JPS5826138B2 - 電界放出針状電極群の製造方法 - Google Patents
電界放出針状電極群の製造方法Info
- Publication number
- JPS5826138B2 JPS5826138B2 JP49018932A JP1893274A JPS5826138B2 JP S5826138 B2 JPS5826138 B2 JP S5826138B2 JP 49018932 A JP49018932 A JP 49018932A JP 1893274 A JP1893274 A JP 1893274A JP S5826138 B2 JPS5826138 B2 JP S5826138B2
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- JP
- Japan
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- field emission
- electrode group
- needle
- needle electrode
- emission needle
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は電界放出針状電極群の製造方法、特に多数の
針状電極をくしの歯状に配列した電界放出斜伏電極群の
製造方法に関する。
針状電極をくしの歯状に配列した電界放出斜伏電極群の
製造方法に関する。
一般に、電界放出斜伏電極は例えばタングステンなどの
耐熱性物質で形成された細線の先端を電解研磨などの加
工法により曲率半径の小さい斜伏としたもので、この斜
伏電極に高電界を印加し電子を放出させようとするもの
である。
耐熱性物質で形成された細線の先端を電解研磨などの加
工法により曲率半径の小さい斜伏としたもので、この斜
伏電極に高電界を印加し電子を放出させようとするもの
である。
このような斜伏電極の１つの応用例としては、斜伏電極
を縦、横の２次元的平面に規則的に配列し、適当なる発
光手段と組合せて画像表示装置としたものが提案されて
いる。
を縦、横の２次元的平面に規則的に配列し、適当なる発
光手段と組合せて画像表示装置としたものが提案されて
いる。
このような場合、針状電極を２次元的に配設するための
一つの方法として、多数の斜伏電極を導電性板上に所定
の間隔で点溶接などの接合手段により１列のくしの歯状
に固着して斜伏電極群を形威し、この斜伏電極群を所定
数だけ所定の間隔で整列させて固着することにより、針
状電極を２次元的に配列する方法がとられている。
一つの方法として、多数の斜伏電極を導電性板上に所定
の間隔で点溶接などの接合手段により１列のくしの歯状
に固着して斜伏電極群を形威し、この斜伏電極群を所定
数だけ所定の間隔で整列させて固着することにより、針
状電極を２次元的に配列する方法がとられている。
しかし上記のような方法で斜伏電極を導電性板上の所定
の位置に正確に固着させることは極めて困難であり、斜
伏電極の間隔、平行度、高さなどの精度は極めて悪いの
が普通であり、さらに、多大の労力を必要とするなどの
欠点があった。
の位置に正確に固着させることは極めて困難であり、斜
伏電極の間隔、平行度、高さなどの精度は極めて悪いの
が普通であり、さらに、多大の労力を必要とするなどの
欠点があった。
この発明はこのような欠点を解消させるためになされた
ものである。
ものである。
以下、この発明に係る斜伏電極群の製造方法を、厚さ０
．３間、幅１０朋、長さ５０１１Ｌ７１Ｌのタングステ
ン板を使用した場合について説明する。
．３間、幅１０朋、長さ５０１１Ｌ７１Ｌのタングステ
ン板を使用した場合について説明する。
まず、このタングステン板の長辺の一辺に、不要部分を
除去して、板面に沿って巾方向に延びる細い棒状体をく
しの歯状に残す加工を施す。
除去して、板面に沿って巾方向に延びる細い棒状体をく
しの歯状に残す加工を施す。
この細い棒状体の大きさは例えば幅がＱ、 ３ ｍｍ、
長さ５關、間隔は０．３ ｍｍ程度のものである。
長さ５關、間隔は０．３ ｍｍ程度のものである。
このような多数の細い棒状体を形成する加工法としては
、光エツチング法、ミーリング研削法、打抜切断法など
がいずれも適用できるが、光エツチング法を適用した場
合を説明すると、まず、タングステン板の全面に通常の
方法で光硬化性の樹脂膜を塗着し、前記の寸法でくしの
歯状のパターンを有するマスクを用いて露光した後、不
要部分を硝酸と弗酸の混合液等のエツチング液に浸漬し
て溶解、除去することによって目的が達せられる。
、光エツチング法、ミーリング研削法、打抜切断法など
がいずれも適用できるが、光エツチング法を適用した場
合を説明すると、まず、タングステン板の全面に通常の
方法で光硬化性の樹脂膜を塗着し、前記の寸法でくしの
歯状のパターンを有するマスクを用いて露光した後、不
要部分を硝酸と弗酸の混合液等のエツチング液に浸漬し
て溶解、除去することによって目的が達せられる。
このような加工を経たタングステン板の拡大斜視図を第
１図に示す。
１図に示す。
図において、１はタングステン板であり導電性板体を構
成する。
成する。
２はくしの歯状に形成された細い棒状体である。
次にくしの歯状に形成された棒状体２の先端部を曲率半
径の小さい針状に加工する。
径の小さい針状に加工する。
この加工法としては、電解研磨法、化学研磨法、ホーニ
ング研磨などの機械的研磨法などがいずれも適用できる
が、電解研磨法を適用した場合を説明すると、まず、５
０℃に保った１０多の苛性ソーダ液中に、各棒状体２の
先端を２〜３能浸漬した状態に保持し、タングステン板
１を正に、苛性ソータ沖に設けた電極を負として６■の
直流電圧を印加し、約１０秒間維持する。
ング研磨などの機械的研磨法などがいずれも適用できる
が、電解研磨法を適用した場合を説明すると、まず、５
０℃に保った１０多の苛性ソーダ液中に、各棒状体２の
先端を２〜３能浸漬した状態に保持し、タングステン板
１を正に、苛性ソータ沖に設けた電極を負として６■の
直流電圧を印加し、約１０秒間維持する。
次に各棒状体２の先端を０．５關浸漬した状態に保持し
、タングステン板１を正として１２Ｖの直流電圧を印加
し約１０秒間維持する。
、タングステン板１を正として１２Ｖの直流電圧を印加
し約１０秒間維持する。
このような電解研磨を施すと、各棒状体２の先端は曲率
半径約１ミクロンメータの針状となり、電界放出用電極
として極したものになる。
半径約１ミクロンメータの針状となり、電界放出用電極
として極したものになる。
このようにして、えられたタングステン板１の拡大斜視
図を第２図に示す。
図を第２図に示す。
図において３は上記のような加工により形成された針先
である。
である。
この発明に係る製造方法によりタングステン板１の長辺
に、くしの歯状に形成された多数の針状電極は、発明者
等が行った次の実験結果より、針状電極の間隔、平行度
、高さなどの精度は極めて良好なものであることが確認
された。
に、くしの歯状に形成された多数の針状電極は、発明者
等が行った次の実験結果より、針状電極の間隔、平行度
、高さなどの精度は極めて良好なものであることが確認
された。
即ち、超高真空内にこの発明に係る方法により製作した
電界放出針状電極群と螢光体膜を被着させたガラス板電
極を約１ｍｍの距離を隔てて対向するように設置し、螢
光体膜が正になるように約５ＫＶの直流電圧を印加し、
各針状電極による螢光体膜の発光の強さを調べた。
電界放出針状電極群と螢光体膜を被着させたガラス板電
極を約１ｍｍの距離を隔てて対向するように設置し、螢
光体膜が正になるように約５ＫＶの直流電圧を印加し、
各針状電極による螢光体膜の発光の強さを調べた。
その結果各針状電極は螢光体膜をほぼ同じ強さに発光さ
せており、この発明に係る方法により製造された電界放
出針状電極群は、電子放出が極めて均一に行なわれてい
ることが確認された。
せており、この発明に係る方法により製造された電界放
出針状電極群は、電子放出が極めて均一に行なわれてい
ることが確認された。
なお各針状電極２の寸法、間隔精度は従来のものに比し
精度のよいものとなることは、多く説明するまでもなく
明らかである。
精度のよいものとなることは、多く説明するまでもなく
明らかである。
したがって、この発明に係る電界放出針状電極群は、前
記の画像表示装置をはじめ各種電子装置に適用して極め
て適当なものと言える。
記の画像表示装置をはじめ各種電子装置に適用して極め
て適当なものと言える。
なお上記の実施例では、導電性板体としてタングステン
板を使用した場合を示したが、タンタル、レニウム、モ
リブデン、白金、ニッケル、鉄などの金属板、また、ス
テンレス鋼、ハステロイなどの合金板、あるいは六硼化
ランタン、炭化ハフニウムなどの導電性化合物板など電
界放出針状電極群が電子放出を行なうに際して必要な電
流を通し得るに十分な導電度をもつような導電体に広く
適用できるのである。
板を使用した場合を示したが、タンタル、レニウム、モ
リブデン、白金、ニッケル、鉄などの金属板、また、ス
テンレス鋼、ハステロイなどの合金板、あるいは六硼化
ランタン、炭化ハフニウムなどの導電性化合物板など電
界放出針状電極群が電子放出を行なうに際して必要な電
流を通し得るに十分な導電度をもつような導電体に広く
適用できるのである。
また、実施例においては直線状に１列に配列された電界
放出針状電極群を製造する場合について述べたが、導電
性板体を各種の形状に屈曲させることにより、例えばく
の字状、円形状など各種の形状に配列された電界放出針
状電極群を製造し得ることも明らかである。
放出針状電極群を製造する場合について述べたが、導電
性板体を各種の形状に屈曲させることにより、例えばく
の字状、円形状など各種の形状に配列された電界放出針
状電極群を製造し得ることも明らかである。
第１図及び第２図はこの発明に係る針状電極群の製造工
程の一実施例を説明するための拡大斜視図で、１はタン
グステン板、２は棒状体、３は針先である。 なお同一符号はそれぞれ同一部分を示す。
程の一実施例を説明するための拡大斜視図で、１はタン
グステン板、２は棒状体、３は針先である。 なお同一符号はそれぞれ同一部分を示す。
Claims (1)
- １ 所定寸法の巾を有する導電性板体の不要部分を除去
して、板面に沿って上記巾方向に延びるくしの歯状の複
数個の棒状体を一列に一体形成し、ついで上記棒状体の
各先端を研磨してこの先端部を針状に形成した電界放出
針状電極群の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP49018932A JPS5826138B2 (ja) | 1974-02-16 | 1974-02-16 | 電界放出針状電極群の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP49018932A JPS5826138B2 (ja) | 1974-02-16 | 1974-02-16 | 電界放出針状電極群の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS50114969A JPS50114969A (ja) | 1975-09-09 |
| JPS5826138B2 true JPS5826138B2 (ja) | 1983-06-01 |
Family
ID=11985399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP49018932A Expired JPS5826138B2 (ja) | 1974-02-16 | 1974-02-16 | 電界放出針状電極群の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5826138B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61263020A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 電子銃 |
| JP2613669B2 (ja) * | 1990-09-27 | 1997-05-28 | 工業技術院長 | 電界放出素子及びその製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4897473A (ja) * | 1972-02-11 | 1973-12-12 |
-
1974
- 1974-02-16 JP JP49018932A patent/JPS5826138B2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4897473A (ja) * | 1972-02-11 | 1973-12-12 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS50114969A (ja) | 1975-09-09 |
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