JPS5829842B2 - 測定装置 - Google Patents

測定装置

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JPS5829842B2
JPS5829842B2 JP53031820A JP3182078A JPS5829842B2 JP S5829842 B2 JPS5829842 B2 JP S5829842B2 JP 53031820 A JP53031820 A JP 53031820A JP 3182078 A JP3182078 A JP 3182078A JP S5829842 B2 JPS5829842 B2 JP S5829842B2
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JP
Japan
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scanning element
measuring device
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mass
scanner
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JP53031820A
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English (en)
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JPS53140057A (en
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アルフオンス・エルンスト
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34746Linear encoders
    • G01D5/34753Carriages; Driving or coupling means

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、1本の尺度お」ブ該尺度上およびケース内面
上を導かれている走査子を有し、該走査子はばねの力に
よりこれらの案内面に押し付けられている如き、ケース
内に収容されているディジタル測定装置に関する。
上記の如き測定装置は特に、可動な機械部材の相対運動
を測定するために用いられる。
工作機械又は測定器の付いた機械を運転する際、しばし
ば振動と衝撃が発生し、この振動や衝撃は測定量に影響
を与える。
光学器械において振動や衝撃の作用を取り除くこと又は
少くとも減少させるということは、トイ゛ノ国特許公開
第1900475号公報に述べられている。
該公報によれば、観察者により保持されている双眼鏡の
視線を安定させるための装置が明らかにされている。
双眼鏡を水平軸のまわりの回転に対して静止させようと
するため、平衡荷重と特に非周期的な減衰を有する弾性
追従装置とを用いる。
平衡荷重と減衰部材とは、振動と衝撃の作用を減少させ
るための一般的な技術である。
本発明の場合には、向上した精度を有する測定を行う測
長装置に対し、公知となっている上記の如き解決法・は
、−要望されている測定結果を与えないという認識から
出発する。
品質のよい高価な測定装置では数ミクロンメー、)夕゛
−の精度が達成できる。
工作機械ではしばしば手荒い運転が行われるため、測定
装置は、外部からの機械的な影響を排除する特別な防護
装置を要しそして可動な部材を導くために特別な構成上
の費用が必要となる。
走査子は一般的に、滑車を介して中空の形材の中を導か
れそして強いばねにより押し付けられている。
このことにより走査子が、振動および衝撃によって浮上
るのが避けられる。
多くの測定装置では、走査子は、測定精度のため少くと
も1つの誘導面、即ち尺度に直接接触して導かれている
しかしこの様な場合、尺度には犬なる圧力を加えること
は許されない。
更に尺度と走査子との間の摩擦を充分小なる価に維持す
るため、尺度に犬なる力で押し付けることは許されない
このため走査子が、最大加速の時、尺度から浮上り、そ
の結果測定誤差を発生するという危険が生ずる。
振動や衝撃により走査子が浮上りそして再び尺度に衝き
当るため、機械的な損傷の危険も生ずる。
本発明の目的は、振動や衝撃の作用が尺度および走査子
に及ぼす影響を著るしく防止した測長装置を創成するこ
とである。
上記の目的は本発明により次の様にして解決される。
即ち走査子が平衡質量と作動結合し、該質量は、最大加
速の場合(衝撃)でも、走査子が尺度上の案内面と接触
を保っている如き重さと配置になっているのである。
即ち走査子にはばねの力を受けている抑圧レバーが枢着
され、この押圧レバーはそれの自由端に平衡質量を担持
し、その際レバーのレバー腕aおよびbの長さは、平衡
質量をm、走査子の質量をMとした時a−M=b−mの
関係が成り立っている。
測定装置に用いられる白熱電球が、衝撃、振動および最
大加速により、破壊的な衝撃又は破壊を受けない様にす
るため、白熱電球とコンデンサーを走査子上に弾性的に
配置する。
電球とコンデンサーの保持体が、余り小さくない質量を
有しそしてばねは、エラストマーにより犬なる内部減衰
を有する如く形成されているとき最も有利である。
本発明は1つの実施例を示す添附図により后述において
更に詳細に説明される。
一部分のみが示されている工作機械構成部材1に、ケー
スとしての中空の形材2がねじ3により固着されている
中空形材2の内部には尺度4が取り付けられている。
質量Mを有する走査子5が中空形材2の内部の案内面2
′および2“並びに尺度4上で支えられている。
強いばね6により、走査子5は、滑車5′を介して案内
面2′に強く押し付けられる。
連結体7は、走査子5を連行体l′に結合し、該連結体
は、図に示されていない態様で、図示されていない別の
機械構成部材に固着され、該構成部材は機械構成部材1
に対して測定すべき相対運動を実施するものである。
剣状に形成された連行体7′を取り囲んでいる気密の唇
8により、中空形材2の内側空間は外部に対して緊塞さ
れている。
第2図は第1図と同じ測定装置の縦方向の断面図である
走査子5は滑り面5“を介して尺度4に支えられている
走査子5が尺度4を押し付ける力は、(力9により与え
られ、該ばねは、走査子5に枢着された押圧レバー10
を、滑車11を介して案内面2“に押し付けている。
振動や衝撃の際、走査子が浮上りそして測定誤差を生ず
るのを避けるためには、走査子5はできるだけ犬なる力
で尺度4に押し付けられなければならない。
しかし尺度4は精密な測定標準であるから、強い圧力を
その表面に作用させることは許されない。
また尺度4と走査子5との間の摩擦も余り大きくなって
はならない。
押圧レバー10はそれの自由端に質量mの平衡質量12
を有し、その際押圧レバー10のレバー腕aおよびbは
、aXM:bXmの関係を満足する寸法のものとなって
いる。
加速度X2が走査子5に作用したとすれば、右回転モー
メンhX2XaXMが発生する。
同じ加速度が平衡質量12にも作用するから、それによ
り左回転モーメントX2XbXmが生じ、このモーメン
トは右回転モーメントX2XaXMと反対向きの作用を
する。
測定装置の感度を高めるため、電球14およびコンデン
サー15から成り立つ照明装置13が、走査子5に弾性
的に取り付けられる。
その際照明装置13の質量は余り小さな量とせずそして
弾性体16は、内部減衰の犬なるエラストマーを使用す
るのが有利である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による測長装置の横断面を示す略図、第
2図は本発明による測長装置の縦断面を示す略図である
。 図において、4・・・・・・尺度、4′・・・・・・案
内面、5・・・・・・走査子、10・・・・・・押圧レ
ノ<−、12・・・・・・平衡質量、13・・・・・・
照明装置、16・・・・・・弾性体である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 11本の尺度および該尺度上およびケース内面上を導か
    れている走査子を有し、該走査子はばねの力によりこれ
    らの案内面に押し付けられている如き、ケース内に収容
    されているディジタル測定・装置において、走査子5に
    はばねの力を受けている抑圧レバー10が枢着され、こ
    の押圧レバーはそれの自由端に平衡質量12を担持し、
    その際レバー10のレバー腕aおよびbの長さは、平衡
    質量12をml、走査子5の質量をMとした時、a−M
    :l)−<77の関係を満足する寸法になっていること
    を特徴とする測定装置。 2、特許請求の範囲第1項記載の装置において、ランプ
    14およびコンデンサー15から成る照明装置13は、
    走査子5に弾性的に保持され旦つ減衰される如くに配置
    されていることを特徴とする測定装置。 3−特許請求の範囲第2項記載の装置において、弾性体
    16として犬なる内部減衰を有するエラストマーが用い
    られていることを特徴とする測定装置0
JP53031820A 1977-03-22 1978-03-22 測定装置 Expired JPS5829842B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

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DE2712422A DE2712422C2 (de) 1977-03-22 1977-03-22 Längenmeßeinrichtung

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Publication Number Publication Date
JPS53140057A JPS53140057A (en) 1978-12-06
JPS5829842B2 true JPS5829842B2 (ja) 1983-06-25

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ID=6004272

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JP53031820A Expired JPS5829842B2 (ja) 1977-03-22 1978-03-22 測定装置

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US (1) US4169316A (ja)
JP (1) JPS5829842B2 (ja)
AT (1) AT377084B (ja)
CH (1) CH625337A5 (ja)
DE (1) DE2712422C2 (ja)
FR (1) FR2385077A1 (ja)
GB (1) GB1591481A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61112644U (ja) * 1984-12-27 1986-07-16

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2810341C2 (de) * 1978-03-10 1980-01-31 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung
JPH0212564Y2 (ja) * 1980-02-27 1990-04-09
JPS5777903A (en) * 1980-10-31 1982-05-15 Mitsutoyo Mfg Co Ltd Displacement measuring apparatus
DE3113962C2 (de) * 1981-04-07 1987-04-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung
DE3136981C1 (de) * 1981-09-17 1983-01-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Fehlerkompensationseinrichtung
DE3210962A1 (de) * 1982-03-25 1983-10-20 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Laengen- oder winkelmesssystem
DE3302643C2 (de) * 1983-01-27 1987-01-08 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Spanneinrichtung für eine Längenmeßeinrichtung
DE3429646A1 (de) * 1984-08-11 1986-02-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Einrichtung mit einem abgedichteten evakuierten hohlkoerper
US4974332A (en) * 1988-08-19 1990-12-04 Delta International Machinery Corp. Measurement system reader element standoff
AT394110B (de) * 1989-02-10 1992-02-10 Rsf Elektronik Gmbh Laengenmesssystem
DE4406798C2 (de) * 1994-03-02 1997-11-27 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmeßeinrichtung
ATE230103T1 (de) * 1996-10-11 2003-01-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Massstab einer längenmesseinrichtung sowie verfahren zur anbringung eines massstabs
US5837981A (en) * 1997-07-24 1998-11-17 Wang; Chin-Yuan Signal outputting device of optical ruler
EP3228993B1 (de) * 2016-04-05 2018-08-01 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesseinrichtung

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US715714A (en) * 1900-01-09 1902-12-09 Louis E Walkins Trolley for electric-railway cars.
GB191122821A (en) * 1911-10-16 1912-05-02 Carl Heinrich Proett Improvements in Air-moistening Apparatus.
US1149120A (en) * 1914-12-03 1915-08-03 James D Fortune Drawing-machine.
US1837158A (en) * 1929-05-11 1931-12-15 Pioneer Instr Co Inc Compass mounting
US2788749A (en) * 1952-01-10 1957-04-16 Axel Lennard Wenner Gren Mutually streamlined supporting structure and monorail vehicle
US3094942A (en) * 1960-08-05 1963-06-25 Rheinstahl Union Bruckenbau A Apparatus for transporting pipe sections in tunnels and like excavations
US3322379A (en) * 1964-11-03 1967-05-30 Kaman Aircraft Corp Dynamic antiresonant vibration isolator
US3445080A (en) * 1967-05-26 1969-05-20 Kaman Corp Dynamic antiresonant vibration isolator
DE1900475A1 (de) * 1969-01-07 1970-07-16 Honeywell Gmbh Anordnung zur Stabilisierung der Visierlinie eines Feldstechers
US3721967A (en) * 1971-08-02 1973-03-20 Ibm Head carriage assembly for magnetic disk storage drive
DE2505585C3 (de) * 1975-02-11 1978-06-08 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung
DE2510219C3 (de) * 1975-03-08 1978-05-18 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längenmeßeinrichtung

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61112644U (ja) * 1984-12-27 1986-07-16

Also Published As

Publication number Publication date
ATA71278A (de) 1984-06-15
DE2712422B1 (de) 1978-03-16
US4169316A (en) 1979-10-02
FR2385077A1 (fr) 1978-10-20
CH625337A5 (ja) 1981-09-15
JPS53140057A (en) 1978-12-06
FR2385077B1 (ja) 1982-01-29
GB1591481A (en) 1981-06-24
DE2712422C2 (de) 1978-11-09
AT377084B (de) 1985-02-11

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