JPS5837983A - レ−ザ発生装置用電極 - Google Patents
レ−ザ発生装置用電極Info
- Publication number
- JPS5837983A JPS5837983A JP13554881A JP13554881A JPS5837983A JP S5837983 A JPS5837983 A JP S5837983A JP 13554881 A JP13554881 A JP 13554881A JP 13554881 A JP13554881 A JP 13554881A JP S5837983 A JPS5837983 A JP S5837983A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- electrode
- gas
- laser
- insulation oil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/041—Arrangements for thermal management for gas lasers
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は冷却能率を高めたレーザ用電極に関する。
放電により反転分布の状態を生じさせる気体レーザ装置
ｉＩにおいては、放電電極は負グロ一部からの熱伝導や
ふく射による加熱およびイオン衝突による加熱を受は著
しく温度上昇する。このため、熱電子放出が起こＶ、安
定なグロー放電が得Ｋ（（なる。
ｉＩにおいては、放電電極は負グロ一部からの熱伝導や
ふく射による加熱およびイオン衝突による加熱を受は著
しく温度上昇する。このため、熱電子放出が起こＶ、安
定なグロー放電が得Ｋ（（なる。
従来においてはこれを防止するため、電極をガス流中に
突出させ、シ・−ザ発生用混合ガス自身で電極の冷却を
行なっていた。しかしこの方法では、例えは陰極分割形
ビン電極のように電極が数１０本〜１００本もあるもの
ではガスが流れにく（なって冷却が充分できた（なり、
また、圧力損失が大きくなったＶ、流速の分布が不均一
となって安定な放電が得られた（なる欠点がある。また
％便用ガスの条件により、電極冷却靜力に制限を受け、
１本の電極に注入可能な電流値（この電流値はレーザ出
力に対応している）が制限されて、大８！なレーザ出力
を得るには電極の本数を増やさなければならず、装置が
装置化する欠点がある。
突出させ、シ・−ザ発生用混合ガス自身で電極の冷却を
行なっていた。しかしこの方法では、例えは陰極分割形
ビン電極のように電極が数１０本〜１００本もあるもの
ではガスが流れにく（なって冷却が充分できた（なり、
また、圧力損失が大きくなったＶ、流速の分布が不均一
となって安定な放電が得られた（なる欠点がある。また
％便用ガスの条件により、電極冷却靜力に制限を受け、
１本の電極に注入可能な電流値（この電流値はレーザ出
力に対応している）が制限されて、大８！なレーザ出力
を得るには電極の本数を増やさなければならず、装置が
装置化する欠点がある。
この発明は電極の端子（放電励起壁間の外に出ている部
分）に冷却用のフィンを取付けることにより、電極自身
の冷却能率を高めて、ガスによる冷却を不要として、上
記従来のものにおける欠点を除去するようにしたもので
ある。
分）に冷却用のフィンを取付けることにより、電極自身
の冷却能率を高めて、ガスによる冷却を不要として、上
記従来のものにおける欠点を除去するようにしたもので
ある。
以下、この発明を添付図面の一実施例にもとづいて詳し
く説明する。
く説明する。
第１図の実施例はこの発明を通用した電極（陰極）ｌｔ
−レーザ発生装置の放電励起部２に装着した状態で示し
たものである。このレーザ装置は３軸直交型と呼ばれる
形式のもので、レーザ光軸（Ｘで示す）と、ガス流方向
（矢印Ｙ）と、放電方向（矢印２）が互いＫ［交するよ
うになっている。第１図ではレーザ光軸Ｘを紙＠に垂直
な方向にとっている。尚％第２図および第３図は第１図
のものの１１０！Ｉ図および平面図である。
−レーザ発生装置の放電励起部２に装着した状態で示し
たものである。このレーザ装置は３軸直交型と呼ばれる
形式のもので、レーザ光軸（Ｘで示す）と、ガス流方向
（矢印Ｙ）と、放電方向（矢印２）が互いＫ［交するよ
うになっている。第１図ではレーザ光軸Ｘを紙＠に垂直
な方向にとっている。尚％第２図および第３図は第１図
のものの１１０！Ｉ図および平面図である。
また、この実施例では陰極ｌに分割型ビン電極（ビン電
極をレーザ光軸Ｘに沿って多数並べて構成したもの。第
２図参照）を用い、陽極３に平極電極を用いた場合につ
いて示している。また、冷却は冷却用絶縁油を’ｊｆｆ
ｌ制循環させて行なっている。
極をレーザ光軸Ｘに沿って多数並べて構成したもの。第
２図参照）を用い、陽極３に平極電極を用いた場合につ
いて示している。また、冷却は冷却用絶縁油を’ｊｆｆ
ｌ制循環させて行なっている。
ビン電極ｌは例えば無酸素鋼で作られ、その上趨部には
ネジが切られた端子４が形成されている。
ネジが切られた端子４が形成されている。
胴部には気密用のＯリング５がはめ込まれている。
電極下端部は例えは直径４φに作られ、放電揺動ヲ避ケ
るためのセライック管６がはめ込まれている。冷却フィ
ン７は鋼などの金員で作られたもので１例えはこの実施
例で示すように、電極１本当りに２枚ずつ、ナツト８に
より端子４に収付けられる。１線像分割形ビン電極の場
合は、複数のビン電極を短いピッチ（ビン電極相互の放
電干渉が無視できる距離１例えば１２闘程度）で並べる
ため。
るためのセライック管６がはめ込まれている。冷却フィ
ン７は鋼などの金員で作られたもので１例えはこの実施
例で示すように、電極１本当りに２枚ずつ、ナツト８に
より端子４に収付けられる。１線像分割形ビン電極の場
合は、複数のビン電極を短いピッチ（ビン電極相互の放
電干渉が無視できる距離１例えば１２闘程度）で並べる
ため。
冷却フィン７の形状は第３図に示すように、隣りと接触
せず、かつ、広い囲槓が取れる細長い形状にすると都合
が良い。
せず、かつ、広い囲槓が取れる細長い形状にすると都合
が良い。
一万、上記のビン電極ｌが装着されるレーザ装置の放電
励起部２は、絶縁板１０４Ｃピン電極１を埋込む孔１０
ｍを開設し、かつ、その上面に冷却用絶縁油流路１１を
形成する。ビン電極ｌをこれに装着する場合は、孔１０
ａＫビン電極１’ｆｆｉ下方から差込み、ナツト１２に
より固定する。次いで２枚の冷却フィン７奢ナツト８で
喉付け、冷却用絶縁油流路１１のふた１１ ａ ’Ｉｆ
：かぶせて、ナツト１３によりふた１１ ａ ｆ固定す
る。陽極板３は無酸素鋼でつくられ。
励起部２は、絶縁板１０４Ｃピン電極１を埋込む孔１０
ｍを開設し、かつ、その上面に冷却用絶縁油流路１１を
形成する。ビン電極ｌをこれに装着する場合は、孔１０
ａＫビン電極１’ｆｆｉ下方から差込み、ナツト１２に
より固定する。次いで２枚の冷却フィン７奢ナツト８で
喉付け、冷却用絶縁油流路１１のふた１１ ａ ’Ｉｆ
：かぶせて、ナツト１３によりふた１１ ａ ｆ固定す
る。陽極板３は無酸素鋼でつくられ。
ビン１を極１】と所足りギャップ（例えば３０ｍ）ｖ隔
てて、風ｆ４壁１４と共に接地されている。
てて、風ｆ４壁１４と共に接地されている。
以上の電極４１！において放電を行なうと、ビン電＋＄
１の底１１０ｓ分に負グロ一部加が形成され、放電性２
１が陽極板３に向けて形成される。このとき、ビン電ｍ
ｔは負グロ一部ｍからの熱伝導やふ（射πよる加熱およ
びイオン衝突忙よる加熱を受けるが、冷却フィン７を介
して冷却用絶縁油１５に放熱されるため温度上昇は抑え
られる。冷却用絶縁油１５は外部に設けられたポンプ（
図示せず）ｔ’介して循環されており、長時間の運転に
おいても一定の温度が保たれるようになっている。
１の底１１０ｓ分に負グロ一部加が形成され、放電性２
１が陽極板３に向けて形成される。このとき、ビン電ｍ
ｔは負グロ一部ｍからの熱伝導やふ（射πよる加熱およ
びイオン衝突忙よる加熱を受けるが、冷却フィン７を介
して冷却用絶縁油１５に放熱されるため温度上昇は抑え
られる。冷却用絶縁油１５は外部に設けられたポンプ（
図示せず）ｔ’介して循環されており、長時間の運転に
おいても一定の温度が保たれるようになっている。
以上のようにして冷却されることにより、ビン電極ｌは
加熱による熱電子放出が抑えられる。従って注入電流の
許容値が太き（なり、少ない電極数で大きなレーザ出力
を得ることができる。また。
加熱による熱電子放出が抑えられる。従って注入電流の
許容値が太き（なり、少ない電極数で大きなレーザ出力
を得ることができる。また。
ガスによる冷却が必要なくなるので、ビン電極１を完全
に埋込んで装着することができ、ガスの流れをさまたげ
て圧力損失を生じさせた０％流速の分布を不均一にする
ことがな（なる、尚、この発明は前記実施例で示した陰
極分割形ビン電極以外にも、気体レーザ装置用のあらゆ
る電極に用いることができる。
に埋込んで装着することができ、ガスの流れをさまたげ
て圧力損失を生じさせた０％流速の分布を不均一にする
ことがな（なる、尚、この発明は前記実施例で示した陰
極分割形ビン電極以外にも、気体レーザ装置用のあらゆ
る電極に用いることができる。
誦１図はこの発明の一実施例をレーザ装置に装着してレ
ーザ光軸方向から見た状態を示す縦断面図、第２図は第
１図のムー人断面図、第５図は第１図のＢ−Ｂ断面図で
ある。 ｌ・・・ビン電極、２・・・放電励起部、３・・・陽極
板、４・・・端子、５・・・０リング、６・・・セラミ
ック管、７・・・冷却フィン、 １０・・・絶縁板、１
］・・・冷却用絶縁油流路、１４・・・風洞壁、１５・
・・冷却用絶縁油、２０・・・負グロ一部、２］・・噴
散電柱。 第３図
ーザ光軸方向から見た状態を示す縦断面図、第２図は第
１図のムー人断面図、第５図は第１図のＢ−Ｂ断面図で
ある。 ｌ・・・ビン電極、２・・・放電励起部、３・・・陽極
板、４・・・端子、５・・・０リング、６・・・セラミ
ック管、７・・・冷却フィン、 １０・・・絶縁板、１
］・・・冷却用絶縁油流路、１４・・・風洞壁、１５・
・・冷却用絶縁油、２０・・・負グロ一部、２］・・噴
散電柱。 第３図
Claims (1)
- 電極の端子に冷却用フィンｔ−１Ｍｌ性けたことを特徴
とするレーザ発生装置用電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13554881A JPS5837983A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | レ−ザ発生装置用電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13554881A JPS5837983A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | レ−ザ発生装置用電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5837983A true JPS5837983A (ja) | 1983-03-05 |
Family
ID=15154352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13554881A Pending JPS5837983A (ja) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | レ−ザ発生装置用電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5837983A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418770U (ja) * | 1988-06-30 | 1989-01-30 | ||
| JPH0242460U (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-23 |
-
1981
- 1981-08-31 JP JP13554881A patent/JPS5837983A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6418770U (ja) * | 1988-06-30 | 1989-01-30 | ||
| JPH0242460U (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-23 |
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