JPS5845525A - 分光器の波長校正法 - Google Patents
分光器の波長校正法Info
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- JPS5845525A JPS5845525A JP14486881A JP14486881A JPS5845525A JP S5845525 A JPS5845525 A JP S5845525A JP 14486881 A JP14486881 A JP 14486881A JP 14486881 A JP14486881 A JP 14486881A JP S5845525 A JPS5845525 A JP S5845525A
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- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 2
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 claims 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- JEYCTXHKTXCGPB-UHFFFAOYSA-N Methaqualone Chemical compound CC1=CC=CC=C1N1C(=O)C2=CC=CC=C2N=C1C JEYCTXHKTXCGPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発＠は分光器の波長校正法に関し、特に、自動的に
波長校正を行なうための新規な改良に関するものである
。
波長校正を行なうための新規な改良に関するものである
。
従来、用いらｎてい穴この種の装置においては分光器の
波長校正は全て手動によって回折格子を調整して行なっ
ていた。
波長校正は全て手動によって回折格子を調整して行なっ
ていた。
この発明は以上の欠点をすみやかに除去するための極め
て効果的な手段を提供することを目的とするものであシ
、特に、コンピュータにあらかじゝめ元素固有の発光ス
ペクトル線の波長全記憶しておき、その元素のスペクト
ル線の強度を測定し、スペクトル層のピーク位置を検索
し、あらかシメ記憶しておいた。スペクトル線の位置と
の差を求めて分光器の波長を校正するようにした方法で
ある。
て効果的な手段を提供することを目的とするものであシ
、特に、コンピュータにあらかじゝめ元素固有の発光ス
ペクトル線の波長全記憶しておき、その元素のスペクト
ル線の強度を測定し、スペクトル層のピーク位置を検索
し、あらかシメ記憶しておいた。スペクトル線の位置と
の差を求めて分光器の波長を校正するようにした方法で
ある。
以下、図面と共にこの発明による分光器の波長校正法の
具体的な実施例について詳ｍＫ説明すると、図面Ｋ＞い
て符号１で示さｎるものは高局波鐸導結曾プラズマであ
）、この高周波誘導結合プラズマ１からの発光ｆｔ＠ｉ
ｊ：ｚｙデンサレンズ２を経て分光器３に入射される。
具体的な実施例について詳ｍＫ説明すると、図面Ｋ＞い
て符号１で示さｎるものは高局波鐸導結曾プラズマであ
）、この高周波誘導結合プラズマ１からの発光ｆｔ＠ｉ
ｊ：ｚｙデンサレンズ２を経て分光器３に入射される。
この分光器３は波長が可変できるツエルニ−ターナ１１
ｔ−用いておシ、異体的にＵ第２図に示されるように構
成され、入射スリット４から入射した入射光にコリメー
テイングミラー５に到達し、このコリメーテインクミラ
ー５を反射した入射光は回折格子６に到達して７オーカ
シングミラー７を経て出射スリット８から検出器９に入
射される。
ｔ−用いておシ、異体的にＵ第２図に示されるように構
成され、入射スリット４から入射した入射光にコリメー
テイングミラー５に到達し、このコリメーテインクミラ
ー５を反射した入射光は回折格子６に到達して７オーカ
シングミラー７を経て出射スリット８から検出器９に入
射される。
この場合、回折格子６を位置可変とするための構成トし
ては、パルスモータ１０の減速機１１の軸に送りねじ１
２が設けられ、この送りねじ１２に送りナツト１３が螺
合され、この送りナツト１３の壁部には回折格子６に設
けらｆしたＶノ（−１４が衝合し、送りナツト１５の位
置を変えることＫより回折格子６の角度を自在に設定す
ることができる。次に、検出器９に入射した波長による
出力信号は積分器１５、ム／Ｄ変換器１６およびインタ
ーフェイス回路１７を経て第ｔｃ：ｐｔｚａに入力され
、この第１０Ｐｕｔ８の出力６）（−ソナルコンピュー
タ１９に入力さｎると共に、）（−ソナルコンピュータ
１９からの信号も第１ ＣＰ０１８に入力さｎている。
ては、パルスモータ１０の減速機１１の軸に送りねじ１
２が設けられ、この送りねじ１２に送りナツト１３が螺
合され、この送りナツト１３の壁部には回折格子６に設
けらｆしたＶノ（−１４が衝合し、送りナツト１５の位
置を変えることＫより回折格子６の角度を自在に設定す
ることができる。次に、検出器９に入射した波長による
出力信号は積分器１５、ム／Ｄ変換器１６およびインタ
ーフェイス回路１７を経て第ｔｃ：ｐｔｚａに入力され
、この第１０Ｐｕｔ８の出力６）（−ソナルコンピュー
タ１９に入力さｎると共に、）（−ソナルコンピュータ
１９からの信号も第１ ＣＰ０１８に入力さｎている。
この）く−ソナルコンピュータ１９０個号は第２０Ｐ０
２０に人力されると共に分光器指定回路２０Ａの出力信
号が入力されている。
２０に人力されると共に分光器指定回路２０Ａの出力信
号が入力されている。
この第２０ＰＴＪ２０の出力信号はパーソナルコンピュ
ータ１９にも入力されると共に、第２ （！ＰＵ２０の
出力はドライバ回路２１を経て分光器３に入力さｎ、パ
ルスモータ１０を駆動するように構成さ１ている。
ータ１９にも入力されると共に、第２ （！ＰＵ２０の
出力はドライバ回路２１を経て分光器３に入力さｎ、パ
ルスモータ１０を駆動するように構成さ１ている。
このパルスモータ１０、減速器１１、送シねじ１２、送
りナツト１３およびレバー１４とからなるサインバー機
構２２により分光器３０波長の可変が行なわれ、検出器
９に設けらｔＬり光電子増倍管（図示せず）によル光の
強度を電気信号の強弱に変換している。
りナツト１３およびレバー１４とからなるサインバー機
構２２により分光器３０波長の可変が行なわれ、検出器
９に設けらｔＬり光電子増倍管（図示せず）によル光の
強度を電気信号の強弱に変換している。
第５図は波長と信号強度のプロットを示すもので、スペ
クトルのピーク位置は信号強度のピークを検索し、仁の
スペクトル着位憧を記憶するものである。
クトルのピーク位置は信号強度のピークを検索し、仁の
スペクトル着位憧を記憶するものである。
以上のような構成にかいて、この発明による分−ｙｔ、
ｌＩの波長校正法の動作について詳１ＩｉＪＫ説明する
と、高周波誘導結合プラズマ１ｔ一点灯しておき、パー
ソナルコンピュータ１９に波長校正の指令を与えた後、
分光器３の現在の波長を入力すると、第２０ＰＵ２０に
波長校正の指令が与えられる。
ｌＩの波長校正法の動作について詳１ＩｉＪＫ説明する
と、高周波誘導結合プラズマ１ｔ一点灯しておき、パー
ソナルコンピュータ１９に波長校正の指令を与えた後、
分光器３の現在の波長を入力すると、第２０ＰＵ２０に
波長校正の指令が与えられる。
この第２０ＰＵ２０ではアルゴン３５５．４５１ｎｍの
波長を記憶しているので、現在の波長と比較して波長走
査方向の判断を行ない、アルゴンの波長３５５，４３１
ｎｍ、ｗイナス１λの位ｆ１１まで走査して停止し、走
査終了信号をパーンナルジンピユータ１９に送る。この
パーソナルコンピュータ１９は第１ＣＰＵ１８に信号の
読取シを指令し、第１０ＰＵＩ ８はその時の信号強度
読取シ測足値ヲパーソナルコンピュータ１９に送って終
了する。次に、パーソナルコンピュータ１９ｉｊ第２０
ＰＴ７２０に波長のステップ走査を指令し、第２０ＰＵ
２０１−ｊα０１１人だけ分光器５の波長を移動し、走
査終了信号をパーソナルコンピュータ１９に送る。以後
、同様に信号を読取り、波長のステップ移動を１００回
行ない、第３因に示すような信号値のピーク位置を検索
し、あらかじめ記憶さｎていたアルゴンの波長３５５．
ｉ５ｔｎｍとの偏差を記憶することができる。この偏差
を記憶することによって、光源から発生される各種元素
のスペクトル線の強度を測定するとき、分光器の波長を
決定する際にパルスモータに送るパルス数を制御するこ
とができる。
波長を記憶しているので、現在の波長と比較して波長走
査方向の判断を行ない、アルゴンの波長３５５，４３１
ｎｍ、ｗイナス１λの位ｆ１１まで走査して停止し、走
査終了信号をパーンナルジンピユータ１９に送る。この
パーソナルコンピュータ１９は第１ＣＰＵ１８に信号の
読取シを指令し、第１０ＰＵＩ ８はその時の信号強度
読取シ測足値ヲパーソナルコンピュータ１９に送って終
了する。次に、パーソナルコンピュータ１９ｉｊ第２０
ＰＴ７２０に波長のステップ走査を指令し、第２０ＰＵ
２０１−ｊα０１１人だけ分光器５の波長を移動し、走
査終了信号をパーソナルコンピュータ１９に送る。以後
、同様に信号を読取り、波長のステップ移動を１００回
行ない、第３因に示すような信号値のピーク位置を検索
し、あらかじめ記憶さｎていたアルゴンの波長３５５．
ｉ５ｔｎｍとの偏差を記憶することができる。この偏差
を記憶することによって、光源から発生される各種元素
のスペクトル線の強度を測定するとき、分光器の波長を
決定する際にパルスモータに送るパルス数を制御するこ
とができる。
この発明による分光器の波長校正法は以上のように構成
されているため、分光器の波長を任意に設定することが
でき、各種元素のスペクトル線強度を測定するために簡
単に波長校正を行なうことができる。
されているため、分光器の波長を任意に設定することが
でき、各種元素のスペクトル線強度を測定するために簡
単に波長校正を行なうことができる。
図面はこの発明による分光器の波長校正法を示すための
ものでＳｌＨ図は全体回路ブロック図、第２図は分光器
を示す構成図、第３図は波長対強度を示す特性図である
。 ｔｒｓ高局高置波誘導結合プラズマはコンデンサレンズ
、３は分光器、４は入射スリン）％ ５ｔｊ：ｙリメー
テイングミラー、６は回折格子、７はフォーカシングミ
ラー、６は出射スリット、９は検出器％１（１１パルス
モータ、１１は減速機％１２＊送りねじ、１３は送りナ
ツト、＋４にレバー、１５は積分器、１６ｉＡ／Ｄ変換
器、１７ａインタ一フエイス回路、１８は第１ＣＰＵ、
１９にパーソナルコンピュータ、２０は第２０Ｐσ、２
１は分光器指定回路、２２はサインバー機構である。 以 上 出願人 株式会社肩二精工舎 代理人 弁理士最上 務 第２０ 第３０
ものでＳｌＨ図は全体回路ブロック図、第２図は分光器
を示す構成図、第３図は波長対強度を示す特性図である
。 ｔｒｓ高局高置波誘導結合プラズマはコンデンサレンズ
、３は分光器、４は入射スリン）％ ５ｔｊ：ｙリメー
テイングミラー、６は回折格子、７はフォーカシングミ
ラー、６は出射スリット、９は検出器％１（１１パルス
モータ、１１は減速機％１２＊送りねじ、１３は送りナ
ツト、＋４にレバー、１５は積分器、１６ｉＡ／Ｄ変換
器、１７ａインタ一フエイス回路、１８は第１ＣＰＵ、
１９にパーソナルコンピュータ、２０は第２０Ｐσ、２
１は分光器指定回路、２２はサインバー機構である。 以 上 出願人 株式会社肩二精工舎 代理人 弁理士最上 務 第２０ 第３０
Claims (1)
- 高周波誘導結合プラズマの光音入射する分子！ａと、分
光器の出力を制御するｃｐａｓｐよびコンピュータと、
分光器に設けられ回折格子ｔ−回動するための回動機構
とを備え、あらかじめ元素固有の発光スペクトル線の波
長を記憶しておき、その元素のスペクトル線の強１ｆｔ
−渕足し、スペクトル線のピーク位置を検索し、あらか
じめ記憶しておいたスペクトル線の位置との差を求め、
分光器の回動機構を作動させて波長校正を行なうととｔ
−特書とする分光器の波長校正法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14486881A JPS5845525A (ja) | 1981-09-14 | 1981-09-14 | 分光器の波長校正法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14486881A JPS5845525A (ja) | 1981-09-14 | 1981-09-14 | 分光器の波長校正法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5845525A true JPS5845525A (ja) | 1983-03-16 |
Family
ID=15372257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14486881A Pending JPS5845525A (ja) | 1981-09-14 | 1981-09-14 | 分光器の波長校正法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5845525A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01102856U (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-11 | ||
| EP1041373A2 (en) * | 1999-03-30 | 2000-10-04 | Ando Electric Co., Ltd. | Method and apparatus for calibrating an optical spectrum analyzer |
| JP2016194440A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | シーケンシャル型ｉｃｐ発光分光分析装置および測定波長補正方法 |
-
1981
- 1981-09-14 JP JP14486881A patent/JPS5845525A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01102856U (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-11 | ||
| EP1041373A2 (en) * | 1999-03-30 | 2000-10-04 | Ando Electric Co., Ltd. | Method and apparatus for calibrating an optical spectrum analyzer |
| EP1041373A3 (en) * | 1999-03-30 | 2001-04-04 | Ando Electric Co., Ltd. | Method and apparatus for calibrating an optical spectrum analyzer |
| US6441900B1 (en) | 1999-03-30 | 2002-08-27 | Ando Electric Co., Ltd. | Method and apparatus for calibrating an optical spectrum analyzer in wavelength |
| JP2016194440A (ja) * | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | シーケンシャル型ｉｃｐ発光分光分析装置および測定波長補正方法 |
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