JPS5851037A - 微小傾斜回転テ−ブル - Google Patents
微小傾斜回転テ−ブルInfo
- Publication number
- JPS5851037A JPS5851037A JP14877981A JP14877981A JPS5851037A JP S5851037 A JPS5851037 A JP S5851037A JP 14877981 A JP14877981 A JP 14877981A JP 14877981 A JP14877981 A JP 14877981A JP S5851037 A JPS5851037 A JP S5851037A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tilt
- bearing
- inclination
- rotary
- stands
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/70—Stationary or movable members for carrying working-spindles for attachment of tools or work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本−男は板状被加工物の基準面に対して、もう一方の面
を撲讐、たけ晶・凸面形状に研磨できるようにするため
の微小傾斜回転テーブルに関するものである。
を撲讐、たけ晶・凸面形状に研磨できるようにするため
の微小傾斜回転テーブルに関するものである。
従来のこの種の装置は第1図に示すように構成されてい
て、ムは凹・凸面形状加工用の静止傾斜系、Bは回転駆
動系、Cは楔形状加工用の傾斜回転系、Dは割シ出し系
、/は被加工物である。
て、ムは凹・凸面形状加工用の静止傾斜系、Bは回転駆
動系、Cは楔形状加工用の傾斜回転系、Dは割シ出し系
、/は被加工物である。
静止傾斜板λは、受縁3に対して回動傾斜し得る支軸弘
で締結されており、受板3は定1iitに載。定盤′j
には両足111!Aと、置市1lI4上會摺動し得る移
動楔7と、ねじ支持突起lK螺合された移動vic7用
押しねじ2と、戻しばね10が取p付けてあって、押し
ねじりtねじ込むと、移動楔7が押し込まれて、受板J
に対して静止傾斜板コが支軸p1中心に回動しながら傾
斜してゆき、また押しねじりをゆるめると、戻しばね1
0の弾性力で移動!!!7は押し戻されて、静止傾斜板
−の傾斜は元へ戻る仕組みになっている。
で締結されており、受板3は定1iitに載。定盤′j
には両足111!Aと、置市1lI4上會摺動し得る移
動楔7と、ねじ支持突起lK螺合された移動vic7用
押しねじ2と、戻しばね10が取p付けてあって、押し
ねじりtねじ込むと、移動楔7が押し込まれて、受板J
に対して静止傾斜板コが支軸p1中心に回動しながら傾
斜してゆき、また押しねじりをゆるめると、戻しばね1
0の弾性力で移動!!!7は押し戻されて、静止傾斜板
−の傾斜は元へ戻る仕組みになっている。
/lはウオームホイールであって、下部に突設した軸/
/’が静止傾斜板コに設けられた軸穴およびスラスト軸
受lコによって回転自在に嵌合し、駆動源によって駆動
回転されるウオーム/JKよって、静止傾斜系ムと紘無
関係に回転し得る。
/’が静止傾斜板コに設けられた軸穴およびスラスト軸
受lコによって回転自在に嵌合し、駆動源によって駆動
回転されるウオーム/JKよって、静止傾斜系ムと紘無
関係に回転し得る。
傾斜回転系ah靜止傾斜系ムと同様な構造愛育しており
、傾斜板lダ、受板/j−1傾斜板支軸14、固定@1
7.888/I、ねじ支持用突起/P、押しねじ一層、
戻しばねコlが具備されており、静止傾斜系ムと無関係
に回転し得るウオームホイール//に%定盤ココによっ
て固定されている。
、傾斜板lダ、受板/j−1傾斜板支軸14、固定@1
7.888/I、ねじ支持用突起/P、押しねじ一層、
戻しばねコlが具備されており、静止傾斜系ムと無関係
に回転し得るウオームホイール//に%定盤ココによっ
て固定されている。
コJは外周に目盛管付し九giIa割り出し被加工物台
であって、上面に被加工物lt保持し、下面に突出した
軸コ3′が傾斜板l参の軸受部に回動自在に嵌合してお
り、任意の回動位置で傾斜@#に対し、たとえば傾斜板
側面から螺合挿入したねじにより突軸コi′f押えるこ
とにより、固定し得この装置では、傾斜量調整のたびに
回転中心の高さが変化するので、そのつど切り込みを設
定しなくてはならないうえに、研削力を移動喫と支軸の
一点で背負っているので、剛性が低く、特に微 □
小な傾斜を精度良く調整するため、移動横と支軸間距離
音大きくすると、より一層剛性は低下し、加工表面の形
状精度を得難いなどの欠点があった。
であって、上面に被加工物lt保持し、下面に突出した
軸コ3′が傾斜板l参の軸受部に回動自在に嵌合してお
り、任意の回動位置で傾斜@#に対し、たとえば傾斜板
側面から螺合挿入したねじにより突軸コi′f押えるこ
とにより、固定し得この装置では、傾斜量調整のたびに
回転中心の高さが変化するので、そのつど切り込みを設
定しなくてはならないうえに、研削力を移動喫と支軸の
一点で背負っているので、剛性が低く、特に微 □
小な傾斜を精度良く調整するため、移動横と支軸間距離
音大きくすると、より一層剛性は低下し、加工表面の形
状精度を得難いなどの欠点があった。
本発明は、加工表面の形状精度を確保するための重要な
要因である高剛性のために、傾斜調整系を大面積のすべ
り軸受にしkものである。以下図面によp本発明を詳J
IIKI!明する。
要因である高剛性のために、傾斜調整系を大面積のすべ
り軸受にしkものである。以下図面によp本発明を詳J
IIKI!明する。
第一図は本発明の一実施例を示し、ダ0は軸受、#/拡
ロウオームホイール4IJはウオーム、4IJ1杯ハナ
ット、−j線回転定盤、4I4Fiナツト、参7は回転
軸受、#tは受板% 4’Pは回転割シ出し被加ニ一台
、jOはナツト、j/はボルト、11社軸、!!。
ロウオームホイール4IJはウオーム、4IJ1杯ハナ
ット、−j線回転定盤、4I4Fiナツト、参7は回転
軸受、#tは受板% 4’Pは回転割シ出し被加ニ一台
、jOはナツト、j/はボルト、11社軸、!!。
#、11は歯車列、!4拡割9出しビン、!7はポーラ
ス七フォックスである。
ス七フォックスである。
設置面参OaK対して、傾斜したスラスト受面参〇b愛
育し、スラスト受面参〇bに対して垂直なラジアル受面
000 を有する軸受ダ0に、両面参/&。
育し、スラスト受面参〇bに対して垂直なラジアル受面
000 を有する軸受ダ0に、両面参/&。
utbが、該軸受UOと同様な大きさの傾斜管有し、し
か奄骸両1lii$/a 、 $/b Kそれぞれ垂直
な実軸参10.参/dt有し、駆動源より駆動回転され
るウオームL2と咬み合い、回動し得るウオームホイー
ルat(091軸参/Ct、回動自在な状態にナツト−
弘J、lダで締結する。ウオームホイール参l、の鳴う
一方の突軸参/dKは回転定盤ダjを装着し、参Ib會
スラスト受面として回動自在な状11にナツト4I4で
締結する。
か奄骸両1lii$/a 、 $/b Kそれぞれ垂直
な実軸参10.参/dt有し、駆動源より駆動回転され
るウオームL2と咬み合い、回動し得るウオームホイー
ルat(091軸参/Ct、回動自在な状態にナツト−
弘J、lダで締結する。ウオームホイール参l、の鳴う
一方の突軸参/dKは回転定盤ダjを装着し、参Ib會
スラスト受面として回動自在な状11にナツト4I4で
締結する。
回転軸受斜7は、設置面4c7aに対して傾斜し九スラ
スト受向$7b を有し、該スラスト受面参7bに対し
て喬直なラジアル受面$70 [−有する回転軸受であ
って、両l1iprat参lbが該回転軸受#7と同じ
大きさの傾斜を有し、しかも参rh面に垂直1に実軸参
lCを有する回転割り出し被加工物置社用の受板4!−
lが、回動自在にナラ) 10で締結してあり、さらに
複数本のボルトjlで回転定盤釘に載置固定されている
ので、ウオームホイール#Iの参lb・會スツスト受面
として回転し得る。
スト受向$7b を有し、該スラスト受面参7bに対し
て喬直なラジアル受面$70 [−有する回転軸受であ
って、両l1iprat参lbが該回転軸受#7と同じ
大きさの傾斜を有し、しかも参rh面に垂直1に実軸参
lCを有する回転割り出し被加工物置社用の受板4!−
lが、回動自在にナラ) 10で締結してあり、さらに
複数本のボルトjlで回転定盤釘に載置固定されている
ので、ウオームホイール#Iの参lb・會スツスト受面
として回転し得る。
回転軸受参7と受板atの外周線、直歯の歯車状になっ
ており、駆動源から回転が伝達される軸jコにキーで締
結された歯3IjJと較み合っているので、ウオームホ
イール釘の回動と祉無関係に連続回転し得る。さらに歯
車!3の端面は傘歯車となっていて、アイドラーとして
の傘歯車!参を介して、歯車!3と同様な形状の歯車j
!に、逆方向の薗転會伝達する。歯車列11. j4I
、 !tJ−d軸!コ上をスライドし得る構造に壜って
いる。ダ0.釘は静止傾斜台を参7.′$114回転傾
斜台管構成する。
ており、駆動源から回転が伝達される軸jコにキーで締
結された歯3IjJと較み合っているので、ウオームホ
イール釘の回動と祉無関係に連続回転し得る。さらに歯
車!3の端面は傘歯車となっていて、アイドラーとして
の傘歯車!参を介して、歯車!3と同様な形状の歯車j
!に、逆方向の薗転會伝達する。歯車列11. j4I
、 !tJ−d軸!コ上をスライドし得る構造に壜って
いる。ダ0.釘は静止傾斜台を参7.′$114回転傾
斜台管構成する。
回転割り出し被加工物台ダタの外周KFiビン大が設け
てあって、割り出しビン!6が具備されている。図面上
そは、回転割り出し被加工物台参りに杜、外周部がシー
ルされたポーラスセラ建ツクス!7が一体化されていて
、禎加工物/Vr真空吸着保持している。
てあって、割り出しビン!6が具備されている。図面上
そは、回転割り出し被加工物台参りに杜、外周部がシー
ルされたポーラスセラ建ツクス!7が一体化されていて
、禎加工物/Vr真空吸着保持している。
つぎに1本発明の微小傾斜回転テーブルを用いて板状の
被加工物の基準面に対して、もう一方のIi會II形状
に研磨する場合には、ウオーム参コt駆動させ、軸受<
10の傾斜面potとsobの最大値とウオームホイー
ル4!lの両面弘/aと4Albの最小値とが合うまで
、ウオームホイール参lt回動させ、μ/b面を水平に
する(砥石走査線と平行)。
被加工物の基準面に対して、もう一方のIi會II形状
に研磨する場合には、ウオーム参コt駆動させ、軸受<
10の傾斜面potとsobの最大値とウオームホイー
ル4!lの両面弘/aと4Albの最小値とが合うまで
、ウオームホイール参lt回動させ、μ/b面を水平に
する(砥石走査線と平行)。
つぎに歯車j3を上昇きせると、位置関係が足まってい
る歯車jjも上昇し、それぞれ回転軸受4c7と受板a
rK校み合う。この状態で軸Jコ【駆動させると、歯車
j3と歯車11が互いに反対向きの回転tはじめ、それ
に伴って回転軸党参7と受板4Itが反対向きにまわる
。このとき、回転軸党参7と一体化されている回転定盤
$7の下面と受板atの面ptbの関係が、形成すべき
傾斜αになるまで双方を回動させ、歯車系列を下降させ
ると、歯車11が回転軸党参7および受板4Itの双方
Kl!み合い、回転軸受4t7と受板弘tの位置関係が
固定される。
る歯車jjも上昇し、それぞれ回転軸受4c7と受板a
rK校み合う。この状態で軸Jコ【駆動させると、歯車
j3と歯車11が互いに反対向きの回転tはじめ、それ
に伴って回転軸党参7と受板4Itが反対向きにまわる
。このとき、回転軸党参7と一体化されている回転定盤
$7の下面と受板atの面ptbの関係が、形成すべき
傾斜αになるまで双方を回動させ、歯車系列を下降させ
ると、歯車11が回転軸党参7および受板4Itの双方
Kl!み合い、回転軸受4t7と受板弘tの位置関係が
固定される。
つぎに回転割り出し被加工物台ダ?のビン穴に割り出し
ビン14 t−さし込み、歯車11 vr回転させて、
傾斜しているWorb (D 弗い位置と、被加工物l
の深く研磨すべき位alt合わせて、割9出しビンj4
tmき去ると同時に、(ロ)転割り出し被加工真空吸着
する。
ビン14 t−さし込み、歯車11 vr回転させて、
傾斜しているWorb (D 弗い位置と、被加工物l
の深く研磨すべき位alt合わせて、割9出しビンj4
tmき去ると同時に、(ロ)転割り出し被加工真空吸着
する。
そして、第3図に示すように、研削砥石611″回転せ
しめるとともに、回転定盤4LSより上部を歯車!3で
連続回転させつつ、砥石を直線走査してゆけばよい。
しめるとともに、回転定盤4LSより上部を歯車!3で
連続回転させつつ、砥石を直線走査してゆけばよい。
試料の被加工物台ダタへの保持および被加工物台社の受
板aへの固定は真空吸着以外の方法、たとえば接着剤や
磁力の利用、ねじ止めなどの機械的方法、それらの組合
わせなどでも差支えない。
板aへの固定は真空吸着以外の方法、たとえば接着剤や
磁力の利用、ねじ止めなどの機械的方法、それらの組合
わせなどでも差支えない。
また被加工物lの基準面に対するもう一方の面を凸面形
状に研磨する場合は、回転定盤ダ!の下面と受板4ct
O面≠rbとの関係を平行にしておき、ウオームホイー
ル≠7をウオームダ2を駆動させて回動させ、軸受グ0
の設置面とウオームホイール亭IO自lbとの関係を所
足の傾斜にしておき、第1図に示すように、研削砥石!
rt−回転させるとともに、回転定盤4ctよシ上部を
歯車j3で連続回転させつつ、砥石jrt−被加工物l
の中央から外周に向って直線走査すればよい。
状に研磨する場合は、回転定盤ダ!の下面と受板4ct
O面≠rbとの関係を平行にしておき、ウオームホイー
ル≠7をウオームダ2を駆動させて回動させ、軸受グ0
の設置面とウオームホイール亭IO自lbとの関係を所
足の傾斜にしておき、第1図に示すように、研削砥石!
rt−回転させるとともに、回転定盤4ctよシ上部を
歯車j3で連続回転させつつ、砥石jrt−被加工物l
の中央から外周に向って直線走査すればよい。
凹面形状に研磨する場合は、凸面形状加工の場合と同様
な操作で、第3図に示すように、砥石!lを被加工物/
の外周から中心に向って走査させて停止し、被加工物面
から上方に砥石を遠ざけて終了する。
な操作で、第3図に示すように、砥石!lを被加工物/
の外周から中心に向って走査させて停止し、被加工物面
から上方に砥石を遠ざけて終了する。
なお双方の傾斜訓整系を傾けて、回転させつつ研削する
ことによって、凹凸中心が基板中心から偏心した形状に
加工することもできる。
ことによって、凹凸中心が基板中心から偏心した形状に
加工することもできる。
笑際には、台傾斜円板(4I点)の傾斜度を/Jμシ1
0工にして、最大で30μシII ssaの楔形状と、
/j /IIK/10 ss O凸−rMJm形状が再
3J性良く得られている。もちろん平行向も得られてい
る。
0工にして、最大で30μシII ssaの楔形状と、
/j /IIK/10 ss O凸−rMJm形状が再
3J性良く得られている。もちろん平行向も得られてい
る。
以上説明したように、本°発明の微小傾斜回転テーブル
は、傾斜円板金一枚重ねにして、摺動、傾斜調整部を大
面積めたりの構造としたので、構成が容易で小型、高剛
性、回転中心の高さ変動が小さいことなどの利点がある
。
は、傾斜円板金一枚重ねにして、摺動、傾斜調整部を大
面積めたりの構造としたので、構成が容易で小型、高剛
性、回転中心の高さ変動が小さいことなどの利点がある
。
第1回社従来の傾斜回転テーブルの儒WIR面図、凧コ
図鉱本発明の一実施例図、纂J図扛慣研削状・況を示す
図、第μ図は凸面研削状況を示す図、第3図は凹面研削
状況を示す図である。 l・・・被加工物、参〇・・・軸受、aoa・・・設置
面、4tab・・・スラスト受面、poc・・・ラジア
ル受面、参l・・・ウオームホイール、参/a、 #/
b・・・ウオームホイール釘の面、≠10,4I/(i
・・・突軸、Q・・・ウオーム、参7 、4’!−・・
ナツト□、0・・・回転定盤、16・・・ナツト、ダ7
・・・回転軸受、la・・・設置面、ayb・・・スラ
スト受面、参70・・・2シアル受面、弘t・・・受板
、<zra。 4Ltb・・・受板の面、弘rc・・・突軸、4F・・
・割り出し被加工物台、jO・・・ナツト、51・・・
ボルト、j2・・・軸、jj・・・歯車、!≠・・・傘
歯車、jj・・・歯車、!6・・・割り出しビン、jj
・・・ポーラスセラミックス、!l・・・研削砥石。
図鉱本発明の一実施例図、纂J図扛慣研削状・況を示す
図、第μ図は凸面研削状況を示す図、第3図は凹面研削
状況を示す図である。 l・・・被加工物、参〇・・・軸受、aoa・・・設置
面、4tab・・・スラスト受面、poc・・・ラジア
ル受面、参l・・・ウオームホイール、参/a、 #/
b・・・ウオームホイール釘の面、≠10,4I/(i
・・・突軸、Q・・・ウオーム、参7 、4’!−・・
ナツト□、0・・・回転定盤、16・・・ナツト、ダ7
・・・回転軸受、la・・・設置面、ayb・・・スラ
スト受面、参70・・・2シアル受面、弘t・・・受板
、<zra。 4Ltb・・・受板の面、弘rc・・・突軸、4F・・
・割り出し被加工物台、jO・・・ナツト、51・・・
ボルト、j2・・・軸、jj・・・歯車、!≠・・・傘
歯車、jj・・・歯車、!6・・・割り出しビン、jj
・・・ポーラスセラミックス、!l・・・研削砥石。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、設置面に対して傾きt有すゐスラスト受票と、この
スラスト受面に重直なラジアル受面を有する軸受に1両
面が前記軸受の傾きと同じ大きさの傾きを有しておシ、
しかも前記両面にそれぞれ垂直な軸を有し、外−はウオ
ームと咬み合うウオームホイール管回動状急に締結した
ウオームホイ、=りの回動によって!斜度を調整し得る
静止傾斜台と、前記ウオームホイールの上面鵞スラスト
軸受面として、同じ傾IIi會有し、互いに重ね合わせ
て回動自在に締結された。2110歯車を載置し、この
1個の歯車を回動させて、相対値装置:【ずらすことに
より、かつ相対位置【ずらすむとなく連続回転し得るよ
うな歯車列t、前記コ儒、の、m車に咬み合わせて、傾
斜度を調整し得る回転傾斜台と、被加工411!lYr
、保持しつつ前記陽転傾斜台に対して回動位1itt任
意に調整できると得る回転割り出し被加工物台と1具備
したことを4I徴とする微小傾斜回転テーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14877981A JPS5851037A (ja) | 1981-09-22 | 1981-09-22 | 微小傾斜回転テ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14877981A JPS5851037A (ja) | 1981-09-22 | 1981-09-22 | 微小傾斜回転テ−ブル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5851037A true JPS5851037A (ja) | 1983-03-25 |
JPS626937B2 JPS626937B2 (ja) | 1987-02-14 |
Family
ID=15460476
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14877981A Granted JPS5851037A (ja) | 1981-09-22 | 1981-09-22 | 微小傾斜回転テ−ブル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5851037A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02501451A (ja) * | 1987-05-08 | 1990-05-24 | エイ.アフルストロム コーポレーション | プロセスガスを処理する方法及び装置 |
JP2006181685A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械 |
-
1981
- 1981-09-22 JP JP14877981A patent/JPS5851037A/ja active Granted
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02501451A (ja) * | 1987-05-08 | 1990-05-24 | エイ.アフルストロム コーポレーション | プロセスガスを処理する方法及び装置 |
JP2006181685A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械 |
JP4555675B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2010-10-06 | 株式会社森精機製作所 | 工作機械 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS626937B2 (ja) | 1987-02-14 |
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