JPS5845039Y2 - スライシングマシンノワ−クカイシユウソウチ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は半導体素子の製造工程の一過程に釦いて、シ
リコン・ゲルマニウム等のような結晶材からなる丸棒状
のワークピースを薄片状に切断するスライシングマシン
に係るものであり、さらに詳細に言えば切断されたワー
クピースを簡単な機構でかつ安全に装置外に自動的に回
収する装置に係るものである。

通常スライシングマシンは高速回転する椀形回転体の上
部にドーナツ状薄板の中央孔内周に刃を有する環状内周
刃を水平に取付け、中央孔から切断されるべきワークピ
ースを所定厚さだけ挿入してからこれを水平移動させ内
周刃にワークピースを接触させながら薄片状に切断する
ものである。

そしてこの切断を連続して行うためにワークピースの長
手方向側部にワックスを固着しこのワックス部分を切り
残して所定枚数の薄片に切断した後ワックス部分も切断
して一つの櫛状のブロックとして取出すことが行なわれ
ている。

このようにして切断されたブロックは前記した椀形回転
体内部に切り落されることとなるため、何らかの手段に
よってこれを受は取り次いで椀形回転体外部に回収しな
ければならず、従来より種々の方法が実施されてきた。

例えば特公昭４９−２０３５５に記載されているものも
その一方法であるが、この方法では装置が複雑になる上
にカバー上に受皿装置等が取付けられているために環状
内周刃の交換調整を行う場合カバーの取りはずしが煩雑
で作業性をそこなう等の欠点を有していた。

本願考案は簡単な機構によって切断されたブロツクを回
収するようにすると共に、環状内周刃の交換調整作業に
支障をきたすことがないようにしたものである。

さらにまた椀形回転体は上述したように高速回転してい
る上に、その内部は中央孔以外は密閉されているため高
速の空気流が発生しているが、本願考案はこのような不
安定な悪条件下の椀形回転体の内部で切断されたブロッ
クを損島することなく確実に受取り、環状内周刃の中央
孔から外部に取り出し自動的に回収するように構成され
た装置を提供するものである。

以下図面に従って本考案の一実施例を説明する。

第１図、第２図にむいて、１はワックス１ａを側面に固
着したシリコン・ゲルマニウム等からなる丸棒状のワー
クピース、２は前記ワークピースを保持し上下方向およ
び水平方向に移動可能なビレットボックス、３は高速回
転する椀形回転体１４の上部に一定の張力で張り付けら
れその中央孔内周に砥粒３ａを付着したドーナツ形状の
環状内周刃、４は前記ビレットボックス２の側面に固定
されたＬ字形フック、５は前記り字形フック４の下端に
上向きに取付けられ後述する構造の囲いによって囲われ
た受皿、６は前記ワークピース１から櫛状の複数枚の薄
片のかた１りとして切り落されたブロック、７はカバー
１３の上方に固定されたシリンダ８の作用によって前記
ブロック６を前記受皿５上から押し出すブツシャ、９は
前記ブツシャ７によって押し出されたブロック６を収容
器１０に導くための傾斜シュートを示す。

このような構造を有する装置によってワークピース１か
ら切断されたブロック６を回収する手順について説明す
る。

先ずビレットボックス２を下降させてワークピース１を
環状内周刃３の中央孔から椀形回転体１４の内部に薄片
１枚分だけ挿入する。

次にビレットボックス２を第１図の右方向に移動させて
ワックス１ａを残してワークピース１を切断してから左
方向に復帰させる。

次いでビレットボックス２をさらに薄片１枚分だけ下降
させて上述と同様の切断を行い、以下同様にして薄片が
所定枚数になったところでワックス１ａの部分全部を切
断することによってブロック６がワークピース１から切
り離される。

このときＬ字形フック４に取り付けられている受皿５は
環状内周刃３を挾んでワークピース１の直下に位置して
いるから第１図の一点鎖線で示すように切り離されたフ
ロック６を受は取る。

次いで受皿５上のフロック６は中央位置に復帰してから
実線で示す位置１で上昇して停止し、同時に第２図に示
すブツシャ７によって押し出されて傾斜シュート９上を
滑落して収容器１０に収容される。

このようにしてブロック６は回収されるが、前述のよう
にワークピース１から切り離されたフロック６は椀形回
転体１４の内部で受皿５上に受は取られ、その内部から
環状内周刃３の中央孔を通って回収されることになる。

ところが環状内周刃３が取付けられた椀形回転体１４は
高速回転しているために椀形回転体１４の内部には高速
の空気流が発生している。

そこでこのような悪条件下の椀形回転体１４の内部でブ
ロック６を確実に受取り、中央孔から外部に取り出し、
かつ自動的に収容器１０に回収するために以下に示す構
造の囲いを受皿５の囲りに設けた。

すなわち第３図、第４図において１１は前記受皿５の周
囲に設けられた上部を開口した囲いで、常時は複数体の
スプリング１２によってその内側底面が受皿５の下面に
密着して保持されている。

また前記したシュート９には囲い１１の外周直径よりも
小さく受皿５の直径よりも大きい孔が設けられている。

このような構造において椀形回転体１４の内部において
切断されたブロック６は囲い１１によって囲われている
受皿５上に受は取られ、その筐＼の状態で第３図に示す
ように環状内周刃の中央孔からシュート９の位置ｌで上
昇してくる。

そしてさらに上昇を続けると囲い１１はシュート９の下
面に規制されて上昇を停止するが、受皿５はスプリング
１２の引っ張り力に抗して上昇を続は第４図に示すよう
にその上面がシュート９の上面と水平位置に来たところ
で停止する。

この状態でブツシャ７を作動させてブロック６を受皿５
上から押し出し、シュート９上を滑落させて収容器１０
に収容する。

以上詳述したように本願考案によれば簡単な機溝によっ
て高速回転する椀形回転体内部において切断されたブロ
ックを確実に受は取り外部に取り出し連続して自動的に
収容器に回収することが可能となるとともに、ブツシャ
を作動させるシリンダは環状内周刃上面のカバーと関係
なく取付けられているので、カバーを簡単に取り除くこ
とができ環状内周刃の交換調整等の作業に支障をきたす
こともない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の構成を示す正面図、第２図はシュー
ト部の構成を示す側面図、第３図、第４図は受皿の構造
あ−よび作動を示す正面図。 １・・・ワークピース、２・・・ビレットボックス、３
・・・環状内周刃、４・・・フック、５・・・受皿、６
・・・ブロック、７・・・ブツシャ、８・・・シリンダ
、９・・・シュート、１０・・・収容器、１１・・・囲
い、１２・・・スプリング、１３・・・カバー、１４・
・・椀形回転体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 水平方向むよび上下方向に移動可能なビレットボックス
   に保持されたシリコン・ゲルマニウム等のワークピース
   を高速回転する椀形回転体に取り付けられた環状内周刃
   に接触させて薄片状に切断し、複数枚の薄片を一つのブ
   ロックとして前記椀形回転体の内部で受は取り、ついで
   前記環状内周刃の中央孔から取出すスライシングマシン
   において、前記ビレットボックスに固定されたＬ字形フ
   ックと、前記り字形フックに取付けられワークピースの
   直下に位置して切断されたブロックを受取る受皿と、前
   記受皿を囲い複数本のスプリングによって常時は受皿の
   下面に密着して保持されている上部を開口した囲いと、
   前記り字形フックが上昇するときに前記受皿は上昇を続
   は前記囲いは上昇を停止するように前記囲いの外周直径
   より小さく前記受皿の直径よりも大きい孔を有するシュ
   ートと、前記受皿が前記シュートと同じ水平位置に位置
   したときに前記受皿上のブロックを前記シュート上に押
   し出すシリンダと、前記シュートに連絡された収容器と
   よりなるスライシングマシンのワーク回収装置。