JPS5852557A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
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- JPS5852557A JPS5852557A JP56150900A JP15090081A JPS5852557A JP S5852557 A JPS5852557 A JP S5852557A JP 56150900 A JP56150900 A JP 56150900A JP 15090081 A JP15090081 A JP 15090081A JP S5852557 A JPS5852557 A JP S5852557A
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- JP
- Japan
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- bodies
- vibrator
- acoustic
- electrode
- polarization
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Electric Clocks (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超音波探触子≦２関し、特Ｃ二高分子圧電材料
から形成された振動子本体なｉｆる超音波探触子−２関
する。
から形成された振動子本体なｉｆる超音波探触子−２関
する。
超音波！利用して診断、探傷、計測等１行なう各種超音
波機器（−おいては、電気音響変換手段として従来から
圧電セラミックス＊振動子本体を有する超音波探触子が
用いられている。このセラミック振動子は感度が大であ
る反面その帯域幅が狭く、また形状比（直方体状Ｉ：影
形成た場合（二最小断面における幅／厚さ）を波長−ニ
ルして充分小さくなし得ないため高周波で使用するフェ
ーズドアレー６二は適さないという欠点があった。すな
わち、超音波診断装隨等６；おいて配列形超音波探触子
Ｃ二よる扇形走査を行なうような場合（二、第２主極に
基づく偽像の発生を防止するためには、（波長）／（振
動子配列ピッチ）がビーム走査の覆域に関連して定まる
所定値を超える必要がある。しかしながら、従来のセラ
ミック振動子を用いたフェーズドアン−用探触子（二お
いては、裏打ち材に接置された板状振動子を切断して複
数個Ｃ二分割するようＣ二していたので、振動子および
接着剤の切削抵抗が弱いため振動子の幅を充分狭くする
ことが困難であり、かつカッタの刃厚（二は限界がある
ため切削溝幅すなわち振動子相互間隔Ｚ充分に狭くする
ことが困難であって、その結果、振動子の配列ピッチを
充分小さくすることが実質的に不可能であったからであ
る。
波機器（−おいては、電気音響変換手段として従来から
圧電セラミックス＊振動子本体を有する超音波探触子が
用いられている。このセラミック振動子は感度が大であ
る反面その帯域幅が狭く、また形状比（直方体状Ｉ：影
形成た場合（二最小断面における幅／厚さ）を波長−ニ
ルして充分小さくなし得ないため高周波で使用するフェ
ーズドアレー６二は適さないという欠点があった。すな
わち、超音波診断装隨等６；おいて配列形超音波探触子
Ｃ二よる扇形走査を行なうような場合（二、第２主極に
基づく偽像の発生を防止するためには、（波長）／（振
動子配列ピッチ）がビーム走査の覆域に関連して定まる
所定値を超える必要がある。しかしながら、従来のセラ
ミック振動子を用いたフェーズドアン−用探触子（二お
いては、裏打ち材に接置された板状振動子を切断して複
数個Ｃ二分割するようＣ二していたので、振動子および
接着剤の切削抵抗が弱いため振動子の幅を充分狭くする
ことが困難であり、かつカッタの刃厚（二は限界がある
ため切削溝幅すなわち振動子相互間隔Ｚ充分に狭くする
ことが困難であって、その結果、振動子の配列ピッチを
充分小さくすることが実質的に不可能であったからであ
る。
一方、高分子圧電材料から形成さオｔた振動子は広帯域
特性を備えているが感度が小さく、かつ厚さが９〜３０
μ講程度のものしか製造し得ないので、このままではほ
ばＩＯＭＨ，： 以上の高周波領域でしか使用できな
いという難点がある。これを実用的な低周波領域Ｃ二お
いて使用するためＣ二、従来は第１図に例示するように
複数（図は３つの場合）の素子１′ｌ＆−厚さ方向、す
なわち分極方向Ｙに血合するとともに相互に接着して振
動子本体２を形成するようにしていた。
特性を備えているが感度が小さく、かつ厚さが９〜３０
μ講程度のものしか製造し得ないので、このままではほ
ばＩＯＭＨ，： 以上の高周波領域でしか使用できな
いという難点がある。これを実用的な低周波領域Ｃ二お
いて使用するためＣ二、従来は第１図に例示するように
複数（図は３つの場合）の素子１′ｌ＆−厚さ方向、す
なわち分極方向Ｙに血合するとともに相互に接着して振
動子本体２を形成するようにしていた。
この本体２には厚さ方向に相対向して一対ンなす電極３
が幅方向、すなわち索子１の延伸軸方向Ｘに所定の配列
ピッチで相互に離間して配設されている。図中４は前面
板であり、５は背板である。そして、分極方向Ｙの振動
モードケ利用するようＣ二構成されている。なお、振動
子２は延伸軸方向に分割されていてもよい。
が幅方向、すなわち索子１の延伸軸方向Ｘに所定の配列
ピッチで相互に離間して配設されている。図中４は前面
板であり、５は背板である。そして、分極方向Ｙの振動
モードケ利用するようＣ二構成されている。なお、振動
子２は延伸軸方向に分割されていてもよい。
しかしながら、上述のように構成された従来の探触子（
二おいては複数の振動素子１に積層、接着して振動子本
体２を形成しているので、電気＋音響相互変換効率が悪
いばかりでなく、本← 体２の圧電ｄ定数が小さいので電気→音響変換効率も惑
＜、かつ本体２の音響インピーダンスが約４ Ｘ １０
’ Ｋｙｆ ／ ｍ’ｓ であるため人体や水など（音
響インピーダンス約１．５Ｘ１０’に〕ｆ／ｍ！ｓ）と
の音響整合性が悪いという難点がある。
二おいては複数の振動素子１に積層、接着して振動子本
体２を形成しているので、電気＋音響相互変換効率が悪
いばかりでなく、本← 体２の圧電ｄ定数が小さいので電気→音響変換効率も惑
＜、かつ本体２の音響インピーダンスが約４ Ｘ １０
’ Ｋｙｆ ／ ｍ’ｓ であるため人体や水など（音
響インピーダンス約１．５Ｘ１０’に〕ｆ／ｍ！ｓ）と
の音響整合性が悪いという難点がある。
上述のような問題点！解決するため本発明者らは、第２
図に例示するよう（こ振動子本体６の延伸軸方向Ｘの振
動モード！利用するべくその分極方向Ｙに電極７を配設
した超音波探触子を先に提案した。このものにおいては
、第１図に示すようなもの（二おける上記欠点を大幅に
改善することができるが、振動子本体６および電極７に
有する１群の振動子ごとにそれぞれ１対の電極ン要する
ので□、複数群の振動子を並設するフェーズドアレーな
どの場合には組立Ｃ二条くの時間を要するという難点が
ある。
図に例示するよう（こ振動子本体６の延伸軸方向Ｘの振
動モード！利用するべくその分極方向Ｙに電極７を配設
した超音波探触子を先に提案した。このものにおいては
、第１図に示すようなもの（二おける上記欠点を大幅に
改善することができるが、振動子本体６および電極７に
有する１群の振動子ごとにそれぞれ１対の電極ン要する
ので□、複数群の振動子を並設するフェーズドアレーな
どの場合には組立Ｃ二条くの時間を要するという難点が
ある。
本発明は上記事情のもとＣ−なされたもので、その目的
とするところは、高分子圧′４に材料から形成された複
数の振動子本体ン有しなからＸ気→音響相互変換効率が
高く、人体や水などとの音響差金性が良好で、しかも組
立が容易であり、特に高同波のフェーズドアレー等（二
好適な超音波探触子を提供すること（二ある。
とするところは、高分子圧′４に材料から形成された複
数の振動子本体ン有しなからＸ気→音響相互変換効率が
高く、人体や水などとの音響差金性が良好で、しかも組
立が容易であり、特に高同波のフェーズドアレー等（二
好適な超音波探触子を提供すること（二ある。
以下、本発明を図示の一実施例について説明する。第３
図において振動子本体１０（サフィックスは配列順を示
す）は高分子圧電材料（たとえばＰＶＤＦなど）から延
伸軸方向Ｘの長さ！１分極方方向の厚さｔの直方体状Ｃ
二形成され、複数個（図は８個の場合）が厚さ方向、す
なわち分極方向Ｙに配列されている。これら本体１０は
配列順１二複数（図は本体の数と同数で、１つで１群の
場合）の＃（二分割されるとともに、相隣さ一群に属す
る各本体の分極方向の同きが各矢印で示すようＣ；互い
に逆向き！なすよう３二配設されている。そして、分極
方向Ｙ１すなわち配列方向内端と各群の間とには、信号
電！！１ｉ１１と接地電極１２とが交互に配設されてい
る。これら電極１１．１２は適宜の導電性材料から薄膜
状に形成さし、本体１０の分極方向Ｙ端面Ｓ：たとえば
蒸着あるいは接着等の適宜手段によって付着されている
。また、本体１０の延伸方向両端（二は前面板１３およ
び背板１４がそれぞれ設けられている。前面板Ｉ３は本
体１０ に対する保護層、音響整合層あるいは音響レン
ズの少なくともいずれか１つの機能を果すように構成さ
れている。
図において振動子本体１０（サフィックスは配列順を示
す）は高分子圧電材料（たとえばＰＶＤＦなど）から延
伸軸方向Ｘの長さ！１分極方方向の厚さｔの直方体状Ｃ
二形成され、複数個（図は８個の場合）が厚さ方向、す
なわち分極方向Ｙに配列されている。これら本体１０は
配列順１二複数（図は本体の数と同数で、１つで１群の
場合）の＃（二分割されるとともに、相隣さ一群に属す
る各本体の分極方向の同きが各矢印で示すようＣ；互い
に逆向き！なすよう３二配設されている。そして、分極
方向Ｙ１すなわち配列方向内端と各群の間とには、信号
電！！１ｉ１１と接地電極１２とが交互に配設されてい
る。これら電極１１．１２は適宜の導電性材料から薄膜
状に形成さし、本体１０の分極方向Ｙ端面Ｓ：たとえば
蒸着あるいは接着等の適宜手段によって付着されている
。また、本体１０の延伸方向両端（二は前面板１３およ
び背板１４がそれぞれ設けられている。前面板Ｉ３は本
体１０ に対する保護層、音響整合層あるいは音響レン
ズの少なくともいずれか１つの機能を果すように構成さ
れている。
背板Ｉ４は本体π（二対する裏打層、詰響吸収層および
音響整合層の少なくともいずれか１つの機能を果すよう
ミニ構成されている。
音響整合層の少なくともいずれか１つの機能を果すよう
ミニ構成されている。
つぎ区：、上述のように構成された超音波探触子の動作
Ｃ二ついて説明する。いま、各信号電橋１０と接地電極
ＩＩとの間（；大きさおよび位相が相等しい電圧を印加
したと仮定すれば、蚤本体ｙの圧電ｄ定数が正値の場合
には奇数番目の本体１０１．１０ｓ、 １０！、 １０
丁が延伸軸方向Ｘ（二縮む、また偶数番目の本体１０鵞
、１０４，１０・ 、１０Ｓは、奇数番目のものに比
し分極方向Ｙの同きが反対であると共に加えられた′成
界の向きも反対であるから、同方向（二縮むことになる
。すなわち、すべての振動子本体１０、〜ｉｏ 、が−
斉Ｅ同方向の運動夕なす。また、図示のように相隣３本
体１０．と１０．、ｔｏ、と” ４ ｓ １０ Ｂと
１０６，１０７と１０．をそれぞれ１組とし、１組ごと
の中央゛電極を信号電極とするとともイニ両端電極を接
地電極として用いるようにｆ’ ｎ ｆ！ 、各組ごと
（畷り述同様の運＠をさせることができる。したがって
、本体１０１〜１０．を励振する信号Ｂ ＋の振幅と位
相とを各組ごとに制御することによりフェーズドアレー
として利用することができる。
Ｃ二ついて説明する。いま、各信号電橋１０と接地電極
ＩＩとの間（；大きさおよび位相が相等しい電圧を印加
したと仮定すれば、蚤本体ｙの圧電ｄ定数が正値の場合
には奇数番目の本体１０１．１０ｓ、 １０！、 １０
丁が延伸軸方向Ｘ（二縮む、また偶数番目の本体１０鵞
、１０４，１０・ 、１０Ｓは、奇数番目のものに比
し分極方向Ｙの同きが反対であると共に加えられた′成
界の向きも反対であるから、同方向（二縮むことになる
。すなわち、すべての振動子本体１０、〜ｉｏ 、が−
斉Ｅ同方向の運動夕なす。また、図示のように相隣３本
体１０．と１０．、ｔｏ、と” ４ ｓ １０ Ｂと
１０６，１０７と１０．をそれぞれ１組とし、１組ごと
の中央゛電極を信号電極とするとともイニ両端電極を接
地電極として用いるようにｆ’ ｎ ｆ！ 、各組ごと
（畷り述同様の運＠をさせることができる。したがって
、本体１０１〜１０．を励振する信号Ｂ ＋の振幅と位
相とを各組ごとに制御することによりフェーズドアレー
として利用することができる。
ところで、上述のようＣ二４＃成された探触子をフェー
ズドアレー用として使用すると、ｌ１４接する振動子本
体の群相互間（二おけるクロストークが性能ｆ二悪影４
＃を及ぼすことがある。このような場合Ｃは上記各組相
互間（二介在する゛鑵極！２や接着剤等に、背硬絶縁性
、合着吸収性または音響不整合性などの機能を具塊させ
るよう（ニするのがよい。たとえば、電極１１ｖ軟質の
高分子材料（−導電性粉体等が混入された材料から形成
すること（二より音響吸収層Ｃ二兼用するとか、あるい
は磁極用接着剤に音響吸収性Ｃ二優れたものを用いるな
どしてもよい。また、は極Ｉ２の音響インピーダンスを
振動子本体１０より著しく大きく設定するとか、分極方
向Ｙｌ二おける電極１２の厚さを適当な位相に相当する
ようＣ二設定するなどしてもよい。要すれば、接着層を
適宜に設定することＣ；より電極Ｉ２の音響インピーダ
ンスを等測的ぎ二増大させるようＣ二してもよい。
ズドアレー用として使用すると、ｌ１４接する振動子本
体の群相互間（二おけるクロストークが性能ｆ二悪影４
＃を及ぼすことがある。このような場合Ｃは上記各組相
互間（二介在する゛鑵極！２や接着剤等に、背硬絶縁性
、合着吸収性または音響不整合性などの機能を具塊させ
るよう（ニするのがよい。たとえば、電極１１ｖ軟質の
高分子材料（−導電性粉体等が混入された材料から形成
すること（二より音響吸収層Ｃ二兼用するとか、あるい
は磁極用接着剤に音響吸収性Ｃ二優れたものを用いるな
どしてもよい。また、は極Ｉ２の音響インピーダンスを
振動子本体１０より著しく大きく設定するとか、分極方
向Ｙｌ二おける電極１２の厚さを適当な位相に相当する
ようＣ二設定するなどしてもよい。要すれば、接着層を
適宜に設定することＣ；より電極Ｉ２の音響インピーダ
ンスを等測的ぎ二増大させるようＣ二してもよい。
上記構成によれば、延伸軸方向Ｘの振動モードを利用す
るよう１ニジたので、振動子本体１０の振動方向の長さ
ｌは、単に二素材を切断するだけで所望の周波数Ｃ二適
合するものを容易に形成することができ、これにより実
用上好ましい周波数帯域（１〜２０ＭＨｚ柵度）′Ｊｋ
′カバーすることができる。したがって従来装置におけ
るように複数の振動子本体を厚さ方向（すなわち振動方
向）に積層、接着する必要がないから、電気□音響相互
変換効率が低下するようなことがない。
るよう１ニジたので、振動子本体１０の振動方向の長さ
ｌは、単に二素材を切断するだけで所望の周波数Ｃ二適
合するものを容易に形成することができ、これにより実
用上好ましい周波数帯域（１〜２０ＭＨｚ柵度）′Ｊｋ
′カバーすることができる。したがって従来装置におけ
るように複数の振動子本体を厚さ方向（すなわち振動方
向）に積層、接着する必要がないから、電気□音響相互
変換効率が低下するようなことがない。
また、高分子圧電材料（−おいては延伸軸方向Ｘにおけ
る圧電ｄ定数が分極方向ＹＣおける値の約２倍と良好で
あり、かつ延伸軸方向における音響インピーダンスは分
極方向（二おける値よりも人体や水等の値（＝近いので
これらＣ二対する音響整合性も改善される。
る圧電ｄ定数が分極方向ＹＣおける値の約２倍と良好で
あり、かつ延伸軸方向における音響インピーダンスは分
極方向（二おける値よりも人体や水等の値（＝近いので
これらＣ二対する音響整合性も改善される。
さらｌ二、上述のように延伸軸方向Ｘの振動モードを利
用するよう（ニしたので振動子本体１０の分極方向厚さ
ｔは充分薄くてもよく、しかも本体Ｗ、！：電極１１．
１２とを交互に配置するようにしたので本体１０の配列
ピッチは従来の高分子圧電材料製振動子に比較しても充
分小さくなし得るばかりでなく、セラミック振動子を切
断して形成したものに比較丁れば１／１０以下Ｃ；する
ことも容易であり、この場合Ｃ二は１０倍以上の高周波
数用フェーズドアレーＣ二利用することができる。
用するよう（ニしたので振動子本体１０の分極方向厚さ
ｔは充分薄くてもよく、しかも本体Ｗ、！：電極１１．
１２とを交互に配置するようにしたので本体１０の配列
ピッチは従来の高分子圧電材料製振動子に比較しても充
分小さくなし得るばかりでなく、セラミック振動子を切
断して形成したものに比較丁れば１／１０以下Ｃ；する
ことも容易であり、この場合Ｃ二は１０倍以上の高周波
数用フェーズドアレーＣ二利用することができる。
しかも、振動子本体ＩＯの配列方向両端と各群の間とに
それぞれ′磁極ン装置するようにしたので、電極の数は
群の数より１つ多いだけであり、各群ごとに両端に電極
を設ける場合に比し構造が著しく簡単化され、組立に要
する手数を大幅ｆ二節減することができる。
それぞれ′磁極ン装置するようにしたので、電極の数は
群の数より１つ多いだけであり、各群ごとに両端に電極
を設ける場合に比し構造が著しく簡単化され、組立に要
する手数を大幅ｆ二節減することができる。
なお、本発明は上記実施例のみ（二限定されるものでは
なく、たとえば１つの探触子（二おける振動子群の数や
各１つの群を構成する振動子本体の積層数等は必要Ｃユ
応じて適宜Ｃ二設定してよい。また、各シミ１１および
１２は信号用および接地用にそれぞれ特定される必要は
なく、外部回路の構成によって適宜【ニシフトして用い
たり、あるいは選択的に用いたりすることも可能であり
、要すれば印加される電圧の極性を変換するなどしても
よい。
なく、たとえば１つの探触子（二おける振動子群の数や
各１つの群を構成する振動子本体の積層数等は必要Ｃユ
応じて適宜Ｃ二設定してよい。また、各シミ１１および
１２は信号用および接地用にそれぞれ特定される必要は
なく、外部回路の構成によって適宜【ニシフトして用い
たり、あるいは選択的に用いたりすることも可能であり
、要すれば印加される電圧の極性を変換するなどしても
よい。
また、第４図Ｃ二例示するように各群を構成する本体１
０の積層数を異ならしめておくと、各群の振幅は積層数
（二反比例するから、各（ｆｉ電極ＩＩと接地電極Ｉ２
との間に大きさおよび位相が相等しい電圧を与えると、
同図において、鎖巌Ｉ５により模式的に示すような振幅
分布が得られる。換言すれば、各群の配置および各群を
構成する振動子本体の積層数ン適宜に設定することによ
り、１つの電源により所望の振幅分布をなす励振が可能
（二なる。
０の積層数を異ならしめておくと、各群の振幅は積層数
（二反比例するから、各（ｆｉ電極ＩＩと接地電極Ｉ２
との間に大きさおよび位相が相等しい電圧を与えると、
同図において、鎖巌Ｉ５により模式的に示すような振幅
分布が得られる。換言すれば、各群の配置および各群を
構成する振動子本体の積層数ン適宜に設定することによ
り、１つの電源により所望の振幅分布をなす励振が可能
（二なる。
さらＣ二、第５図に例示するよう（二各群を構成する振
動子本体１θの積層数を相等しく設定するとともに、各
電極ＩＩ、１２の分極方向Ｙｌ二おける厚さを相異なら
しめることＣ二より、同図において鎖線Ｉ６で模式「Ｊ
に示すようにｍ ｉｐ＋４が一定で場所により密度が相
異なる分布状態とすることができる。
動子本体１θの積層数を相等しく設定するとともに、各
電極ＩＩ、１２の分極方向Ｙｌ二おける厚さを相異なら
しめることＣ二より、同図において鎖線Ｉ６で模式「Ｊ
に示すようにｍ ｉｐ＋４が一定で場所により密度が相
異なる分布状態とすることができる。
したがって、各＃ン構成する振動子本体１０の積層数と
、電ａｉｚｚ、ｘｘの分極方向Ｙ（二おける厚さとンそ
れぞれ適宜に設定して粗金わせることＣ二より、１つの
印加″電源を用いてサイドローブシ所望の状ｌｉｔ二抑
制することが可吐となる。
、電ａｉｚｚ、ｘｘの分極方向Ｙ（二おける厚さとンそ
れぞれ適宜に設定して粗金わせることＣ二より、１つの
印加″電源を用いてサイドローブシ所望の状ｌｉｔ二抑
制することが可吐となる。
要すれば、第６図に例示するよう（二相−る組相互間に
間隙１７ン形成−「るととも５二間隙１７を介して対向
する両′Ｍ、極１２を相互Ｃ二接続し、かつ間隙１７に
音響絶縁Ｊ−または合音吸収層を設けたり、あるいは音
響不整合層！形成するようＣ二してよく、これＣ二より
相関る輯柑互間におけるクロストークの影４Ｊｙｘ除去
することができる− さらに、上記いずれの場合であっても、相互に＠接する
振動子本体１０相互間および本体１０と蹴ｇｘｘｐｉｘ
間Ｃ二たとえばシリコン油等の油性薄膜を介設し、この
油性薄膜の表面張力によって相隣る両者ケ張り含わせる
よう６二してもよい。このようＣ二構成すれば、接着剤
Ｃ二よって接着する場合（二比し組立作業を大幅一二簡
易化することができ、かつ振動子本体１０の延伸軸方同
Ｘ振動に対する抑制作用が、接着した場合より遥かに軽
度であるから磁気→音響変換効率を同上させることがで
きる。
間隙１７ン形成−「るととも５二間隙１７を介して対向
する両′Ｍ、極１２を相互Ｃ二接続し、かつ間隙１７に
音響絶縁Ｊ−または合音吸収層を設けたり、あるいは音
響不整合層！形成するようＣ二してよく、これＣ二より
相関る輯柑互間におけるクロストークの影４Ｊｙｘ除去
することができる− さらに、上記いずれの場合であっても、相互に＠接する
振動子本体１０相互間および本体１０と蹴ｇｘｘｐｉｘ
間Ｃ二たとえばシリコン油等の油性薄膜を介設し、この
油性薄膜の表面張力によって相隣る両者ケ張り含わせる
よう６二してもよい。このようＣ二構成すれば、接着剤
Ｃ二よって接着する場合（二比し組立作業を大幅一二簡
易化することができ、かつ振動子本体１０の延伸軸方同
Ｘ振動に対する抑制作用が、接着した場合より遥かに軽
度であるから磁気→音響変換効率を同上させることがで
きる。
本発明は、上述したように高分子材料から板状に形成さ
れるとともにその分極方向に配列された複数の振動子本
体を有するものにおいて、上記本体なその配列順に複数
の群（二分割するとともＣ二相隣る＃（二属する本体の
分橿方同の向きを互いに逆向きとし、かつ配列方向両端
と各群の間とＣ二それぞれ電極を配設し、上記本体の延
−伸軸方向の振動モードを利用するようにしたことを特
徴とするものである。したがって、振動方向の長さ！所
望の周波数≦二適合するよう６二形成し得るので複数の
本体を厚さ方向に接着する必要がなく、磁気；：ｆｌｌ
相互変換効率の低下を防止することができる。また、圧
′嘔定数が良好で音響インピーダンスがより人体や水等
に近い延伸軸方向の振動モードを利用するようにしたの
で、人体や水等に対する音響整金性！回上させることが
できる。さらに、分極方向における振動子本体の厚さが
薄くてよいので面周波数のフェーズドアレー一二好適で
ある。
れるとともにその分極方向に配列された複数の振動子本
体を有するものにおいて、上記本体なその配列順に複数
の群（二分割するとともＣ二相隣る＃（二属する本体の
分橿方同の向きを互いに逆向きとし、かつ配列方向両端
と各群の間とＣ二それぞれ電極を配設し、上記本体の延
−伸軸方向の振動モードを利用するようにしたことを特
徴とするものである。したがって、振動方向の長さ！所
望の周波数≦二適合するよう６二形成し得るので複数の
本体を厚さ方向に接着する必要がなく、磁気；：ｆｌｌ
相互変換効率の低下を防止することができる。また、圧
′嘔定数が良好で音響インピーダンスがより人体や水等
に近い延伸軸方向の振動モードを利用するようにしたの
で、人体や水等に対する音響整金性！回上させることが
できる。さらに、分極方向における振動子本体の厚さが
薄くてよいので面周波数のフェーズドアレー一二好適で
ある。
しかも、振動子本体を配列順＋：４ｊＩ数の群Ｃ二分割
するとともに配列方向両端と各群の間とにそれぞれ一対
の′電極を設けた場合（二比し構造が簡単で組立が容易
である。
するとともに配列方向両端と各群の間とにそれぞれ一対
の′電極を設けた場合（二比し構造が簡単で組立が容易
である。
第１図は従来例例示す断面図、第２図は同側に対する改
善提案を例示する断面図、第３図は本発明の一実施例例
示す断面図、＄４図、第５図および第６図は同側一二お
ける要部の変形例を示す説明図である。 １０１〜１０．−°・振動子本体、ＩＩ、Ｉｊｌｏ・・
電極、Ｘ・・・延伸軸方向、Ｙ・・・分極方向。
善提案を例示する断面図、第３図は本発明の一実施例例
示す断面図、＄４図、第５図および第６図は同側一二お
ける要部の変形例を示す説明図である。 １０１〜１０．−°・振動子本体、ＩＩ、Ｉｊｌｏ・・
電極、Ｘ・・・延伸軸方向、Ｙ・・・分極方向。
Claims (1)
- 高分子圧電材料から板状に形成されるととも（二その分
極方向に配列された複数の振動子本体を有するものＣ二
おいて、上記本体をその配列順に複数の群に分割すると
ともｆ；相隣ｍｖｌＰ（−属する本体の分極方向の向き
を互いに逆向きとし、かつ配列方向両端と各群の間とＣ
二それぞれ電極を配設し、上記本体の延伸軸方向の振動
モードケ利用するようＣｌ、たこと！特徴とする超音波
探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56150900A JPS5852557A (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56150900A JPS5852557A (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 超音波探触子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5852557A true JPS5852557A (ja) | 1983-03-28 |
| JPS6412439B2 JPS6412439B2 (ja) | 1989-02-28 |
Family
ID=15506831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56150900A Granted JPS5852557A (ja) | 1981-09-24 | 1981-09-24 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5852557A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6774540B2 (en) | 2001-04-24 | 2004-08-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Sound converting apparatus |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5647199A (en) * | 1979-09-26 | 1981-04-28 | Toray Ind Inc | Polymer piezoelectric transducer of multilayered lamination type |
| JPS57129096A (en) * | 1981-01-31 | 1982-08-10 | Kureha Chem Ind Co Ltd | Array type ultrasonic transmitting and receiving element |
| JPS57159197A (en) * | 1981-03-26 | 1982-10-01 | Kureha Chem Ind Co Ltd | Manufacture for ultrasonic wave oscillator |
-
1981
- 1981-09-24 JP JP56150900A patent/JPS5852557A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5647199A (en) * | 1979-09-26 | 1981-04-28 | Toray Ind Inc | Polymer piezoelectric transducer of multilayered lamination type |
| JPS57129096A (en) * | 1981-01-31 | 1982-08-10 | Kureha Chem Ind Co Ltd | Array type ultrasonic transmitting and receiving element |
| JPS57159197A (en) * | 1981-03-26 | 1982-10-01 | Kureha Chem Ind Co Ltd | Manufacture for ultrasonic wave oscillator |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6774540B2 (en) | 2001-04-24 | 2004-08-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Sound converting apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6412439B2 (ja) | 1989-02-28 |
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