JPS5854284B2 - 磁気軸受 - Google Patents
磁気軸受Info
- Publication number
- JPS5854284B2 JPS5854284B2 JP56181625A JP18162581A JPS5854284B2 JP S5854284 B2 JPS5854284 B2 JP S5854284B2 JP 56181625 A JP56181625 A JP 56181625A JP 18162581 A JP18162581 A JP 18162581A JP S5854284 B2 JPS5854284 B2 JP S5854284B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- stator
- air gap
- axial direction
- gap magnetic
- Prior art date
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- Expired
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0459—Details of the magnetic circuit
- F16C32/0461—Details of the magnetic circuit of stationary parts of the magnetic circuit
- F16C32/0465—Details of the magnetic circuit of stationary parts of the magnetic circuit with permanent magnets provided in the magnetic circuit of the electromagnets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0474—Active magnetic bearings for rotary movement
- F16C32/0476—Active magnetic bearings for rotary movement with active support of one degree of freedom, e.g. axial magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
- F16C2300/62—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions low pressure, e.g. elements operating under vacuum conditions
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2370/00—Apparatus relating to physics, e.g. instruments
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、永久磁石の吸引力と電磁コイルの制御吸引力
との相互作用により、ステータ部に対しロータ部を非接
触で支持する磁気軸受であり、特に三軸方向の制御を可
能とする磁気軸受に関するものである。
との相互作用により、ステータ部に対しロータ部を非接
触で支持する磁気軸受であり、特に三軸方向の制御を可
能とする磁気軸受に関するものである。
磁気軸受とは、回転している物体を支持する力として磁
気力を利用する軸受である。
気力を利用する軸受である。
この磁気軸受は摩擦・疲労による寿命の制限がないこと
、摩擦トルクが極めて小さいこと、真空・高温・低温等
の特殊な環境に対する適合性が優れている等の著しい特
色があるために近年盛んに研究がなされている。
、摩擦トルクが極めて小さいこと、真空・高温・低温等
の特殊な環境に対する適合性が優れている等の著しい特
色があるために近年盛んに研究がなされている。
そしてこの用途としては、例えば遠心分離器、真空ポン
プ、ジャイロ、精密測定器、人工衛星用制御機器等の使
用が有望視されている。
プ、ジャイロ、精密測定器、人工衛星用制御機器等の使
用が有望視されている。
従来知られている磁気軸受は、−軸又は二軸制御型が多
く、残りの自由度は受動安定型なので振れ廻りや振動が
生じ易い欠点がある。
く、残りの自由度は受動安定型なので振れ廻りや振動が
生じ易い欠点がある。
又、使用する永久磁石には半径方向に着磁されたものが
使用される場合が多く、この半径方向着磁の永久磁石は
製造が難しいという問題点がある。
使用される場合が多く、この半径方向着磁の永久磁石は
製造が難しいという問題点がある。
本発明の目的は、上述の欠点を解消し、ロータ部をステ
ータ部に対し回転させながら、三輪方向の制御が可能で
、振れ廻りや振動を小さくできる磁気、軸受を提供する
ことにあり、その内容は、非接触で相対的に回転し得る
ロータ部とステータ部とから成り、ロータ部又はステー
タ部又は両者に軸方向に着磁した円筒形と等価の永久磁
石を設け、ロータ部とステータ部の軸方向の片端部のヨ
ーク間に、前記永久磁石の磁束が分岐して軸方向に相互
に逆方向に通過する第１、第２の空隙磁路を形成し、ス
テータ部に設けた第１の電磁コイルにより発生する磁束
が、前記第１、第２の空隙磁路を軸方向に直列に通過す
るようにし、ロータ部とステータ部の軸方向の他端部で
は、ステータヨークをロータヨークが円周状に囲み、こ
れらの間に前記永久磁石の磁束が半径方向に通過する第
３の空隙磁路を形成し、該ステータヨークは放射状に少
なくとも３個にほぼ分割し、はぼ分割された該ステータ
ヨークのうち少なくとも２個にはそれぞれ第２、第３の
電磁コイルを巻回し、これらの電磁コイルにより発生す
る磁束が第３の空隙磁路を半径方向に通過するようにす
ると共に、軸方向位置及び第３の空隙磁路周囲のロータ
部の軸方向と直交し相互に直交する２方向位置の計３方
向の位置を検出するためにロータ部周囲に少なくとも３
個の位置検出器を配置し、各位置検出器の出力を基に対
応する電磁コイルに供給する電流を制御するようにした
ことを特徴とするものである。
ータ部に対し回転させながら、三輪方向の制御が可能で
、振れ廻りや振動を小さくできる磁気、軸受を提供する
ことにあり、その内容は、非接触で相対的に回転し得る
ロータ部とステータ部とから成り、ロータ部又はステー
タ部又は両者に軸方向に着磁した円筒形と等価の永久磁
石を設け、ロータ部とステータ部の軸方向の片端部のヨ
ーク間に、前記永久磁石の磁束が分岐して軸方向に相互
に逆方向に通過する第１、第２の空隙磁路を形成し、ス
テータ部に設けた第１の電磁コイルにより発生する磁束
が、前記第１、第２の空隙磁路を軸方向に直列に通過す
るようにし、ロータ部とステータ部の軸方向の他端部で
は、ステータヨークをロータヨークが円周状に囲み、こ
れらの間に前記永久磁石の磁束が半径方向に通過する第
３の空隙磁路を形成し、該ステータヨークは放射状に少
なくとも３個にほぼ分割し、はぼ分割された該ステータ
ヨークのうち少なくとも２個にはそれぞれ第２、第３の
電磁コイルを巻回し、これらの電磁コイルにより発生す
る磁束が第３の空隙磁路を半径方向に通過するようにす
ると共に、軸方向位置及び第３の空隙磁路周囲のロータ
部の軸方向と直交し相互に直交する２方向位置の計３方
向の位置を検出するためにロータ部周囲に少なくとも３
個の位置検出器を配置し、各位置検出器の出力を基に対
応する電磁コイルに供給する電流を制御するようにした
ことを特徴とするものである。
本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
尚、説明の便宜上、軸方向を２軸、軸方向に直交する直
交２方向をＸ軸、Ｙ軸として説明する。
交２方向をＸ軸、Ｙ軸として説明する。
第１図は本発明に係る磁気軸受の縦断面図であり、第２
図は第１図の■−■線に沿った断面図である。
図は第１図の■−■線に沿った断面図である。
この磁気軸受はロータ部１とステータ部２とから戒り、
ロータ部１はステータ部２の周囲を非接触で回転するよ
うになっている。
ロータ部１はステータ部２の周囲を非接触で回転するよ
うになっている。
ステータ部２の下端部には、周囲が断面Ｃ字状で開口端
部３゜４を有する円環状の第１のステータヨーク５が設
けられ、この開口端部３，４間にロータ部１の第１のロ
ータヨーク６が挿入されている。
部３゜４を有する円環状の第１のステータヨーク５が設
けられ、この開口端部３，４間にロータ部１の第１のロ
ータヨーク６が挿入されている。
この第１のロータヨーク６の挿入部分は、軸方向に中心
軸を有する短円筒状の形状を有しており、その両端部７
，８と、第１のステータヨーク５の開口端部３．４との
間に軸方向を向く第１及び第２の空隙磁路９，１０を形
成するようになっている。
軸を有する短円筒状の形状を有しており、その両端部７
，８と、第１のステータヨーク５の開口端部３．４との
間に軸方向を向く第１及び第２の空隙磁路９，１０を形
成するようになっている。
又、第１のステータヨーク５には電磁コイル１１が巻回
されており、この電磁コイル１１により発生する磁束が
、第１及び第２の空隙磁路９，１０を直列的に通過する
ようになっている。
されており、この電磁コイル１１により発生する磁束が
、第１及び第２の空隙磁路９，１０を直列的に通過する
ようになっている。
一方、ステータ部２の上部には、円環状の第２のステー
タヨーク１５が設けられ、その周囲に第２のロータヨー
ク１６が配置され、これらの間には円環状の第３の空隙
磁路１７が形成されている。
タヨーク１５が設けられ、その周囲に第２のロータヨー
ク１６が配置され、これらの間には円環状の第３の空隙
磁路１７が形成されている。
この第２のステータヨーク１５と前記第１のステータヨ
ーク５との間には軸方向に着磁された円筒状の永久磁石
１Ｂが挟設されており、又、第２のロータヨーク１６は
第１のロータヨータロと磁気的に結合されている。
ーク５との間には軸方向に着磁された円筒状の永久磁石
１Ｂが挟設されており、又、第２のロータヨーク１６は
第１のロータヨータロと磁気的に結合されている。
この実施例に於いて、これらの第２のステータヨーク１
５及び第２のロータヨーク１６は、例えば高透磁率を有
するけい素鋼板等の積層板で構成され、高速回転時の渦
電流損失が少なくなるようになっている。
５及び第２のロータヨーク１６は、例えば高透磁率を有
するけい素鋼板等の積層板で構成され、高速回転時の渦
電流損失が少なくなるようになっている。
又、第２のステータヨーク１５は第２図に示すように半
径方向に等間隔に４個の切込み２０，２１，２２，２３
が設げられ、これらの切込み間には電磁コイル２４，２
５゜２６．２７が巻回されている。
径方向に等間隔に４個の切込み２０，２１，２２，２３
が設げられ、これらの切込み間には電磁コイル２４，２
５゜２６．２７が巻回されている。
この電磁コイルは、対向する位置の電磁コイル同士、即
ち２４と２６及び２５と２７が直列的又は並列的に接続
された第２、第３の２組の電磁コイル２４，２６゜２５
．２７に構成されている。
ち２４と２６及び２５と２７が直列的又は並列的に接続
された第２、第３の２組の電磁コイル２４，２６゜２５
．２７に構成されている。
又、ロータ部１の周囲には３個の位置検出器が設けられ
ており、第１の位置検出器３１はロータ部１の軸方向位
置を検出するものであり、その出力は図示しない第１の
制御回路に入力され、その出力により第１の電磁コイル
１１に流れる電流の方向及び大きさを制御するようにな
っている。
ており、第１の位置検出器３１はロータ部１の軸方向位
置を検出するものであり、その出力は図示しない第１の
制御回路に入力され、その出力により第１の電磁コイル
１１に流れる電流の方向及び大きさを制御するようにな
っている。
第２及び第３の位置検出器３２，３３は、ロータ部１の
上部の軸方向と直交するＸ軸及びＹ軸方向にそれぞれ設
けられており、第２の位置検出器３２の出力を基に前記
第２の電磁コイル２４．２６に第２の制御回路を介して
電流を供給し、第３の位置検出器３３の出力を基に第３
の電磁コイル２５．２７に第３の制御回路を介して電流
を供給するようになっている。
上部の軸方向と直交するＸ軸及びＹ軸方向にそれぞれ設
けられており、第２の位置検出器３２の出力を基に前記
第２の電磁コイル２４．２６に第２の制御回路を介して
電流を供給し、第３の位置検出器３３の出力を基に第３
の電磁コイル２５．２７に第３の制御回路を介して電流
を供給するようになっている。
本発明の実施例は上述の構成を有しているので、永久磁
石１８の北極Ｎからの実線で示す磁束φ１は、第２のス
テータヨーク１５、第３の空隙磁路１７、第２のロータ
ヨーク１６を経て第１のロータヨーク６に達し、ここで
第１、第２の空隙磁路９．１０に二岐して第１のロータ
ヨーク５に流れ、永久磁石１８の南極Ｓに戻ることにな
る。
石１８の北極Ｎからの実線で示す磁束φ１は、第２のス
テータヨーク１５、第３の空隙磁路１７、第２のロータ
ヨーク１６を経て第１のロータヨーク６に達し、ここで
第１、第２の空隙磁路９．１０に二岐して第１のロータ
ヨーク５に流れ、永久磁石１８の南極Ｓに戻ることにな
る。
尚、永久磁石１８の極性を逆にすれば、磁束φ１は逆の
順序に流れることは勿論である。
順序に流れることは勿論である。
今ここで、第１の電磁コイル１１に電流が供給されてい
ない場合を考えてみると、永久磁石１８から出る磁束φ
１により第１及び第２の空隙磁路９，１０にはそれぞれ
軸方向に互いに吸引する吸引力が作用することになる。
ない場合を考えてみると、永久磁石１８から出る磁束φ
１により第１及び第２の空隙磁路９，１０にはそれぞれ
軸方向に互いに吸引する吸引力が作用することになる。
そして第１及び第２の空隙磁路９゜１０に作用する吸引
力はほぼ相殺されることになって、全体としてロータ部
１とステータ部２の間に中立の位置が存在することにな
る。
力はほぼ相殺されることになって、全体としてロータ部
１とステータ部２の間に中立の位置が存在することにな
る。
然しなから実際にはロータ部１の自重やその他の条件に
より、このままで中立位置を保持することは困難であり
、例えばロータ部１は下方に変位することになる。
より、このままで中立位置を保持することは困難であり
、例えばロータ部１は下方に変位することになる。
すると第１の空隙磁路９の間隙が広がり、第２の空隙磁
路１０の間隙が狭くなるために、第１の空隙磁路９の磁
気抵抗が犬となり、逆に第２の空隙磁路１０の磁気抵抗
は小となる。
路１０の間隙が狭くなるために、第１の空隙磁路９の磁
気抵抗が犬となり、逆に第２の空隙磁路１０の磁気抵抗
は小となる。
従って磁束φ１は殆ど第２の空隙磁路１０を通過し、第
２の空隙磁路１０に於ける吸引力が第１の空隙磁路９の
それに較べて増大し、益々ロータ部１を下方に引き寄せ
ることになる。
２の空隙磁路１０に於ける吸引力が第１の空隙磁路９の
それに較べて増大し、益々ロータ部１を下方に引き寄せ
ることになる。
この状態を第１の位置検出器３１により検出し、制御回
路により第１の電磁コイル１１に電流を供給することに
よって、ロータ部１を軸方向の所定位置で安定させるこ
とができる。
路により第１の電磁コイル１１に電流を供給することに
よって、ロータ部１を軸方向の所定位置で安定させるこ
とができる。
即ち、第２の空隙磁路１０から第１の空隙磁路９方向に
直列的に点線で示す磁束φ２を発生するように、電磁コ
イル１１に電流を供給すると、第２の空隙磁路１０の吸
引力が弱まり第１の空隙磁路９の吸引力が強まることに
なり、ロータ部１は押し上げられ元の中立位置を保持す
ることが可能となる。
直列的に点線で示す磁束φ２を発生するように、電磁コ
イル１１に電流を供給すると、第２の空隙磁路１０の吸
引力が弱まり第１の空隙磁路９の吸引力が強まることに
なり、ロータ部１は押し上げられ元の中立位置を保持す
ることが可能となる。
一方、第３の空隙磁路１７に於いては、第２図の点線で
示すように第２のステータヨーク１５から第２のロータ
ヨーク１６に向けて放射状に磁束φ１が流れ、この間に
均一に作用する吸引力が発生する結果、第２のステータ
ヨーク１５と第２のロータヨーク１６は非接触を保持す
るようになっている。
示すように第２のステータヨーク１５から第２のロータ
ヨーク１６に向けて放射状に磁束φ１が流れ、この間に
均一に作用する吸引力が発生する結果、第２のステータ
ヨーク１５と第２のロータヨーク１６は非接触を保持す
るようになっている。
然しながらロータ部１がＸ軸又はＹ軸方向に変位するな
どしてこの磁束φ１の平衡が崩れれば、一方向に急激に
吸引力が増大することは前述の場合と同様である。
どしてこの磁束φ１の平衡が崩れれば、一方向に急激に
吸引力が増大することは前述の場合と同様である。
即ち例えばロータ部１がＸ軸方向の右側に移動すると、
第３の空隙磁路１７の右側の間隙が広がり左側の間隙が
狭くなることになり、左側の吸引力が右側に較べて増大
するために、ロータ部１は益々右側に引き寄せられるこ
とになる。
第３の空隙磁路１７の右側の間隙が広がり左側の間隙が
狭くなることになり、左側の吸引力が右側に較べて増大
するために、ロータ部１は益々右側に引き寄せられるこ
とになる。
そこでこの場合に於いては、ロータ部１のＸ軸方向の位
置を検出する第２の位置検出器３２により、第２の電磁
コイル２４．２６に磁束φ３を点線で示すように左側か
ら右側に流すことによって第３の空隙磁路１７に於ける
吸引力が平衡し、ロータ部１を元の中立位置に戻すこと
が可能となる。
置を検出する第２の位置検出器３２により、第２の電磁
コイル２４．２６に磁束φ３を点線で示すように左側か
ら右側に流すことによって第３の空隙磁路１７に於ける
吸引力が平衡し、ロータ部１を元の中立位置に戻すこと
が可能となる。
これはＹ軸方向の変位に対しても第３の位置検出器３３
及び第３の電磁コイル２５．２７を用いて全く同様に行
なうことができる。
及び第３の電磁コイル２５．２７を用いて全く同様に行
なうことができる。
これらの制御は単にロータ部１を中立位置に調整するこ
とだけでなく、意識的に一方の位置に片寄らせることも
可能である。
とだけでなく、意識的に一方の位置に片寄らせることも
可能である。
従って第２のロータヨーク１６を第２のステータヨーク
１５に対して独立的に片寄らせることにより、ロータ部
１をステータ部２に対して傾斜させることができること
になる。
１５に対して独立的に片寄らせることにより、ロータ部
１をステータ部２に対して傾斜させることができること
になる。
実施例に於いては磁束φ１ を発生させる永久磁石１８
をステータ部２に介在させたが、この位置はステータ部
２ではなくロータ部１に挿入しても同様の作用効果を有
するものであり、更には永久磁石１８をロータ部１、ス
テータ部２の双方に配置しても支障はない。
をステータ部２に介在させたが、この位置はステータ部
２ではなくロータ部１に挿入しても同様の作用効果を有
するものであり、更には永久磁石１８をロータ部１、ス
テータ部２の双方に配置しても支障はない。
又、実施例に於いては第２のステータヨーク１５に４個
の切込み２０〜２３を設けたが、これらは３個以上設け
、分割部を３個以上にすれば理論的に制御が可能であり
、更には第２、第３の電磁コイル２４，２６，２５゜２
７は全ての分割部に巻回するのではなく２個以上に巻回
すれば足りる。
の切込み２０〜２３を設けたが、これらは３個以上設け
、分割部を３個以上にすれば理論的に制御が可能であり
、更には第２、第３の電磁コイル２４，２６，２５゜２
７は全ての分割部に巻回するのではなく２個以上に巻回
すれば足りる。
以上説明したように本発明に係る磁気軸受は、最低１個
の永久磁石を用いて三軸方向の制御を可能とするもので
あり、磁気軸受の振れ廻りや振動を小さくすることがで
きる。
の永久磁石を用いて三軸方向の制御を可能とするもので
あり、磁気軸受の振れ廻りや振動を小さくすることがで
きる。
又、永久磁石は軸方向に着磁したものを用いるので、そ
の製造が容易である。
の製造が容易である。
空隙磁路の制御は磁界変調型なので制御がし易く電力消
費が極めて小さい利点がある。
費が極めて小さい利点がある。
更には微少な方向制御、所謂ジンバリングが可能で人工
衛星用フライホイール等の衛星の姿勢制御に有効に用い
ることができる。
衛星用フライホイール等の衛星の姿勢制御に有効に用い
ることができる。
図面は本発明に係る磁気軸受の一実施例を示すものであ
り、第１図はその縦断面図、第２図は第１図に於げる■
−■線に沿った断面図である。 符号１はロータ部、２はステータ部、５，１５はステー
タヨーク、６，１６はロータヨーク、９゜１０．１７は
空隙磁路、１１ 、２４〜２７は電磁コイル、２０〜２
３は切込み、３１，３２，３３は位置検出器である。
り、第１図はその縦断面図、第２図は第１図に於げる■
−■線に沿った断面図である。 符号１はロータ部、２はステータ部、５，１５はステー
タヨーク、６，１６はロータヨーク、９゜１０．１７は
空隙磁路、１１ 、２４〜２７は電磁コイル、２０〜２
３は切込み、３１，３２，３３は位置検出器である。
Claims (1)
- １ 非接触で相対的に回転し得るロータ部とステータ部
とから成り、ロータ部又はステータ部又は両者に軸方向
に着磁した円筒形と等価の永久磁石を設け、ロータ部と
ステータ部の軸方向の片端部のヨーク間に、前記永久磁
石の磁束が分岐して軸方向に相互に逆方向に通過する第
１、第２の空隙磁路を形成し、ステータ部に設けた第１
の電磁コイルにより発生する磁束が、前記第１、第２の
空隙磁路を軸方向に直列に通過するようにし、ロータ部
とステータ部の軸方向の他端部では、ステータヨークを
ロータヨークが円周状に囲み、これらの間に前記永久磁
石の磁束が半径方向に通過する第３の空隙磁路を形成し
、該ステータヨークは放射状に少なくとも３個にほぼ分
割し、はぼ分割された該ステータヨークのうち少なくと
も２個にはそれぞれ第２、第３の電磁コイルを巻回し、
これらの電磁コイルにより発生する磁束が第３の空隙磁
路を半径方向に通過するようにすると共に、軸方向位置
及び第３の空隙磁路周囲のロータ部の軸方向と直交し相
互に直交する２方向位置の計３方向の位置を検出するた
めにロータ部周囲に少な（とも３個の位置検出器を配置
し、各位置検出器の出力を基に対応する電磁コイルに供
給する電流を制御するようにしたことを特徴とする磁気
軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56181625A JPS5854284B2 (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 磁気軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56181625A JPS5854284B2 (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 磁気軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5884220A JPS5884220A (ja) | 1983-05-20 |
| JPS5854284B2 true JPS5854284B2 (ja) | 1983-12-03 |
Family
ID=16104050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56181625A Expired JPS5854284B2 (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 磁気軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5854284B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US6213737B1 (en) * | 1997-04-18 | 2001-04-10 | Ebara Corporation | Damper device and turbomolecular pump with damper device |
| JP4138606B2 (ja) * | 2003-08-19 | 2008-08-27 | 株式会社イワキ | 磁気軸受 |
| JP6780595B2 (ja) * | 2017-07-18 | 2020-11-04 | 横河電機株式会社 | 機器情報提供装置、機器情報提供方法、機器情報提供プログラム及び記録媒体 |
-
1981
- 1981-11-12 JP JP56181625A patent/JPS5854284B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5884220A (ja) | 1983-05-20 |
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