JPS5834752A - ブレ−ドを用いた研削または研磨加工方法及びその装置 - Google Patents
ブレ−ドを用いた研削または研磨加工方法及びその装置Info
- Publication number
- JPS5834752A JPS5834752A JP5063481A JP5063481A JPS5834752A JP S5834752 A JPS5834752 A JP S5834752A JP 5063481 A JP5063481 A JP 5063481A JP 5063481 A JP5063481 A JP 5063481A JP S5834752 A JPS5834752 A JP S5834752A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blade
- sample
- reciprocating
- grinding
- polishing
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/042—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with blades or wires mounted in a reciprocating frame
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D51/00—Sawing machines or sawing devices working with straight blades, characterised only by constructional features of particular parts; Carrying or attaching means for tools, covered by this subclass, which are connected to a carrier at both ends
- B23D51/04—Sawing machines or sawing devices working with straight blades, characterised only by constructional features of particular parts; Carrying or attaching means for tools, covered by this subclass, which are connected to a carrier at both ends of devices for feeding, positioning, clamping, or rotating work
- B23D51/046—Sawing machines or sawing devices working with straight blades, characterised only by constructional features of particular parts; Carrying or attaching means for tools, covered by this subclass, which are connected to a carrier at both ends of devices for feeding, positioning, clamping, or rotating work for feeding work into engagement with the saw blade, e.g. rotating work while sawing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はシリコン、水晶等を研削または研磨して切断ま
たは溝入れ加工するブレードを用いた研削オたは研磨加
工方法及びその装置に関するものである。
たは溝入れ加工するブレードを用いた研削オたは研磨加
工方法及びその装置に関するものである。
従来のブレードを用いた研削または研磨加工方法では切
断（加工）方向とブレードの走行（往復動）方向が常に
直角であるから、ブレード側面に垂直方向の力の変化に
応じてブレードは自由にねじれ、かつ変位するので切断
面にうねりが生じる欠点を有していた。
断（加工）方向とブレードの走行（往復動）方向が常に
直角であるから、ブレード側面に垂直方向の力の変化に
応じてブレードは自由にねじれ、かつ変位するので切断
面にうねりが生じる欠点を有していた。
しかも、従来のブレードを用いた研削または研磨加工方
法は切断（加工）１ｍｌの全長にわたりて、ブレードと
溝が常に接触しているために切粉が排除されにくく、ブ
レードに目づまりが生じ、砥粒の作用の不均一性が大き
くなり、ブレードが大きくねじれて切断（加工）面のそ
りが大きくなる欠点を有する。
法は切断（加工）１ｍｌの全長にわたりて、ブレードと
溝が常に接触しているために切粉が排除されにくく、ブ
レードに目づまりが生じ、砥粒の作用の不均一性が大き
くなり、ブレードが大きくねじれて切断（加工）面のそ
りが大きくなる欠点を有する。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、高
精ｆＫ切断または溝加工できるようＫしたブレードを用
いた研削または研磨加工方法及びその装置を提供するに
ある。
精ｆＫ切断または溝加工できるようＫしたブレードを用
いた研削または研磨加工方法及びその装置を提供するに
ある。
即ち本発明は上記目的を達成するために、本発明はブレ
ードを加工方向に往復運動させると共に試料を上記ブレ
ードの往復運動方向に回動させ、試料とｉレードとを相
対的に送り込み、切刃の部分に砥粒を固着したブレード
を用いて試料を研削または研磨加工し、高精度に切断、
または溝加工できるようにしたことを特徴とするもので
ある。
ードを加工方向に往復運動させると共に試料を上記ブレ
ードの往復運動方向に回動させ、試料とｉレードとを相
対的に送り込み、切刃の部分に砥粒を固着したブレード
を用いて試料を研削または研磨加工し、高精度に切断、
または溝加工できるようにしたことを特徴とするもので
ある。
以下本発明の実施例を第１図及び第２図に従って具体的
に１Ｉ２ｆ！Ａする。即ちブレード１の一端はブレード
支持テーブル４に摺動自在に支持された駒２に装着され
、この駒２をポル）２ｍで引張ることにより張力が加え
られるよう帆なっている。またブレード１の他端は、軸
３ｂを中心に回転自在に支持された駒３に装着され、そ
してボルト３ａでブレード１を曲げ、試料５がら受けあ
す る曲げモーメントが加わってもな釈かっブレード１の上
端の張力が下端より大きいようになっている。ところで
砥粒の作用の不均一性等により生じる力でブレードがね
じられても、ブレード１の上端の張力が大きいため、ね
じれが小さくなり、ブレードの側面に受ける加工圧も小
さくなる。従ってブレード１．の変位も小さくなり、切
断面のそりが小さくなる。また試料５は軸６ａを中心に
揺動自在に支持されたチャック６１に固定され、該チャ
ック６ａの一端にはおおぎ形の歯車６ｂが取付けられて
いる。
に１Ｉ２ｆ！Ａする。即ちブレード１の一端はブレード
支持テーブル４に摺動自在に支持された駒２に装着され
、この駒２をポル）２ｍで引張ることにより張力が加え
られるよう帆なっている。またブレード１の他端は、軸
３ｂを中心に回転自在に支持された駒３に装着され、そ
してボルト３ａでブレード１を曲げ、試料５がら受けあ
す る曲げモーメントが加わってもな釈かっブレード１の上
端の張力が下端より大きいようになっている。ところで
砥粒の作用の不均一性等により生じる力でブレードがね
じられても、ブレード１の上端の張力が大きいため、ね
じれが小さくなり、ブレードの側面に受ける加工圧も小
さくなる。従ってブレード１．の変位も小さくなり、切
断面のそりが小さくなる。また試料５は軸６ａを中心に
揺動自在に支持されたチャック６１に固定され、該チャ
ック６ａの一端にはおおぎ形の歯車６ｂが取付けられて
いる。
との−車６ｂは歯車６ｃを介してモータ６ｅの出力軸に
固着された歯車６ｄと連続され、モータ６ｃの往復回転
駆動によって試料５は首振り運動するように構成されて
いる。即ち首振り装置６は６ ａｍ ｓによって構成さ
れている。またブレード支持テーブル４は軸９を支点に
回転自在に支持され、モータ７の出力軸の偏心した位置
とクランク８で連結されている。従ってモータ７を駆動
するとブレード１は軸９を中心に円弧状に往復動される
。
固着された歯車６ｄと連続され、モータ６ｃの往復回転
駆動によって試料５は首振り運動するように構成されて
いる。即ち首振り装置６は６ ａｍ ｓによって構成さ
れている。またブレード支持テーブル４は軸９を支点に
回転自在に支持され、モータ７の出力軸の偏心した位置
とクランク８で連結されている。従ってモータ７を駆動
するとブレード１は軸９を中心に円弧状に往復動される
。
このようＫすると切断溝とブレード１の上端は１点で接
し、かつブレード１の側面はすでに切断した面に接し、
拘束されているので、切粉が排除されやすく、かつブレ
ードがねじれにくい、さらに加振器１０で試料５を上下
と切断方向に加振しズ切粉の排除を助けるので切断面の
そりはきわめて小さくなり、振動加工の原理により加工
能率も大きくなる。このとき試料５はブレード１に対し
てエアーシリンダ１１により加工圧が加えられ、試料テ
ーブル１２は軸１５を支点に円弧状に下降する。
し、かつブレード１の側面はすでに切断した面に接し、
拘束されているので、切粉が排除されやすく、かつブレ
ードがねじれにくい、さらに加振器１０で試料５を上下
と切断方向に加振しズ切粉の排除を助けるので切断面の
そりはきわめて小さくなり、振動加工の原理により加工
能率も大きくなる。このとき試料５はブレード１に対し
てエアーシリンダ１１により加工圧が加えられ、試料テ
ーブル１２は軸１５を支点に円弧状に下降する。
なお、１４は加工液供給ノズルである。
第３図は、材料ニー５０．ＪＪテラスブレード走行速度
：１０ｒｒＩ／ｒｒ１ｉｎ、荷重：１００＃／枚、ブレ
ードの張カニ１００ｋｆの場合において、ブレードに曲
げモーメント（ｋｇ・■）をかけた場合の切断面うねり
（）４ｍ）の関係を示し、ブレード１の上端の張力を下
端の張力より大きくすれば切断面うねりは著しく向上す
ることができる。
：１０ｒｒＩ／ｒｒ１ｉｎ、荷重：１００＃／枚、ブレ
ードの張カニ１００ｋｆの場合において、ブレードに曲
げモーメント（ｋｇ・■）をかけた場合の切断面うねり
（）４ｍ）の関係を示し、ブレード１の上端の張力を下
端の張力より大きくすれば切断面うねりは著しく向上す
ることができる。
第４図は、材料ニー５０．、ｌＪシラスブレード：４０
〜６０Ｐｍ・ダイヤ電着ブレード、ブレード走行速度：
””／ｍｉｎ ｓ荷重： ５００＃／枚、ブレードの
張カニ １００１１１ｉの場合において、試料に首振り
角（ｄｅｇ）を与えた場合の切断面うねり（１４ｍ）の
関係を示し、試料５に首振り運動を与えるととによって
切断面のそりが著しく向上させることができる。同様に
ブレードテーブル４を回動させても同様な効果を奏する
ことができる。
〜６０Ｐｍ・ダイヤ電着ブレード、ブレード走行速度：
””／ｍｉｎ ｓ荷重： ５００＃／枚、ブレードの
張カニ １００１１１ｉの場合において、試料に首振り
角（ｄｅｇ）を与えた場合の切断面うねり（１４ｍ）の
関係を示し、試料５に首振り運動を与えるととによって
切断面のそりが著しく向上させることができる。同様に
ブレードテーブル４を回動させても同様な効果を奏する
ことができる。
第５図は、材料：φ５０．ガラス、ブレード走行速Ｆｌ
： １０ｍ／ｍｉｎ、荷重： １００２／ｍｉｎ、ブ
レード張カニ１００＃、砥粒：す１０００ＧＣの場合に
おいて、１？１Ｇ（ｚ ｓｏｏｗ超音波振動を付加した
場合と振動無付加の場合との加工時間（ｍｉｎ）と切込
みｔ＜−＞との関係を示し、超音波振動を付加すれば加
工能率は着しく向上することができることは明らかであ
る。
： １０ｍ／ｍｉｎ、荷重： １００２／ｍｉｎ、ブ
レード張カニ１００＃、砥粒：す１０００ＧＣの場合に
おいて、１？１Ｇ（ｚ ｓｏｏｗ超音波振動を付加した
場合と振動無付加の場合との加工時間（ｍｉｎ）と切込
みｔ＜−＞との関係を示し、超音波振動を付加すれば加
工能率は着しく向上することができることは明らかであ
る。
ところでブレードとして固定砥粒式（砥石式）マルチブ
レードを用いることにより前記効果が着しくなる。ラッ
ピング式（遊離砥粒）ではブレードが摩耗しやすいため
頻繁にブレード交換をしなければならない。このためブ
レードコストが高くかつ作業が頻繁になる。これに対し
固定砥粒式（ダイヤモンド砥石）ではブレード寿命が１
０００倍以上になり、切断コストを一以下にできる。ブ
レードを円弧状に往復動させかつ試料を円弧状に往復動
させると、切断溝が円弧状になり、ブレードと１点で接
触する。このため遊離砥粒式では砥粒が逃げやすく、加
工能率が悪いが固定砥粒式ではこれを防ぐことができる
。
レードを用いることにより前記効果が着しくなる。ラッ
ピング式（遊離砥粒）ではブレードが摩耗しやすいため
頻繁にブレード交換をしなければならない。このためブ
レードコストが高くかつ作業が頻繁になる。これに対し
固定砥粒式（ダイヤモンド砥石）ではブレード寿命が１
０００倍以上になり、切断コストを一以下にできる。ブ
レードを円弧状に往復動させかつ試料を円弧状に往復動
させると、切断溝が円弧状になり、ブレードと１点で接
触する。このため遊離砥粒式では砥粒が逃げやすく、加
工能率が悪いが固定砥粒式ではこれを防ぐことができる
。
以上説明したように１本発明によればマルチブレードソ
ーによる試料の切断面そりな従来の５０〜２００）’ｍ
から１０〜２０Ｐｍに向上でき、顕著な作用効果を奏す
る。
ーによる試料の切断面そりな従来の５０〜２００）’ｍ
から１０〜２０Ｐｍに向上でき、顕著な作用効果を奏す
る。
第１図は本発明のマルチブレードソーの正面断面図、第
２図は第１図の側面図、第３図はブレードに曲げモーメ
ントを印加した場合の切断面うねり特性を示した図、第
４図は試料貫振り角と切断面うねりの関係を示した図、
ｗＪｓ図はグレードに振動を付加した場合と振動を付加
しない場合とで加工時間と切り込み量との関係を示した
図である。 １・・・・・・グレード ２．ト・・・・駒 ４・・・
・・・グレード支持テーブル ６・・・・・・首振り装
置 １２・・・−・試料テープルオ １ 口 汁 ２ 日 Ａ／− 第２ｍ 第３ｒＸ１ 汁４囚 手続補正書（方式） 二明の名称 ブレードを用いた研削または研層加工方
法及びその装置 １正をするイ ＩｆＦｌとυ潤１糸 特許出願人 ＩＩ ・す「 〒１００東京都千代１１区丸の
内・１１１５番１号ｙ、 Ｑ、 １．＋Ｉ
０１＄ｊ Ａ ：’ニド１１ｆ 、：！’、
装 作 所代 ノ之 と ：１１
１ 勝 茂代 理 人 補正の対象 図面の第３図乃至第５図
２図は第１図の側面図、第３図はブレードに曲げモーメ
ントを印加した場合の切断面うねり特性を示した図、第
４図は試料貫振り角と切断面うねりの関係を示した図、
ｗＪｓ図はグレードに振動を付加した場合と振動を付加
しない場合とで加工時間と切り込み量との関係を示した
図である。 １・・・・・・グレード ２．ト・・・・駒 ４・・・
・・・グレード支持テーブル ６・・・・・・首振り装
置 １２・・・−・試料テープルオ １ 口 汁 ２ 日 Ａ／− 第２ｍ 第３ｒＸ１ 汁４囚 手続補正書（方式） 二明の名称 ブレードを用いた研削または研層加工方
法及びその装置 １正をするイ ＩｆＦｌとυ潤１糸 特許出願人 ＩＩ ・す「 〒１００東京都千代１１区丸の
内・１１１５番１号ｙ、 Ｑ、 １．＋Ｉ
０１＄ｊ Ａ ：’ニド１１ｆ 、：！’、
装 作 所代 ノ之 と ：１１
１ 勝 茂代 理 人 補正の対象 図面の第３図乃至第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｔ ブレードを加工方向に往復運動させると共に試料を
上記ブレードの往復運動方向に回動させ、試料とブレー
ドとを相対的に送り込み、切刃の部分に砥粒を固着した
ブレードを用いて試料を研削または研磨加工することを
特徴とするブレードを用いた研削または研磨加工方法。 ２、 試料を研削または研磨加工するように設けられた
ブレードと、該ブレード記上記加工方向に往復運動させ
るブレード往復運動手段と、上記試料を上記ブレードの
往復運動方向に回動させる試料回動手段と、上記試料と
ブレードとを相対的に送り込む送り込み手段とを設け、
上記ブレードにより試料を研削または研磨加工すること
を特徴とするブレードを用いた研削または研磨加工装置
。 ４ 上記ブレード往復運動手段は、上記ブレードを円弧
状に往復運動させるように構成したことを特徴とする特
許請求の範囲第２項記載のブレードを用いた研削または
研磨加工装置。 ４、 上記ブレードは砥粒な固着したブレードであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第２項または第１項記載
のブレードを用いた研削または研磨加工装置。 ４ 上記ブレードを複数所定の間隔で並設し、試料の検
数個所に研削または研磨加工を施すように構成したこと
を特徴とする特許請求の範囲第２項、または第３項、ま
たは第４項記載のブレードを用いた研削または研磨加工
装置。 直 上記ブレードを試料と接する刃端の張力より反対の
背端の張力を小さくして設置することを特徴とする特許
請求の範囲第２項、または第３項、まだは第４項、また
は第５項記載のブレードを用いた研削または研磨加工装
置。 ２ 試料を研削、または研磨加工するように設けられた
ブレードと、該ブレードを上記加工方向に往復運動させ
るブレード往復運動手段と、上記試料を上記ブレードの
往復運動方向に回動させる試料回動手段と、上記試料と
ブレードとを相対的に送り込む送り込み手段と。 上記試料に、上記送り込み手段の送り込み方向または上
記ブレード往復運動手段のブレード往復運動方向に振動
を印加させる振動印加手段とを設け、上記ブレードによ
り試料を研削加工または研磨加工することを特徴とする
ブレードを用いた研削または研磨加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063481A JPS5834752A (ja) | 1981-04-06 | 1981-04-06 | ブレ−ドを用いた研削または研磨加工方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5063481A JPS5834752A (ja) | 1981-04-06 | 1981-04-06 | ブレ−ドを用いた研削または研磨加工方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5834752A true JPS5834752A (ja) | 1983-03-01 |
Family
ID=12864387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5063481A Pending JPS5834752A (ja) | 1981-04-06 | 1981-04-06 | ブレ−ドを用いた研削または研磨加工方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5834752A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61168465A (ja) * | 1985-01-18 | 1986-07-30 | Tohoku Metal Ind Ltd | 揺動式切断装置 |
| CN107901245A (zh) * | 2017-10-13 | 2018-04-13 | 佛山金粤科技有限公司 | 一种可切割打磨的瓷砖切割机 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49112287A (ja) * | 1973-02-28 | 1974-10-25 | ||
| JPS5554125A (en) * | 1978-10-15 | 1980-04-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Cutting machine |
-
1981
- 1981-04-06 JP JP5063481A patent/JPS5834752A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS49112287A (ja) * | 1973-02-28 | 1974-10-25 | ||
| JPS5554125A (en) * | 1978-10-15 | 1980-04-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Cutting machine |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61168465A (ja) * | 1985-01-18 | 1986-07-30 | Tohoku Metal Ind Ltd | 揺動式切断装置 |
| CN107901245A (zh) * | 2017-10-13 | 2018-04-13 | 佛山金粤科技有限公司 | 一种可切割打磨的瓷砖切割机 |
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