JPS5832015Y2 - 流体静水圧軸受 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 工作機械に流体静圧軸受を使用することは現在周知であ
るが、それにはある問題があり、とりわけ可動部分、特
に大きな質量が含まれている部分の正しい心合せを保証
することが問題である。

この−例はラム型横中ぐり盤のラムを収容する滑動部材
を支持するために流体静圧軸受を使用することにある。

この部材は比較的重いが、それらはラムとその駆動装置
を支持するために強直でなければならないからである。

従って滑動部材を流体静圧軸受上に正確に心合せするこ
とは困難である。

工作機械の第一および第二の相対運動可能な部分間に使
用される軸受装置であって、該第一部分上に置かれ該第
二部分上で反対方向に作動する２個の流体静圧軸受と、
第一部分に相対的に固定され、該部分の希望された運動
経路に相対的に固定された基準面へ向って流体出口を導
いている検出器と、該検出器と該２個の流体静圧軸受と
に圧力流体を同時に供給する手段と、検出器内の検出さ
れた背圧に応答し、そして通常その背圧に比例して該第
−流体静圧軸受に導かれた流体の圧力を調整するための
第一弁手段と、第一流体静圧軸受に導かれた圧力の変動
に応答して該第二流体静圧軸受に導かれた圧力を調整す
る第二弁手段とを含み、それによって第一および゛第二
軸受に導かれた圧力の和が一定に保たれるようにした流
体静圧軸受が提案されていた。

この配列は特公昭４１１８２４５号公報に述べられてい
る。

上述の配列において使用されるべく提案された如き従来
の流体静圧軸受はその軸受において機械の二つの部分の
間に間隙を生じ、軸受を通じて外へ顕著な流体の流れが
ある。

このことは相応した大きなポンプ操作を必要としかつ軸
受における温度上昇の原因でもある。

この温度上昇は機械の部品のかなりの歪を生せしめるの
に十分なものである。

このような従来の静圧軸受の欠点を除去すべく、いわゆ
るフローティングパッド流体静圧軸受が案出されたので
ある。

これは流体の流出を除去するかさもなくば大幅に減少さ
せるのである。

流体静圧軸受のフローティングパッド型においては、動
作流体は、相対運動をしている機械部分の一つに設けら
れた部屋に圧入され、この部屋内で他の相対運動をして
いる機械部分へ近づき、またはその機械部分から離れる
自由を有する軸受パッドを貫通して圧出される。

軸受パッドは外側（即ち、他の相対運動している機械部
分に面している側）に連続した周辺ランドを有し、この
ランドは他の機械部分が浮動する流体だめの面積を定め
る。

パッドを外方に押しやるように作用している部屋内の流
体圧力を受けている軸受パッドの面積は、前記流体だめ
の面積より広いので、部屋に圧力流体が導かれた時、流
体だめの流体によって軸受パッドを内方に押しやる力よ
りも大きな力が軸受パッドを外方に押しやるように働く
。

周辺シールまたはランドをその外側に有し、そして流体
圧力差による効果を持っているこの型式の流体静圧軸受
は、周辺ランドと他の軸受部材間の間隙が少ししかない
か、または、零の状態で作動するのに適しており、従っ
て軸受パッド側面から漏れる流体は非常に少ない。

本考案では幾分重要であるこの型式の軸受の特徴は軸受
パッドの裏面とそれが載置される部材間の間隙が、パッ
ドが移動できるように、比較的大きくできるということ
である。

この型式の軸受がここではフローティングパッド流体静
圧軸受と称される。

しかしながら、上述の以前に提案されたものにおいて別
のやり方の所望のフローティングパッド型軸受を利用す
ることは不可能なのである。

なぜならば、流体の汲み上げ開始において第二軸受にお
ける圧力は簡単に上昇し供給圧力に等しくなるからであ
る。

これは第二軸受において流出流がないためである。

次に、二つの軸受圧力の和が供給圧力に等しくすること
を確実にするように弁が配列されているので、第一軸受
に供給された圧力は零まで減少して機械の可動部材は一
側においてその運動の限界まで移動しこの軸受系は役に
立たないのである。

本考案の目的はフローティングパッド型流体静圧軸受を
特公昭４１−１８２４５号公報に開示された種類の配列
において使用しうるようにすることであり同時に可動部
材が常に一側においてその運動の限界まで移動する問題
を克服することである。

本考案によれば、以前に提案された類の軸受装置、二つ
の静圧軸受はこの軸受を通る流体の流出を実質的に除去
するフローティングパッド型軸受であり、かつ第二軸受
に対する流体供給源に連通して流体流出口を設け、しか
して第二弁装置を通って流体の定常流があるようにして
いることにより特徴づけられるのである。

二つの相対運動可能な部分間に間隙があることは避ける
ことができないので、フローティングパッド型流体静圧
軸受は軸受からの流体の逃出を最少にするのに非常に有
用であることが理解できよう。

しかし、もし流体静圧軸受がわれわれの相当する特公昭
５４−２１５０２号公報に記載されたように製作された
ならば、流体の逃出は更に少なくなる（またはなくなる
場合さえある）。

本考案の好ましい実施例によれば、検出器は、基準面に
接触された時検出器を損傷するのを防止するため、引っ
込むことができる部分を有している。

好ましくは検出器はハウジング内で基準面で向かう方向
またはそれから離れる方向に滑動可能なピストンを含み
、該ピストンは流体出口用の孔を穿設されているが、検
出器に供給された流体が該ピストンを基準面に押付ける
ように、該ピストンはハウジング内で装置されており、
この方向のピストンの動きを制限する手段が設けられて
いる。

流体が初めて軸受に導かれた時ピストンと第二の相対運
動可能な部分との間の間隙が最小になることを保証する
ため、該ピストンは第二の相対運動可能な部分にばねに
よって押圧されてもよい。

また、検出器から流出する流体の排出装置として働かせ
るため、該ピストンを囲んでピストンと同じ方向にばね
により押圧されたスリーブが設けられている。

検出器はその流体の流れた第二の相対運動可能な部分の
表面に向かわせるように装置されることができ、その表
面は第一の運動部分の希望する運動経路に平行である。

もう一つの実施例によれば、検出器はその流体流を相対
運動可能な部分に独立して設けられた基準部材（直定規
のようなもの）に向かわせるように装置されることがで
き、従ってそれらの部分が摩耗したり、撓んだりするこ
とはない。

検出器は基準面に対して接近離遠調節可能とされている
ことが好ましい。

もし同一の相対運動可能な部分上で同一方向に作動する
２個の間隔を置いて設けられた軸受が２個の調節可能な
検出器によって制御されるならば、検出器を調節するこ
とにより２個の軸受によって支持された部分を傾斜させ
ることが可能である。

このようにして高い費用をかけず、滑り面のきさげ仕上
げのような時間の掛ける処置をすることなく、運動可能
な部分の心合せを修正することが可能である。

好ましい実施例によれば、縦方向の運動ができるように
設けられた部分（例えば横巾ぐり盤のラム）は少なくと
も３個のフローティングパッド型流体静圧軸受により支
持されており（それらのうち２個に既に述べられた軸受
である）、各軸受は調節可能の検出器を備え、支持され
た部分が互いに直交する平面内でその縦軸に対して傾斜
できるように装置されている。

このような軸受と検出器が５組設けることができ、従っ
て支持された部分はその縦軸に対してすべての三つの平
面内で傾斜できる。

本考案の実施例として、ラム型中ぐり盤のラムを装架し
た滑り部材の装置を添付図面にもとづいて説明する。

後に詳細に説明されるように、本考案による装置は、ラ
ム型中ぐり盤のコラム上を垂直方向に滑動できる滑動部
材の全体を支持するのに備えているが、本考案の主な作
用を説明するためには第１図のみを参照すればよい。

１０は機械コラムの滑り面の一つであり、１２の滑動部
材の一部分である。

この装置では、滑り面１０は固定されており、部材１２
が矢印Ａ方向に動く。

部材１２は滑り面１０に対し相対的に滑り運動を行なう
ように支持されなければならず、このため流体静圧軸受
１４と１６は、部材１０に装架されているが、部材１２
と対向に面している表面１８および２０との間でそれぞ
れ可動となっている。

部材１２の重量配分は、部材１２が軸受１４上に支えら
れるようになり、軸受１６からは離れるようにされてい
る。

２個の軸受１４と１６は構造、作用において同一である
ので、単に１個について詳しく説明すればよい。

一般にこの軸受は、フローティングパッド型といわれ、
更に明確には、われわれの特公昭５４２１５０２号公報
の明細書に記載されているように組立てられることがで
きる。

根本的には、各軸受は長方形の金属製フローティングパ
ッド２２を含み、このパッド２２は部材１２に固定され
た金属製の止め具２４と２６によって縦に置かれている
。

止め具２４．２６は、部材１２と共に動くパッドの運動
方向に関してパッドの両端に取付けられているので、部
材１２とパッド２２間の相対縦方向運動（即ち、部材１
２の滑動方向に平行な運動）を防止する。

パッド２２の内側面（即ち、部材１２に面した面）には
十分に丸められた角を持つ長方形の溝２８が形成され、
ゴム製Ｏリング３０または他の弾性リングが溝２８には
め込まれている。

Ｏノング３０の寸法は、自由な状態でＯリングが部材１
２の表面に接触し、パッドの背面を部材１２の表面から
離しておくように定められている。

Ｏリングの内側面と部材１２間の全間隙は０．１０ｉｎ
程度である。

パッド２２の外側面はプラスチック材料（例えば゛ナイ
ロン）の層３２で覆われており、この層は大きな長方形
凹所３４とそれを間隙を置いて囲んでいる狭い溝３６を
有している。

この溝３６は、凹所３４を囲んでいる。

ランドを分割し、凹所３４からランドを越えて流出する
流体に対しラビリンス効果を与えている。

部材１２に形成された通路３８は、Ｏリング３０で限ら
れたパッド内側の領域への流体供給手段であり、口４０
はこの領域からパッドを貫通して凹所３４に連通してい
る。

Ｏリング３０で限られた領域は凹所３４の領域より広く
なっている点は、フローティングパッド型軸受の重要な
特徴であり、従って圧力を加えられた流体が通路３８を
経て供給された時、力の差がパッドに働いて、パッドを
外方に押しやる。

この力の差は小さいものに過ぎないが、それは、部材１
２と表面１８間にすきまが少し変化するにもかかわらず
、プラスチックフエーシング３２の滑り面１０の表面１
８への接触を維持するように働く。

事実、滑り面に接触するフェーシング３２は軸受を貫通
する流体の流れを減少させ、このことは特公昭５４−２
１５０２号公報の明細書に記載されたような利点をもた
らす。

前記軸受自身の記載から明らかな如く、部材１２は滑り
面に関して横方向に少量動くことができるが、なお軸受
１４，１６に支持されたままである。

しかし、いずれの方向においても最大横方向変位が生じ
た時には、明らかに一方のＯリングは他のものに比べ多
量に圧縮されるが、両軸受のＯリング３０は圧縮状態を
保つ。

機械は圧力流体の供給をうけ、その一部だけが第１図に
示されている。

普通の流体だめ（図示せず）と動力駆動ポンプ（図示せ
ず）が設置され、そして普通のフィルターを設けてもよ
い。

軸受１４，１６へ供給される流体はダイヤフラム制御の
りストリフタ弁４２をとおり、そこで３本の平行導管４
４．４６および４８を通る。

第１番目は検出装置５０へ、第２番目は通路３８を通っ
て軸受１４へ、そして最後は加算弁５２を経て軸受１６
へ通している。

更に導管５４は、加算弁５２と軸受１６間にある導管５
４の部分からりストリフタ装置５６を通って流体だめに
通じている。

加うるに、軸受１４と１６の各々は、フェーシング３２
のランドを越えて溝３６に漏れ込む流体が流れるように
した排出口５８を有する。

導管６０は各排出口５８から流体だめに通じている。

溝３６を越えた流体の外部漏れは溝外側のランドの部分
によって減少される。

流体圧回路の作用を述べる前に、軸受１４，１６への供
給回路に連結されている３個の制御体について幾分詳細
に述べる必要がある。

これらの３個の制御体はａ検出装置５０、ｂダイヤフラ
ム制御リストリクタ弁４２およびＣ加算弁５２である。

検出装置５０は第２，３および４図で更に詳細に示され
ている。

取付ブラケット６２は止ねじ６４で部材１２（または検
出装置が取付けられるあらゆる部材）に固定されている
。

ブラケットは精密に工作された細目ピッチねし山を形成
した孔６６を有し、円筒体６８は、ブラケット６２の孔
６６に嵌合する外側わじ山部７０を持っている。

円筒体６８をそれ自身の縦軸まわりに回転させることに
より、検出器が協動する基準面までのおよび基準面から
の円筒体の軸方向位置を調節することが可能となり、こ
の場合の基準面は滑り面１０の表面１８である。

円筒体６８の孔７２内には通常円筒状のノズル７４があ
るが、このノズル７４は、円筒体６８の拡大孔７８に滑
動可能となっている拡大外端部７６を持っている。

孔７８の外端は、止ねじ８２によって円筒体６８に固定
された外蓋８０によって閉じられており、そして、ノズ
ル７４の許容される運動は、一方では外蓋８０により、
他方では孔７８から孔７２への縮小によって円筒体６８
内に形成された肩により制限されていることが分かるで
あろう。

外蓋８０とノズル７４間で作動する圧縮ばね８４は、第
２図に示す如く、ノズル７４をその内方位置へ押付けて
いる。

弾性シーリングリング８６は外蓋８０と円筒体６８間を
シールし、同様のリング８８はノズルの拡大外端部７６
と円筒体６８間をシールしている。

従って、拡大外端部７６は流体圧シリンダ内を滑動する
ピストンとみなすことができる。

入口９０は外蓋８０を貫通し、ダイヤフラム制御リスト
リクタ弁４２からの導管４４がこの入口に連結される。

また、ノズル７４はそれを貫通して延びる孔９２を有す
る。

従って、圧力流体が導管を通って供給された時、流体は
検出器を通ってノズル７４から流出し、ノズルの内端と
基準面１８の間にすきまができる。

同時に、流体圧力はノズルの拡大外端７６に作用して、
それを内方に向かって基準面１８に押付ける。

その内端において、円筒体６８は拡大孔９４が設けられ
、ナイロン製の排出ブツシュ９６がこの孔に滑動可能に
嵌合し、シーリングリング９８はブツキュ９６と円筒体
６８との間の流体圧シールを行なっており、柔らかい圧
縮ばね１００は円筒体６８とブツシュ９６間に作用して
ブツシュを内方に押圧している。

狭い環状口１０２がノズル７４の外側とブツシュ９６間
に残され、排出口１０４はブツシュ９６の内側に連通し
ている。

この構造では、ブツシュ９６は常に基準面１８に接触し
、ノズル７４から流出する流体の大部分はブツシュによ
り受止められて、排出口１０４と戻り管１０６を経て流
体だめに返される。

検出器５０をセットするには、ノズルがその内方位置に
あり（即ち、頭７８が円筒体６８内の肩に接触しており
）、ノズルの内端は基準面１８から短距離Ｙ（第３図参
照）だけ離れて、部材１２と滑り面１０間に正確な作動
間げきができるような位置に、円筒体６８をその軸方向
に調整する。

今、機械が停止しているときは、この間げきは予め定め
られた距離Ｙより短くなることは明らかであり、なぜな
ら部材１２が面１８上に支えられるようになるからであ
る。

その結果、流体が検出器５０に供給された時、検出器５
０は導管４４とダイヤフラム制御リストリクタ弁４２内
に圧力上昇を生じさせる。

以下に記述される如く、これは次いで軸受１４に働く圧
力を増加させ、軸受１６に働く圧力を減少させることと
なり、このため部材１０はノズル７４と基準面１８間の
間げきを増加するように横方向に動く。

検出器５０は、ノズルを流出する流体の流れに対する抵
抗を検出することにより作用し、これから間げきＹを測
定する。

機械が停止するようになった時、部材１２は滑り面１０
の面１８上に定着し、軸受パッド２２はＯリング３０を
圧縮しながら部材１２へ押付けられる（第４図参照）。

これは勿論部材１２をノズル７４の内端の小さい面積上
に支持された状態にし、ノズルおよびおそらく滑り面１
０も同様に損傷するだろう。

しかしノズル７４は、第４図に示す如く、ばね８４を圧
縮することによって円筒体６８中に引っ込むことができ
る。

流体圧力が部材１２を滑り面１０から持ち上げ始めると
、ばね８４の作用を伴った円筒体６８内の圧力は、ノズ
ル７４が最初にそのセットされた位置まで内方に動くの
を確実にする。

いい換えると、検出器は頭７６が円筒体６８内の屑に接
触するまですきまＹが零であることを検出する。

検出器がその円筒体に引き込むようにしたこととすきま
Ｙを設定するために円筒体をねじで調節できるようにし
たことは本考案の重要な副次的特徴である。

詳細な記述を要する第二の事柄は、ダイヤフラム制御リ
ストリクタ弁４２で、これは第５図に詳細に示されてい
る。

リストリクタ弁４２の目的は、軸受１４および１６への
供給流体の圧力を下げることにあり（ポンプから供給さ
れる流体は常に軸受に要求されるものより常に高い圧力
であるから）、そしてまた、検出器５０で検出されたす
きまＹに応答して導管４４，４６および４８を通る供給
圧力を調整することにある。

ノストリクタ弁４２は円筒体１１０を持ち、その下端に
開口した孔１１２を形成している。

ブロック１１４が止ねじ１１６によって円筒体１１０の
下端に固定されているが、可撓材からなる可撓ダイヤフ
ラム１１８が円筒体１１０とブロック１１４の間のその
縁廻りに挾まれている。

ブロック１１４の側面に設けられた入口１２０は、凹所
１２６内のブロック１１４に形成された薄いボスを貫通
して上方に開口している口１２２に連通している。

ボス１２４の頂面ばブロック１１４の周囲頂面より少し
低く、従って、ボス１２４とダイヤフラム１１８間に小
さなすきま１２８が生じている。

ブロック１１４上の外ねじ山を持ったボス１３０は弁４
２が部材１２の部分に連結できるようにし、ボスとブロ
ック１１４を貫通した孔１３２は凹所１２６に連なって
いる。

導管４４は孔１３２に連結されている。

（Ｌ １１２の頂端には、ねじを持ったステム１３６に
より装架された調節可能のプラグ１３４があり、このス
テム１３６は、円筒体１１０の閉鎖上端に設けたねし孔
を貫通してそれに螺合している。

孔１１２の下端には、ボス１２４に対向してダイヤフラ
ム１１８に接触する突出部１４２を持っている滑動可能
のプラグ１４０があり、調節可能なプラグ１３４と滑動
可能のプラグ１４０間に張設されている。

圧縮ばね１４４は、後者をダイヤフラム１１８に押圧保
持する役目を持ち、このためダイヤフラムをボス１２４
上へ押下げて接触を保ち、そして孔１３２を閉じる。

ダイヤフラム上に働いている圧力はステム１３６を回転
することにより調節することができ、ステムは止ナツト
１４６によってどのような調節された位置へも固定可能
である。

流体圧系統が停止しているとき、ダイヤフラム１１８は
ボス１２４上に押下げられて接した状態が保たれるであ
ろう。

流体は入口１２０から流入すると直ちに、ばね１４４の
力に打ち勝ってダイヤフラムを持ち上げ、狭い空間１２
８を通って流れ、この空間１２８は出口圧力を減少する
制限器として作用し、出口孔１３２を通って導管４４．
４６および４８へ流入する。

検出器はこの特写隙間Ｙを記録しているであろうから、
出口１３２の背圧は急に増加し、そして凹所１２６中の
圧力上昇はダイヤフラムをボス１２４から更に離して持
ち上げることになろう。

このようにして弁４２は更に開いて、より多量の流体が
軸受１４および１６へ流れることができる。

更に記述される如く、これは部材１２をその希望する作
動位置へ動かせることになる。

隙間Ｙか゛できる時は、出口１３２内の圧力は下り、そ
して弁３２は閉の方向へ動き、このようにして軸受への
流体流量を減らす。

このようにして弁４２は導管４４．４６および４８内の
一定の設定流体圧力を維持するように作動し、そして、
滑り面１０に対する相対的な部材１２の正しい作動位置
に相当した正しい隙間Ｙとなった時にのみ、この設定圧
力が生じることを、検出器５０は保証している。

加算弁５２は詳述されるべき第３番目の項目であり、こ
の弁は第６図に示されている。

根本的にはこの弁は部分１５０，１５２および１５４か
らなっている。

２個の外側部分１５０および１５４はそれぞれの凹所１
５６と１５８を有し、そして上側凹所１５８には基準孔
１６０が、下側凹所１５６には排出口１６２が設けられ
ている。

入口１６４は中央部分１５２に開口しており、そして浅
いボス１６８を囲んでいる。

環状凹所１６６へ続いている。

２個のピストン１７０おむび１７２は、制限孔１７６を
貫通するステム１７４の対向端に設けられており、下部
拡大孔１７８が中央部分１５２に設けられている。

ピストン１７０は凹所１５８内で作動し、リング１８０
で流体圧に対しシールされている。

同様にしてピストン１７２は凹所１５６内で作動し、リ
ング１８２でシールされている。

加算弁の出口１８４は制限孔１７６の下側にある拡大孔
１７８に連通している。

この出口は導管（第１図参照）に連結され、一方、入口
１６４は装置の供給ポンプから導かれる第二供給導管に
連結されている。

最後に、軸受１４へ供給されたと同じ圧力を有する流体
を流している導管４８は基準孔１６０に連結されている
。

使用中、基準孔１６０に流入する流体は基準圧力Ｐ１を
与え、この基準圧力は軸受１４に供給された圧力に従っ
て変わり、そしてこれはピストン１７０に働いて両ピス
トンを下方に動かすようになる。

第二の供給流体は一定圧力Ｐ５のもとて入口１６４に流
入して凹所１６６に流れ込む。

従って、圧力Ｐ５はピストンを押上げようとし、そして
そうすることによって、孔１７６を通って拡大孔１７８
に至る通路を開き、拡大孔１７８においては流体は出口
１８４を通って流出自由となっている。

今、部屋１７８内の流体圧力はピストン１７２に作用し
、ピストン１７０に作用している基準圧力による力を補
うが、ピストン１７０の下側に作用して対抗する。

結局、釣り合いの位置が存在して出口圧力Ｐ２が生じる
。

しかし、基準圧力Ｐ１が増加すれば、ピストン１７０は
ボス１６８上に閉じるようになり、このため出口圧力Ｐ
２は減少する。

このようにしてＰ２＝ Ｐ、−Ｐ、の状態が生じる。

このことは軸受１４への圧力が増加すれば軸受１６への
圧力が減少することを意味する さて、第１図に示された本考案の装置の全体の作動を説
明することが可能である。

機械が停止している時、部材１２は軸受１４を押付け（
即ち、そのＯリング３０が圧縮されている）、軸受１６
はほんの僅か滑り面１０に接触している。

流体の供給が始まれば、検出器５０は零間隙を検出し、
供給導管４４゜４６および４８内に圧力が生じ始める。

これは軸受１４を外方に動かせ、同時に圧力Ｐ１の増加
によって圧力Ｐ２は下り、そして軸受１６は引っ込める
ようになる。

この過程は検出器５０が正しい間隙を感知するまで続き
、正しい間隙の点において導管４４．４６および４８内
の圧力は上昇を止め、そして導管５４内の圧力は下降を
止める。

従って部材１２は滑り面１０に関してこの正しい位置に
とどまり、それ以後流体静圧軸受は正常に作用する。

しかし、工作機械を運転するような何かの理由があれば
、部材１２は横方向へ動き、検出器５０はこの動きを感
知し、部材１２と滑り面１０間に適正な間隙を回復させ
るように自動的に圧力変化が生ずるだろう。

検出器５０は、第７，８および９図に示された如く、い
ろいろな方法で取付けられる。

まず第７図を参照すれば、検出器５０は部材１２に取付
けられて滑り面１０の表面１８と協働しているところが
示されている。

検出器が基準面に接触している針のような形をしておら
ず、それ自身とその基準面との間が間隙を検出すること
により作動するということは、本考案の重要な副次的特
徴である。

従って基準面として滑り面の軸受面を使用することが可
能であり、何故なら、その面は損傷されず、また不正確
さの原因となる検出器の摩耗もないからである。

しかし、第８図は軸受１４が滑り面の表面１８上で作動
する・他の配置例を示しているが、検出器５０は、表面
１８から離れて並行な出張す１９２上に形成された面１
９０と協働する。

表面１８は表面１９０と同程度の精密さに仕上げされる
必要がないので、これはより安価な例である。

更に、出張り１９２が滑り面１０と同様な機械的応力を
受けないようにすることができるだろう。

第９図に示された配置は、なお更に検出器と軸受を分離
したものであり、検出器５０は滑り面１０と独立して設
けられた直定規１９４と協働する。

本考案の重要な実際的利益は、希望の心合せを得るため
に工作機械の一部分をその滑り面に関して傾けることが
できるという点であり、そしてこれは第１０．１１およ
び１２図に示されている。

第１０図だけを見れば、二つの滑り面２０２と２０４と
を形成したコラム２００が観られるであろう。

滑動可能なスピンドルハウジング２０６はコラム２００
上を滑る。

これら滑り面の各々は、第１図に関連して説明されたも
のと同様なそれ自身の軸受装置（図示せず）を持ってお
り、各軸受装置はそれ自身の検出弁２０８と２１０をそ
れぞれ持っている。

今、もし検出弁２０８が滑り面２０２に対して調節され
るなら、ハウジング２０６は傾斜されるであろう。

この傾斜は第１０図に図示されているが、一点鎖線Ｌ−
Ｌで非常に誇張されている。

このようにしてハウジングに設けられているラム２１２
の縦軸は傾けることができる。

このラムハウジングを傾斜するための装置は、機械に高
価な変更（滑り面のきさげ仕上げのような）を加えるこ
となく、心狂いを修正するのに使用することができる。

第１０．１１および１２図に示されている配置は全く微
妙なものであり、ハウジング２０６はすべて前述された
種々の流体静圧軸受装置によって支持されており、検出
器２０８と２１０は垂直面Ｌ−Ｌ線内の縦軸の傾斜を許
し、検出器２１４と２１６は水平面Ｍ−Ｍ線内の縦軸の
傾斜を許し、検出器２０８と協働する検出器はラム自身
の縦軸Ｎ−Ｎ線に沿うハウジングの傾斜を許す。

本考案に係る軸受が使用されるような工作機械に依存し
ている異なった状況のもとでは、明らかに他の検出器の
配置が採用されるであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は滑り部材の装架部分の概略水平断面図、第２図
は検出装置の詳細断面図、第３図は第２図の検出器の正
常作動位置を示したもの、第４図は第３図と同様な図で
あるが、検出装置が引っ込んだ状態を示したもの、第５
図はダイヤフラム制御リストリクタ弁の断面図、第６図
は加算弁の断面図、第７図は滑り面上で検出する検出器
の配置を示した部分断面図、第８図は第７図と同様の図
であるが、滑り面から離れた機械面上で検出する検出器
を示したもの、第９図は第７図と同様な図であるが、完
全に分離した直定規上で検出する検出器を示したもの、
第１０図は中ぐり盤の概略平面図、第１１図は第１０図
に示された中ぐり盤の端面図、第１２図は第１０図に示
された中ぐり盤の側面図である。 ここで、図中１０は第二の相対運動可能な機械部分、１
２は第一の相対運動可能な機械部分、１４および１６は
それぞれ第一および第二流体静圧軸受、１８は基準面、
５０は検出器、４２は第一弁手段であるリストリクタ弁
、５２は第二弁手段である加算弁を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 第一と第二の相対運動可能な機械部分１２．１０間で作
   動する軸受装置であって、前記第一機械部分１２上に置
   かれたものと前記第二機械部分１０上に置かれて反対方
   向に作動するものとの２個の流体静圧軸受１４．１６と
   、前記第一機械部分１２に相対的に固定された検出器５
   ０とを具備し、前記検出器は前記機械部分の所望の運動
   経路に対して相対的に固定された基準面１８へ向かって
   流体出口を指向させ、前記検出器５０と前記２個の流体
   静圧軸受１４゜１６とに圧力流体を同時に供給する装置
   と、前記検出器５０内の検出された背圧に応答し、そし
   てその背圧にほぼ比例して前記の第一の流体静圧軸受１
   ４に付与される流体の圧力を調整するための第一弁装置
   ４２と、前記の第一の流体静圧軸受１４に導かれた圧力
   の変動に応答して前記の第二の流体静圧軸受１６に付与
   された圧ツ′を調整する第二弁装置５２とを含み、それ
   によって第一の軸受１４および第二の軸受１６に導かれ
   ／二圧力の和が一定に保たれるようにした流体静圧軸受
   において、前記の二つの流体静圧軸受１４．１６はこの
   軸受を通って流体が流出するのを実１的に除去するフロ
   ーティングパッド型軸受であり、前記の第二の軸受１６
   に対する流体供給源に連通して流体流出口５４を設けし
   かして前記第二弁装置５２を通る定常な流体の流れに対
   する備えが、ちることを特徴とする軸受装置。