JPS5848979A - ガス流形レ−ザ装置 - Google Patents
ガス流形レ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS5848979A JPS5848979A JP15657582A JP15657582A JPS5848979A JP S5848979 A JPS5848979 A JP S5848979A JP 15657582 A JP15657582 A JP 15657582A JP 15657582 A JP15657582 A JP 15657582A JP S5848979 A JPS5848979 A JP S5848979A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- tube
- end section
- discharge tube
- tubes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は高速のガス流形ガスレーザ装置の改良に関する
。
。
高出力ＣＯ２ガスレーザ装置では、ガス冷却方法として
強制対流冷却がとられている。すなわちブロアでガスを
循環させ、放電部で上昇したガスを熱交換器で冷却する
。プロアには、通常ルーツ形ブロアが用いられる。ルー
ツ形プロアはガスの吸込口と吐出口が一直線上にあるの
で、レーザ装吸込口と吐出口が一直線上にあるので、レ
ーザ装置がコンパクトにまとめられる。第１図ないし第
２図がその一例である。即ち、反射鏡１および出力鏡２
を有する放電管３．４内の温度上昇したガスを、熱交換
器５Ａ、５Ｂ、５Ｃで冷却させるために１ルーツ形ブロ
ア６でガスを矢印方向に冷却路７を介して循環させるた
めのものである。
強制対流冷却がとられている。すなわちブロアでガスを
循環させ、放電部で上昇したガスを熱交換器で冷却する
。プロアには、通常ルーツ形ブロアが用いられる。ルー
ツ形プロアはガスの吸込口と吐出口が一直線上にあるの
で、レーザ装吸込口と吐出口が一直線上にあるので、レ
ーザ装置がコンパクトにまとめられる。第１図ないし第
２図がその一例である。即ち、反射鏡１および出力鏡２
を有する放電管３．４内の温度上昇したガスを、熱交換
器５Ａ、５Ｂ、５Ｃで冷却させるために１ルーツ形ブロ
ア６でガスを矢印方向に冷却路７を介して循環させるた
めのものである。
このガスレーザ装置のガス媒体ｌＺは、第２図に示す如
く反射ｍｌおよび出力鏡２側から放電管３．４の中間部
の熱交換器５Ａ〜５Ｃおよびプロア６方向に流れている
。したがって、放電管３゜４、反射鏡１および出力鏡２
側には絶縁部を設けることによシ、高電圧が反射鏡１お
よび出力鏡２に及ぶのを防止し、反射鏡ｌおよび出力鏡
２に作業員が触れても感電しないようにしている。
く反射ｍｌおよび出力鏡２側から放電管３．４の中間部
の熱交換器５Ａ〜５Ｃおよびプロア６方向に流れている
。したがって、放電管３゜４、反射鏡１および出力鏡２
側には絶縁部を設けることによシ、高電圧が反射鏡１お
よび出力鏡２に及ぶのを防止し、反射鏡ｌおよび出力鏡
２に作業員が触れても感電しないようにしている。
しかしながら、絶縁部の為に放電管３，４の長さ寸法が
長くなシ、ガスレーザ装置が大形化するのを避けること
はできなかった。
長くなシ、ガスレーザ装置が大形化するのを避けること
はできなかった。
本発明の目的は、小形化したガス流形レーザ装置を提供
することにある。
することにある。
この目的を達成するために１本発明の絶縁管は放電管と
ブロアとの間の冷却路部の１部に配設したので、放電管
の長さ寸法を長大化することなくガス流形レーザ装置を
小形化できる。
ブロアとの間の冷却路部の１部に配設したので、放電管
の長さ寸法を長大化することなくガス流形レーザ装置を
小形化できる。
以下、本発明の実施例を第３図ないし第４図に示すガス
流形レーザ！１２０によシ説明する。
流形レーザ！１２０によシ説明する。
４本の放電管１ａ、１ｂ、２ａｔ ２ｂｉ；ｔ、−左側
の放電管１ａ、１ｂと他方側の放電管２ａ。
の放電管１ａ、１ｂと他方側の放電管２ａ。
２ｂとを２列に並べる。それぞれの放電管は、内側に高
電圧が印加され、４本並列に放電する。放電管内は、例
えばＣＯ２レーザの場合、２０〜３ Ｑ Ｔｏｒｒ の
ＣＯｘ ＋ Ｎ！ ＋ Ｈｅノ混合カス等のガス媒体Ｉ
Ｚが充填され、放電によシ、ガス媒体１ｚが励起される
。放電管１ｂ、２ｂ側の一端には反射鏡３ａと出力鏡４
とが、また放電管１ａ。
電圧が印加され、４本並列に放電する。放電管内は、例
えばＣＯ２レーザの場合、２０〜３ Ｑ Ｔｏｒｒ の
ＣＯｘ ＋ Ｎ！ ＋ Ｈｅノ混合カス等のガス媒体Ｉ
Ｚが充填され、放電によシ、ガス媒体１ｚが励起される
。放電管１ｂ、２ｂ側の一端には反射鏡３ａと出力鏡４
とが、また放電管１ａ。
２ｂの他端には、上記反射９３ａおよび出力ｇ！４と対
応する反射ｍ３ｂ、３Ｃを有する共通管１２が取付けら
れている。レーザ光は反射鏡３ｂ。
応する反射ｍ３ｂ、３Ｃを有する共通管１２が取付けら
れている。レーザ光は反射鏡３ｂ。
３Ｃで９０度方向転換し、反射鏡および出力鏡３ａ、４
間を往復する。励起ガスは、とのレーザ光に誘導されて
光を出し、レーザ光を増巾する。
間を往復する。励起ガスは、とのレーザ光に誘導されて
光を出し、レーザ光を増巾する。
反射鏡３ａ、３ｂ、３Ｃは全反射鐘であるが、出力鏡４
はレーザ光を一部透過し、一部反射する鏡であシ、透過
した光が出力光５として利用される。
はレーザ光を一部透過し、一部反射する鏡であシ、透過
した光が出力光５として利用される。
Ｃｏｘ レーザは１０．６μと遠赤外光なので、出力＠
４は、Ｇ ｅ 、 ６ｘＡＳｔ Ｚｎ５ｅ等の特殊な材
料で作られる。
４は、Ｇ ｅ 、 ６ｘＡＳｔ Ｚｎ５ｅ等の特殊な材
料で作られる。
の
放電管内ｆ、２ｉｋ電によシ温度上昇したガス媒体ＩＺ
は、冷却路７で矢印方向に循環して冷却される。冷却路
７は各放電管１ａ・２ａ、１ｂ ・２ｂの両端および中
間部と連通する端部冷却路７Ａおよび中間冷却路７Ｂに
よ多形成されている。端部冷却路７Ａと中間冷却路７Ｂ
とは、第１および第２遠心形プロア６ａ、６ｂを介して
連通している。
は、冷却路７で矢印方向に循環して冷却される。冷却路
７は各放電管１ａ・２ａ、１ｂ ・２ｂの両端および中
間部と連通する端部冷却路７Ａおよび中間冷却路７Ｂに
よ多形成されている。端部冷却路７Ａと中間冷却路７Ｂ
とは、第１および第２遠心形プロア６ａ、６ｂを介して
連通している。
これらの遠心形ブロア５ａ、５ｂの吸込口６Ｃは、各端
部冷却路７Ａに連通すると共に、熱交換器５Ｂ、５Ｃを
配設している。各遠心形ブロア６ａ。
部冷却路７Ａに連通すると共に、熱交換器５Ｂ、５Ｃを
配設している。各遠心形ブロア６ａ。
６ｂの吐出口６Ｄは、中間冷却路７Ｂと連通している。
中間冷却路７Ｂは、吐出口６Ｄと各放電管の中間部との
間に絶縁管９ａ、ｇｂを配設している。
間に絶縁管９ａ、ｇｂを配設している。
温度上昇したガス媒体ＩＺは、第１プロア６ａに入る。
第１プロア６ａよシ吐出されたガス媒体ＩＺは、図中の
矢印８の如く、ブロアのほぼ円周方向に沿って流れて、
絶縁筒ｇａｆｔ通シ、その後２つに別れ、右側の放電管
２ ａ 、 、２ ｂに送υ込まれる。他方の第２プロ
ア６ｂから吐出されたガスは、絶縁筒９ｂを通り、左側
の放電管１ａ、１ｂに送り込まれる。放電管１ａ、２ａ
で温度上昇したガス媒体ＩＺは、−緒になって、第１熱
交換器７ａで冷却されて、第１プロア６ａに戻る。同じ
く放電管１ｂ、２ｂ内のガスは第２熱交換器７ｂで冷却
されて第２ブロア６ｂＫ戻る。
矢印８の如く、ブロアのほぼ円周方向に沿って流れて、
絶縁筒ｇａｆｔ通シ、その後２つに別れ、右側の放電管
２ ａ 、 、２ ｂに送υ込まれる。他方の第２プロ
ア６ｂから吐出されたガスは、絶縁筒９ｂを通り、左側
の放電管１ａ、１ｂに送り込まれる。放電管１ａ、２ａ
で温度上昇したガス媒体ＩＺは、−緒になって、第１熱
交換器７ａで冷却されて、第１プロア６ａに戻る。同じ
く放電管１ｂ、２ｂ内のガスは第２熱交換器７ｂで冷却
されて第２ブロア６ｂＫ戻る。
このように本発明のレーザ装置によれば、中間冷却路７
Ｂの１部に絶縁管ｇａ、ｇｂを使用し、出力ａ２及び反
射鏡３ａ、ａｂ＋３ｃの調節に従事する作業者の感電防
止の為各放電管の中間部附近に高電圧を印加しても、高
電圧による接地電流は絶縁管ｇａ、ｇｂによって、中間
冷却路７Ｂに流れるのを阻止できる。しかも、絶縁管９
ａ。
Ｂの１部に絶縁管ｇａ、ｇｂを使用し、出力ａ２及び反
射鏡３ａ、ａｂ＋３ｃの調節に従事する作業者の感電防
止の為各放電管の中間部附近に高電圧を印加しても、高
電圧による接地電流は絶縁管ｇａ、ｇｂによって、中間
冷却路７Ｂに流れるのを阻止できる。しかも、絶縁管９
ａ。
９ｂは中間冷却路７Ｂの１部に設けたので、中間冷却路
７Ｂおよび各放電管１８〜２ｂの長さ寸法ｔを長くする
必要がない。したがって、ガス流形レーザ装置を小形化
できる。
７Ｂおよび各放電管１８〜２ｂの長さ寸法ｔを長くする
必要がない。したがって、ガス流形レーザ装置を小形化
できる。
第１図は従来のレーザ装置の平面図、第２図は第１図の
断面図、第３図は本発明の実施例として示したレーザ装
置の平面図、第４図は第３図の側断面図である。
断面図、第３図は本発明の実施例として示したレーザ装
置の平面図、第４図は第３図の側断面図である。
Claims (1)
- １、反射鏡と出力鏡とを有し、かつ内部にガス媒体を満
した放電管と、放電管の両端部および中間部とに連通ず
る冷却路と、上記冷却路の一部に設け、かつガス媒体を
冷却路と放電管との間で循環させるブロアと、から成る
ものにおいて、上記プロアと放電管の中間部とを連通ず
る冷却路の一部に絶縁管を設けることを特徴とするガス
流形レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15657582A JPS5848979A (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | ガス流形レ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15657582A JPS5848979A (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | ガス流形レ−ザ装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14501077A Division JPS5917869B2 (ja) | 1977-12-05 | 1977-12-05 | ガス流形レ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5848979A true JPS5848979A (ja) | 1983-03-23 |
Family
ID=15630755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15657582A Pending JPS5848979A (ja) | 1982-09-10 | 1982-09-10 | ガス流形レ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848979A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60173386A (ja) * | 1984-02-20 | 1985-09-06 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザガス循環用ル−ツブロア |
| JPH04110701U (ja) * | 1991-03-06 | 1992-09-25 | 武盛 豊永 | 蓄尿パンテイ |
-
1982
- 1982-09-10 JP JP15657582A patent/JPS5848979A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60173386A (ja) * | 1984-02-20 | 1985-09-06 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザガス循環用ル−ツブロア |
| JPH04110701U (ja) * | 1991-03-06 | 1992-09-25 | 武盛 豊永 | 蓄尿パンテイ |
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