の印加期間内にガスレーザ管２の放電維
持電流に達することが不可能になって放電を開始させ得
なくなるおそれがある。

ここで、従来では電源装置の出力電圧もしくはトリガ電
圧ぎ増加させることにより放電電流の立上がりを速くシ
、これにより上記放電開始時の不具合を解消していた。

しかるにこのような手法にあっては、取り扱う電圧が大
きくなるので、各回路やガスレーザ管２とを接続するケ
ーブル等の絶縁効果を高めなければならず、構造が大掛
りになって好ましくなかった。

また、消費電力の増大を招く欠点もあった。

本考案は上記事情に着目してなされたもので、その目的
とするところは、出力電圧もしくはトリガ電圧を増加さ
せることなく確実に放電を開始させ、構成を簡単にして
小形化をはかり、かつ消費電力の低減をはかり得るガス
レーザ電源装置を提供することにある。

以下、本考案の一実施例を第２図および第３図を参照し
て説明する。

なお、上記各図において、前記第１図と同一部分には同
一符号を付して詳しい説明は省略する。

第２図において、電流制御回路５には高域通過フィルタ
７が並列に接続しである。

この高域通過フィルタ７は、第３図に示す如くコンデン
サ７１と抵抗７２との直列回路がらなり、ガスレーザ管
２の放電開始時に抵抗７２を介して電流制御回路５の両
端間を短絡するものである。

このような構成であるから、放電開始時にトリガ回路１
からガスレーザ管２にトリガ電圧が印加され、これによ
りガスレーザ管２に放電電流が流れ始めると、この放電
電流は初期時に高域通過フィルタ７の抵抗７２を介して
コンテ゛ンサ７１に充電される。

このため、このコンデンサ７１が充電されるまでの期間
、電流制御回路５は過渡的に抵抗７２を介して短絡され
、このときガスレーザ管２に接続されるインピーダンス
は、略抵抗７２の抵抗値のみとなる。

したがって、放電電流の立上がり時間は短縮され、この
結果、ガスレーザ管２の放電は電流制御回路５のインピ
ーダンスに関係なく確実に開始される。

そうして放電が開始されると、直流高電圧発生回路３か
ら、トリガ電圧の出力を終了したトリガ回路および安定
化抵抗４を経てガスレーザ管２に放電電流が供給され、
これによりガスレーザ管２の放電動作は継続される。

またこのとき、高域通過フィルタ７は高インピーダンス
に保持されるため、上記放電電流は電流制御回路５に導
入されてこの回路５にて安定化される。

したがって、ガスレーザ管２のレーザ出力は高安定度に
保持される。

なお、以上の動作を行なわせるため、高域通過フィルタ
７のコンテ゛ンサ７１および抵抗７２の各値は、トリガ
電圧の印加期間内に放電電流が放電維時電流に十分達し
得るように定める。

ただし、抵抗７２の抵抗値およびコンデンサ７１の容量
をそれぞれ必要以上低下および増加させると、フィルタ
としてのカットオフ周波数が変化してこのカットオフ周
波数を超える周波数を持つ放電電流の変動を定電流化で
きなくなるおそれがある。

したがって、抵抗７２およびコンデンサ７１の値の設定
は、上記定電流化性能を配慮して行なう。

このように本実施例によれば、電流制御回路５に対し並
列に抵抗７２とコンテ゛ンサ７１との直列回路を接続し
ているので、放電開始時のみ電流制御回路５を過渡的に
短絡して低インピーダンスにすることができ、この結果
放電電流の立上がり時間を短縮することができる。

したがって、電流制御回路５のインピーダンスに関係な
く確実に放電を開始させることができ、これにより放電
開始時の動作信頼性を高めることができる。

また、本実施例であれば、電源装置の出力電圧やトリガ
電圧を高く設定する必要がないので、各回路やケーブル
の絶縁構造を強化しなくともよく、これ故装置の構成を
簡単にしかつ小形化することができる。

また、消費電力の低減にも寄与し、省エネルギ上非常に
有効である。

なお、本考案は上記実施例に限定されるものではない。

例えば、電流制御回路がガスレーザ管のアノード側に接
続されている場合には、高域通過フィルタもアノード側
に接続すればよい。

また直流トリガ方式以外にパルストリガ方式であっても
同様に適用できる。

その他高域通過フィルタ回路の構成についても、本考案
の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施できる。

以上詳述したように、電流制御回路に対し、ガスレーザ
管の放電開始時に電流制御回路を短絡する高域通過フィ
ルタを並列に接続した本考案によれば、出力電圧もしく
はトリガ電圧を増加させることなく確実に放電を開始さ
せることができ、構成が簡単で小形化をはかり得るとと
もに消費電力の低減をはかり得るガスレーザ電源装置を
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来におけるガスレーザ電源装置のブロック構
成図、第２図および第３図は本発明の一実施例を示すも
ので、第２図はガスレーザ電源装置のブロック構成図、
第３図は同電源装置の回路構成図である。 ２・・・・・・ガスレーザ管、５・・・・・・電流制御
回路、７・・・・・・高域通過フィルタ、７１・・・・
・・コンデンサ、７２・・・・・・抵抗。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ガスレーザ管に直列接続されガスレーザ管の放電電流を
   定電流化する電流制御部を備えたガスレーザ電源装置に
   おいて、前記電流制御部と並列に、ガスレーザ管の放電
   開始時に電流制御部の両端間を短絡する高域通過フィル
   タ回路を接続したことを特徴とするガスレーザ電源装置
   。