JPS5852934B2 - 光伝送繊維用予成形体の製造方法 - Google Patents
光伝送繊維用予成形体の製造方法Info
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- JPS5852934B2 JPS5852934B2 JP4764277A JP4764277A JPS5852934B2 JP S5852934 B2 JPS5852934 B2 JP S5852934B2 JP 4764277 A JP4764277 A JP 4764277A JP 4764277 A JP4764277 A JP 4764277A JP S5852934 B2 JPS5852934 B2 JP S5852934B2
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- heat source
- tubular material
- heat
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
- C03B37/01815—Reactant deposition burners or deposition heating means
-
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
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- C03B37/01876—Means for heating tubes or rods during or immediately prior to deposition, e.g. electric resistance heaters
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B2207/02—Elongated flat flame or slit-nozzle type
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/50—Multiple burner arrangements
- C03B2207/54—Multiple burner arrangements combined with means for heating the deposit, e.g. non-deposition burner
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- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光伝送繊維用予成形体の製造方法に関するもの
である。
である。
オプティカルファイバ、あるいは光ファイバなどと称さ
れて光通信部門に用いられている光伝送繊維は、プリフ
ォームロッドとも称されている予成形体を加熱延伸する
ことにより製造されており、この予成形体を得る一手段
として、従来では内付は化学気相沈積法（内付けＣＶＤ
法）が採用されていた。
れて光通信部門に用いられている光伝送繊維は、プリフ
ォームロッドとも称されている予成形体を加熱延伸する
ことにより製造されており、この予成形体を得る一手段
として、従来では内付は化学気相沈積法（内付けＣＶＤ
法）が採用されていた。
しかしてこの内付けＣＶＤ法は、第１図に略示するよう
に、石英などからなるガラス系管状素材Ａの両端を回転
自在に支持してこれを回転させ、かつ該管状素材Ａ内に
原料ガスを送入すると共に同素材Ａの外周に配置した長
手方向に移動自在な熱源Ｂにより管内へ熱供給し、そし
て上記原料ガス中のガラス系原料、例えば金属あるいは
非金属系のドーパント剤が混入されたシリコン化合物の
蒸気を酸化させて管内面にドーパン剤を含むＳ ｉ０２
粉末を沈積させると共にドーパント剤を含むＳ ｉ０２
粉末のガラス化を行い、さらにその後管状素材内に残存
している中空部を押しつぶして無空の棒状予成形体を得
ていたのである。
に、石英などからなるガラス系管状素材Ａの両端を回転
自在に支持してこれを回転させ、かつ該管状素材Ａ内に
原料ガスを送入すると共に同素材Ａの外周に配置した長
手方向に移動自在な熱源Ｂにより管内へ熱供給し、そし
て上記原料ガス中のガラス系原料、例えば金属あるいは
非金属系のドーパント剤が混入されたシリコン化合物の
蒸気を酸化させて管内面にドーパン剤を含むＳ ｉ０２
粉末を沈積させると共にドーパント剤を含むＳ ｉ０２
粉末のガラス化を行い、さらにその後管状素材内に残存
している中空部を押しつぶして無空の棒状予成形体を得
ていたのである。
この場合、管状素材Ａの内面に沈積されるガラス成分、
つまりドーパント剤を含む二酸化けい素の層は、数十層
乃至質層にもおよぶもので、これらの沈積時に、ドーパ
ント剤量の異なる原料ガスを管状素材Ａ内へ送入するこ
とにより、ステップインデックス型、あるいはグレーデ
ッド型となり得る光ファイバの予成形体が簡単に得られ
るようになり、この点での有利さは認められる。
つまりドーパント剤を含む二酸化けい素の層は、数十層
乃至質層にもおよぶもので、これらの沈積時に、ドーパ
ント剤量の異なる原料ガスを管状素材Ａ内へ送入するこ
とにより、ステップインデックス型、あるいはグレーデ
ッド型となり得る光ファイバの予成形体が簡単に得られ
るようになり、この点での有利さは認められる。
ところが、上記の方法により予成形体を製造する場合に
おいて、光フアイバ加工後の断面円屈折率が所望値とな
るように、管状素材Ａ内に形成されるＳｉＯ２よりも高
蒸気圧となるドーパント剤を用いた場合では、ガラス化
に必要な温度条件下でドーパント剤の蒸発が起るように
なり、かつ、この結果、沈積層内でのドーパント濃度に
変動が生じることになるので、このような予成形体によ
り光ファイバを製造する場合では、光ファイバのコアの
径方向に年輪状の縞模様が見られることでよく知られて
いる屈折率分布の変動が生じることとなる。
おいて、光フアイバ加工後の断面円屈折率が所望値とな
るように、管状素材Ａ内に形成されるＳｉＯ２よりも高
蒸気圧となるドーパント剤を用いた場合では、ガラス化
に必要な温度条件下でドーパント剤の蒸発が起るように
なり、かつ、この結果、沈積層内でのドーパント濃度に
変動が生じることになるので、このような予成形体によ
り光ファイバを製造する場合では、光ファイバのコアの
径方向に年輪状の縞模様が見られることでよく知られて
いる屈折率分布の変動が生じることとなる。
このような現象は、熱源Ｂにより管状素材Ａ内を加熱す
る際の加熱条件によっても異なるが、この際の加熱がよ
り高温である程、先の現象が顕著にあられれる。
る際の加熱条件によっても異なるが、この際の加熱がよ
り高温である程、先の現象が顕著にあられれる。
従って管状素材Ａ内に酸化物を沈積させるには、熱源Ｂ
によって管状素材Ａを加熱する際の温度が可及的低温で
あること、およびこの際の温度分布が管状素材Ａの長手
方向に均一であることが、屈折率分布に変動のない光フ
ァイバを得る上で重要となるが、従来における当該熱処
理手段では、これらを満足させるに至っておらず、結局
のところ、先の問題点を解消できなかったのである。
によって管状素材Ａを加熱する際の温度が可及的低温で
あること、およびこの際の温度分布が管状素材Ａの長手
方向に均一であることが、屈折率分布に変動のない光フ
ァイバを得る上で重要となるが、従来における当該熱処
理手段では、これらを満足させるに至っておらず、結局
のところ、先の問題点を解消できなかったのである。
つまり、従来では、単一の熱源Ｂにより管状素材Ａを加
熱していたのであるが、生産性を高める目的で、管状素
材Ａの長手方向に移動する熱源Ｂの移動速度を速めた場
合、該熱源Ｂからの供給熱を高温化しない限り、上記素
材Ａ内での気相反応およびガラス化が充分行なわれなく
なり、また、このようにして高温加熱手段を採ることに
より、前述した屈折率分布の変動を大きくさせることに
なっていた。
熱していたのであるが、生産性を高める目的で、管状素
材Ａの長手方向に移動する熱源Ｂの移動速度を速めた場
合、該熱源Ｂからの供給熱を高温化しない限り、上記素
材Ａ内での気相反応およびガラス化が充分行なわれなく
なり、また、このようにして高温加熱手段を採ることに
より、前述した屈折率分布の変動を大きくさせることに
なっていた。
さらに、熱源Ｂを管状素材Ａの長手方向に移動させる場
合において、該熱源Ｂが管状素材Ａの原料ガス入口端か
ら出口端へと移動する往動時には問題ないが、同出口端
から入口端へと熱源Ｂが復動する際には、原料ガスの送
入方向と熱源Ｂの移動方向とが互いに逆向し、原料ガス
への熱供給が、該ガスと熱源Ｂとのすれ違い時に瞬間的
に行なわれるのみとなるから、充分反応し得ない酸化物
が管状素材Ａの出口端側に沈積されるようになり、事後
のガラス化時に光散乱損失の原因、あるいは該素材損傷
の原因となる気泡が発生するようになる。
合において、該熱源Ｂが管状素材Ａの原料ガス入口端か
ら出口端へと移動する往動時には問題ないが、同出口端
から入口端へと熱源Ｂが復動する際には、原料ガスの送
入方向と熱源Ｂの移動方向とが互いに逆向し、原料ガス
への熱供給が、該ガスと熱源Ｂとのすれ違い時に瞬間的
に行なわれるのみとなるから、充分反応し得ない酸化物
が管状素材Ａの出口端側に沈積されるようになり、事後
のガラス化時に光散乱損失の原因、あるいは該素材損傷
の原因となる気泡が発生するようになる。
従って該熱処理時には、熱源Ｂの往動時に加熱状態、そ
の復動時に非加熱状態としていたが、このようにした場
合には、ガスバーナ等による熱源Ｂを頻繁に着火、消火
しなければならず、しかも着火時には大きな着火爆音に
よる有害な振動原因が発生し、さらに、管状素材Ａの出
口端で消火した熱源Ｂが、その入口端で着火状態となっ
て再度故山口端に達するまでに、同出口端側か降温して
しまい、入口端との温度差を生じる結果、このような温
度分布の不均一によっても、先に説明した屈折率分布の
変動を来していたのである。
の復動時に非加熱状態としていたが、このようにした場
合には、ガスバーナ等による熱源Ｂを頻繁に着火、消火
しなければならず、しかも着火時には大きな着火爆音に
よる有害な振動原因が発生し、さらに、管状素材Ａの出
口端で消火した熱源Ｂが、その入口端で着火状態となっ
て再度故山口端に達するまでに、同出口端側か降温して
しまい、入口端との温度差を生じる結果、このような温
度分布の不均一によっても、先に説明した屈折率分布の
変動を来していたのである。
本発明は上記の問題点に対処すべく、主熱処理と補助熱
処理とを巧みに組合せて管状素材内での気相反応を行な
わせることにより、均一な屈折率分布の光ファイバが得
られる予成形体を提供せんとするものである。
処理とを巧みに組合せて管状素材内での気相反応を行な
わせることにより、均一な屈折率分布の光ファイバが得
られる予成形体を提供せんとするものである。
以下本発明の実施例を図示により説明する。
第２図において、１は石英などのガラス系管状素材であ
り、この管状素材１は、既知のように軸受２ａ 、２ｂ
により回転自在に支持されていて図示しない駆動装置に
より回転されるようになっている。
り、この管状素材１は、既知のように軸受２ａ 、２ｂ
により回転自在に支持されていて図示しない駆動装置に
より回転されるようになっている。
３は主熱処理用熱源、４ａ、４ｂは該熱源３の前後に設
けられた補助熱処理用熱源であり、これらの熱源および
４ａ 、４ｂは、何れも酸水素炎バーナからなり、そし
て前記管状素材１の下部に、その長手方向に移動自在な
るよう配置されている。
けられた補助熱処理用熱源であり、これらの熱源および
４ａ 、４ｂは、何れも酸水素炎バーナからなり、そし
て前記管状素材１の下部に、その長手方向に移動自在な
るよう配置されている。
しかして、この第２図の実施例では、回転状態にした管
状素材１内に、ドーパント剤が混入されたガラス系の原
料ガス、例えばＧｅＣｌ４ ＋ ＧｅＣｌ４と０２の混
合ガスを送入しながら、主熱処理用熱源３および補助熱
処理用熱源４ａ、４ｂにより管状素材１をその長手方向
に順次加熱するのであるが、この際、両補助熱処理用熱
源４ａ 、４ｂからの供給熱温度は、原料ガス中のガラ
ス成分が反応しない８００’〜９００℃程度の温度とし
、かつ、主熱処理用熱源３からの供給熱温度は、原料ガ
ス中のガラス成分が反応し得る１３００〜１５００℃程
度の温度とするのである。
状素材１内に、ドーパント剤が混入されたガラス系の原
料ガス、例えばＧｅＣｌ４ ＋ ＧｅＣｌ４と０２の混
合ガスを送入しながら、主熱処理用熱源３および補助熱
処理用熱源４ａ、４ｂにより管状素材１をその長手方向
に順次加熱するのであるが、この際、両補助熱処理用熱
源４ａ 、４ｂからの供給熱温度は、原料ガス中のガラ
ス成分が反応しない８００’〜９００℃程度の温度とし
、かつ、主熱処理用熱源３からの供給熱温度は、原料ガ
ス中のガラス成分が反応し得る１３００〜１５００℃程
度の温度とするのである。
しかもこの熱処理時、管状素材１の原料入口端から出口
端へ向けて各熱源３および４ａ 、４ｂが往動する際に
は該各熱源全部を着火状態にし、かつ、同出口端から入
口端へと向う各熱源の復動時には、両補助熱処理用熱源
４ａ 、４ｂのみを着火状態とし、主熱処理用熱源３を
消火状態とするのである。
端へ向けて各熱源３および４ａ 、４ｂが往動する際に
は該各熱源全部を着火状態にし、かつ、同出口端から入
口端へと向う各熱源の復動時には、両補助熱処理用熱源
４ａ 、４ｂのみを着火状態とし、主熱処理用熱源３を
消火状態とするのである。
このようにして管状素材１を外部加熱し、その内面に原
料ガス中のガラス成分、つまり酸化物の層を沈積させた
場合には、管状素材１の長手方向ならびに各熱源３．４
ａ 、４ｂの移動方向に第５図、第６図の如き温度分布
が得られた。
料ガス中のガラス成分、つまり酸化物の層を沈積させた
場合には、管状素材１の長手方向ならびに各熱源３．４
ａ 、４ｂの移動方向に第５図、第６図の如き温度分布
が得られた。
この点を第５図から説明すると、各熱源の往動時はもち
ろんであるが、主熱処理用熱源３を消火状態とした各熱
源の復動時においても管状素材１は補助熱処理用熱源４
ａ 、４ｂによって加熱されるようになり、従って主熱
処理用熱源３が往動時のみ着火され、その復動時に消火
されたとしても、常時着火状態にある両補助熱処理用の
熱源４ａ。
ろんであるが、主熱処理用熱源３を消火状態とした各熱
源の復動時においても管状素材１は補助熱処理用熱源４
ａ 、４ｂによって加熱されるようになり、従って主熱
処理用熱源３が往動時のみ着火され、その復動時に消火
されたとしても、常時着火状態にある両補助熱処理用の
熱源４ａ。
４ｂが、復動時においてその出口端から温度降下しよう
とする管状素材１を所定温に保持するようになるのであ
る。
とする管状素材１を所定温に保持するようになるのであ
る。
この結果、往動時において各熱源３ 、４ ａ 、４ｂ
により加熱される管状素材１の温度分布は、第５図の実
線で示すようにその長手方向に均一となり、同図点線の
温度分布となっていた従来例の温度降下が解消されるの
である。
により加熱される管状素材１の温度分布は、第５図の実
線で示すようにその長手方向に均一となり、同図点線の
温度分布となっていた従来例の温度降下が解消されるの
である。
また、このようにして主熱処理用熱源３、補助熱処理用
熱源４ａ、４ｂとにより管状素材１を加熱する場合では
、第６図の実線のように、その加熱帯域が広くなって同
素材１に対する温度保持効果が高まり、しかも該素材１
内にガラス成分を沈積させるための高温域もドーパント
濃度の変動が生じないように低く抑えられるので、同図
点線の温度分布となっていた従来例の狭加熱帯域、高温
加熱が解消できるようになる。
熱源４ａ、４ｂとにより管状素材１を加熱する場合では
、第６図の実線のように、その加熱帯域が広くなって同
素材１に対する温度保持効果が高まり、しかも該素材１
内にガラス成分を沈積させるための高温域もドーパント
濃度の変動が生じないように低く抑えられるので、同図
点線の温度分布となっていた従来例の狭加熱帯域、高温
加熱が解消できるようになる。
因みに、上記のようにして得られた予成形体を１８００
℃程度の加熱条件下で延伸し、この紡糸手段により得ら
れた光ファイバの断面状況を干渉顕微鏡により観察した
ところ、その屈折率の変動は僅か２％程度（許容の変動
範囲）であり、従来の該変動８％に比べ、大幅な品質改
善となった。
℃程度の加熱条件下で延伸し、この紡糸手段により得ら
れた光ファイバの断面状況を干渉顕微鏡により観察した
ところ、その屈折率の変動は僅か２％程度（許容の変動
範囲）であり、従来の該変動８％に比べ、大幅な品質改
善となった。
なお、上記の実施例において、補助熱処理用熱源は４ａ
よりも４ｂを長くした方が、第５図実線の温度分布を得
る上で好ましい。
よりも４ｂを長くした方が、第５図実線の温度分布を得
る上で好ましい。
つぎに、第３図の実施例について説明すると、この実施
例では、両補助熱処理用熱源４ａ 、 ４ｂを一体型と
し、両熱源４ａ、４ｂ間に主熱処理用熱源３を介在させ
、そして管状素材１の長手方向に移動するこれら各熱源
３．４ａ、４ｂのうち、両熱源４ａ 、４ｂの上面を管
状素材１に対して傾斜させたものである。
例では、両補助熱処理用熱源４ａ 、 ４ｂを一体型と
し、両熱源４ａ、４ｂ間に主熱処理用熱源３を介在させ
、そして管状素材１の長手方向に移動するこれら各熱源
３．４ａ、４ｂのうち、両熱源４ａ 、４ｂの上面を管
状素材１に対して傾斜させたものである。
つまり、回転状態の管状素材１内に先の実施例と同様に
して原料ガスを送入し、かつ、該素材１をその長手方向
に加熱するにあたり、補助熱処理用熱源４ａ 、４ｂに
関しては、前方側熱源４ｂの先端から後方側熱源４ａの
後端に向けて管状素材１への熱供給量を順次小さくした
ものである。
して原料ガスを送入し、かつ、該素材１をその長手方向
に加熱するにあたり、補助熱処理用熱源４ａ 、４ｂに
関しては、前方側熱源４ｂの先端から後方側熱源４ａの
後端に向けて管状素材１への熱供給量を順次小さくした
ものである。
この実施例による場合も、先の実施例と同等の効果が得
られるようになる。
られるようになる。
さらに第４図の実施例について説明すると、スリット状
の噴炎孔５を有していて通水冷却を可能とした長手の補
助熱処理用熱源４と、前記と同様の主熱処理用熱源３と
を併用して管状素材１を長手方向に加熱するようにした
もので、この場合、一方の熱源３を他方の熱源４の上位
に着脱可能に配設せしめ、かつ、同熱源４上における主
熱処理用熱源３の位置を長手方向に移動調整自在とした
ものである。
の噴炎孔５を有していて通水冷却を可能とした長手の補
助熱処理用熱源４と、前記と同様の主熱処理用熱源３と
を併用して管状素材１を長手方向に加熱するようにした
もので、この場合、一方の熱源３を他方の熱源４の上位
に着脱可能に配設せしめ、かつ、同熱源４上における主
熱処理用熱源３の位置を長手方向に移動調整自在とした
ものである。
もちろん、この実施例でも、前記各実施例と同じく、回
転状態とした管状素材１内に原料ガスを送入し、その長
手方向に同期して移動する両熱源３．４により、所望の
熱処理を行い、目的とする予成形体を製造するのである
。
転状態とした管状素材１内に原料ガスを送入し、その長
手方向に同期して移動する両熱源３．４により、所望の
熱処理を行い、目的とする予成形体を製造するのである
。
この実施例の場合でも、先の実施例と同等の効果を挙げ
得るようになる。
得るようになる。
本発明は上記の通りであるので、つぎのような特徴効果
が得られる。
が得られる。
（イ）光伝送繊維（光ファイバ）用予成形体を製造する
際の熱処理工程において、管状素材内にガラス反応生成
物が生じない程度に同素材を外部から加熱する補助熱処
理手段と、該管状素材内にガラス反応生成物が生じるよ
うに同素材を外部から加熱処理する主熱処理手段とを併
用し、当該管状素材を長手方向に加熱するようにしてい
るので、この際の加熱帯域が広くなって素材長手方向の
温度保持効果が高まり、かつ、該素材内にガラス成分を
沈積させるための高温域もドーパント濃度の変動が生じ
ないように低く抑えられるから、屈折率の変動がきわめ
て小さい最終製品（光ファイバ）が得られるようになる
。
際の熱処理工程において、管状素材内にガラス反応生成
物が生じない程度に同素材を外部から加熱する補助熱処
理手段と、該管状素材内にガラス反応生成物が生じるよ
うに同素材を外部から加熱処理する主熱処理手段とを併
用し、当該管状素材を長手方向に加熱するようにしてい
るので、この際の加熱帯域が広くなって素材長手方向の
温度保持効果が高まり、かつ、該素材内にガラス成分を
沈積させるための高温域もドーパント濃度の変動が生じ
ないように低く抑えられるから、屈折率の変動がきわめ
て小さい最終製品（光ファイバ）が得られるようになる
。
（０）最終製品の品質をさらに高める目的で、管状素材
の長手方向を往復動する主熱処理用熱源を、その復動時
のみ非加熱状態とした場合でも、補助熱処理熱源が管状
素材の温度降下を阻止するので、主および補助用の熱源
による往動時の加熱に際しては、管状素材長手方向の温
度分布が均一になり、従ってこの種温度分布の不均一に
よる屈折率変動が最終製品化において生ぜず、目的通り
の品質確保が計れる。
の長手方向を往復動する主熱処理用熱源を、その復動時
のみ非加熱状態とした場合でも、補助熱処理熱源が管状
素材の温度降下を阻止するので、主および補助用の熱源
による往動時の加熱に際しては、管状素材長手方向の温
度分布が均一になり、従ってこの種温度分布の不均一に
よる屈折率変動が最終製品化において生ぜず、目的通り
の品質確保が計れる。
（／→ ガスバーナ等による主熱処理用熱源を、その復
動時に消火状態とした場合、事後の着火が補助用の熱源
を利用して行えるようになり、従って頻繁な着火操作に
よる面倒が解消されると共に、主熱処理用の熱源が前記
のように低温化されるのであるから、該熱源が小型化で
き、そしてこの結果、同熱源の着火時に大きな着火爆音
を発生させないこととなるから、該着火爆音による有害
振動も低く抑えられる。
動時に消火状態とした場合、事後の着火が補助用の熱源
を利用して行えるようになり、従って頻繁な着火操作に
よる面倒が解消されると共に、主熱処理用の熱源が前記
のように低温化されるのであるから、該熱源が小型化で
き、そしてこの結果、同熱源の着火時に大きな着火爆音
を発生させないこととなるから、該着火爆音による有害
振動も低く抑えられる。
第１図は従来例の説明図、第２図乃至第４図は本発明の
各種実施例を示す説明図、第５図、第６図は本発明なら
びに従来例の熱処理時における温度分布比較図である。 １・・・・・・管状素材、３・・・・・・主熱処理用熱
源、４゜４ ａ ＊ ４ ｂ・・・・・・補助熱処理用
熱源。
各種実施例を示す説明図、第５図、第６図は本発明なら
びに従来例の熱処理時における温度分布比較図である。 １・・・・・・管状素材、３・・・・・・主熱処理用熱
源、４゜４ ａ ＊ ４ ｂ・・・・・・補助熱処理用
熱源。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 長手方向の軸心を中心にしてガラス系管状素材を回
転させ、該管状素材内に、ドーパント剤が混入されたガ
ラス系の原料ガスを送入すると共に同素材の外周長手方
向に沿って施す熱処理工程により同ガスを気相反応させ
て該素材内面に上記原料ガス中のガラス成分を沈積させ
る光伝送繊維用予成形体の製造方法において、上記熱処
理工程時には、管状素材内にガラス反応生成物が生じな
い程度に同素材を外部から加熱する補助熱処理と、該管
状素材内にガラス反応生成物が生じるように同素材を外
部から加熱する主熱処理とを併用して当該管状素材をそ
の長手方向に沿って加熱し、同素材内面に原料ガス中の
ガラス成分を沈積させるようにしたことを特徴とする光
伝送繊維用予成形体の製造方法。 ２ 管状素材の原料ガス入口端から出口端間において主
熱処理用および補助熱処理用の各熱源を往復動させるこ
とにより該管状素材に熱処理を施し、主熱処理用熱源の
復動時には該熱源を非加熱状態にするようにしたことを
特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の光伝送繊維用
予成形体の製造方法。 ３ 主熱処理用熱源の前後両隣に補助熱処理用熱源を配
置し、これにより管状素材をその長手方向に加熱するに
あたり、両補助熱処理用熱源から管状素材に供給する熱
量を、前方側補助熱処理用熱源の先端から後方側補助熱
処理用熱源の後端に向けて順次小さくするようにしたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項に記
載の光伝送繊維用予成形体の製造方法。 ４ 主熱処理用熱源の前後両隣に補助熱処理用熱源を配
置し、これにより管状素材をその長手方向に加熱するに
あたり、前方にある補助熱処理用熱源の加熱帯域を、後
方にある補助熱処理用熱源の加熱帯域よりも大きくした
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項に
記載の光伝送繊維用予成形体の製造方法。 ５ 補助熱処理用熱源の上位に、該熱源よりも幅の短い
主熱処理用熱源を配置し、両熱源を管状素材の長手方向
に移動させて該素材を外部から加熱するようにしたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の光伝送繊維
用予成形体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4764277A JPS5852934B2 (ja) | 1977-04-25 | 1977-04-25 | 光伝送繊維用予成形体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4764277A JPS5852934B2 (ja) | 1977-04-25 | 1977-04-25 | 光伝送繊維用予成形体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS53133045A JPS53133045A (en) | 1978-11-20 |
| JPS5852934B2 true JPS5852934B2 (ja) | 1983-11-26 |
Family
ID=12780886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4764277A Expired JPS5852934B2 (ja) | 1977-04-25 | 1977-04-25 | 光伝送繊維用予成形体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5852934B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7920045A (nl) * | 1978-08-18 | 1980-06-30 | Western Electric Co | Vervaardiging van optische vezels onder toepassing van thermoforetische afzetting van glas voorloper deeltjes. |
| US6145345A (en) * | 1998-06-05 | 2000-11-14 | Lucent Technologies Inc. | Modified chemical vapor deposition using independently controlled thermal sources |
| KR100277358B1 (ko) * | 1998-06-25 | 2001-01-15 | 윤종용 | 화학기상증착방법에 의한 광섬유모재 제조장치 및 방법 |
| FI123122B (fi) * | 2009-02-16 | 2012-11-15 | Optogear Oy | Laitteisto lasimateriaalin valmistamiseksi |
-
1977
- 1977-04-25 JP JP4764277A patent/JPS5852934B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS53133045A (en) | 1978-11-20 |
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