JPS5848805A - 電気光学的測定システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電気光学的測定システムに関するもので特にそ
の大きさが測定されるべき物体を走査し、超精密な測定
が得られるようレーザ又は光ビームを用いるシステムに
関する。

柔かい、こわれやすい、若しくは熱い又は動く物体の直
径や位置又は厚みを正確に測定するには、非接触測定シ
ステムが用いられる。

この特徴をもつ従来装置としては、容量計器、うず電流
計器、気圧計器、ガンマ及びＸ線計器及び光学計器があ
る。ここで光学及び核計器のみが十分な感度を持ってＣ
ｍオーダーより大きな距離、離れて作動できる。核計器
は大きな作動距離を可能にするが、それらは大変費用が
かかり、測定される物体の化学混合物内のわずかな変動
による系統誤差が生じやすい。

光学計器は、光の性質そのものによるいくつかの長所が
ある。

主な長所は、 Ｌ　計器と測定される物体間で直接の機械的接触は必要
ではない。

２　計器から測定される物体までの距離は太きくてよい
。

ａ　光の変化は電気信号に直接に変換できる。

４．　応答時間は、光電変換系及び電子回路のそハに限
定される。

氏　測定は、物体の化学的物質組成によらない。

６　測定は速い速度で行なわれる。今までの測定装置よ
り５〜１０倍速い。

従来の光学計器は光ビームを走査して物体のエツジ位置
を測定し、検出された２つのエツジ間の時間間隔を６１
１１定するためにいろいろな技術を用いている。

このような計器は、測定される物体の大きさによって、
２．５〜１２．５μｍ程度の正確さに応じられてきた。

例えば、１９７５年９月１６日に発行されたｐｅｔｒｏ
ｈｉ　ｌｏａの米国特許第３，９０５，７０５号公報で
、光学測定装置が開示されていて、それは、２つのエツ
ジパルス間に存在する一定のクロックパルスの数をカウ
ントすることにより物体の大きさが測定されることを特
徴とする。

この装置〃は、たとえば光学ファイバーのような直径の
小さい物体については、もっと正確だけれど、物体の大
きさが５０ｗ’ｊでの範囲では、はぼ１２．５〜２５１
ｔｍの測定精度となる。

１９７９年９月１８日に発行されたＡ１ｔｒｎａｎ他の
米国特許第４，１６８，１２６号では、非常に直線的に
走査された光ビームを発する光学測定装置を開示してい
る。しかしながら、測定される物体の直径が１０ｖｌ又
はそれ以上のとき、測定中に変動が起きる。

これらの変動は、周波数の逆数型のノイズ特性をもち平
均処理しても弱くならずそれ故、５０Ｕの物体を測定す
るときこのシステムの正確度を２．５〜５μｍ程度に限
定する。

本発明の譲受人は、出願人の共働者によって開発された
レーザ測定システムを市場に出していて、それはｐｅｔ
ｒｏｈｉｌｏｓ及びＡ１ｔｍａｎ他が使用１−で因る集
束ビームのかわりに１９７５年９月２３日発行のＺａｎ
ｏｖｉ　　の米国特許第３，９０７，４３９号で開示さ
れた正確なエツジ走査技術を使用することにより、系統
誤差を征服するだめの他の改良点とともに１００ｍ程度
の大きさの物体に関して２．５〜５μｍの正確さが得ら
れる平行でかつ走査されたビームを用いる。

他の走査ビームシステムでは回転ミラーと正確な測定、
たとえば２，５〜２５μｍが得らり、るだめのミラー及
び／又は光学レンズに関連して操作するプリズムと回折
格子で構成されている。

これらの先行技術がある測定には有効な一方、多くの現
場応用において必要な非常に精密な測定には適していな
い。たとえば、機械部品製造会社において、多くの部品
は、２．５〜５μｔｎの公差をもつ。ゝ計器メーカー“
規則では、測定装置は】／１０の精度を必要とし、その
精度は、０．２５〜０．５μｍであることが要求される
。

本発明の主目的は、高い精度、５０〜１００Ｕの大きさ
をもつ相対的に大きな物体でさえも０．１２〜０．５μ
ｍ程度の精度までの測定を遂げるだめにレーザ又は光ビ
ームの走査を利用する電子光学的システムを提供するこ
とにある。

又、本発明の目的は、確実に作動し、比較的低コストで
製造される比較的設計の容易な高精度な電子光学的測定
システムを提供することにある。これらは、下記の発明
の説明で明白になる。

極めて精度の高いレーザ測定装置に関する桟状の開発に
おいて、主な偶発誤差の原因□全ての先行技術システム
で起とｐ、５０ｗａｘの物体を測定するとき、せいぜい
２．５μｍまで測定精度に限定する□は温度の変化従っ
て測定期間中に走査ビームが通り抜ける空気の屈折率変
化でありこの誤差の源は空気の対流が生じるのを防ぐこ
とすなわち走査ビームにとって大変狭い遮幣された通路
□伝導や放射により対流にはならず、１−（とんどすべ
ての熱伝導が起こることを保証するだめの適当な大きさ
の通路□を使用することによって、空気自体の循環ヲ弱
めることにより除去できることを発見した。この簡単々
手段は、すべての先行技術システムの性能を根本的に改
良し誤差を半分以下にする。

更に精度に関するなお一層の改善点としては物体のエツ
ジに走査ビームの中心が合致したことを検出するのに系
統的誤差を補正することによって集束光束を使用した、
つまりこの目的のだめに遅延等化全使用した遠隔測定シ
ステムを備えていることだとわかった。

なお一層の改善策は分割方法つまりエツジの交差間の時
間の精密な分解測定を供給するだめのアナログ補間法に
よって得られる。

我々の完全なシステムは以下の公知エレメントを含む。

すなわち（１）放射エネルギー源、もつと好ましくは平
行光の細い光束を発生させるだめのコヒーレントなレー
ザのエネルギー、（２）細い光束を均等に回転して走査
光束に転換する手段、（３）回転する走査光束を平行な
走査光束に転換する手段、（４）望ましくは、測定され
る物体のエツジのごく近くに該平行走査光束の焦点を合
わせる手段、（５）測定される該物体の該エツジを通る
平行走査光束部を集め、感光する手段、（６）測定され
る該物体の該エツジに伴う平行走査光束の合致中心を指
示する信号を発生させるための感光出力を処理する手段
、（７）測定される物体の大きさを示すだめの該信号を
処理する手段、測定中に回転及び平行な走査光束が通過
するもしくは、対流によってではない手段により熱伝導
を確かにするため適当な大きさの狭い遮幣された通路で
、空気の屈折率変化を防ぐ手段（８）を含む新要素、（
９）望ましくは集束、手段（４）が用いられているとき
、走査光路に沿った測定板において、光束の太さの変化
により物体のエツジに伴う該平行走査光束の合致中心を
感知するときの系統誤差を実質的に少なくするだめの遅
延等化手段、（ｌｑ望ましくは測定される物体のエツジ
に位置する信号のタイミングを測定する±１ナノ秒程度
の高い分解能を供給するだめのアナログ補間手段である
。

以下、本発明の詳細な説明する。当該技術は広範囲な放
射源について応用されるが、以下の記載は光学測定シス
テムに関する例証によりなされている。

ここで用いられる「放射エネルギー」という言葉はこれ
に限定されるものではないが、すべての周波数範囲での
電磁エネルギーを含む。

簡易化した従来装肯′を示す第１図に関して、レーザ２
０は一定速度で回転するミラー２４により偏向される細
い光束２２を発生させる。

このミラーは図示された通り多面体であり回転する走査
光束２６を発生する。例えばレンズ２８のよう女集束光
学系が回転する走査光束２６を平行で直線的に走査する
光束３０に変換し、測定される物体３２を通過しそれか
ら例えば受光器３６上に光束の焦点を合わせるレンズ３
４のような集光光学系に導かれる。

測定され・る物体３２の直径は測定される物体が光束３
０をさえぎる時間の長さに正比例する。

光源２０はタンゲステン電球、キャノン灯、発光ダイオ
ード又は他のエネルギー源でもよいが、気体レーザーで
あることが最も望ましい。

受光器３６は真空フォトダイオード、光電子増倍管、ン
リコン光電池、ＰＩＮ）第１・ダイオードが良い。

光束３０は特に０．１から１．０ｕに限定さハた直径を
持つので、平行走査光束の中心が測定される物体のエツ
ジを通る時間を正確に指摘することが必要である。１９
７５年９月２３日発行の米国特許第３．９０７，４３９
号でｚａｎｏｎｉが開示した技術を使用することにより
て、行々われるのが望ましい。これは第６図と第７図に
詳細に図示される。

第２図は本発明の電気光学的測定システムの透視図の概
略図である。気体レーザー４０は狭く接近した平行光束
４１のだめの光学エネルギーを与える。ミラー４２と４
３は光学システム性能を最も効果をあげて活用する光束
形成要素４５７１ｉｌ−介して光束を反・射する。発生
する光束４６はコリメーター５２の光学軸に平行な光束
４８となるようミラー４７によって反１１１される。

光束４８はそれから反射面がコリメーター５２の後側焦
点に位置する光学的走査装置４９によって回転して走査
される。コリメーター５２は回転する走査光束５１を平
行に走査する光束５３に変換する。光学的走査装置４９
はモーター５０によって回転する。モーター５ｏは光学
的走査装ｆｉ４９に一定の回転を与える。レーザー光束
４８．５１及び５３は光共振器を介して伝搬するので、
空気の屈折率の変化による変動からそれらを防ぐ循環減
衰器を通ね抜ける。それによって測定された寸法的な不
確かさを最小にする。平行に走査される光束５３はそれ
から、集光素子によって受光器５７に集められ焦点を合
わせられる。受光器の出力は以下に記載されているよう
に電子光学的に処理される。

電気光学測定システムの性能は、第２図のシステムに生
ずる熱量を減少させることによって高められる。

光学システムによる熱発生は機構内の温度勾配や空気の
循環の原因になる。温度勾配の効果は空気の屈折率の変
化により、光共振器を変動させるだめに、光束５１．５
３の伝搬方向に影響することにある。不均一な温度勾配
は光束の方向を振動させる空気の屈折率のランダム変動
の原因となる。

第２図は、このような影響がどのように最小限度にされ
るかを示している。レーザー４ｏは主要熱源であるため
、他の光学コンポの上に置かれる。レーザー４０を光学
板５９の上部に置くことによって、空気循ＩＩ（乱れ）
が光路内で最小限にされる。他の熱源であるモーター５
゜は、それが装着される光学板５９によって、光路から
分離される。これは熱がこの板に清って伝導することに
より温度勾配が減少することを許容する。モーター５０
はその電力の最小量を散逸するようにしなければならな
い。光束４１．４４．４８が通過するそれぞれの空気の
気温の違いは測定に殆んど影響はない。何故彦ら速い循
環がないとすると、測定時間は１秒の何分の１なのでゆ
っくりした気温変化は誤差を生じないからである。しか
しながら、走査光束５１及び５３は、スキャン操作中に
、空気中を伝わるので、もｌ一対流が温度の変化すなわ
ち、これにより生ずる屈折率の変化を伴なって起これば
、望ましくないランダム誤差が生じる。それは、５０＋
ｕもしくはそれより大きい物体を測定するのに十分な走
査において、せいぜい２．５μｍまでの精度しか与えな
い大きさであることを発見した。それ故、走査光束が走
査ミラーと測定される物体間を通過する空気中の循環を
誘導する気温変化を抑制するためにいくつかの手段が必
要である。簡単な好ましい手段５８が第３図に示しであ
る。

循環減衰器５８は一方ではコリメーター５２と走査手段
４９間に位置し、他方、光学素子５２と測定される物体
５４間に位置する。循環減衰器５８はいくつかの平行板
６１により構成される。光束５１及び５３は走査ミラー
４９及びコリメータ５２により板６１間を通るようにさ
れる。光束５３’Ｔｈ測定するための第２循環減衰器５
８Ａは装置囲い６３の外に備えつけられる。明らかに光
束の変位が物体から遠ざかって起これば起こるほど、誤
差が大きくなる。物体に接近したところでは起こりうる
誤差は十分に小さいので遮幣が物体の近くまであること
は重要でない、そして小さガ間隙は許容される。

１０〜２０闘程度の小さな間隙は空気が循環する空洞が
形成されることを防ぐために光学素子４９．５２及び循
環減衰器５８の間にあることが望ましい。第２図では循
４ｍ衰器５８と走査手段４９間の間隙がすべての要素の
関係を明らかに示すために実際の太きさより大きく描か
れている。

熱は、伝導、対流、放射によって空洞６２を介して伝え
られる。第３図の循環減衰器５８は、熱伝導のこれらの
型が空洞６２内で循環流を生じないよう主に伝導及び放
射によって伝導される。光束５１と５３が空洞６２を介
して伝搬されるので、伝搬方向はランダムに変わらない
という意味だが、一度空洞が熱的つりあいに達すると、
小さな角度をもって偏向されそのままとどまる。

それ故、伝導と放射による熱伝達は光共振器６２を介し
て高められる。伝導と放射によ６　ｇｉ伝達は、循環減
衰器５８の正しい幾伺学的関係を選ぶことによって最小
限にできる。放射による熱伝達は低い反射力をもつ板６
１を供給することによって高められる。これは適当な表
面処理をされた物質を使うことによって行なわれる。

第３図に示された循環減衰器５８は陽極処理された黒い
アルミニウムであるが、使用される処理の種類は、エネ
ルギーが放射される波長による。

熱は板６１を介して処理される。光束４８と５３が板６
１間を通るとき、それらが囲いを通り抜けるのと似てい
る。伝導による熱伝達は主に間隔６１が小さいときに起
こると分析される。

実験や分析に基づいて、板と板の間隔δ、既知の板の高
さＨ１温度差位△Ｔに関して以下のよｔは重力加速度で
、ｐｒはｐｒａｎｄｔｌ　ｎｕｍｂｅｒで、νは粘性係
数である。Ｔは上記の数式の数値が　　・求められる名
目上の温度である。−上記の方程式において、いろいろ
な数のＳＩ年単位　Ｔ　、　ＯＫ　；ｙ　、ｍ／ｓｅｅ
”；Ｈ，ｍ；ν、　ｍ２／ｓｅｅ　；６９ｍである。そ
れ故、温度差位△Ｔが大きくなるにつれて、伝導の熱伝
達をするために板の間隔δは接近する。

循環減衰器５８を仮に使わないとすると、循環及び測定
の不確実性が５倍に増加する。第２図に点線で示された
囲い６３は、いろいろな部品を収納していて周囲の熱変
化の影ｗをさらに最小限にする。装置囲いの外の空気循
環は例えば装置から物体５４の間の光束５３に付して測
定される寸法的々不離かさにも影響を及ぼす。これは外
に設けた循環減衰器５８ａによってほとんど防げる。光
束５１は囲い６３の一部である不図示の光学窓を通過す
る。との測定装置の正確さは走査されたレーザ又は光束
５３によって物体のエツジがどれだけ精密に感知された
かによる。以下の記述では、レーザー光束はガウス分布
をしていると仮定するが、その他の分布であっても差支
えない。

このシステムでは被測定物の光学的表面上の欠陥や汚染
要因が光束を変調するので、それらが測定誤差の原因と
なりうる。

走査レーザー光束の直径は光学表面におけるより測定さ
れる物体における方がかなり小さいので光の焦点を合わ
せるために光学素子４５を醐整することによってこの誤
差の原因は小さくされる。とのようにして走査レーザー
光束が焦点を合わせられると、第４図でダッシュで示さ
れたように、鋭い焦点線はわずかにカーブする。

仮に物体が、第４図のようにエツジをＰ　１　ａ　５Ｐ
２ａＫあるように置かれると、走査光束はＰ２ａよりＰ
ｌａにおいての方が大きくなる。仮に同じ物体が光源か
られずかに動かされた場合、走査光束は、ＰｌｂよりＰ
２ｂにおける方が大きい。それ故、補償が必要な場合に
はエツジパルス幅に系統的な変化を与えなくてはならな
い。

走査光束の直径は物体を通るとき、出力信号の周波数ス
ペクトルの位置を決定する。仮に電子的な遅延群が対応
する周波数範囲内に一定に保たれれば、物体の測定した
サイズは測定域を通るとき変化しない。エツジ検出が光
信号の２次微分のゼロ交差に依り、また走査光束が正規
分布なので電子工学によって生じる遅延の解析はかなり
簡単である。信号の１次微分関数はレーザー光束が正規
分布をしているので正規分布をしている。

数学的に示すと、１次微分の形は以下のようになる。

周波数領域において１次微分関数のスペクトルは、以下
に表わされるような（第５ａ図）と同じ形をしている。

ここでω１　＝１　／　ｔ　＋　　（２）第５ｂ図は、
対数軸上のそれを示す。

信号の２次微分関数のスペクトルは以下のようになる。

Ｇ（。）、＝、８−１／２　（／＝−・”　　　（３）
このスペクトルは第５Ｃ図に示された様にその尖端がω
／ω、＝１にある。

電子的処理装置は、この周波数において、回路の遅延群
によって決定された時間の長さによりこの信号を遅らせ
る。電子的処理装置の遅延群は伝達関数 の位相の微分により決定される。

第８図は、第６図に示される回路構成を形成する前置増
幅器と導関数の実行するものである。

適当な遅延等化を与えるだめに、回路構成部品はまず、
この出願に適当な利得と周波数レスポンスを与えるだめ
の普通の設計技法を用いて選ばれる。多くの場合抵抗体
−コンデンサ網（１０６−１０７，１２３−１２４，１
３３−１３４）が演算増幅器（１１１，１２７，１３７
）を安定させるために必要とされる。これらのネットワ
ークのＲＣ時定数は、演算増幅器（１１１，１２７，１
３７）の支配的な極と一致するように選ばれるべきであ
る。微分回路の抵抗器（１２２，１３２）と誘導子（１
２１，１３１）は、ω１に近い周波数範囲内で等間隔な
遅延を供給するためのコンピュータープログラムの援助
をかりて調整される。コンピューターによる計算は、第
８図に示されている部品のすべての特性を考察してなさ
れる。

ここで示された信号処理は、ｚａｎｏｎｉ　　によって
提出された米国特許第３，９０７，４３９号と機能的に
は同じである。

第６図と第７図に関して集光光学系は、電流を生じさせ
る光電変換器５７上へ光を集める◎演算増幅器８１は、
この電流を電圧に変換し、ふされしいレベルにまで、増
幅する。第７ａ図は、レーザー光束が物体を横切って通
過するときの演算増幅器からの信号出力を示している。

この信号（第７ｂ図）の１次微分関数は、第１微分器８
２によって供給される。光信号（第７Ｃ図）の２次微分
関数は、第２微分器８３によって供給される。コンパレ
ーター８４は、２次微分のゼロ交差を感知し、デジタル
出力（第７ｄ図）を発生する。他の２つのコンパレータ
ー（８５，８６）は、１次微分が所望の限界を越えたと
き感知し、デジタル出力（第７ｅｓ第７ｆ図）を発生す
る。光信号の暗から明の転換を示スハルスＵＣ’ｌＩ図
）は、コンパレーター（８４，８５）が正のしきい値以
上の１次微分と、正から負へ変わる２次微分を感知した
とき、ＡＮＤ論理８７によって発生する。光信号の明か
ら暗への転換を示すパルス（第７ｈ図）はコンパレータ
ー（８４，８６）が負のしきい値以下の１次微分と、負
から正に変わる２次微分を感知したとき、ＡＮＤ論理８
８によって発生する。

物体のエツジを正確に感知することと同じくらい重要な
ことは、物体の大きさを計算するだめの２つの交差間の
時間を測定することである。

現在の技術では約±１ナノ秒の時間分解能をもった時間
測定が要求される。

この分解能を達成するのに４つの技術がある。

Ｌ　例えばＩＧＨｚといつだ非常に高い周波数のクロッ
クを使用する。このアプローチは、明白明瞭々一方、実
際には、高周波数によって導入される複雑さによシたい
へん高いコストが必要となる。

２　遅延路バーニヤが使用される。この装置は３〜５ナ
ノ秒より小さい分解能にすると経済的ではない。

ａ　わずかに異なる周波数をもつ２つの高周波クロック
を用いるＨｅｗｌｅｔｔ　−Ｐａｃｌ＜ａｒｄ　Ｊｏｕ
ｒｎａｌの１９７８年８月号の第２〜１１頁にあるよう
な２重のバーニア補間法も使用される。

生　測定されるエツジまでの時間軸上で一定の高さと幅
をもつ遅延パルス全積分し、測定することによるアナロ
グ補間も可能である。

１（ｅｗｌｅｔｔ　ｐａｃｋａｒｄ　Ｊｏｕｒｎａｌ　
、　１９８０年９月号の鎮２１〜３１頁、特に第２３頁
に示されている４番目の技術を我々は選んだ。

アナログ補間法では測定される区間は、クロック周期の
積分された数と、補間回路によって測定された立上り及
び立下り部分での分割されたクロック周期の数の合計で
ある。アナログ積分器は当初には普通リセットされる。

エツジが感知された時、積分器は一定の速度で積分を始
める。エツジが感知された後第２クロツクパルスが発生
したとき、積分は停止し、保存された値が直ちに測定さ
れる。この装置によって、積分時間は、１及び２クロッ
ク周期間になるだろう。数多くの誤差があるので、１及
び２クロック周期の幅をもった校正パルスを周期的に測
定する。自己校正をすることにより、はとんどの誤差は
、抹殺され、測定される時間間隔の長さは以下のように
なる。

ここでＮ　＝　ｅｄｇｅ　　間のクロックサイクルの整
数ｔｃ＝クロック周期 ｖｌ−測定した間隔の開始後の積分器の電圧 ■、＝測定した間隔の終了後の積分器の電圧 ｖｅ、−＝校正パルストｔｃ　ｗｉｄｅ後の積分器の電
圧 ｖｃ　２−校正パルス２・ｔｃｗｉｄｅ後の積分器の電
圧 以上、述べてきだが、本発明を要約すれば次の通りであ
る。

本発明は出力信号を生ずる光電変換器によってそのエネ
ルギーが集められ、時間変化感知領域を決定するだめに
一定かつ連続的な速度で光束の伝搬方向に垂直な直線上
にレーザー又は一般的な光の光束を正確に移動させるこ
とを特徴とする電気光学的測定システムであって、扱測
定物体は、この感知領域に挿入され物体の１つのエツジ
を光束が横断することにより、光′区変換器の出力信号
は先ず最初のパルスの形で形成され、それから光電変換
器にはエネルギーがなくなる。第２のエツジについては
、そこを光束が横断することによって、エネルギーが光
電変換器に復帰させられパルスがなくなる形で形成され
る。パルスの幅又は継続時間は、２つのエツジ間の距離
を測定するものとなる。

例外的な高精度をもつ測定は、空気中の対流の流れを実
質的に除去するだめに光が通行する光路に入れた空気対
流減衰器によって得られる。

なお一層の精度改善は、エツジによるノくルス幅の変化
の系統誤差を縮少するために、工・７ジ感知信号処理に
おいて、遅延等化群を使用することにより若しくは物体
のエツジ位置の高分解能測定を得るだめにアナログ補間
法を使用することにより得乙ことができる。

以上、本発明によれば太き寿物体をも高い精度で測定で
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の走査光束電気光学測定システムの基本
型の概略図、第２図は本発明の電気光学測定システムの
遠近（透視画）法による概略図、第３図は本発明の循環
減少器の横断面部分の概略図、第４図は測定範囲上の点
像の大きさにおける変化を示す図、第５図（ａ）　（ｂ
）　（ｅ）はエツジ感知信号の第１及び第２微分のため
の周波数特性を示す図、第６図は第２図で示されたシス
テムの受光器により発生した信号を処理するだめの電気
回路構成のブロック図、第７図は第６図の回路構成の信
号波形の図、第８図は遅延等化を供給するのに使用され
る電気回路構成図、 図中 ４０はレーザ ４５は光束形成要素 ４９は光学的走査装置 ５０はモーター ５２はコリメータ ５４は被測定物体 ５７は受光器 ５８は循環減衰器 ５９は光学板 ６１は板 ６２は空洞 ６３は囲い　　　である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ｔ（１）細い平行光束を発生させる放射エネルギー源、
   （２）該細い光束を一様に回転する走査光束に変換する
   手段、（３）該回転する走査光束を平行走査光束に変換
   する手段、（４）測定される物体のエツジを通過する該
   平行走査光束を集めて光電変換する手段、（５）該エツ
   ジをもつ該平行走査光束の中央合致点を示す信号を生じ
   させるだめ光電出力を処理する手段、（６）該物体の大
   きさを示すだめの該信号を処理する手段、前記変換手段
   （２）と被測定物体間の走査光束路における空気の循環
   を本質的に減少させるだめの手段を有することを特徴と
   する電気光学的測定システム。