JPS5832157A - 材料検査方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、うず電流の原理を利用して材料、の検査を
行なう方法および装置忙おいて、これＫよシ、被検体に
対して移動するコイルから択一的に異なる周波数を有す
る交流磁界を発生させ、この磁界によって被検体中にう
ず電流を誘起し、更に、とのうず電流によってこのコイ
ル、即ち、トレーサコイル中に二次磁界を発生させ。

このコイル、即ちトレーサコイ、１ル、、の出力信号比
率を実数部分および虚数部分に分割した検査方法および
装置に関するものである。

この種方法はドイツ国特許公開公報第 ２７３９８７３号に開示されている。この方法によ、っ
て、被検体の特性に関する数量的データを得ることが可
能となる。二次磁界によってコイル中忙誘導された電圧
の位相角および振幅は磁気結合および各々の被検体の特
性に依存するものである。従って、この方法によって、
被検体の寸法、間隔の変化、導電率、構造の状態、合金
の種類ならびに被検体中の欠陥（クラック）を検出でき
る。この既知の方法にお込ては、異なる周波数をコイル
に連続的に供給する。出力の実数部分および虚数部分を
周波数に対して連続的に決定している。コイルの出力信
号量を増幅の後、第１のマルチプライヤに供給して実数
部分に分割すると共に、第２のマルチプライヤに供給し
て虚数部分ｋ、分割する。この第１のマルチプライヤに
おいて出力信号量を検査信号の正弦波で掛は算している
・９０’位相変位した余弦波信号を第２のマルチプライ
ヤに供給する。これらマルチプライヤの各々を補償シス
テムを接続Ｌｌｔ−−／譬スラスフィルタ続し、これに
ょうて、選択した検査／４’ラメータを維持しながら不
所望な検査・母うメータを除去している。

また、検査コイルおよび出力信号量を出力する送信器を
インピーダンスプリツゾに組込んだ、うず電流検査用の
装置は、例えばドイツ国特許公開公報ｇ３０２２０７８
号に開示されている。この装置では検査用の周波数をコ
イルに同時に供給している。出力信号量の周波数成分を
可能なＷ＆シ広く分離する九めに、バンドフィルタを設
け、これら各々のフィルタを加算増幅器に対して直列接
続する。この加算増幅器には出力信号量およびバランス
信号を供給して、これによって出力信号量中の特定の周
波数を除去している。

このバンドフィルタを振幅検出器に接続し、これに混合
器を接続して不所望な信号パラメータを除去している。

この発明の目的は、高い信号レベルの妨害信号が存在す
るにも拘らず、欠陥の検出に重要である低いレベルの信
号の場合、高増輻率の入力増幅器における過度変調を回
避で自ると共に♂リューム範囲を出来る限）広く利用で
きるうず電流による材料の検査方法および装置を提供す
ることにある。

この発明によれば、それぞれの周波数に関して現われる
出力信号量に依存して、補償蓋を発生し、その後、この
補償量を出力信号量に重畳すると共に、増幅器に供給し
て増幅器の、ｙリューム範囲を出来る限少有効に利用す
るための動作点を設定することを特徴とする。

従って、この結果、コイルの出力信号量に大きなレベル
差が存在していても正確に測定できる効果がある。例え
ば、レイソングオフ効果（ｒａｉｓｉｍｇ−ｏｆｆ　＠
ｆｆｅｃｔ　）、又はフェリティツルインクルージ冒ン
（ｆ＠ｒｒｉｔｉｅ　Ｉｎｃｌｕｓｉｏｎｓ　）のよう
な妨害効果は、被検体のクラックによる信号レベルよル
相轟大きな信号レベルを発生する。

しかし、保安上の理由によ）、例えかなシ小さな寸法の
クラック（欠陥）でも検出する必要がよくある。高い信
号レベルの妨害信号に重畳された低い信号レベルの有効
信号を検出するために増幅度を増大させると、出力信号
量を司る増幅器は頻繁に過変調となってしまう、従って
この場合、クラックによって生じる低レベルの信号を最
早、発生させることが不可能となる。しかし、この欠点
は、上述した本発明の方法、即ち、妨害信号による影響
をダイナミックに補償する方法によって解決できる。

この発明の一実施例によれば、出力信号量の実数部分お
よび虚数部分に依存して、各々の周波数に対して更に２
つの補償量を発生し、これらの補償量を出力信号量と一
緒に増幅器へ供給される補償量と組み合せ、この増幅器
の増幅度を上述の２つの補償量に依存して変化させるこ
とを特徴とするものである。この方法の利点は、測定に
おけるダイナミック範囲が広がる点である。

また、この発明の他の実施例によれば、コイルを被検体
のスイット上に配置して材料による妨害から回避し１次
に、被検体の出力信号量を測定すると共に、実数部分お
よび虚数部分を検査コイルの平衡用の基準値として配憶
することを特徴とするものである。これＫよって、基準
コイルに対して代表的な特性値を決定でき、この値はそ
の後の測定プロセスに有効なものである。上述した測定
操作中、とのうず電流検査装置は、更に基準値を発生す
るための追加のコイルを必要とせずに純粋な、即ちキー
コイル操作で作動するようになる。

うず電流原理に基いて材料を検出するための装置におい
て、コイルを被検体に対して移動させ、このコイルを異
った周波数で附勢すると共に、このコイル、即ち隙間コ
イルと直列接続した増幅器を接続し、この増幅器にコイ
ルの出力信号量の実数部分および虚数部分を発生する回
路を接続し、更にこの発生回路を、前述のこの発明によ
る方法を実施する接続回路に接続して、コイル即ち、隙
間コイルと増幅器との間に２つの入力端子を有する補償
増幅器を設け、可変増幅度を有する前記増幅器に走査訃
よび保持接続回路を接続し、これら走査保持接続回路を
の変換器を経てデータバス忙接続し、このパス忙中点補
正用の記憶ユニット、加算／減算ユニットおよびレジス
タの入力端子を接続し、このレジスタのもう１つの入力
端子に制御ユニットを接続すると共１ｃ、このレジスタ
は前記増幅器の制御入力端子に接続した出力端子および
ベクトル発生器に接続した出力端子を有し、このベクト
ル発生器の出力端子を前記補償増幅器の第２入力端子に
接続したことを特徴とする。

この発明の実施例においては、演算ユニットに、出力信
号量の実数または虚数部分に調整された基本の補償値を
記憶するレジスタと、各々の測定装置の実数または虚数
部分を記憶するレジスタとを設け、実数部分に調整され
たレジスタおよび虚数部分に調整されたレジスタとを加
算／減算接続回路に接続し、この接続回路に演算結果を
記憶するレジスタを直列接続させると共に、これらレジ
スタの出力端子をベクトル発生器の入力端子に接続する
ことを特徴とする。

この回路構成によって補償値の迅速な形成が可能となる
。また、この基に的な補償値には、装置による誤差を補
償するのに必要な係数も含まれている。

以下図面を参照し乍らこの発明を詳述する。

先ず、純粋な隙間ゾンデコイルから成るコイルシステム
１をコイル駆動回路２に接続する。

これによって時間に関して異る周波数を連続的に発生す
る。この測定用コイルシステム１（これ以上詳述しない
）の出力端子を差動増幅器３に接続する。との差動増幅
器３の出力を２つの入力端子を有する補償接続回路４の
一方の入力端子に供給する。この補償接続回路４を、１
つの非反転入力端子および１つの反転入力端子を有する
差動増幅器で構成することが望ましい。

この差動増幅器４にもう１つの増幅器５を接続し、これ
によって主たる増幅を行なうようにする。ｉたこの増幅
器５には、所望に応じて反作用分岐部６を接続する。こ
の増幅器５の出力端子を２個の走査および保持接続回路
７の入力端子に接続する。これら接続回路７の各々をラ
イン９を経てＡ／Ｄ変換器８に直列接続する。これらの
変換器８の各々の出力端子をデータバス１０に接続する
。これらデータバス１ｏをレジスタ１１および演算ユニ
ット１２の入力端子に接続する・また、これらデータバ
ス１ｏを、平方および開方を行なうレジスタ、加算／減
算ユニットおよびスイッチング回路を有する演算ユニッ
ト１３の並列入力端子に接続する。

演算ユニットＪ３の並列出力端子の２つの列をベクトル
発生器１４の入力端子に接続する。

コノヘクトル発生器１４は最初、演算ユニット１３ｔｌ
Ｃよって得られたディジタル補償値をアナログ値に変換
し、次にこれら２チヤネル中のアナログ値をマルチプラ
イヤ１５．１６ｔｌＣ送給する。この第１のマルチプラ
イヤ１５に訃いては、一方のアナログ補償値をコイルの
駆動信号の正弦波に相当する信号で掛算を行な、う、第
２の！ルナグライヤ１６においては、他方の補償値をコ
イルの駆動信号の余弦に相当する信号で掛算を行なう、
これらマルチプライヤ１５．１６の出力信号を互いに重
畳して、その後、差動増幅器４の第２の入力端子にアナ
ログ補償値として送給する。演算ユニット１３の他方の
入力端子１１を制御システム１８に接続すると共に、演
算ユニット１２の出力端子を同様に接続する。

この演算ユニット１２は加算／減算接続回路である。

増幅器５は増幅率を変化し得る制御入力端子１９を有す
る。この入力端子１９を演算ユニット１３の出力端子２
０に接続し、これと直列に演算ユニット１３０回路を接
続して、入力データの平方の和から平方根を得ることが
できる。

この制御システム１８には、データおよびプログラム記
憶機構を有するマイクロコンピュータ（図示、せず）が
設けられている。この制御ユニット１８の制御の下で、
走査および保持接続回路１、の変換器８、レジスタ１１
および演算ユニット１ｘ、ｘｓを作動させている。しか
し、これらに関する制御ラインは第１図には表示されて
いない。

演算ユニット１２くはレジスタ２６．２’／が設けられ
てお＃）、これらレジスタによって、各時間に測定し九
それぞれの値の内、実数部（ｒ＠ａｌ　ｐｏｒｔｉｏｎ
　）および虚数部（１ｍｍｇ１ｎａｒｙｐｏｒｔｉｏｎ
　）を記憶する。これらレジスタ２６゜２７には、の変
換器８によって後方接続したデータパスライン管経てデ
ータが送給される。

第１図において、これらレジスタ２６．１１のそれぞれ
の機能が、記号ＡＸおよびムＹＫよって表示されている
。これら記号ＸおよびＹは、ムによって表示された測定
量（値）の実数および虚数部を認識させるためのもので
ある・また、この演算ユニット１３の更に２つのレジス
タ２８．２９は、基本的表補償値の受信器として作用す
る。これらレジスタ２１１．２９を同様にデータバス１
０の各々に接続する。この基本的な補償値は各々の測定
に属する一定表値に影響を与えると共に、それぞれの機
器に基因する補償測定誤差系数を含んでいる・一定な補
償量の記憶を第１図にシいて記号Ｋによってレジスタｚ
ｓ、ｚｓｌｔｃ表示するまた、他方、実数または虚数部
の関係をＸまたはＹで表示する。

実数または虚数部に関係したこれらレジスタ対２６．２
８または２１．２９を加算／減算接続回路ｉｏ、ｓｉに
接続する。これら接続回路３０、Ｊｌｌでは、入力値が
記号通）に加算される。レジスタ３２．３３をこれら加
算および減算接続回路３２．３３０後に接続し、ここで
は、加算の結果値が配憶される。これらの機能を明確に
するために、これらレジスタｓｘ、ｓｓを記号ＡＫＸお
よびＡＫＹで表示する。これらレジスタ３２．１３の出
力信号をベクトル発生器１４の入力端子に送給する。入
力データの平方の和の平方根を計算するための演算回路
１３の回路（図示せず）をこれらレジスタ３２．３３に
接続する。

入力端子１７をレジスタ３２．３３に接続する。従って
、レジスタｘｚ、ｓｓは接続回路３０、！１１または制
御ユニット１８から交互にデータを受信できるようにな
る。

次に動作を説明する。アナログ形態のコイルシステム１
の出力系数を、差動増幅器３および４ならびに主増幅器
５を経て走査および保持接続回路７に接続する。この主
増幅器５の出力信号を、セット時間毎に正弦波成分およ
び余弦波成分を測定することによって実数部分（ｒ＠１
ｌｐｏｒｔｉｏｎ　）および虚数部分（ｉｍａｇｉｎａ
ｒｙ　ｐｏｒｔｉｏｎ）に分解する。これら実数部分訃
よび虚数部分の各々を走査および保持接続回路８の一方
に送給する。ここでディジタル値に変換した後に、実数
部分および虚数部分が各々のデータバス１０に現れる。

レジスタ１１には平衡系数が含まれておシ、この糸数を
、制御ユニット１８によって更に処理する前に、実際の
測定値から減算する。その理由は、所定の瞬時において
、興味のあるそれぞれの／量うメータを興味のないパラ
メータから選び出す必要があるからである。

差動増幅器３および直列接続増幅器の入力信号が広いレ
ベル範囲に亘って発振しない限りは、被検体の正確な測
定が、いかなる補償係数を導入しなくても上述した方法
手段で可能となる。

このコイルシステム１１の出力信号中に大きな割合で妨
害信号が含まれることがよくあり、他方、被検体の特性
を測定し九時の信号成分のレベルは僅かである。このこ
とは第２ａ図よシ理解できる。高レベルの妨害信号２１
に低レベルの有効信号２２が重畳する。第２＆図で表わ
したような妨害信号は、被検体等圧おける例えば、レイ
ゾングオ−７′９ｊＪ果（ｒａｉｓｌｍｇ−ｏｆｆ　ｏ
ｆｆｏｃｔ）又はフェリティックインクルージヨン（ｆ
ｅｒｒｌｔｌｅｉｎｃｌｕｍｌｏｎｓ　）の原因によっ
て生じる。これらの妨害信号は被検体中におけるクラッ
クによって生じた有効信号２２よシ更に目立った信号で
ある０例えば、検査用の周波数の内の一周波数において
、第２ａ図で示したよう表信号の現象が現われ、特別な
周波数ｆ−）、即ち１周期を調整させる１期間ＩＪｔで
の過渡現象を抑圧した後の周波数ｆ−）の開始時におい
て、演算ユニツ　　・トによって妨害信号２１のレベル
を見つけ出す。

この妨害信号の実数部分および虚数部分を演算システム
１３のレジスタ２６．２１に記憶し、その後で正しい表
示のための記憶した定数を加算する。特定の測定方法に
関して代表的なこれらの定数を演算ユニット１３のレジ
スタ２８゜２ｇへ供給する。実数部分および虚数部分の
このような処理の結果をレジスタ３２．３２に送結する
と共に、ディジタルデータがベクトル発生器１４の入力
端子に到来する。このベクトル発生器１４の出力端子に
、第２ｂ図の番号２３で示すように補償係数が発生する
。この補償値２３０時間的処理は妨害係数２１の値にほ
ぼ等しいものとなる。差動増幅器４において、補償係数
２３および妨害係数２１をヘテロダイン混合するととＫ
よって、第２Ｃ図に示すような選別した信号２４が増幅
器５の入力端子に送給される。この選別した信号２４に
再び有効信号２２を重畳する−　＠　２　ｃ図で示すよ
うに、増幅器５０入力信号における有効信号と妨害信号
との割合は、第２ａ図の信号曲線で表わされた信号の割
合に比べて相当程度望ましいものである。

また、出力信号の係数と補償係数との間でヘテロダイン
混合することによって、増幅器５の好適な動作点を得る
ことができる。また、その他。

増幅器５が過変調となる危・陰性を回避できる。

しかし過変調となってしまうと、クラック信号（有効信
号）は最早、形成されなくなる。

このようＫして、ディジタル補償値を妨害信号の実数お
よび虚数部分よシ得る。これら補償係数に比例した補償
値を二乗すると共に加算する。この二乗の加算値の根を
開くことによって、増幅ｒｊ！５０制御入力端子１９用
の制御係数が得られる。ディジタル補償値に依存して、
増幅器の増幅度を大きく設定するので、測定コイル１の
出力端子で測定した時の信号レベル自身を表示する信号
レベルに対するがリューム範囲を最適に広く利用できる
・従って、増幅器５の出力端子には、第２ｄ図で表わし
た様な高レベルの有効信号２５を含んだ信号が発生され
る。この有効信号２５は被検体中における欠陥（クラッ
ク）に相当するものである。走査および保持接続回路７
およびの変換器８を経て、被検体中に欠陥があった場合
に高い欠陥信号値が決定される。従って、このめ変換器
によって得られた二進語における実数部分および虚数部
分のディジタル値に対して更に機能が利用できるように
なる。コイル駆動回路２によって４つの連続期間中、４
Ｎ類の異った周波数を発生するものとする。これらの周
波数を周波数ｆ−）として第３図の座標のＸ軸に沿って
表示する。この周波数ｆ−）の振幅を座標軸中に図示す
る。これら周波数ｆ−）にＦｌａＦＢ、Ｆ２およびＦ４
を付与する。

各周波数ｆ−）の開始時において、演算ユニットＪＪｔ
ｌｉｊイルシステム１の出力係数の検査値を受信する。

この検査値の時間配分は各々の周波数ｆ−）のスイッチ
オン時間に向ってシフトすることができる。Ｎ３図にお
らて、異麦る周波ｅ？’−）に対して、演算システム中
での検査値を引き受ける時間を５Ｆ１１　＊　８Ｆ２１
　ｓ　５ｒｓ１および８２４１と表示する。この検査値
を引き受けた後で、この演算システムＩＳによって各々
の周波数に応用できる補償係数を決定すると共に、これ
によって増幅器５の増幅度を調整する。実際上、過渡現
象による問題は最短の周波数ｆ−）のみで起る。これは
、例えば４０μｓ＠ｅである。

＼、 しかし、演算およびデータ伝送に対して約５μｓ＠ｅを
要する演算システム１３を使用することが可能である。

従って、補償係数による測定に対して、約３０μ−・Ｃ
の係数が最短周波数ｆ−１において残存するようになる
。しかし、うず電流の流れは評価部の処理行為によシ影
響を受けないのでこの期間は十分なものとなる。

これら周波数ｒ−トＦ１　＋　Ｆｌ　　＋　ＦＢおよび
Ｆ４はほんの短かい持続期間である。従って。

時間５１１ｅ　５Ｆ１２　＠　５Ｆ２１等における測定
値は局部的且つ実際上不変である。第２図に示したよう
に出力値の経過を数グルニゲの周波数ｆ　　）　Ｆ　１
　＃Ｆ露　−Ｆａ　ａ　Ｆ４によつ文記憶する−　１’
！　２　ａ図の時間ｔ１が走査時間５Ｆ１１に一致する
表らば、この走査時間８Ｆ１１は例えば時間ｔ３で生じ
る。この時間は、第２Ｆ！！ＪＫ示した曲線の持続期間
に関係して、時間ｔｉ以降短かい時間間隔で追従するも
のである。

測定によって記憶される欠陥の量が一旦固定されると、
周波数ダートＦ　１　　＠　Ｆ　！　　−Ｆ３　ｍ　Ｆ
４の持続期間および周波数ｆ−）のグループの順序を、
コイル１を被検体に沿って移動させる相対速度に対して
調整する必要がある。これによって、周波数ｆ−）の数
グループを記憶すべき最小欠陥に相当する経過に適合す
る。高い周波数の周波数ダートのために、例えば４個の
周波数ｆｆ−）のグループでは僅か１μ■ｅのみを必要
とするので、その結果、走査処理中に生じるコイルと被
検体間の相対の動きは無視し得るものである。従って、
このことによって生じ比測定上の誤差による影響を無視
することができる。

上述の走査時間・　５Ｆ１１・５１２１・５ｒｓｔおよ
び８２４１中に決定した値を用いて補償係数を形成する
。従って、の変換器８の出力省号を演算システム１８に
送給する。また、これら走査時間に得た測定値を演算シ
ステム１２を経て制御システム１８に送給する。この制
御システム１８におｉて、ヒれら測定値を処理、又は評
価して欠陥の記憶を行なう。

妨害信号２１が約３ｖの最大値を有する場合には、走査
期間５Ｆ１１　ｍ　５Ｆ１２　ｅ　５ｒｔｓおよび５Ｆ
１４中、±２００ｍＶの許容値で測定されると共に、演
算システム中で処理され、このシステムによって補償係
数および増幅度をセットする値が得られる。

この増幅度を増幅器５にセットすると共に制御システム
１８に伝送する・各周波数ｆ−ト期間中（Ｆｌ　ｍ　Ｆ
３　ｍ　Ｆｓ　ｍ　Ｆ４　）、各走査時の後の時間５ｒ
１２１５Ｆ２２　ｅ　５Ｆ３２および８Ｆ４２において
、この制御システムは測定した信号量を引き受けると共
に、整合用補償値をデータ語の上位の場所の範囲内に加
算する。

演算ユニット１３およびベクトル発生器１４によって基
準コイルを再生できる。この結果、このような基準コイ
ル用の代表的な特性を演算システム１１中に記憶すると
共に、測定処理中にベクトル発生器１４の入力端子に供
給する。

この方法によれば、この発明に係るうず電流による検査
装置を基準用の追加のコイルを必要とせずＫＮ枠なコイ
ルまたは走査用コイルと一緒に操作できる。従って、基
準コイルに要求される機械的且つ技術的性能のための高
い製造費を全く不要とする利点がある。結局、演算シス
テムＩＪおよびベクトル発生器１４による模擬基準コイ
ルによって、機械的および熱的高度な性能を有する基準
コイルによって得られ九のと同様の精度の測定値が得ら
れる。

特性値の決定はコイル１の出力信号の測定を材料の妨害
から回避した被検体の表面上の点に亘って行なうことに
よシ実行される。実数部分および虚数部分に分割された
この測定による出力信号量を制御システム１８に供給す
る。この特性値はこの走査コイル方畔において更に補償
値として作用する。

また制御システム１８中において、！ｌＩＩにマイクロ
コンピュータの記憶中においては、被検体の測定におい
て得喪値を記憶することができ、この値は広いダイナミ
ック範囲のために極めて正確なものである。これらの値
は、被検体の次の測定にｊ！に利用することができる。

従って。

後に測定したデータの比較検査を最初に被検体によって
得た値を用いることによって実現できる。ここでは、制
御システム１８は基準値として記憶した値を接続回路Ｊ
７に供給して込る。

このようにして極めて正確力比較が可能となる。

また、被検体の異なる場合での測定によって得た出力信
号量を制御システム１８、即ち、マイクロコンピュータ
の記憶をユニツ）Ｋ保持することもできる。繰返し検査
において、この制御システムＩＩＪＫよって場合に合っ
たそれぞれの値を基準値として演算システム１３の入力
信号端子１７に供給する。従って、異なった検査物体に
おける差を高精度で検出することができる・ 被検体はその表面の規則的な変動を生じることがよくあ
る。これらは例えば工具のチャタ−マーりとすることが
できる。チャタ−マークのような単管の前面を貫通した
管端部によって、実際には欠陥が関与していないにも拘
らず、欠陥の表示を行ってしまり。このような変動によ
って生じる不所望な欠陥の記録を以下の方法によって除
去できる。即ち、制御システムＪＪＫよって各々の補償
値を接続部１１を経て演算システムＪＪＩＣ送給する方
法である。これによってこの制御システム１８はタイム
ラグ素子として作用し、場所および時間に同期して補償
値を計算システム１３に供給す“るようになる。このシ
ステム１３によってベクトル発生器１４を経て補償信号
を発生する。これＫよって得られた信号の妨害信号部分
が除去できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の検査装置の一実施例を表わすブロッ
ク線図、第２図は第１図装置の信号波形図、第３図は第
１図装置の周波数ダートおよび走査時間を表わす線図で
ある。 １・・・コイルシステム、２・・・コイル駆動回路、３
．５・・・増幅器、４・・・補償接続回路、７・・・走
査および保持接続回路、８・・・の変換器、１ｏ・・・
データバス、１２．１３・・・演算ユニット、１４・・
・ベクトル発生器、ｉｓ、ｉｔ；・・・マルチプライヤ
、１８・・・制御ユニット、１９・・・制御入力端子、
２６．２７．２Ｂ、２９．３２．３３・・・レソスタ、
３０．３１・・・加算／減算回路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　うず電流の原理に基いて材料を検査するに壱シ、
   被検体に対して移動したコイルによって、任意の異なっ
   た周波数を有すると共にこの被検体中にうず電流を銹導
   する交流磁界を発生させ、とのうず電流によって前記コ
   イル、即ちトレーサコイル中に二次磁界を発生させ、こ
   のコイル、即ちトレーサコイルからの出力信号量を実数
   部分および虚数部分に分割するようにした検査方法にお
   いて、各々の周波数において現れる出力信号値に依存し
   て補償係数を発生させ。 次にこの補償係数を前記出力信号値に重畳すると共に増
   幅器（５）に供給して、この増ＩＩ器（５）の〆すニー
   ム範囲を最適に利用可能とするこれの作動点を設定する
   ようＫしたことを特徴とする材料検査方法。 ２、前記出力信号量の実数部分および虚数部分に依存し
   て、各周波数において更に２つの補償値を発生させ、こ
   れら２つ、の補償値を、前配出力信号値と一緒に前記増
   幅器（ｓ　）４Ｃ供給する前記補償係数に結合させ、前
   記増幅器（５）の増幅度を前記２つの補償値に依存して
   変化させるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の材料検査方法。 ３、前記コ′イルを前記被検体上の場所に配置して材料
   による妨害を回避し１次に前記被検体の出力信号量を測
   定すると共に、前記実数部分および虚数部分を検査コイ
   ルの模擬コイル用の＼ 基準値として配憶するよう忙したことを特徴とする特許
   請求の範囲第１項ないし第２項のいずれかに記載の材料
   検査方法。 ４、被検体に対して移動させると共に、異った周波数で
   励磁し、￥′に直列に増幅器を接続したコイル、即ちト
   レーサコイルを有し、この増幅器に前記コイルの出力信
   号量の実数部分および虚数部分を発生させる回路を接続
   すると共にこの発生回路に補償接続回路を接続して・う
   ず電流原理に基いて材料を検査する検査装置において、
   前記コイル、即ちトレーサコイルと前記増幅器（５）と
   の間に２つの入力端子を有する補償増幅器（４）を配置
   し、可変増幅度を有する前記増幅器（５）に走査／保持
   接続回路（７）を接続し、これら走査／保持接続回路（
   １）の各々をめ変換器（８）を経てデータル４ス（１０
   ）に接続し、このデータバス（１０）に零補正用の記憶
   ユニット１１、加算／減算ユニット（１２）および演算
   システム（１３）の入力端子を接続し、との演算システ
   ム（１３）のもう１つの入力端子を制御システム（１８
   ）に接続すると共にこのシステムは前記増幅器（５）の
   制御入力端子に接続された出力端子およびベクトル発生
   器（１４）に接続した出力端子を有し、このベクトル発
   生器（１４）の出力端子を前記補償増幅５（４）の第２
   入力端すに接続したことを特−黴とする材料検査装置。 ５、前記演算システム（１３）において、前記出力信号
   量の実数部分および虚数部分に調整された基本的補償値
   の記憶を行なうレジスタ　　　　。 （ｚｅ、ｚｖ）および、各々の測定した信号量の実数部
   分および虚数部分の記憶を行なうレジスタ（ｘｓ、ｘｙ
   ）を設け、前記実数部分および虚数部分に調整された前
   記レジスタ（２６゜２Ｊ：Ｆ７．’りを加算／減算接続
   回路（３０゜ＪＪ）に走査時毎に接続し、これら接続回
   路に結果を記憶するためのレジスタ（ｓｚ、ｓｓ）を接
   続ｔ、′更にこれらレジスタ（ｓｘ、ｓｓ）の出力端子
   を前記ベクトル発生器（１４）の入力端子に接続したこ
   ｉを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の材料検査装
   置。 ６゜前記加算／減算ユニツ）（ｆ！’）の出力端子を前
   記制御システム（１８）に接続したことを特徴とする特
   許請求の範囲第４項ないし第５項のいずれかに記載の材
   料検査装置。 ７、　前記制御どステム（１８）にデータおよびグロダ
   ラムの記憶を行なうマイクロコンピュータを設けたこと
   を特徴とする特許請求の範囲第４項記載の材料検査装置
   。 ８、演算結果を記憶するためのレジスタ（３２゜ＪＪ）
   を前記制御システム（１８）に追加的に接続すると共に
   、これらレジスタ（３！、３１）Ｋ前記加算／減算接続
   回路（ｓｏ、：ｔｘ）または制御システム（１８）から
   のデータを任意に供給したことを特徴とする特許請求の
   範囲第４項記載の材料検査装置。 ９、　前記レジスタの内容の平方の和の根を求める演算
   メカニズムを実数部分および虚数部分の記憶を行なうレ
   ジスタ（ｓｚ、ｓｓ）に接続すると共に、この演算メカ
   ニズムの出力端子を前記増幅器（５）の制御入力端子に
   接続したことを特徴とする特許請求の範囲第４項記載の
   材料検査装置。 １０、等し１周波数のコイル励磁信号を印加することに
   よって決められた各周波数Ｐ−）以内で、出力信号量の
   走査開始から最初の時間（５ＦＩＩ　・５Ｆ２１　、５
   Ｆ３１　、８２４１　）において前記補償値を固定する
   と共に、この補償値を、検査評価を行なう検査信号の周
   波数？　　）（Ｆｌ　　ｍＦ！＃ＦＢ　　ｍ　Ｆ４　）
   以内の後の時間（８ｒ１２　＠　５Ｆ２２　＃５ｙｓｚ
   、５ｙ４２）Ｋお秒る走査期間中に前記補償増幅器（４
   ）に供給し九ことを特徴とする特許請求の範囲第４項記
   載の材料検査装置。 １１］出力信号中の欠陥を分析するために、前記検体上
   に固定した距離と前記コイルとの間の相対的な移動期間
   と比較して、周波数ダート（Ｆ１ａ　Ｆ寓ｅ　Ｆ２　　
   ｅ　Ｆ４　）の接続期間を短かくしたことを特徴とする
   特許請求の範囲第１０項、記載の材料検査装置。 １２、前記制御システム（１Ｂ　）Ｋ接続し九前記演算
   システム（１りの入力端子に、純粋な即ちトレーサコイ
   ルの作動中に基準コイルの模擬コイル用のデータを入力
   したことを特徴とする特許請求の範囲ｊｇ４項記載の材
   料検査装置。 １３．１！ｔＪ記演算システム（１８）において、最初
   の測定によって得られた基準データを記憶すると共に、
   この基準データを後続の混合検査中に比較値として前記
   演算システム（ＩＳ）に供給したことを特徴とする特許
   請求の範囲第４項記載の材料検査装置。 １４．前記演算システム（１８）において、被検体の最
   初の測定によって得られた基準データを記憶すると共に
   、このデータを後続の繰返し検査中に場所に同期して補
   償データとして前記演算システム（Ｊ　ｓ　）ＩＣ供給
   したことを特徴とする特許請求の範囲第３項　矛＼ご　
   　ｉ　１２項のいずれ力島に記載の材料検査装置・