JPS5839283B2 - シ−ト状物体の測定用厚さ計 - Google Patents
シ−ト状物体の測定用厚さ計Info
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- JPS5839283B2 JPS5839283B2 JP53091378A JP9137878A JPS5839283B2 JP S5839283 B2 JPS5839283 B2 JP S5839283B2 JP 53091378 A JP53091378 A JP 53091378A JP 9137878 A JP9137878 A JP 9137878A JP S5839283 B2 JPS5839283 B2 JP S5839283B2
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、シート状物の厚さを測定する装置、更に詳細
には、相互インダクタンスの原理を利用して非磁性体シ
ート状物の厚さを測定する装置に関する。
には、相互インダクタンスの原理を利用して非磁性体シ
ート状物の厚さを測定する装置に関する。
紙などシート状物の厚さを測定するための厚さ計はよく
知られているが(例えば米国特許2.665,333号
明細書参照)、従来の電磁厚さ計は自己インダクタンス
型である(例えば米国特許3,528,002号明細書
参照)。
知られているが(例えば米国特許2.665,333号
明細書参照)、従来の電磁厚さ計は自己インダクタンス
型である(例えば米国特許3,528,002号明細書
参照)。
自己インダクタン・ス型厚さ計では、一般に、帯磁性物
質でできたU字型部材にワイヤコイルを巻付けたものを
被測定シート状物の一方の側に設定し、このコイルに電
流を通して磁界を作る。
質でできたU字型部材にワイヤコイルを巻付けたものを
被測定シート状物の一方の側に設定し、このコイルに電
流を通して磁界を作る。
シート状物の他方の側には同じく帯磁性の棒状部材があ
り、このコイルと棒状部材とは、エアベアリングなど周
知の方法によりシート状物から一定の距離に保たれる。
り、このコイルと棒状部材とは、エアベアリングなど周
知の方法によりシート状物から一定の距離に保たれる。
コイルと棒状部材がシート状物から一定の距離に保たれ
るため、コイルと棒状部材との間隔はシート状物の厚さ
によって決まり、シート状物の厚さが変動するとコイル
と棒状部材との間隔も変化する。
るため、コイルと棒状部材との間隔はシート状物の厚さ
によって決まり、シート状物の厚さが変動するとコイル
と棒状部材との間隔も変化する。
この間隔測定は、自己インダクタンスの原理に基づいて
行なわれる。
行なわれる。
コイルは誘導子として作用し、コイルに直列にコンデン
サを設ける。
サを設ける。
回路理論上周知のように、誘導子に直列のコンデンサは
1/JT7できまる周波数で共振する。
1/JT7できまる周波数で共振する。
しかし、コイルはインダクタンスの一定した誘導子では
なく、コイルと棒状部材との間隔が変わればコイルのイ
ンダクタンスも変わる。
なく、コイルと棒状部材との間隔が変わればコイルのイ
ンダクタンスも変わる。
こうして、コイルに直列に設けたコンデンサの共振周波
数は、コイルと棒状部材との間隔で決まるコイルインダ
クタンスで決定される。
数は、コイルと棒状部材との間隔で決まるコイルインダ
クタンスで決定される。
共振周波数を測定すればコイルと棒状部材との間隔が測
定される。
定される。
したがって、回路の共振周波数がシート状物の厚さの尺
度となる。
度となる。
このように共振周波数を利用する自己インダクタンス型
が厚さ計として適当な場合もあるが、厚さの大きいシー
ト状物の測定には不向きである。
が厚さ計として適当な場合もあるが、厚さの大きいシー
ト状物の測定には不向きである。
磁界の振幅をシート状物の厚さ測定に利用することにつ
いては米国特許3,696,290号があるが、この特
許ではU字型永久磁石と磁気抵抗とが用いられる。
いては米国特許3,696,290号があるが、この特
許ではU字型永久磁石と磁気抵抗とが用いられる。
U字型磁石は軸を中心として対称でなく、このため整列
誤差が生じるという欠点がある。
誤差が生じるという欠点がある。
また、振幅を変えることのできる電磁石と違って、厚さ
計の使用中、永久磁石の振幅は各種シート状物の厚さ変
動に伴って調節することができない。
計の使用中、永久磁石の振幅は各種シート状物の厚さ変
動に伴って調節することができない。
第1図にシート状物12の厚さを測定する先行技術の厚
さ計10の断面図を掲げる。
さ計10の断面図を掲げる。
シート状物12は一般に紙、プラスチック、ゴム等であ
る。
る。
厚さ計10は第一の部分10aと第二の部分10bを備
えて成る。
えて成る。
第一の部分10aはシート状物12の一方の側にあり、
第二の部分10bは他方の側にある。
第二の部分10bは他方の側にある。
第一の部分10aは、鉄など帯磁性物質のU字型部材1
4に電線16を巻付けたものである。
4に電線16を巻付けたものである。
第二の部分10bは帯磁性棒状部材17である。
厚さ計10の動作中、第一の部分10aと第二の部分1
0bとはシート状物12から一定の距離に保たれる。
0bとはシート状物12から一定の距離に保たれる。
第一の部分10aはエアベアリング(図示せず)などよ
く知られた方法でシート状物12から一定の距離に保た
れる。
く知られた方法でシート状物12から一定の距離に保た
れる。
第二の部分10bもよく知られた方法でシート状物12
から一定の距離に保たれる。
から一定の距離に保たれる。
第一の部分10aと第二の部分10bとの間隔は、間隔
a2間隔す、シート状物12の厚さtの和である。
a2間隔す、シート状物12の厚さtの和である。
厚さ計10ではコンデンサ(図示せず)が電線16と直
列に接続されており、U字型部材14に巻付けた電線1
6が誘導子として作用する。
列に接続されており、U字型部材14に巻付けた電線1
6が誘導子として作用する。
よく知られているように、誘導子とコンデンサは、1/
mで決まる周波数で共振する。
mで決まる周波数で共振する。
ここでLはインダクタンス、Cは容量である。
先行技術の厚さ計10において、U字型部材14に巻付
けた電線16のインダクタンスは、U字型部材14と棒
状部材1γとの距離(すなわちa+t+b)で決まる。
けた電線16のインダクタンスは、U字型部材14と棒
状部材1γとの距離(すなわちa+t+b)で決まる。
第一の部分10aと第二の部分10bとの距離がひろが
るにつれて、共振周波数も大きくなる。
るにつれて、共振周波数も大きくなる。
第2図は、先行技術の厚さ計10の間隔と共振周波数と
の関係を示したグラフである。
の関係を示したグラフである。
本発明による非磁性体シート状物厚さ計は、シート状物
の一方の側に配される磁界発生器を含んでいる。
の一方の側に配される磁界発生器を含んでいる。
この磁界発生器には帯磁性物質の円柱があり、この円柱
に電線が複数回巻付けられている。
に電線が複数回巻付けられている。
発生器は、円柱の軸がシート状物に実質的に垂直になる
ようにしながら、シート状物から一定の距離に保たれる
。
ようにしながら、シート状物から一定の距離に保たれる
。
シート状物の反対側には検出器を配する。
検出器も帯磁性物質の円柱でできており、これに電線が
複数回巻付けられている。
複数回巻付けられている。
検出器は、円柱の軸が発生器の軸と実質的に一直線に整
列するように配する。
列するように配する。
第3図には、シート状物22の厚さを測定する本発明の
厚さ計20の断面図を掲げる。
厚さ計20の断面図を掲げる。
シート状物22は一般に紙、プラスチック、ゴム等であ
る。
る。
厚さ計20は磁界発生器20aおよび検出器20bを含
んで成る。
んで成る。
発生器20aはシート状物22の一方の側にあり、検出
器20bは他方の側にある。
器20bは他方の側にある。
発生器20aは、鉄など帯磁性物質からなる実質的に円
柱形の第一の部材24でできており、これに第一の電線
26が巻付けられている。
柱形の第一の部材24でできており、これに第一の電線
26が巻付けられている。
発生器20aは、第一の部材24の軸がシート状物22
に実質的に垂直となるように配置する。
に実質的に垂直となるように配置する。
検出器20bも、帯磁性物質の実質的に円柱形の第二の
部材28でできており、これに第二の電線30が巻付け
られている。
部材28でできており、これに第二の電線30が巻付け
られている。
検出器20bは、第二の部材28の軸が第一の部材24
の軸と実質的に一直線に整列するように配する。
の軸と実質的に一直線に整列するように配する。
厚さ計20の動作中、発生器20aはシート状物22か
ら一定の距離aに保たれ、検出器20bはシート状物2
2から一定の距離すに保たれる。
ら一定の距離aに保たれ、検出器20bはシート状物2
2から一定の距離すに保たれる。
第3図に示した実施例では、このために発生器20aを
第一1体32に収容する。
第一1体32に収容する。
第一の筐体32には入口34と、複数の小さな孔より成
る出口36がある。
る出口36がある。
第一の筐体32には、入口34から加圧空気のような流
体が入る。
体が入る。
この空気は筐体出口36から出る。
第一の筐体32から出た加圧空気はシート状物22の片
面に噴射される。
面に噴射される。
これを一定の流れとして導くことにより、発生器202
を収容した第一の筐体32はシート状物22から一定の
距離aに保たれる。
を収容した第一の筐体32はシート状物22から一定の
距離aに保たれる。
同様に検出器20bは第二の筐体38に収容される。
第二の筐体38には入口40と、複数の小さな孔より成
る出口42がある。
る出口42がある。
第二の筐体38には入口40から加圧空気のような流体
が入る。
が入る。
第二の筐体38から出口42を経て出る加圧空気は、シ
ート状物22の他面に噴射される。
ート状物22の他面に噴射される。
これを一定の流れとして導くことにより、検出器20b
を収容した第二の筐体38はシート状物22から一定の
距離すに保たれる。
を収容した第二の筐体38はシート状物22から一定の
距離すに保たれる。
磁界発生器20aと検出器20bとの間隔は、間隔a1
間間隔1シート状物22の厚さtの和である。
間間隔1シート状物22の厚さtの和である。
第一の電線26に電流を通すと、発生器20aからある
振幅の磁界が生じ、この磁界の振幅は検出器20bで検
出される。
振幅の磁界が生じ、この磁界の振幅は検出器20bで検
出される。
検出器20bに達する磁界の強さすなわち振幅は、発生
器20aと検出器20bとの間隔で決まる。
器20aと検出器20bとの間隔で決まる。
すなわち、この間隔が大きくなるにつれて、検出器20
bで検出される磁界振幅が小さくなる。
bで検出される磁界振幅が小さくなる。
間隔と振幅の関係を示す一般的プロットを第4図に掲げ
る。
る。
第2図と第4図を比較すると、本発明の厚さ計20の長
所のひとつがわかる。
所のひとつがわかる。
在来の厚さ計10と本発明の厚さ計20において間隔に
僅かな変化が生じたとき(例えばDlからD2へ、但し
第2図と第4図でDlおよびD2は同じとする。
僅かな変化が生じたとき(例えばDlからD2へ、但し
第2図と第4図でDlおよびD2は同じとする。
)、信号の増分JFおよび4 )も小さい。
しかし、厚さ計20では、信号量に対する増分の割合(
A、A/A)が厚さ計10における割合(JF/F)よ
り大きく、こうしてSN比が大きくなるため測定精度が
高い。
A、A/A)が厚さ計10における割合(JF/F)よ
り大きく、こうしてSN比が大きくなるため測定精度が
高い。
第1図を参煕すると、本発明の厚さ計20のもうひとつ
の長所が明らかとなる。
の長所が明らかとなる。
磁束は磁気抵抗の小さい径路に沿って流れることはよく
知られている。
知られている。
第1図にこうしたひとつの径路を破線でもうひとつの径
路を鎖線で示す。
路を鎖線で示す。
この径路が帯磁性物質(棒状部材17など)を通るとき
は、磁気抵抗は事実上ゼロであるが、空気中の磁気抵抗
はゼロでない。
は、磁気抵抗は事実上ゼロであるが、空気中の磁気抵抗
はゼロでない。
U字型部材14と棒状部材17との間隔が大きく、それ
に比して破線径路が短いと、磁束は破線に沿って流れや
すい。
に比して破線径路が短いと、磁束は破線に沿って流れや
すい。
しかし、厚さ計10を動作させるためには、磁束は鎖線
に沿って流れなければならない。
に沿って流れなければならない。
こうして、被測定間隔が太きいときは、U字型部材14
の寸法も太きくしなければならない。
の寸法も太きくしなければならない。
本発明の厚さ計20では、被測定間隔が太きいときも厚
さ計20の寸法を大きくする必要はない。
さ計20の寸法を大きくする必要はない。
厚さ計20は磁界振幅測定によってシート状物の厚さを
求める方式であるため、厚手のシート状物を測定する場
合には厚さ計20の磁界振幅を大きくする。
求める方式であるため、厚手のシート状物を測定する場
合には厚さ計20の磁界振幅を大きくする。
これには、磁界発生器20aの電線を流れる電流量を多
くするだけでよい。
くするだけでよい。
米国特許3,696,290号に開示されている厚さ計
と比較した本発明の厚さ計20の長所として、厚さの異
なるシート状物の測定に使用した場合に磁界振幅を変動
できることがあげられる。
と比較した本発明の厚さ計20の長所として、厚さの異
なるシート状物の測定に使用した場合に磁界振幅を変動
できることがあげられる。
また、厚さ計20はその軸対称特性により、アラインメ
ントが容易である。
ントが容易である。
第5図は本発明のもうひとつの厚さ計50を図示したも
のである。
のである。
厚さ計50を構成する発生器は50a1検出器は50b
であり、発生器50aと検出器50bはシート状物52
をはさんでその両側(こ配置される。
であり、発生器50aと検出器50bはシート状物52
をはさんでその両側(こ配置される。
発生器50aは、鉄など帯磁性物質を実質的に円柱形に
製作した第一の部材54に第一の電線56を巻きつけた
ものである。
製作した第一の部材54に第一の電線56を巻きつけた
ものである。
発生器50aは、第一の部材54の軸がシート状物52
に実質的に垂直となるように配置する。
に実質的に垂直となるように配置する。
発生器50aは第3図の発生器20aと同じである。
検出器50bは、同じく円柱形の帯磁性物質である第二
の部材58に第二の電線60を巻きつけたものである。
の部材58に第二の電線60を巻きつけたものである。
第二の部材58は、その軸が第一の部材54の軸と実質
的に一直線に整列する配置とする。
的に一直線に整列する配置とする。
検出器50bには、帯磁性物質の円板状部材62も具備
されている。
されている。
円板状部材62は、その中心が第二の部材58の軸と実
質的に一直線になるように第二の部材58に取付けられ
る。
質的に一直線になるように第二の部材58に取付けられ
る。
第二の部材58は、シート状物52と円板状部材62と
の間の位置を占める。
の間の位置を占める。
後述するように、円板62の直径は第一の部材54の直
径にほぼ等しく、第二の部材58の直径は円板62の直
径より小さいことが望ましい。
径にほぼ等しく、第二の部材58の直径は円板62の直
径より小さいことが望ましい。
円板62が追加される以外は、検出器50bは第3図の
検出器20bと同じである。
検出器20bと同じである。
第5図に示した実施例では、センサ64aおよび64b
より成る第一のセンサ対64が用いられ、両センサとも
磁界振幅を検出することができる。
より成る第一のセンサ対64が用いられ、両センサとも
磁界振幅を検出することができる。
センサ64aおよび54bは電線コイルからなっている
。
。
第一のセンサ対64は第二の部材58をはさんで対向す
る。
る。
同様に、磁界振幅を検出できる第二のセンサ対(図示せ
ず)も、第二の部材58をはさんで対向する。
ず)も、第二の部材58をはさんで対向する。
対向する第二のセンサ対を結ぶ線は、第一のセンサ対6
4を結ぶ線にほぼ垂直である。
4を結ぶ線にほぼ垂直である。
第一のセンサ対64と第二のセンサ対とを使用するのは
アラインメントのため、すなわち第一の部材54と第二
の部材58の直線関係に乱れが生じて信号偏差が発生し
たときにこれを補正するためである。
アラインメントのため、すなわち第一の部材54と第二
の部材58の直線関係に乱れが生じて信号偏差が発生し
たときにこれを補正するためである。
第3図の実施例と同様、発生器50aと検出器50bは
筐体中に収容され、この筐体から出る空気など流体がシ
ート状物52に噴射されて、発生器50aと検出器50
bとはシート状物52から一定の距離に保たれる。
筐体中に収容され、この筐体から出る空気など流体がシ
ート状物52に噴射されて、発生器50aと検出器50
bとはシート状物52から一定の距離に保たれる。
第3図の厚さ計20について考察した前記長所は、すべ
て第5図の厚さ計50にも備わっており、軸対称性、厚
手シート状物の測定適性、厚さの異なるシート状物を測
定するときの磁界強さ可変性など同様である。
て第5図の厚さ計50にも備わっており、軸対称性、厚
手シート状物の測定適性、厚さの異なるシート状物を測
定するときの磁界強さ可変性など同様である。
第5図の厚さ計50には、このほか、微小間隔における
測定感度が大きいという長所があり、第6図Aと第6図
Bにこれが示されている。
測定感度が大きいという長所があり、第6図Aと第6図
Bにこれが示されている。
第6図Aは第3図の厚さ計20の概略図であり、発生器
24と検出器28を示す。
24と検出器28を示す。
破線で示したのは磁界である。
第6図Aでは検出器28が遮断するのは磁界線の一部に
すぎないのに対して、第6図Bでは部材58と円板62
とを具備する検出器が発生器54から出る磁界線の大半
を遮断する。
すぎないのに対して、第6図Bでは部材58と円板62
とを具備する検出器が発生器54から出る磁界線の大半
を遮断する。
部材58に円板62を加えることにより、磁界線の大部
分が遮断され、こうして微小間隔測定の場合にも大きな
信号が得られる。
分が遮断され、こうして微小間隔測定の場合にも大きな
信号が得られる。
理論的には、微小間隔測定に関して厚さ計20にも厚さ
計50と同様の性能を持たせることが可能である。
計50と同様の性能を持たせることが可能である。
そのためには、検出器28の直径を発生器24の直径く
らいまで大きくするとよい。
らいまで大きくするとよい。
しかし、こうすると間隔が大きい場合にも磁界の大部分
が遮断されるという不都合が生じる。
が遮断されるという不都合が生じる。
これは遮断角度が小さいためである。
これに対して、部材58に円板62を加えると、検出器
50bは大きな円柱を使用しなくても広い被測定間隔範
囲にわたって高感度とすることができる。
50bは大きな円柱を使用しなくても広い被測定間隔範
囲にわたって高感度とすることができる。
また、直径の大きな円柱を備えた検出器は第5図の検出
器50bより重くなる。
器50bより重くなる。
検出器20bもしくは50bはエアベアリングで支えら
れているため、感度を低下させずに軽くすることが大切
である。
れているため、感度を低下させずに軽くすることが大切
である。
本発明は次に示す態様で実施することができる。
■、非磁性シート状物の厚さを非接触方式で測定する装
置であって次の要素を備えて成るもの、すなわち 該シート状物の一方の側において軸が該シート状物に実
質的に垂直になるように配した、帯磁性物質でできた第
一の円柱状物、 該第−の円柱状物に複数回巻つけた第一の電線、 該第−の円柱状物を該シート状物から一定の距離に保つ
第一の保持手段、 該シート状物の他方の側において軸が該第−の円柱状物
の軸と一直線に整列するように配した、帯磁性物質でで
きた第二の円柱状物、該第二の円柱状物に複数回巻つけ
た第二の電線、 該第二の円柱状物を該シート状物から一定の距離に保つ
第二の保持手段を備えて成る測定装置。
置であって次の要素を備えて成るもの、すなわち 該シート状物の一方の側において軸が該シート状物に実
質的に垂直になるように配した、帯磁性物質でできた第
一の円柱状物、 該第−の円柱状物に複数回巻つけた第一の電線、 該第−の円柱状物を該シート状物から一定の距離に保つ
第一の保持手段、 該シート状物の他方の側において軸が該第−の円柱状物
の軸と一直線に整列するように配した、帯磁性物質でで
きた第二の円柱状物、該第二の円柱状物に複数回巻つけ
た第二の電線、 該第二の円柱状物を該シート状物から一定の距離に保つ
第二の保持手段を備えて成る測定装置。
2、前記第1項の装置に、さらに帯磁性物質でできた円
板状物を加えたものであって、 該円板状物はその中心が前記第二の円柱状物の軸と実質
的に一直線になるように該第二の円柱状物に取付け、 該第二の円柱状物の位置は該円板状物と前記シート状物
との間となる ことを特徴とする測定装置。
板状物を加えたものであって、 該円板状物はその中心が前記第二の円柱状物の軸と実質
的に一直線になるように該第二の円柱状物に取付け、 該第二の円柱状物の位置は該円板状物と前記シート状物
との間となる ことを特徴とする測定装置。
3、前記第2項の装置であって、前記円板状物の直径が
前記第一の円柱状物の直径と同じであり、かつ前記第二
の円柱状物の直径が該円板状物の直径より小さいことを
特徴とする測定装置。
前記第一の円柱状物の直径と同じであり、かつ前記第二
の円柱状物の直径が該円板状物の直径より小さいことを
特徴とする測定装置。
4、前記第3項の装置にさらに次の要素を加えて成るも
の、すなわち おのおの磁界の振幅を検出できる2個のセンサより成る
第一のセンサ対であって、両センサが間に前記第二の円
柱状物をはさんで一直線に対向とすることを特徴とする
もの、 おのおの磁界の振幅を検出できる2個のセンサより成る
第二のセンサ対であって、両センサが間に該第二の円柱
状物をはさんで一直線に対向することを特徴とするもの を加えて成る測定装置。
の、すなわち おのおの磁界の振幅を検出できる2個のセンサより成る
第一のセンサ対であって、両センサが間に前記第二の円
柱状物をはさんで一直線に対向とすることを特徴とする
もの、 おのおの磁界の振幅を検出できる2個のセンサより成る
第二のセンサ対であって、両センサが間に該第二の円柱
状物をはさんで一直線に対向することを特徴とするもの を加えて成る測定装置。
5、前記第4項の装置であって、前記第二のセンサ対を
結ぶ直線が前記第一のセンサ対を結ぶ直線に実質的に垂
直に交わるようにこれらセンサ対を配置した測定装置。
結ぶ直線が前記第一のセンサ対を結ぶ直線に実質的に垂
直に交わるようにこれらセンサ対を配置した測定装置。
6.更に、第2筐体及び該第2筐体内の前記第2の物体
から構成される前記特許請求の範囲第2項記載の装置。
から構成される前記特許請求の範囲第2項記載の装置。
7、前記保持手段は、前記第1筐体から噴射され、前記
シートに衝突する一定の流れの流体を具える前記第6項
記載の装置。
シートに衝突する一定の流れの流体を具える前記第6項
記載の装置。
8、前記保持手段は、前記第2筐体から噴射され、前記
シートと衝突する一定の流れの流体を具える前記第7項
記載の装置。
シートと衝突する一定の流れの流体を具える前記第7項
記載の装置。
第1図は先行技術の厚さ計の断面図であり、第2図は先
行技術の厚さ計における間隔と周波数の関係を示すグラ
フであり、第3図は本発明の厚さ計のひとつの実施例の
断面図であり、第4図は本発明の厚さ計における間隔と
振幅の関係を示すグラフであり、第5図は本発明の厚さ
計のもうひとつの実施例の断面図であり、第6図Aは第
3図の厚さ計の動作状態を示す概略図であり、第6図B
は第5図の厚さ計の動作状態を示す概略図である。 図に於いて、20は厚さ計、20aは磁界発生器、20
bは検出器、22はシート状物、24は第一の部材、2
6は第一の電線、28は第二の部材、30は第二の電線
、32は第一の筐体、34は入口、36は出口、38は
第二の筐体、40は入口、42は出口である。
行技術の厚さ計における間隔と周波数の関係を示すグラ
フであり、第3図は本発明の厚さ計のひとつの実施例の
断面図であり、第4図は本発明の厚さ計における間隔と
振幅の関係を示すグラフであり、第5図は本発明の厚さ
計のもうひとつの実施例の断面図であり、第6図Aは第
3図の厚さ計の動作状態を示す概略図であり、第6図B
は第5図の厚さ計の動作状態を示す概略図である。 図に於いて、20は厚さ計、20aは磁界発生器、20
bは検出器、22はシート状物、24は第一の部材、2
6は第一の電線、28は第二の部材、30は第二の電線
、32は第一の筐体、34は入口、36は出口、38は
第二の筐体、40は入口、42は出口である。
Claims (1)
- 1 非磁性材料のシートの一方の側に対して、帯磁性物
質の形状が殆ど円柱状であり、その円柱状物体の軸が前
記シートに略々垂直になるように配列される第1物体、
前記第1の物体のまわりに多数回巻回し、磁界を発生す
るように附勢されることを可能とする第1の電線、前記
シートからの一定距離において前記第1の物体を保持す
る手段、前記シートの他の側に対し、第1の物体の直径
より小さい直径を有し、帯磁性物質からなる形状が殆ど
円柱状であり、その円柱状物体の軸が第1物体の軸と殆
ど一線になるように配列される第2物体、殆ど円柱状で
あり、前記第2物体に取り付けられる帯磁性物質の部材
、を具え、前記第2物体は、前記帯磁性物質の部材とシ
ートとの間にあり、前記部材は、その中心が前記第2物
体の軸と殆ど一直線に配列され、第2物体の直径よりも
大きい直径を有するものであり、前記第2の物体のまわ
りに多数回巻回され前記シートの厚さを決定するように
検出された磁界の振幅を検出することを可能とする第2
の電線、前記シートから一定の距離において前記第2物
体を保持する手段、を具備することを特徴とする非磁性
物質のシートの厚さを非接触的に測定する装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US05/819,469 US4107606A (en) | 1976-12-14 | 1977-07-27 | Non-contacting electromagnetic thickness gauge for sheet measurement having improved small distance sensitivity |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5425755A JPS5425755A (en) | 1979-02-26 |
JPS5839283B2 true JPS5839283B2 (ja) | 1983-08-29 |
Family
ID=25228254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP53091378A Expired JPS5839283B2 (ja) | 1977-07-27 | 1978-07-26 | シ−ト状物体の測定用厚さ計 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5839283B2 (ja) |
CA (1) | CA1096956A (ja) |
DE (1) | DE2829264A1 (ja) |
FR (1) | FR2398999A1 (ja) |
IT (1) | IT1097875B (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57197434A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-03 | Hitachi Ltd | Measuring method of tension |
JPS59122505U (ja) * | 1983-02-07 | 1984-08-17 | 株式会社キ−エンス | 二枚送り検出器の送信コイル |
JPS59230136A (ja) * | 1983-06-09 | 1984-12-24 | Rohm Co Ltd | 発光表示装置の光洩れ検査方法 |
DE3331407A1 (de) * | 1983-08-31 | 1985-03-14 | Helmut Fischer GmbH & Co Institut für Elektronik und Meßtechnik, 7032 Sindelfingen | Elektromagnetische mess-sonde |
JPS6166104A (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-04 | Anelva Corp | 金属薄膜膜厚測定方法 |
DE3612914A1 (de) * | 1986-04-17 | 1987-10-22 | Heidelberger Druckmasch Ag | Vorrichtung zum messen der dicke von papier oder dergleichen |
US4813147A (en) * | 1987-03-27 | 1989-03-21 | Amp Incorporated | Apparatus for interacting with both sides of a two-sided strip |
DE4011646A1 (de) * | 1990-04-11 | 1991-10-24 | Micro Epsilon Messtechnik | Dickenmesseinrichtung |
FI103918B (fi) | 1998-02-26 | 1999-10-15 | Metso Paper Automation Oy | Menetelmä ja laite liikkuvan rainan ominaisuuksien mittaamiseksi |
SE517293C2 (sv) * | 1999-06-30 | 2002-05-21 | Abb Ab | Förfarande och anordning för induktiv mätning av geometrisk dimension och elektrisk egenskap med motriktade magnetfält |
US7205166B2 (en) * | 2002-06-28 | 2007-04-17 | Lam Research Corporation | Method and apparatus of arrayed, clustered or coupled eddy current sensor configuration for measuring conductive film properties |
WO2009024187A1 (fr) * | 2007-08-21 | 2009-02-26 | Thomas Edye | Dispositif de mesure sans contact de l'epaisseur de films ou de couches minces en defilement |
US10119837B2 (en) * | 2016-07-06 | 2018-11-06 | Biosense Webster (Israel) Ltd. | Magnetic-field generating circuit for a tracking system |
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---|---|---|---|---|
BE480971A (ja) * | 1948-03-05 | |||
US2563254A (en) * | 1948-05-10 | 1951-08-07 | Hydril Corp | Thickness indicator |
US2665333A (en) * | 1950-11-30 | 1954-01-05 | Libbey Owens Ford Glass Co | Apparatus for measuring thickness of sheet material |
GB843624A (en) * | 1955-12-19 | 1960-08-04 | Roe A V & Co Ltd | Improvements relating to thickness measuring instruments |
US3528002A (en) * | 1968-01-04 | 1970-09-08 | Conrac Corp | Caliper with air bearings for continuously moving sheet material |
US3696290A (en) * | 1970-07-22 | 1972-10-03 | Hays Corp | Magnetic non-contact thickness gauge with means to compensate the effects of stray fields on the gauge |
SU394654A1 (ru) * | 1970-12-28 | 1973-08-22 | УСТРОЙСТВО дл ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ИЗДЕЛИЙ | |
DE2640155C3 (de) * | 1976-09-07 | 1982-02-11 | Electronic Production Aids Co., Ltd., Worcester Park, Surrey | Nach dem Wirbelstromprinzip arbeitende Meßvorrichtung zur kontinuierlichen Messung der Dicke eines sich bewegenden, aus Metall bestehenden Meßobjekts. |
-
1978
- 1978-02-15 FR FR7804277A patent/FR2398999A1/fr active Granted
- 1978-04-24 CA CA301,795A patent/CA1096956A/en not_active Expired
- 1978-07-04 DE DE19782829264 patent/DE2829264A1/de active Granted
- 1978-07-19 IT IT25874/78A patent/IT1097875B/it active
- 1978-07-26 JP JP53091378A patent/JPS5839283B2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5425755A (en) | 1979-02-26 |
DE2829264A1 (de) | 1979-02-08 |
CA1096956A (en) | 1981-03-03 |
FR2398999A1 (fr) | 1979-02-23 |
FR2398999B1 (ja) | 1985-05-17 |
IT7825874A0 (it) | 1978-07-19 |
IT1097875B (it) | 1985-08-31 |
DE2829264C2 (ja) | 1989-09-28 |
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