JPS583661A - フォトレジスト層被着用スプレイ・ヘッド装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はスプレィ・ヘッド［１１に係り、更に具体的に
は加圧推進流体を用いるスプレトヘッド装置に係る。

スプレィ材料を霧化するスプレィ系にＱｏ圧推進流体を
用いることは、゛先行技術の当業者に公知である。友と
えば、材料の一様な且つ（あるいは）非常に薄い・＠を
形成するようにスプレィすることが望まれるような応用
に高圧推進流体系が不適当であることｉわかっている。

即ち、高圧系は層がスプレィによって形成される時にこ
の層において材料を吹き飛ばす傾向がある。従って、高
圧推進流体系の有害な影響を最小にしすなわち緩和する
之めに低圧推進流体系を用いることはこれらの杉ｆ式の
応用において慣例である。

たとえば、プリント回路及び（あるいは）集積回路の製
造に用いられるフォトレジスト・マスクの製作において
、このマスクはワークピースの表面に連続したフォトン
ジス１層を最初に被着することにより作られる。このワ
ークピースはこのマスクが後で最終仕上げ金なされる時
にこのマスクにより加工されるべく意図されたものであ
る。次に、マスクは公知のフオｔリソグラフィツク技法
を用いてフォトレジスト層から作られる。先行技術にお
いてこのフォトレジスト層を被着する１つの公知方法は
、フオトレジスｐｔスプレィすることである。スプレィ
は液体フォトレジスｒの放出流から形成され、この放出
流は低圧推進流体系によって霧化される。もしもフ第１
レジスｉが高圧推進流体によシスプレイされるならば、
フ第１どシスト層が被着される時にこの推進流体によっ
て吹き飛ばされる結果、このフオトレジスを層の不連続
性が生じる。従って、フォトレジスト層の連続性そして
これ故にこのフォトレジスト層から次に形成されたマス
クの完全性及び（あるいは）こ。

を受ける。かくして、低圧推進流体の使用はこのような
応用に非常に適している。

今まで、先行技術の公知のスプレィ・ヘッド装置におい
て、フォトレジスト流体の流れはノズルの無障害オリフ
ィスから放出される。オリフィス−から出る流れは低圧
推進流体たとえば濾過された窒素ガス（よって妨害され
そしてこの結果乱れはフォトレジスト流体を霧化し、こ
れによりスプレ１を発生させる。しかしながら、乱れが
フォトレジスト流体を霧化する場合に流れの外周よりも
流れのコアすなわち中心において効果を小さくすること
がわかった。かくして、スプレィによって形成された領
域において、）第１レジストはスプレ１領域の外周よシ
も中心に非常に厚く被着される傾向があった。これ故に
、先行技術の装置ｔは略一様な厚さのフォトレジストＩ
Ｉ全形成しなかった。

この問題は、被着されたフオトレジス１１の厚さが０．
００１ｍｍ以下の範囲に近づく場合に極端に生じる。当
業者に公知である上うに、フォトレジスｒｌの非一様性
は、次に形成されたマスクを用いて作られた回路素子の
電気的特性に悪影響を与える。たとえば、もしも複数個
の導体の幅が０．０２５４　ｍｍでありそしてこれらの
導体の間の間隔が０．００７６ｍｍの最小間隔である導
体ノ（ターフにおいて８００００Ｘの厚さである金属化
ＩＩｔ−食刻するためにこのマスクが用いられ７’Ｃな
らば、非一様な厚さのフォトレジスト層がオープン回路
導体あるいはショート回路導体のような不利な特性及び
（あるいは）導体線の非一様なイ７ピーダ／ス特性等を
生じることが当業者に容易に認識される。

更に、前述し友先行技術のスプレィ・ヘッド装置のノズ
ルのオリフ１スはつまりやすく、このつまりはオリフィ
スの設計すなわち意図した方向から流れを偏向させそし
て或いは更にこの流れの霧化に悪影響を与え友。結果的
に、スプレィの方向は又偏向されそしてこれ故にこのス
プレィは所望の位置座標でスプレィされようとする部材
をカバーしなかった。

これ故に、前述の先行技術のスプレィ・ヘッド装置は、
容易に制御できないのみならず、信頼できる一様な厚さ
のフォトレジスト層を形成するようにスプレィできずそ
して或いはこのフォトレジスト層から次に形成されたフ
ォトマスクの信頼性及び（あるいは〕このフオトヤスク
からこの後に作られた回路の信頼性に悪影響を与えた。

過去に、細長いピン状部材が霧化用ノズル及びスプレィ
装置に関連づけられたことが知られている（たとえば米
国特許第１８１・２２３４号、同第２６１４４０８号、
英国特許第２６５７５号参照）。

しかしながら、後述する本発明の原理に従って、スプレ
１材料を中空状ストリームとして放１ｔｉｆルためのＩ
ｌｌ！収手段決手段あるいは）加圧推進流体系との組み
合わせはこれらの先行技術に与えられていない。

本発明の目的は、略一様な厚さの層を形成するようにス
プレィするスプレトヘッド装置を提供することである。

本発明の別お目的は、信頼でき且つ制御できるスプレィ
を発生するスプレィ・ヘッドを提供することである。

更に、本発明の別の目的は、低圧推進流体系と組み合わ
せたスプレィ・ヘッド装置を提供して信頼でき且つ制御
できるスプレィ及び（又は）スプレィされた略一様な厚
さの層を発生させることである。

更に、本発明の別の目的は、信頼でき且つ制御できる方
式で略一様な厚さのフオｔレジスト層を形成するように
スプレィすることにそして（又は）１９７１回路及び集
積回路等の製造に用いられるフォトレジスト・マスクを
作ることに特に有益であるスプレィ・ヘッドを提供する
ことである。

本発明の一面に従えば、スプレィ・ヘッド装置は予定の
流体ヶ放出するための少なくとも１つの放出オリフィス
を備えたノズル手段を設けられている。流体をオリフィ
スから中空状の流れとして放出するための手段が設けら
れている。加圧推進流体の供給源も設けられている。ｖ
０圧推進流体は、オリフィスの外部で放出された流体を
さえぎる。

流体？オリフィスから中空形の流れとして放出するため
の手段は推進流体と相互作用してこの流体を霧化しそし
て少なくとも１つの予定の制ｍ＋Ｔｊ性？育するスプレ
１を発生させる。

第１図乃至第８図を参照するに、本発明のスプレトヘッ
ド装置の良好な実施例が示されている。

スプレィ・ヘッド装置は放出オリフィス１１ｉ備えたノ
ズル１０を有し、予定のスプレィ流体（図小ぜす）がこ
のオリフイスから放出される。良好な実施例において、
スプレトヘッド装置はグリフ１回路及び集積回路の製造
においてフォトマスクを作るために用いられる種類の液
体フォトレジストケスプレイできる方が好ましい。

ノズル１０の内部構造は、少し長目の円筒状の小さな直
径の穴を有す。この穴は、第３図で眺めた時その下方端
で円形オリフィス１１として終端する。長い円筒形の穴
１４の下方端は穴１３の大きい方の直径の開口に連通さ
れる。穴１４の直径は穴１３の大きい方の直径の開口と
ほぼ同じ寸法でるる。次に、穴１４の上方端は短い漏斗
形の穴１５のほぼ等しい寸法の小さい直径の開口と連通
する。穴１５の上方端はわずかに大きな直径の円形開口
１６で終端する。素子１１乃至１６は対称的に整列され
そして中心軸Ａと同心である。スプレィ流体（図を明瞭
にするために図示せず）は円形開口１６ｔａ過してノズ
ル１０に入り、連続的に穴１５．１４．１３及び１２を
通過しそしてオリフイス１１から放出される。

ノズル１０の外部購改に、第３図で眺めた時その上方端
に面ｙｂされた円錐形のシール用フランジ１７ｉ有す。

フラノンの下方に円筒形凹所１８があり、この凹所に円
筒形部分１９が続きそしてこの円筒形部分はその上部に
部分的にねじを切られている（ねじ２０診参照。大きく
した直径の面取りされた円錐形フラノン２１は、ノズル
１０の中心部分付近に配電されそしてこのフラノンの下
方により小さい直径のフラノン２２がある。フラノン２
２は、逆向きに面取りされた円錐形である。

次の部分２３は、四角形断面部分を有す結果４つの偏平
な外面を生じ、フラノン２２と逆向きに面取りされた円
錐形フラノン２４との間に位置する。

ノズル１０の漏斗形底部２５は、面取された円錐形部分
２６及びそこから延びた円筒形先端部２７を含んでいる
。外部ｌｌｌ成の素子１７乃至２７は対称的に整列しそ
して中心軸Ａと同心であることがわかる。

垂直な４つの円筒形内部ダク１２８はノズル１０ｔａり
ぬけている。ダクｔ−２８は円筒形部分１９の頂部から
フラノン２２の底部へ延ひそし−Ｃ中心軸Ａに平行であ
る。４つの円筒形外部ダクト２９は、中心軸Ａに向って
下方向に傾斜されそしてフラノン２１の頂部からフラノ
ン２２の底部に延びるようにノズル１０を通りぬける。

ダクト２８及び２９は中心軸Ａのまわりに角度的に対称
に配置されている（第６１図及び第７図参照）。図？明
瞭にするために、第２図及び第３図においてノズル１０
が第７図の線２−２に沿って図示されそして外部ダクト
の１つが示されることがわかる。より詳細に後述するよ
うに、ダクト２８及び２９は推進流体供給ネツｔワーク
すなわち推進流体供給源の一部であり、この推進供給源
はオリフィスの外部に低圧の推進力を与える。

更に具体的には、上述の推進流体供給源は又、・この後
拡散機とも称される下側の中空部材５０を含む。中空部
材３０の下方部分は、一体嘴造の１対の翼状部品３１ｔ
−備えて逆向きに面取りされた円錐形の外部構成を通常
有し、これらの翼状部品は互いに直径方向に整列されそ
して中心軸Ａと同一平面に整列される。中空部材５０の
外部＊ａの上方部分は円形フラノンでありそしてその中
間部分は円筒形凹所３３である。

中空部材３０の内部ｌＩＩ成は円形フラノン３２の円筒
形開口３２Ｂの斜角付リム５２ｋから始まる。

次に、逆向きに面取りされ定日錐形部分３４があり、そ
の上方端はフラノン３２の開口３２Ｂに連通ずる。円錐
形部分３４の下方端は円錐形の穴３６の斜角付リム３５
と連通ずる。次に、面取りされた円錐形の穴３７は中心
の円形開口３８で終端する。対称的に整列されそして面
取りされた中空部材５０の外側部分、フラノン３２並び
に対称的に整列された内部＊ａ素子３２Ａ、３２Ｂ及び
６３乃至３８は中心軸Ａと同心である。

１対のダクト３９は翼状部品３１に設けられる。

更に具体的には、夫々のダクト５９が上部に垂直な穴４
０を含み、この穴は斜角付リム３５から下方向に延ひそ
して翼状部品５１の１つへ部分的に延びている。夫々の
穴４０に、垂直に整列されそして直径を減少した穴４１
と連通し、この穴４１は関連した特定なダクト５９の一
部である。次に、夫々の垂直な穴４１は、下方向に傾い
た穴４２と連通ずる。２つの穴４２は側面４３の夫々の
外表面へ延び、そして向い合った関係に整列されている
。ダクト３９は上述の推進流体供給ネツｔワークに接続
される。

２つのポート４４＆び４５は又推進流体供給ネットレー
クに接続されそして開口３８のまわりに対称的に配置さ
れる。３つの素子３８．４４．４５の全ては中空部材３
０の底側４６に配置される。

ダクＦ３９並びにボーｒ４４＆び４５は対称でろシそし
て中心軸Ａと同一平面である。

内側にねじ４８を有するぎざぎざをつけた連結り／グ４
７は、回転ｏＴ能にアラ／シロ１の外側のリムまわりに
係合される。す／グ４７は大きな中央の開口４９を有し
、この開口を通過してノズル１０の下方部分すなわちフ
ラノン２１の下側の部分が延ひる。ねじ４Ｅｌ−介して
り７グ４７は、取付部品５０のねじ５１によってこの取
付部品に連結できる。ねじ５１はスプレィ・ヘッド装置
の取付部品の外部１ｆｌｌｉ３Ｅの円筒形下方部分５２
の底部に設けられている。

取付部品５０の外部＊成の中間部分５３及び上方部分５
４も夫々円筒形でありそ１て部分５２及び５３は中心軸
Ａに同心的に整列される。直径方向において対向した１
対の偏平部５５は、他の外部取付部品（図示せず〕への
ヘッドの取付けあるいは取りはずし全容易にするために
、適当な工具〔図示せず〕たとえばし／チの口部と相互
作用するように中間部分５３の表面に設けられている。

取付部品５０の内部Ｉｌｌ成は円筒形の上方の穴５６金
有しそしてこの穴は上部にねじヲキられている（ねじ５
７参照）。わずかに大きな直径の円筒形の穴５８に、穴
５６の下にありそしてノズル１−０のリム１６ケ止める
ように作用する。面叡９された円錐形の穴５９は、穴５
８と直径？大キくシた円筒形の穴６０との間に位置する
。穴６０の下に、直径を減少した円筒形の穴６１があり
、この穴はノズル１０のねじ２０と相互作用するねじが
設けられている。穴６１に、直径を連続的に増〃口した
円筒形の穴６３乃至６４に追従される。穴５６．５８乃
至６１．６３及び６４は対称的に整列しそして中心軸Ａ
と同心である。

ねじをきられた放射方向の開口６ｓｉ、ｆｉｌ付部品５
０の外表面から延びそして内部の穴６０によって形成さ
れた壁において寸法を減少された開口で終端する。直径
方向に対向した２つの垂直な穴６７及び６８は、穴６３
から穴６１に介して下方向に延びそして穴６０によって
形成された開口と連通ずる。素子６０乃至６′！１及び
６５乃至６８は又、ノズル１０、中空部材３０及び取付
部品５０のアセンブリか次に説明されるように、推進流
体供給ネットワークの一部である。

具体的には、ノズル１０が、取付部品５０に夫々のねじ
２０及び６２のねじ係合により組み付けられる。ノズル
１０がねじ２０及び６２の相互作用により取付部品５０
に止められる時に、メカニカル・シールはノズルのフラ
ッジ１７及び取付部品の穴５９の夫々の斜角付表面の間
に達成され、これにより流体供給系と推進流体供給系の
間の漏れが防止される。偏平部５５及びノズルの部分２
３の対向した１対の偏平な側面に適用される適当な工具
たとえばし／チは・、組み立て及び前述のシールを容易
に行うために用いられてもよい。

前述のように取付けられたノズル１０を有する中空部様
３０は、取付部品５０のねじ５１とこの中空部材６０の
連結り／グ４７のねじ４８を係合させることによりこの
取付部品５０に組み付けられすなわち取付けられる。柔
軟なたとえばポリウレタ／のす／グ形のシール用ガスケ
ット６９（第２図及び第３図参照〕は穴６４に配置され
る。連結リノグすなわち中空部材３０がねじ４８．及び
５１の相互作用により取付部品５０に止められる時に、
シール用ガスケット６９は、ノズルのフラッジ２１と取
付部品の穴６４の壁の間に圧縮され、これによシシール
が達成される。更に、連結り／グ４７が取付部品５０に
止められる時に、ノズルのフラッジ２２と中空部材３０
のシール用リム３２Ａとの間のメカニカル・シール及び
ノズルのフラッジ２４と中空部材３０の斜角付リム３５
の縁の間のメカニカル・シールも達成される。ノズル１
０が中空部材５０に組み付けられる時に、ノズル１０の
先端部２７の偏平な面すなわちオリフィス１１と同一平
面であるこの先端部２７の外側の偏平な面は、中空部材
３０の底側４６の外表面と略同一平面である。

液体フォトレジストの供給源（＠示せず）は、外部のね
じ付パイプ部品（図示せず）を介して取付部品５０に接
続でき、このパイプ部品は穴５６のねじ５７にねじ込ま
れる。同様に、９素である方が好ましい°不活性ガスの
推進流体の低圧供給源（図示せず）は、他方の外部のパ
イプ部品（図示せず）を介して取付部品５０に接続でき
、このパイプ部品はねじ付開口６５にねじ込まれそして
穴６０と連通ずる。

かくして、液体フォトレジストハ、穴５６を通って取付
部品５０に入り、この時穴５８２通過し、次ニノスル１
０へ直接的に流れそしてこのノズルにおいてオリフィス
１１から前述したように放出される。繰シ返して述べる
と、流体供給系は、取付部品５０の穴５９とノズル１０
のフラッジ１７の間に達成されたシールによシ穴６ｏに
おいて推進流体供給系から遮断される。

他方、推進流体は開口６６によシ穴６０を通りて取付部
品に入る。推進流体は、その穴６０から２つの補助ネッ
トワークを通ってオリフィス１１の外側へ供給されそし
てこれらの補助ネットワークは、互いに遮断されしかも
液体フォトレジストをオリフィス１１へ供給する前述の
流体供給系すなわち液体フォトレジスト供給系から遮断
される。

一方の補助ネットワークにおいて、推進流体は、取付部
品５０の遮断された穴６０からノズル１０の４つのダク
ト２８を通って穴３６へ供給されそしてこの穴３６から
穴３７へ供給される。推進流体は、穴３７からボート４
４及び４５を通り且つノズル１０の先端部２７と中空部
材３ｏの底側４６の開口３８によって形成された壁との
間の空間ｋａって、オリフィス１１の外側へ供給される
。

他の推進流体供給補助ネットワークにおいそ、推進流体
は穴６０から２つの垂直な穴６７及び６８１に通って穴
６３へ供給され、この穴６３がら穴６４へ供給されそし
てこの穴においてこの流体の外部への漏れを防止するよ
うにガスケット６９によって遮断される。推進流体は、
取付部品５ｏの穴６４からノズル１０の４つの傾斜ダク
ト２９を通過しそしてフラッジ３２の円筒形の開口３２
Ｂ−＼流れる。開口３２Ｂのシール用りＡ３２Ａ（！：
相互作用するノズル１０の７う／ジ２２は、そこでの推
進流体の外部への漏れを防止する。推進流体は、開口５
２Ｂから穴３４を通過しそして２つのダクト３９へ流れ
る。フラッジ２４及び斜角付リム３５の縁が２つの推進
流体補助系をシールするように相互作用しそして具体的
には穴３４と３６を互いに遮断することがわかる。次に
、ダクト３９の推進流体は、傾斜付穴４２から外方向に
流れる時にオリフィス１１の外部へ供給される。

部品１０乃至１９及び前述したこれらのアセ／プリが、
先行技術において公知で６Ｄそして本発明の詳細な説明
を明瞭にする定めの良好な実施例の説明に関連してここ
１で用いられることがわかる。

今まで、流体は前述の先行技術のアセンブリ１０乃至６
９において、中空でない流れとしてオリフィス１１から
放出された。しかしながら、本発明の原理に従えば、流
体は参照番号７０で示す手段（第２Ａ図参照）゛によっ
て中空状の流れとして放出される。良好な実施例におい
て、手段７０は、オリフィス１１の中に配置され且つ外
方向に延びた細長い部材７１を育す。流体がオリフィス
１１から放出される時に、この流体は細長い部材７１が
流れの中心に存在するからこの部材に沿って流れそして
中空状の流れｔ形成する。推進流体は、側面の２つの穴
４２及び２つのボート４４乃至４５並びにノズルの先端
部−２７と中空部材３０の開口３８によって形成された
壁との間の９間から吹き出すことにより、流体の流れを
さえぎる。細長い部材７１は、後述するように、流体金
霧比しそして少なくとも１つの予定の！［１Ｊｆｌｌｌ
特性ヲ有するスプレィ全発生するために妨害用推進流体
と相互作用する。

更に、細長い部ｔｔ　７１は振動しうる方が好ましい。

このように、推進流体及び（あるいは）放出流体は細長
い部材７１を振動させ、ｈれによりスプレィの霧化が更
に増強されそして（あるいは）オリフィス１１の自己ク
リー二／グ作用が提供され、これによジオリフイスのつ
まシが防止される。

良好な実施例において、手段すなわち部材７０は金属線
のコイル・スプリングでありそして真直な部品の細長い
部材７１はこの端部のコイル７２と一体である。細長い
部−材７１はコイに部分７３の中心軸に整列されている
。コイル部分７３（Ｄ長さはノズル１０の穴１４の長さ
と一致し、この穴の中にこの己イル部分が収納される。

コイル７２に近接した他方の端部の直径Ｄ２よりもコイ
ル部分７３の遠方端１＠Ｓ７４の直径Ｄ１がわずかに大
きいようにそして直径ＤＩ＆びＤ２が穴１４の直径より
も大きいように適当に選択することにより、コイル部分
７３は部材７０が開口１６から穴１４に挿入されれば一
時的に半径方向に王縮されそしてこの結′果細長い端部
７１は穴１２を通ってオリフィス１１から外方向に延び
出る。挿入後に、コイルは一時的な圧縮を解放されて拡
張しそして部材７０がノズル１０の中の所定Ｍ置にしつ
かシと保持される。この後、ノズル１ｏｉ＠付ｓ品ｓ。

に組み付けされそして次に中空部材３０は前述したよう
にノズル取付は済みの取付部品５０に連結できる。

第９図を参照するに、本発明の部材７０及びこの部材の
細長い部材７１に含んでいない先行技術のフォトレジス
ト用スプレィ・ヘッド・アセ／ブリを用いた結果が示さ
れている。従って、妨害用推進流体の乱流は、中９でな
い流れの外周よりもこの流れのコアすなわち中心におい
てこのフォトレジストヲ霧化する効果が小さい。かくし
て５スプレイによって形成された区域７５′すなわち領
域において、フオトレジス）Ｒは、スプレィ領域の外周
７７′よりもスプレィ領域７５′の中心７６′において
ワークピースＷＰたとえば導電性金属層の上に非常に厚
く被着される傾向がある。これ故に、先行技術の装置は
略一様な厚さＴｕの１を被着することはできず、結果的
に第９図に示すように低い厚さＴＬ及び高い厚さＴＨの
一様でない被着層を形成した。

他方、第１０図に示すように、細長い部材７１が本発明
の原理に従って部材１０乃至６９に組み込んで用いられ
る時に、フォトレジストＲはスプレィ領域全体７５を横
切ってすなわち領域７５の中心、７６、から外周７７へ
略一様な厚さの：―に被着される。かくして、本発明の
スプレィ・ヘソ、ド装置は又、制御され比特性のスプレ
ィを与えることができる。

更に、細長い部材７１が振動しうる時に、この部材は他
の制御された特性を与える。たとえば、この細長い部材
はスプレィ領域の寸法を実質的に増Ｑｏさせる。かくし
て、第１１図に示すように、直径ｄ１は先行技術のアセ
ンプＩＪ　１０乃至６９により発生したスプレィ領域７
５′の底辺の相対的寸法をあられしそして直径ｄ２は細
長い部材７１を用いた時のアセ／プリ１ｏ乃至６９のス
プレィ領硬゛７′５の一辺の増加寸法をあられし、領域
７５及び７５′の両者は略等しい高層すなわち高さを頁
す。たとえば、８１５の直径比ｄ２／ｄ１は細長い部材
７１を備えたスプレィ・ヘッド及びこの部材を備えてい
ないスプレィ・ヘッドｅ用いテ得られ友。

更に、振動しうる部材７１を用いることによりスプレィ
領域や付随した偏向がこの振動ＶＣｌ２答して発生され
るので第１２図に示す如く効果的な且つ制御できる大き
な面積Ａ１がスプレィでき、これに対して振動しない部
材７゛１が用いられあるいは部材７１が用いられない時
゛めようにもしもスプレィが固定され友ならばこの様に
はスプレィできない。

第１３図を参照するに、任意のフォトレジストＲがオリ
フィス１１において乾くことにより先行技１１ｊのアセ
ンブリ１０乃至６９のオリフィスがつまりそしてこの結
果発生されたスプレィの中心７６′がこのオリフィスの
意図し之垂直方向７６Ｎから偏向量りだけ偏向すること
が示されている。

しかしながら、先行技術のアセ／プ’Ｊ　１　０乃至６
９が振動しうる細長い部材７１ｉ組み込んでいる時に前
述したように、オリフィス１１は振動によシつまりを効
果的に防止しそして結果的にりＩＪ−二／グ作用が起り
、かくしてスプレィ方向すなわち配向は非常に簡単にｉ
ｌｉｌＩ御でき且っ悪影響されない。

かくして、当業者に明らかなように、本発明の装置は、
フオＩ・レジスＨｌｔ−信順できる一様な厚さにスプレ
ィすることそして（あるいは）次にこのフ第１・レジス
ト層から形成されたフォトマスクの信頼性及び（あるい
は）この後にこのマスクから製作された回路の信頼性を
改良するために簡単に制御でき且つ役立つ。更に、振動
しうろことにより、非常に制御された信頼できるスプレ
ィ寸法及び（あるいは）スプレィ方向が与えられる。

第１図乃至第８図のスプレィ・ヘッド装置の他のパラメ
ータは久の表に示される。

表 オリフィス１１の直径　　　　０．５０８ｍｍ細長い部
材７１の直径　　　　０．２５４ｍｍ細長い部材７１の
長さ　　　　１．　０　４　１　ｍｍフ第１・レジスト
放ｔｆ５流量　　　　　２０ｃｃ／分推進流体の圧力　
　　　　　　０．　５　６　２　４　ｋ　ｆ　／ｌｘか
くして、一様な厚さの被着層が唯一の厳密な関心事であ
る場合の市川において、細長い部材７１は振動しうる必
要がない。装置は、特定な構造を有し且つ対称形である
特定な部品に関して記述されているが、他の構造を有し
且つ対称形及び（あるいは）非対称形である他の部品が
用いられてもよい。更に、多才リフイス及び（あるいは
）他のｌ！成の流体供給系並ひに（あるいは）ダクトあ
るいはポート全多くあるいは少なく含んだ推進流体供給
系が用いられてもよい。更に、本発明は当業者に明らか
なように，他の圧力の推進供給系及び〔あるいは〕他の
種類のスプレィ流体にも適用できる。更に、本発明がた
とえば印刷処理のような他のスプレィに応用できること
がわかる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の良好な実ｍ例のスプレィ・ヘット：装
置ｔを分解して示す斜視図、第２因は第１図の装置ｆｔ
分解して示す断面図、第２Ａ図は第１図の装置の部品を
示す側面図、第３図は第２図に相当し次第１図の装置を
示し且つ装置の部品をアセンブリして示す断面図、第４
図乃至第８図は第２図の切断線４−４、５−５、７−７
及び８−８に沿って切シ取って第１図の装置の種々の部
品を示す夫々の側面図、第９図及び第１０図は先行技術
のスプレィ・ヘッド装置及び第１図のＷｉｔのスプレィ
から発生された夫々の層を比較して示す断面図、第１１
図は先行技術のスプレィ・ヘッド装置及び第１図の装置
のスプレィの夫々の相対的寸法全比較して示すＸｆＬ面
図、第１２図は第１図の装置のスプレィによって覆われ
比面積を示すモ面図、第１３図は先行技術のスプレィ・
ヘッド装置のオリフィス及び先端部を部分的に示し且つ
このオリフィスのつまり作用を示す断面図である。 １０・・・・ノズル、３０・・・・中空部材、５０・・
・・覗付部品、７１・・・・細長い部材、４４ｘ４５・
・・・ボート、４２．４０．１２、１４．５６．６６．
６７．６８・・・・穴、２８．２９．５９・・・・ダク
Ｉ・、１１・・・・オリフィス、７５・・・・コイル部
分。 １１１Ｍ人　　イ７りｉ六ショナル・ビジネス・マンー
ノズ・コゴｆレーンヨ／代理人　弁理士　　山　　　本
　　　仁　　　朗′（外１名） 第１頁の続き ０発　明　者　ダイアン・リー・レッドパスアメリカ合
衆国ニューヨーク州 エンディコツト・サウス・ペー ジ・アベニュー２０７番地

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （ｉ）　　流体を放出するための少なくとも１つの放出
   オリフィスを有するノズル手段と、該流体を上記オリフ
   ィスから中空状の流れとして放出させるための手段と、
   上記放出された流体を捕捉するように上記オリフィスの
   外部に推進流体を流すための加圧推進流体供給源とから
   なり、上記流体を上記オリアイスから中空状の流れとし
   て放出させるための上記手段が上記推進流体と相互作用
   して上記流体を霧化し、少なくとも１つの予定の制御特
   性１に有するスプレィを発生させることを特徴とするス
   プレィ・ヘット装置。 （２）　　上記流体を上記オリフィスから中空状の流れ
   として放出させるための上記手段が、上記オリフィス内
   に配喧され且つそこから外方向に延びる細長い部材から
   なシ、上記流体が上記オリフィスから該−長い部材に沿
   って放出されることを特徴とする特許請求の範囲第（１
   ）項記載のスプレィ・ヘッド装置。 （３）上記細長い部材の手段が、振動しうろことを特徴
   とする特許請求の範囲第（２）項記載のスプレィ・ヘッ
   ド装置。　。