JPS5851037A - 微小傾斜回転テ−ブル - Google Patents
微小傾斜回転テ−ブルInfo
- Publication number
- JPS5851037A JPS5851037A JP14877981A JP14877981A JPS5851037A JP S5851037 A JPS5851037 A JP S5851037A JP 14877981 A JP14877981 A JP 14877981A JP 14877981 A JP14877981 A JP 14877981A JP S5851037 A JPS5851037 A JP S5851037A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tilt
- bearing
- inclination
- rotary
- stands
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/70—Stationary or movable members for carrying working-spindles for attachment of tools or work
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本−男は板状被加工物の基準面に対して、もう一方の面
を撲讐、たけ晶・凸面形状に研磨できるようにするため
の微小傾斜回転テーブルに関するものである。
を撲讐、たけ晶・凸面形状に研磨できるようにするため
の微小傾斜回転テーブルに関するものである。
従来のこの種の装置は第１図に示すように構成されてい
て、ムは凹・凸面形状加工用の静止傾斜系、Ｂは回転駆
動系、Ｃは楔形状加工用の傾斜回転系、Ｄは割シ出し系
、／は被加工物である。
て、ムは凹・凸面形状加工用の静止傾斜系、Ｂは回転駆
動系、Ｃは楔形状加工用の傾斜回転系、Ｄは割シ出し系
、／は被加工物である。
静止傾斜板λは、受縁３に対して回動傾斜し得る支軸弘
で締結されており、受板３は定１ｉｉｔに載。定盤′ｊ
には両足１１１！Ａと、置市１ｌＩ４上會摺動し得る移
動楔７と、ねじ支持突起ｌＫ螺合された移動ｖｉｃ７用
押しねじ２と、戻しばね１０が取ｐ付けてあって、押し
ねじりｔねじ込むと、移動楔７が押し込まれて、受板Ｊ
に対して静止傾斜板コが支軸ｐ１中心に回動しながら傾
斜してゆき、また押しねじりをゆるめると、戻しばね１
０の弾性力で移動！！！７は押し戻されて、静止傾斜板
−の傾斜は元へ戻る仕組みになっている。
で締結されており、受板３は定１ｉｉｔに載。定盤′ｊ
には両足１１１！Ａと、置市１ｌＩ４上會摺動し得る移
動楔７と、ねじ支持突起ｌＫ螺合された移動ｖｉｃ７用
押しねじ２と、戻しばね１０が取ｐ付けてあって、押し
ねじりｔねじ込むと、移動楔７が押し込まれて、受板Ｊ
に対して静止傾斜板コが支軸ｐ１中心に回動しながら傾
斜してゆき、また押しねじりをゆるめると、戻しばね１
０の弾性力で移動！！！７は押し戻されて、静止傾斜板
−の傾斜は元へ戻る仕組みになっている。
／ｌはウオームホイールであって、下部に突設した軸／
／’が静止傾斜板コに設けられた軸穴およびスラスト軸
受ｌコによって回転自在に嵌合し、駆動源によって駆動
回転されるウオーム／ＪＫよって、静止傾斜系ムと紘無
関係に回転し得る。
／’が静止傾斜板コに設けられた軸穴およびスラスト軸
受ｌコによって回転自在に嵌合し、駆動源によって駆動
回転されるウオーム／ＪＫよって、静止傾斜系ムと紘無
関係に回転し得る。
傾斜回転系ａｈ靜止傾斜系ムと同様な構造愛育しており
、傾斜板ｌダ、受板／ｊ−１傾斜板支軸１４、固定＠１
７．８８８／Ｉ、ねじ支持用突起／Ｐ、押しねじ一層、
戻しばねコｌが具備されており、静止傾斜系ムと無関係
に回転し得るウオームホイール／／に％定盤ココによっ
て固定されている。
、傾斜板ｌダ、受板／ｊ−１傾斜板支軸１４、固定＠１
７．８８８／Ｉ、ねじ支持用突起／Ｐ、押しねじ一層、
戻しばねコｌが具備されており、静止傾斜系ムと無関係
に回転し得るウオームホイール／／に％定盤ココによっ
て固定されている。
コＪは外周に目盛管付し九ｇｉＩａ割り出し被加工物台
であって、上面に被加工物ｌｔ保持し、下面に突出した
軸コ３′が傾斜板ｌ参の軸受部に回動自在に嵌合してお
り、任意の回動位置で傾斜＠＃に対し、たとえば傾斜板
側面から螺合挿入したねじにより突軸コｉ′ｆ押えるこ
とにより、固定し得この装置では、傾斜量調整のたびに
回転中心の高さが変化するので、そのつど切り込みを設
定しなくてはならないうえに、研削力を移動喫と支軸の
一点で背負っているので、剛性が低く、特に微 □
小な傾斜を精度良く調整するため、移動横と支軸間距離
音大きくすると、より一層剛性は低下し、加工表面の形
状精度を得難いなどの欠点があった。
であって、上面に被加工物ｌｔ保持し、下面に突出した
軸コ３′が傾斜板ｌ参の軸受部に回動自在に嵌合してお
り、任意の回動位置で傾斜＠＃に対し、たとえば傾斜板
側面から螺合挿入したねじにより突軸コｉ′ｆ押えるこ
とにより、固定し得この装置では、傾斜量調整のたびに
回転中心の高さが変化するので、そのつど切り込みを設
定しなくてはならないうえに、研削力を移動喫と支軸の
一点で背負っているので、剛性が低く、特に微 □
小な傾斜を精度良く調整するため、移動横と支軸間距離
音大きくすると、より一層剛性は低下し、加工表面の形
状精度を得難いなどの欠点があった。
本発明は、加工表面の形状精度を確保するための重要な
要因である高剛性のために、傾斜調整系を大面積のすべ
り軸受にしｋものである。以下図面によｐ本発明を詳Ｊ
ＩＩＫＩ！明する。
要因である高剛性のために、傾斜調整系を大面積のすべ
り軸受にしｋものである。以下図面によｐ本発明を詳Ｊ
ＩＩＫＩ！明する。
第一図は本発明の一実施例を示し、ダ０は軸受、＃／拡
ロウオームホイール４ＩＪはウオーム、４ＩＪ１杯ハナ
ット、−ｊ線回転定盤、４Ｉ４Ｆｉナツト、参７は回転
軸受、＃ｔは受板％ ４’Ｐは回転割シ出し被加ニ一台
、ｊＯはナツト、ｊ／はボルト、１１社軸、！！。
ロウオームホイール４ＩＪはウオーム、４ＩＪ１杯ハナ
ット、−ｊ線回転定盤、４Ｉ４Ｆｉナツト、参７は回転
軸受、＃ｔは受板％ ４’Ｐは回転割シ出し被加ニ一台
、ｊＯはナツト、ｊ／はボルト、１１社軸、！！。
＃、１１は歯車列、！４拡割９出しビン、！７はポーラ
ス七フォックスである。
ス七フォックスである。
設置面参ＯａＫ対して、傾斜したスラスト受面参〇ｂ愛
育し、スラスト受面参〇ｂに対して垂直なラジアル受面
０００ を有する軸受ダ０に、両面参／＆。
育し、スラスト受面参〇ｂに対して垂直なラジアル受面
０００ を有する軸受ダ０に、両面参／＆。
ｕｔｂが、該軸受ＵＯと同様な大きさの傾斜管有し、し
か奄骸両１ｌｉｉ＄／ａ 、 ＄／ｂ Ｋそれぞれ垂直
な実軸参１０．参／ｄｔ有し、駆動源より駆動回転され
るウオームＬ２と咬み合い、回動し得るウオームホイー
ルａｔ（０９１軸参／Ｃｔ、回動自在な状態にナツト−
弘Ｊ、ｌダで締結する。ウオームホイール参ｌ、の鳴う
一方の突軸参／ｄＫは回転定盤ダｊを装着し、参Ｉｂ會
スラスト受面として回動自在な状１１にナツト４Ｉ４で
締結する。
か奄骸両１ｌｉｉ＄／ａ 、 ＄／ｂ Ｋそれぞれ垂直
な実軸参１０．参／ｄｔ有し、駆動源より駆動回転され
るウオームＬ２と咬み合い、回動し得るウオームホイー
ルａｔ（０９１軸参／Ｃｔ、回動自在な状態にナツト−
弘Ｊ、ｌダで締結する。ウオームホイール参ｌ、の鳴う
一方の突軸参／ｄＫは回転定盤ダｊを装着し、参Ｉｂ會
スラスト受面として回動自在な状１１にナツト４Ｉ４で
締結する。
回転軸受斜７は、設置面４ｃ７ａに対して傾斜し九スラ
スト受向＄７ｂ を有し、該スラスト受面参７ｂに対し
て喬直なラジアル受面＄７０ ［−有する回転軸受であ
って、両ｌ１ｉｐｒａｔ参ｌｂが該回転軸受＃７と同じ
大きさの傾斜を有し、しかも参ｒｈ面に垂直１に実軸参
ｌＣを有する回転割り出し被加工物置社用の受板４！−
ｌが、回動自在にナラ） １０で締結してあり、さらに
複数本のボルトｊｌで回転定盤釘に載置固定されている
ので、ウオームホイール＃Ｉの参ｌｂ・會スツスト受面
として回転し得る。
スト受向＄７ｂ を有し、該スラスト受面参７ｂに対し
て喬直なラジアル受面＄７０ ［−有する回転軸受であ
って、両ｌ１ｉｐｒａｔ参ｌｂが該回転軸受＃７と同じ
大きさの傾斜を有し、しかも参ｒｈ面に垂直１に実軸参
ｌＣを有する回転割り出し被加工物置社用の受板４！−
ｌが、回動自在にナラ） １０で締結してあり、さらに
複数本のボルトｊｌで回転定盤釘に載置固定されている
ので、ウオームホイール＃Ｉの参ｌｂ・會スツスト受面
として回転し得る。
回転軸受参７と受板ａｔの外周線、直歯の歯車状になっ
ており、駆動源から回転が伝達される軸ｊコにキーで締
結された歯３ＩｊＪと較み合っているので、ウオームホ
イール釘の回動と祉無関係に連続回転し得る。さらに歯
車！３の端面は傘歯車となっていて、アイドラーとして
の傘歯車！参を介して、歯車！３と同様な形状の歯車ｊ
！に、逆方向の薗転會伝達する。歯車列１１． ｊ４Ｉ
、 ！ｔＪ−ｄ軸！コ上をスライドし得る構造に壜って
いる。ダ０．釘は静止傾斜台を参７．′＄１１４回転傾
斜台管構成する。
ており、駆動源から回転が伝達される軸ｊコにキーで締
結された歯３ＩｊＪと較み合っているので、ウオームホ
イール釘の回動と祉無関係に連続回転し得る。さらに歯
車！３の端面は傘歯車となっていて、アイドラーとして
の傘歯車！参を介して、歯車！３と同様な形状の歯車ｊ
！に、逆方向の薗転會伝達する。歯車列１１． ｊ４Ｉ
、 ！ｔＪ−ｄ軸！コ上をスライドし得る構造に壜って
いる。ダ０．釘は静止傾斜台を参７．′＄１１４回転傾
斜台管構成する。
回転割り出し被加工物台ダタの外周ＫＦｉビン大が設け
てあって、割り出しビン！６が具備されている。図面上
そは、回転割り出し被加工物台参りに杜、外周部がシー
ルされたポーラスセラ建ツクス！７が一体化されていて
、禎加工物／Ｖｒ真空吸着保持している。
てあって、割り出しビン！６が具備されている。図面上
そは、回転割り出し被加工物台参りに杜、外周部がシー
ルされたポーラスセラ建ツクス！７が一体化されていて
、禎加工物／Ｖｒ真空吸着保持している。
つぎに１本発明の微小傾斜回転テーブルを用いて板状の
被加工物の基準面に対して、もう一方のＩｉ會ＩＩ形状
に研磨する場合には、ウオーム参コｔ駆動させ、軸受＜
１０の傾斜面ｐｏｔとｓｏｂの最大値とウオームホイー
ル４！ｌの両面弘／ａと４Ａｌｂの最小値とが合うまで
、ウオームホイール参ｌｔ回動させ、μ／ｂ面を水平に
する（砥石走査線と平行）。
被加工物の基準面に対して、もう一方のＩｉ會ＩＩ形状
に研磨する場合には、ウオーム参コｔ駆動させ、軸受＜
１０の傾斜面ｐｏｔとｓｏｂの最大値とウオームホイー
ル４！ｌの両面弘／ａと４Ａｌｂの最小値とが合うまで
、ウオームホイール参ｌｔ回動させ、μ／ｂ面を水平に
する（砥石走査線と平行）。
つぎに歯車ｊ３を上昇きせると、位置関係が足まってい
る歯車ｊｊも上昇し、それぞれ回転軸受４ｃ７と受板ａ
ｒＫ校み合う。この状態で軸Ｊコ【駆動させると、歯車
ｊ３と歯車１１が互いに反対向きの回転ｔはじめ、それ
に伴って回転軸党参７と受板４Ｉｔが反対向きにまわる
。このとき、回転軸党参７と一体化されている回転定盤
＄７の下面と受板ａｔの面ｐｔｂの関係が、形成すべき
傾斜αになるまで双方を回動させ、歯車系列を下降させ
ると、歯車１１が回転軸党参７および受板４Ｉｔの双方
Ｋｌ！み合い、回転軸受４ｔ７と受板弘ｔの位置関係が
固定される。
る歯車ｊｊも上昇し、それぞれ回転軸受４ｃ７と受板ａ
ｒＫ校み合う。この状態で軸Ｊコ【駆動させると、歯車
ｊ３と歯車１１が互いに反対向きの回転ｔはじめ、それ
に伴って回転軸党参７と受板４Ｉｔが反対向きにまわる
。このとき、回転軸党参７と一体化されている回転定盤
＄７の下面と受板ａｔの面ｐｔｂの関係が、形成すべき
傾斜αになるまで双方を回動させ、歯車系列を下降させ
ると、歯車１１が回転軸党参７および受板４Ｉｔの双方
Ｋｌ！み合い、回転軸受４ｔ７と受板弘ｔの位置関係が
固定される。
つぎに回転割り出し被加工物台ダ？のビン穴に割り出し
ビン１４ ｔ−さし込み、歯車１１ ｖｒ回転させて、
傾斜しているＷｏｒｂ （Ｄ 弗い位置と、被加工物ｌ
の深く研磨すべき位ａｌｔ合わせて、割９出しビンｊ４
ｔｍき去ると同時に、（ロ）転割り出し被加工真空吸着
する。
ビン１４ ｔ−さし込み、歯車１１ ｖｒ回転させて、
傾斜しているＷｏｒｂ （Ｄ 弗い位置と、被加工物ｌ
の深く研磨すべき位ａｌｔ合わせて、割９出しビンｊ４
ｔｍき去ると同時に、（ロ）転割り出し被加工真空吸着
する。
そして、第３図に示すように、研削砥石６１１″回転せ
しめるとともに、回転定盤４ＬＳより上部を歯車！３で
連続回転させつつ、砥石を直線走査してゆけばよい。
しめるとともに、回転定盤４ＬＳより上部を歯車！３で
連続回転させつつ、砥石を直線走査してゆけばよい。
試料の被加工物台ダタへの保持および被加工物台社の受
板ａへの固定は真空吸着以外の方法、たとえば接着剤や
磁力の利用、ねじ止めなどの機械的方法、それらの組合
わせなどでも差支えない。
板ａへの固定は真空吸着以外の方法、たとえば接着剤や
磁力の利用、ねじ止めなどの機械的方法、それらの組合
わせなどでも差支えない。
また被加工物ｌの基準面に対するもう一方の面を凸面形
状に研磨する場合は、回転定盤ダ！の下面と受板４ｃｔ
Ｏ面≠ｒｂとの関係を平行にしておき、ウオームホイー
ル≠７をウオームダ２を駆動させて回動させ、軸受グ０
の設置面とウオームホイール亭ＩＯ自ｌｂとの関係を所
足の傾斜にしておき、第１図に示すように、研削砥石！
ｒｔ−回転させるとともに、回転定盤４ｃｔよシ上部を
歯車ｊ３で連続回転させつつ、砥石ｊｒｔ−被加工物ｌ
の中央から外周に向って直線走査すればよい。
状に研磨する場合は、回転定盤ダ！の下面と受板４ｃｔ
Ｏ面≠ｒｂとの関係を平行にしておき、ウオームホイー
ル≠７をウオームダ２を駆動させて回動させ、軸受グ０
の設置面とウオームホイール亭ＩＯ自ｌｂとの関係を所
足の傾斜にしておき、第１図に示すように、研削砥石！
ｒｔ−回転させるとともに、回転定盤４ｃｔよシ上部を
歯車ｊ３で連続回転させつつ、砥石ｊｒｔ−被加工物ｌ
の中央から外周に向って直線走査すればよい。
凹面形状に研磨する場合は、凸面形状加工の場合と同様
な操作で、第３図に示すように、砥石！ｌを被加工物／
の外周から中心に向って走査させて停止し、被加工物面
から上方に砥石を遠ざけて終了する。
な操作で、第３図に示すように、砥石！ｌを被加工物／
の外周から中心に向って走査させて停止し、被加工物面
から上方に砥石を遠ざけて終了する。
なお双方の傾斜訓整系を傾けて、回転させつつ研削する
ことによって、凹凸中心が基板中心から偏心した形状に
加工することもできる。
ことによって、凹凸中心が基板中心から偏心した形状に
加工することもできる。
笑際には、台傾斜円板（４Ｉ点）の傾斜度を／Ｊμシ１
０工にして、最大で３０μシＩＩ ｓｓａの楔形状と、
／ｊ ／ＩＩＫ／１０ ｓｓ Ｏ凸−ｒＭＪｍ形状が再
３Ｊ性良く得られている。もちろん平行向も得られてい
る。
０工にして、最大で３０μシＩＩ ｓｓａの楔形状と、
／ｊ ／ＩＩＫ／１０ ｓｓ Ｏ凸−ｒＭＪｍ形状が再
３Ｊ性良く得られている。もちろん平行向も得られてい
る。
以上説明したように、本°発明の微小傾斜回転テーブル
は、傾斜円板金一枚重ねにして、摺動、傾斜調整部を大
面積めたりの構造としたので、構成が容易で小型、高剛
性、回転中心の高さ変動が小さいことなどの利点がある
。
は、傾斜円板金一枚重ねにして、摺動、傾斜調整部を大
面積めたりの構造としたので、構成が容易で小型、高剛
性、回転中心の高さ変動が小さいことなどの利点がある
。
第１回社従来の傾斜回転テーブルの儒ＷＩＲ面図、凧コ
図鉱本発明の一実施例図、纂Ｊ図扛慣研削状・況を示す
図、第μ図は凸面研削状況を示す図、第３図は凹面研削
状況を示す図である。 ｌ・・・被加工物、参〇・・・軸受、ａｏａ・・・設置
面、４ｔａｂ・・・スラスト受面、ｐｏｃ・・・ラジア
ル受面、参ｌ・・・ウオームホイール、参／ａ、 ＃／
ｂ・・・ウオームホイール釘の面、≠１０，４Ｉ／（ｉ
・・・突軸、Ｑ・・・ウオーム、参７ 、４’！−・・
ナツト□、０・・・回転定盤、１６・・・ナツト、ダ７
・・・回転軸受、ｌａ・・・設置面、ａｙｂ・・・スラ
スト受面、参７０・・・２シアル受面、弘ｔ・・・受板
、＜ｚｒａ。 ４Ｌｔｂ・・・受板の面、弘ｒｃ・・・突軸、４Ｆ・・
・割り出し被加工物台、ｊＯ・・・ナツト、５１・・・
ボルト、ｊ２・・・軸、ｊｊ・・・歯車、！≠・・・傘
歯車、ｊｊ・・・歯車、！６・・・割り出しビン、ｊｊ
・・・ポーラスセラミックス、！ｌ・・・研削砥石。
図鉱本発明の一実施例図、纂Ｊ図扛慣研削状・況を示す
図、第μ図は凸面研削状況を示す図、第３図は凹面研削
状況を示す図である。 ｌ・・・被加工物、参〇・・・軸受、ａｏａ・・・設置
面、４ｔａｂ・・・スラスト受面、ｐｏｃ・・・ラジア
ル受面、参ｌ・・・ウオームホイール、参／ａ、 ＃／
ｂ・・・ウオームホイール釘の面、≠１０，４Ｉ／（ｉ
・・・突軸、Ｑ・・・ウオーム、参７ 、４’！−・・
ナツト□、０・・・回転定盤、１６・・・ナツト、ダ７
・・・回転軸受、ｌａ・・・設置面、ａｙｂ・・・スラ
スト受面、参７０・・・２シアル受面、弘ｔ・・・受板
、＜ｚｒａ。 ４Ｌｔｂ・・・受板の面、弘ｒｃ・・・突軸、４Ｆ・・
・割り出し被加工物台、ｊＯ・・・ナツト、５１・・・
ボルト、ｊ２・・・軸、ｊｊ・・・歯車、！≠・・・傘
歯車、ｊｊ・・・歯車、！６・・・割り出しビン、ｊｊ
・・・ポーラスセラミックス、！ｌ・・・研削砥石。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、設置面に対して傾きｔ有すゐスラスト受票と、この
スラスト受面に重直なラジアル受面を有する軸受に１両
面が前記軸受の傾きと同じ大きさの傾きを有しておシ、
しかも前記両面にそれぞれ垂直な軸を有し、外−はウオ
ームと咬み合うウオームホイール管回動状急に締結した
ウオームホイ、＝りの回動によって！斜度を調整し得る
静止傾斜台と、前記ウオームホイールの上面鵞スラスト
軸受面として、同じ傾ＩＩｉ會有し、互いに重ね合わせ
て回動自在に締結された。２１１０歯車を載置し、この
１個の歯車を回動させて、相対値装置：【ずらすことに
より、かつ相対位置【ずらすむとなく連続回転し得るよ
うな歯車列ｔ、前記コ儒、の、ｍ車に咬み合わせて、傾
斜度を調整し得る回転傾斜台と、被加工４１１！ｌＹｒ
、保持しつつ前記陽転傾斜台に対して回動位１ｉｔｔ任
意に調整できると得る回転割り出し被加工物台と１具備
したことを４Ｉ徴とする微小傾斜回転テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14877981A JPS5851037A (ja) | 1981-09-22 | 1981-09-22 | 微小傾斜回転テ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14877981A JPS5851037A (ja) | 1981-09-22 | 1981-09-22 | 微小傾斜回転テ−ブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5851037A true JPS5851037A (ja) | 1983-03-25 |
| JPS626937B2 JPS626937B2 (ja) | 1987-02-14 |
Family
ID=15460476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14877981A Granted JPS5851037A (ja) | 1981-09-22 | 1981-09-22 | 微小傾斜回転テ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5851037A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02501451A (ja) * | 1987-05-08 | 1990-05-24 | エイ．アフルストロム コーポレーション | プロセスガスを処理する方法及び装置 |
| JP2006181685A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械 |
-
1981
- 1981-09-22 JP JP14877981A patent/JPS5851037A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02501451A (ja) * | 1987-05-08 | 1990-05-24 | エイ．アフルストロム コーポレーション | プロセスガスを処理する方法及び装置 |
| JP2006181685A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械 |
| JP4555675B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2010-10-06 | 株式会社森精機製作所 | 工作機械 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS626937B2 (ja) | 1987-02-14 |
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