JPS5824823A - 回転機械の振動運動の分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は回転機械の振動運動の視覚表示による分析方式
に関するものである。

この分析方式は回転機械、特に油軸受、静水軸受、空気
軸受等の流体軸受によって支えられた、複数の軸を持つ
大型機械の予測的保守を特に可能にするものである。

最近の数年来、回転機械の保守は急速力進歩を見せてい
る。しかし流体軸受による大型機械の場合は多くの困難
がこの進歩を妨げている。これらの機械は産業設備の中
で戦略的重要性を持っているため、長時間にわたって停
止することなく回転できなければならない。

故障の場合、または単なる点検の場合にせよ、それらを
止めるためのコストはかなりのもので、予防的保守は適
切な時の稼動を可能にする唯一のものである予測的保守
に席を譲らなければならない。この種の保守は必然的に
機械の状態の正確な診断を必要とする。従って必ずその
作動の特徴を示す信号が理解されるととが前提となる。

これまでの研究によると、今日１で使用されてきた分析
方式の大部分は、最も監視を必要とする大型機械の場合
にあまり適していないことがわかっている。監視といっ
ても、多くの場合には「を報ベル」にすぎず、保守の責
任者に機械を停止するか、作業を続けさせるかの決定を
下す上で必要な、十分な要素を与えずに困らせるだけに
終っているのである。

現行の各種の監視技術は６つの種類に区分できる。それ
らの作用は次の通シ。

電子め決められた振動レベルとの比較 −振動数のスペクトル分析 ＩＪサジューの軌道グラフ、すなわち軌道分析以下にこ
れらの監視技術が流体軸受を備えた機械の場合に持つ限
界を簡単に述べでおきたい。

第１の種類については、集められた信号は機械、その組
立、連結、基砿篭に左右されるだけでなく、信号を採集
する正確な位ｔ＜振動の腹か節か、軸受か軸組か）によ
っても異り、この事実から規格によって定められていた
限界は単なる指標にすぎなくなる。

その指標に到達したらどうすればよいのか。機械を止め
る必要があるのか。よシ精巧な付属装置−機械の損耗の
進み方の傾向を示したわ、その限界に到達する予定期日
を知らせたりするものも、同じ原則の上に留まっていて
、やはシこの質問に答えてはくれない。スタートのさい
に集められた情報は機械の働き方を示すには不十分であ
る。どんな電子工学的、情報工学的処理も不十分な情報
を補足するものではない。

多くの同一種の機械をこの方法で監視する時には、警報
のレベルを経験的または統計的に決めることができる。

しかし重要な機械は１台しがない場合が多く、そういう
時にはこの方法は使え々い。

第２の種類については、軸受の流体の膜、特に油膜の存
在が機械構造の中で（油膜の硬さが一定しないため）振
動面上の全く一次的でガい連結をもたらすため、たとえ
ば機械の軸受で加速度計等によって集められた信号の分
析から、機械の回転運動を確定することは半ば不可能に
なるのである。

スペクトル検査は機械の構造と環境の振動反応を本質的
に表わすが、振動の原因自体についてはほとんど情報を
与えてくれ力い。その結果の解釈はきわめてデリケート
であわ、専門家を必要とする。

従ってこの監視技術は工業的環境における監視には適尚
ではない。

第６の種類の監視技術ね、たとえばフーコー電流型の２
個のぎツクアップを軸に対しである距離を置き、相互に
９０°の角度を持つように配置し、連結された軸受の中
の機械の軸の運動を調べるものである。この２個のピッ
クアップから出た信号は上記の距離に比例し、そして２
個の入力部Ｘ。

Ｙからオシロスコープに送られ、軸受内の軸の運動に対
応するりサジューの曲線を描く。

この監視技術に対する批判の中で、測定の相対性の問題
を取上げることができる。つマシ、軸と軸受の間の自由
な遊びと、軌道の位置と寸法との間の関係についての情
報が不足しているのである。

事実、この軌道は軸の中心の運動を表わしていない。軸
受自体が固有の運動に動かされているからである。一部
の単純な場合を除いて、このディスプレーの方法は板組
な映像を形成するだけで、利用することは不可能である
。

従って本発明は、これらの不都合を改善するととのでき
る回転機械の振動運動のディスプレー（視覚表示）によ
る分析方式を目的としているのである。

本発明は特に、軸受中の機械軸の絶対運動の確定と同時
に、軸受自体の運動の確定をも可能にするものである。

さらに本発明によって得られた信号は、機械技師が多く
当てられている保守の責任者にとっても、容易に解釈で
きるものなのである。

第１図は本発明の分析方式の概略図である。この方式を
簡単に説明するため、図では１個の軸受に支えられた１
個の軸を持つ回転機械が示されているが、先にも述べた
ように、本発明は１個または複数の軸が１個または複数
の軸に支えられて、相互のあらゆる可能力形に配置され
ているよう外機械のすべてに適用される。１個の軸が１
個の軸受に支えられている場合、本発明による分析方式
においては２個の−次ぎツクアップ２ａ　、２ｂは同一
の装置で回転機械の軸受４の中に固定され、軸受４が支
える軸６に向かい合っている。また２個の同じ二次Ｖ′
ラックップ８ａ　、ｇｂは軸受４のレベルに配置され、
１台の電子分析装置が−次、二次のピックアップに連結
されている。

これらのピックアップは機械が回転するさいに、機械の
振動に対応する電気信号を出す。２個の−次ぎツクアッ
プ２ａ、２ｂは軸６の軸受４に対する相対的な変位に相
応する電気信号を出し、そして２個の二次ぎツクアップ
ｇａ　、　８ｂは軸受４の絶対的変位に相応する信号を
出す。軸受４の絶対的変位は参照システムとの関係によ
って測定される。この参照システムはたとえは、回転機
械が置かれている部屋、または実験室である。この場合
、二次ぎツクアップは「ガリラヤ」の標点の役を果たす
部屋または実験室の床に固定される。

−次ぎツクアップ２ａ　、２ｂはそれぞれの間で一定の
角度、たとえば９０°を作シ、二次ピックアップ８ａ　
、　８ｂも同様である。さらに−次ビツクアップ２ａと
二次ピックアップ８ａは心合せが行われ、−次ぎツクア
ップ２ｂと二次ピックアップ８ｂも同様である。つまυ
Ｖラックップ２ａと２ｂはＸ軸によシ、また２ｂと８ｂ
とはＹ軸によって直線に並べられる。

これらの−次、二次ぎツクアップはそれぞれ電子制御装
置と電子検出装置に連結され、これらの装置は使用され
るピックアップの種類に付随する参照装置９．ｂを持つ
。この電子装置とピックアップの種類については後に説
明する。

第１図に点線で示されている構成要素は必要がなく、後
で説明する。

電子検出装置１０から出る電気信号は増幅器１２を使っ
て増幅できる。これらの信号は電子回路１４によって２
つずつ組合され、軸６の絶対運動、すなわち参照システ
ムと対比した軸の運動に相応する電気信号が確定される
。この組合せの方法は、−次ピツクアップ２ａに対応し
て電子検出装置１０が供給する電気信号を、二次ぎツク
アラ７０８ａに対応して電子検出装置１０が供給する電
気信号と加ｑまたは減算を行い、また−次ぎツクアラ７
″２ｂに対応して電子検出装置１０が供給する電気信号
を、二次ぎツクアップ８ｂに対応して電子検出装置１０
が供給する電気信号と加（至）または減算を行うことに
よって得られる。組合せ装置１４から出る４つの電気信
号は、軸Ｘ、Ｙにおける軸６と軸受４の絶対的変位に一
致するものとなる０ この組合せられた４つの信号を可視化する□たとえばデ
ィスプレー装置１８のスクリーン１６に陰極線管式のオ
シロスコープを用いてそれに投影する□ために、これ゛
らの信号の振幅は較正回路２０によって制御、較正され
、次にディスプレー装置に連結されている電子回路２２
に送り込まれる。

さらに発振器２４が設けられており、角度π／２の位相
差の２つの正弦曲線信号を発生させる。これらの正弦曲
線信号は電子回路゛２２に送りこまれ、ここですでに回
路２０で振幅の制御、較正をすませた４つの信号と組合
せられる。

次に回路２２を出た４つの電気信号は多重化装置に送シ
こｔｈる。との装置のマルチプレクサ−は４つの入力部
と２つの出力部を持ち、それはオシロスコープで構成さ
れているディスプレー装置の入力部ｘ、Ｙに直接に連結
されている。このマルチプレクサ−２６は発振器２８に
よって制御される。回路２２から出た２つの信号（軸受
４の中の軸６の運動に対応するもの）はマルチプレクサ
−２６によって選別され、ディスプレー装置の人。

力部Ｘ、Ｙに送りとオれ、ディスプレー装置のスクリー
ン１６上で円形３０を形作る。次に、回路２２から出た
２つの信号（軸受４の運動に対応するもの）がマルチプ
レクサ−２６によって選別され、ディスプレー装置の入
力部Ｘ、Ｙに送りこまれ、ディスプレー装置のスクリー
ン１６上で円形３２を形作る。

円３０と３２とは軸受４の中にある軸６を表わしている
。それは軸受のレベルで機械の縦軸に直角に切った機械
の断面図に相当する。

この円３０と３２は動いている。すなわちこれらの円は
スクリーン上で変位する。それは軸と軸受の変位の視覚
化を可能にしており、それらの変位は機械の振動運動に
一致する。それによって、機械に機椋的欧変形があれば
それを修復することが可能にカシ、さらに信号の電子処
理方式に不慣れなことの多い彬械技師が、容易に機械の
振動現象の意味を理解できるようになる。

さらに本発明による分析方式は、軸の絶対、相対運動の
復元、および旧技術方式が行った相対運動だけではない
、軸受の絶対運動の復元をも可能にしている。

これまで説明してきた方式は１個の軸が１個の軸受に支
えられている機械の場合であった。大型の機械では普通
、軸も軸受も複数の機械になるが、その場合には電子回
路２２に電子回路３４が連結される。この回路３４は、
機械の軸と軸受の数に対応する数の円３０と３，２の組
合せを作り、ディスプレー装置のスクリーン上に機械の
全体を再現させる。すなわち別個の軸と軸受の実際の配
置が再現される。もちろん機械の形態は事前に回路３４
の中に記憶させである。

１台の機械に複数の軸と複数の軸受がある場合には、マ
ルチプレクサ−２６の入力部の数はもちろん４個ではな
い。たとえば１個の軸が２個の軸受に支えられていれば
、そのマルチプレクサ−の入力部は８個になり、２個の
軸がそれぞれ２個の軸受に支えられていれば、そのマル
チプレクサ−の入力部は１６個になる。マルチプレクサ
−の制御の周波数も変更できることにも留意しておきた
い。さらに使用されるピックアップの数は機械の軸と軸
受の数に比例する。

可動の円のディスプレーはリアルタイムで行われ、また
複数の軸受、軸の対応部分についても同時に行われる。

さらに本発明によると、この分析方式はディスプレー装
置１８に装置３６を連結し、ディスプレーされる映像を
電子技術によって減速し、振動現象や特に別個の運動の
間の位相差の理解をより正確、容易にすることができる
。

ディスプレー装置１８は普通はウェネルト制御装置また
は入力部Ｚ　（図示されていない）を持っているが、そ
の場合には装置３６は上記制御装置に連結された周波数
制御可能のストロがスコープによって構成される。

従ってウェネルト制御装置は、調査している振動現象に
近い周波数を持つインパルスを受ける。

円が動かなくなれば、機械の振動数がそれで示されるこ
とにガる。

さらにこのストロボスコープ３６を装置３８に連結して
、これらの円の振動数、すなわち観察対象の運動の振動
数を表示することもできる。

本発明の方式は軸と軸受の変位、および観察対象の運動
の振動数と位相差の測定に、直接に接近が可能であるよ
うに考えられたものである。これらの測定はたとえば方
眼図になったオシロスコープのスクリーンを使って行う
ことができる。もちろんその他の方法も考えられる。

これまでに説明した方式によ４つて、２個の入力部ｘ　
、　ｙを持つオシロスコープ等のディスプレー装置上で
の現象の可視化が可能となるが、もちろん複数の入力部
Ｘ、Ｙを持つディスプレ一方式も考えられる。その場合
には多重化方式は除外されるかもしれない。他のディス
プレ一方法のように、ビデオ・スクリーン（テレビジョ
ン）を使うことができるだろう。さらに動かされる円を
記録し、必要な時だけディスプレーすることもできる。

本発明によると、この分析方式に電子回路４０を備える
ことにより、軸と軸受の絶対運動を選び出すことも、あ
るいは軸受の運動に対応する円３２をオシロスコープの
スクリーン上に固定して、軸受に対する軸の相対的運動
を選ぶことも可能である。これは要望があれば取付けら
れ、軸が軸受の中で変位する状況を見ることができる。

複数の機械が１カ所に取付けられる場合も分析方式は１
つで十分である。しかし全部を制御するのを避けるため
に、機械の形態、スクリーン上での円の位置や寸法等を
、電子回路２２に接続する記憶装置４２に記憶、させて
おき、また各機械の形態を表わす円を記憶させることも
できる。

第１図に示されているような各種の回路の配置は可能で
あればどんガ形に変えることもできる。

たとえば制御回路２０や増幅器１２はぎツクアップに接
続された検出装置１０とオシロスコープ１８の間のどこ
にでも置くことができる。

先にも述べたように、−次および二次ピックアップは種
類が異っていてもよく、その場合にそれらに接続される
電子制御装置９と電子検出装置１０はピックアップの種
類に従って選ばれる。

−次ぎツクアップ２ａと２ｂとは同一のものでよく、た
とえば渦電流による非接触型のピックアップ、または容
量性、誘導性のぎツクアップのようガ、変位の２ツクア
ツプである。二次ピックアップ８ａと８ｂも同一のもの
でよく、渦電流による非接触型または地震計型（ばね上
重量ぎツクアップ）ピックアップ、または速度計（電気
力学２ツクアツプ）または加速度計（圧電気ピックアッ
プ）型の変位ピックアップである。

二次ぎツクアップに非接触変位ぎツクアンプを用いる場
合、これらのぎツクアップは図１に示されているように
、軸受と向い合って置かれるが、他の形式のピックアッ
プが用いられる時には、それらは軸受の」二に置かれる
。

第２図において、−次ピツクアップとそれに接続する電
子制御装置と同検出装置が示されている。

これらのピックアップは渦電流非接触型のものである。

これらのピックアップは通常、１〜２ＭＴＴｚの周波数
を出す発振器によって制御されるコイルによって構成さ
れている。このピックアップから供給される信号は、そ
れに接続している検出器によって検出される。コイルに
与えられる周波数が高められる事実から、機械の軸６の
中に防導される渦電流は表面的かものとなる。これらの
電流が表面的であるため、軸の欠陥がこれらのピックア
ップによって供給される信号を修正するのである。従っ
てこれらの欠陥から生じる雑音信号はすべて除外するこ
とが必要である。これらの雑音信号は普通、英語のラン
アウトという言葉で知られている。

軸の欠陥はたとえば、軸は決して円くないこと、つねに
免疾があること、凹凸もあること、その構酸物質が均質
であるのは稀であることなどの事実と関連がある。

軸の欠陥に対応する電気信号は、軸上のそれらの位置と
ともに事前に記録され、記憶される。軸の欠陥と軸上の
それらの位置は軸の記録表で知られる。次にこれらの雑
音信号は軸の振動に対応する信号から、点ごとに除外さ
れる。雑音信号の排除と記憶を行う電子装置は一般参照
装置４８を持っている。

これらの欠陥の位置の目印は、参照装置５０を持つ渦電
流による補足的ピックアップを、軸の固定目印５２に向
い合せに置くことによって得られる。この目印は軸上に
作られた条痕ていどのものでよい。とのぎツクアップは
−次ぎツクアップ２ａ、２ｂと同様に軸受の中に普通は
配置される。

欠陥の記憶は第２図に示された装置と同じものによって
事前に行われるが、この場合は電子装置４８は記憶装置
のみを示している。欠陥の位置は′ぎツクアップ２と５
０の間に存在する位相差によって計測される。この記憶
化は軸をゆつくシした速度で振動を起こさないように回
転させて行う。

欠陥の計測と、それに対応する雑音信号の排除の方法は
、デービスの米国特許ｎｏ４１３４．３０３、標題「回
転軸の振動検出システムにおける電気的ランアウトを排
除する方法と回路」に詳細に述べられている。

もちろん、雑音信号（ランアウト）の排除はすべての使
用可能々−次ぎツクアップにおいでも実現することがで
きる。

さらに二次ぎツクアップ８ａと８ｂのそれぞれに接続す
る電子制御装置、同検出装ｗ、（負荷増幅器、ゲージ装
置等）は補足的な電子装置に接続されている。

第６図に、これらのピックアップが速度計または加速度
計型である場合に、それらに接続される補足電子装置の
概略図が示されている。この電子装置は主に調節可能な
高域ろ波回路５４から成シ、その回路は機械の回転速度
に比例するごく低い周波数を排除するととがで′き、も
し速度計型ピックアップが使用される時には単独の積分
器５６に、加速度肝式が使用される時には２個の積分器
５６゜５８　（相互に電気的に接続）に接続される。

積分器５６、または同５６．５８から出る電気信号は増
幅器６０を使って増幅することができる。

この増幅は−次ぎツクアップ２ａと２ｂから供給される
信号の振幅と同じ振幅を与えることになる。

分極を示すピックアップを使用する場合、すなわちそれ
らのぎツクアンプから出される信号が連続する成分を示
す場合、本発明による分析方式は増幅器１２　（第１図
）に接続されている電子回路６４を備えることによって
、とれらのピックアップから出される電気信号の分極を
排除しなければならない。実際に、たとえば渦電流ピッ
クアップはマイナスに分極化した信号（マイナスの連続
成分）を出し、その他のピックアップはプラスに分極化
した信号（プラスの連続成分）を出す。電子回路１４の
中での、ぎツクアップから出た信号の組合せは分極化の
ない信悟によって行われねば外らず、従ってそれを排除
する必要がある。

本発明による分析システムを実現し、機械の機能上の欠
陥を特徴的に示す符号定数をよく理解するために、試験
台を使った各種のテストが行われた。この試験台には油
軸受２個に支えられた軸１個が取付けられた。との組立
物は可変速度電動機によって駆動され、実際に遭遇する
ものと似た欠陥を人工的に創り出すことができる。

それによって得られた結果の一部が第４ａ図〜ｇＪｆ図
に示されている。オシロスコープのスクリーン上の映像
の太きさは機械の実際の大きさの通りではないことに注
意すべきである。しかし振動の振幅（軸と軸受の運動）
や、軸や軸受を表わす円の間の遊び（流体の膜の厚さ）
は機械の中で起きていることと一致している。図の中の
円３０は機械の軸を、３２ａ、３２ｂはその軸を支える
２個の軸受を表わしている。

第４ａ図は機械の停止している状態である。との図では
軸はその重さのために軸受によりかかつている。

第４ｂ図は１分間に４０００回転（ｔｒ／ｍ］ｎ）で回
転している機械を表わしている。機械の作動に影響を与
える何の欠陥もないことが認められる。

軸はよく均衡が取れておシ、軸受の中心で一定の厚さの
油膜の上で回転している。軸または軸受の目に見える振
動運動は存在しない。

第４ｃ図及び第４ｄ図は静的不均衡を示す。第４ｃ図は
軸と軸受の絶対運動を表わし、第４ｄ図は軸受中の軸の
相対運動を表わしている。これは第１図の運動選別装置
４０によって可能となる。

円が動き始めると、軸は２個の軸受の中で同じ位相差で
変位することが認められる。位相差のディスプレーは電
子減速装置によって得られる。位相差ゼロは２個の軸受
中の軸の変位が同一であるという事実によって確認され
る。

第４ｅ図は、軸が動的不均衡を持つ場合の、軸受中の軸
の相対運動を表わしている。２個の軸受中の軸の変位、
すなわち２個の軸受中の位相差は反対であることが認め
られる。この第４ｅ図の場合、機械は２０００　ｔｒ／
ｍｉｎで回転している。

第４ｆ図は固定応力を表わしている。この場合、軸が機
械全体の中で力の方向に変位することがら判明する。機
械は２０００　ｔ、ｒ／ｍｉ、ｎで回転している。

この各種の結果以外にも、この分析方式は機械が複数の
突合せ軸を持つ場合の軸心のズレ、軸受のゆるみ、外部
からの励起等々をも示すことができる。さらにこれまで
に述べた各種の欠陥の組合せも本発明によって、検討、
分析することができる０ 本発明は変位の形をとる振動現象のディスプレー化によ
って、機械が受ける振動現象の理解を容易にする。

先にも述べたように、この分析方式は流体軸受を持つ大
型機械に特に適合する。それはこの種の機械は数が少い
ため、統計的な方法が使えないからである。さらに流体
軸受の存在が軸受の中で軸の変位の観察を容易にしてい
る。

しかも本発明はすべての機械、軌条軸受上で組立てられ
た小型機械にも使用することができる。

実際に時間が経過するにつれて、軌条は消耗し、若干の
遊びが現われる。この場合、本発明によって軸と軸受の
変位、遊びの変化等々をディスプレー化することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に基く分析方式の概要図である。 第２図はフーコー電流型の一次ピツクアップと、関連す
る電子装置の概要図である。 第６図は速度計型または加速度計型の二次ピックアップ
に連結された電子装置の概要図である。 第４ａ図及至第４ｆ図は、２個の軸受に支えられた１個
の軸を持つ機械について、本発明の方式によって得られ
た各種の結果を示すものである。 第４ａ図は機械の停止中を表わす。第４ｂ図は正しい状
態で回転する機械を表わす。第４ｃ図及び第４ｄ図は静
的な不均衡を持つ機械を表わす。第４ｅ図は動的な不均
衡を持つ機械を表わす。そして第４ｆ図は一定の応力を
受けている機械を表わしている。 代理人　浅　村　　　皓 手続補正書（自発） 昭和５７年　／月！ρ日 特許庁長官殿 １、事件の表示 昭和５７年特許願第　８６５７６　　号２、発明の名称 回転機械の振動運動の分析装置 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 ４、代理人 氏　名　　　　（６６６９）　　浅　　村　　　　　皓
５、補正命令の日付 昭和　　年　　月　　日 ６、補正により増加する発明の数 明細書の浄書　（内容に変更なし） １４４−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）最低１個の軸受（４）に支えられた最低１個の軸
   （６）を持つ回転機械の振動運動の分析装置であシ、そ
   れが各軸受とそれによって支えられた軸の部分ごとに、
   下記のものを備えることを特徴とする。 一軸受（４）に対する軸（６）の相対的変位に決定され
   る電気信号を各自に発することのできる２個の一次ピツ
   クアップ（２ａ、２ｂ）。これらの−次ぎツクアップは
   軸受の中に、相互の間に所定の角度を作りながら、軸と
   向かい合った形で配置される。 一軸受（４）の絶対運動に決定される電気信号を各自に
   発することのできる二次ぎツクアップ（８ａ、８ｂ）。 これらの二次ピックアップは軸受のレベルで相互の間に
   所定の角度を作るように配置される。 一一次、二次ぎツクアップに接続される制御装置と検出
   装置（９，１０） □検出装置から出される電気信号の組合せ装置（１４）
   で、これが軸の絶対運動を確定する。 その他、以下のものを備えることを特徴とする。 □ディスプレー装置（１８，２６，２８，３６）□この
   ディスプレー装置上に２個の円形（３０゜３２）を描き
   出すための装置（２２，２４）。 第一の円形（３０）の運動は軸受中の軸の変位を表わし
   、第二の円形（３２）の運動は軸受の変位を表わす。 □２個の可動の円形（３０，３２）を、機械の実際の映
   像を示すように、ディスプレー装置（１８，２６，２８
   ，３６）上に配置する装置（３４）。 （２、特許請求の範囲第１項に記載の分析装置であって
   、−次ぎツクアップの１つ（２ａ）が二次ｆツクアンプ
   の１つ（８ａ）と直列し、他の一次Ｖツクアップ（２ｂ
   ）が他の二次ぎツクアップ（８ｂ）と直列することを特
   徴とする特（３）、特許請求の範囲第１項及び第２項の
   倒れかに記載の分析装置であって、２個の−次ぎツクア
   ップ（２ａ、２ｂ）は変位ピックアップであることを特
   徴とする。 （４）、特許請求の範囲第６項に記載の分析装置であっ
   て、変位ピックアップ（２ａ、、２ｂ）は渦電流ピック
   アップであることを特徴とする。 （５）０％許請求の範囲第１項乃至第４項の何れかに記
   載の分析装置であって、２個の二次ピックアップ（８ａ
   、８ｂ）は加速度計であり、さらにこの方式にはこの２
   個の二次ピックアップから出される電気信号の二重積分
   装置（５６，５８）が含まれ、この積分装置は信号の組
   合せ装置（１４）の前に置かれることを特徴とする。 （６）特許請求の範囲第１項乃至第４項の何れかに記載
   の分析装置であって、２個の二次ぎツクアップ（８ａ１
   ８ｂ）は速度計であわ、さらにこの方式にはこの２個の
   二次ピックアップから出される電気信号の単一積分装置
   （５６）が含まれ、この積分装置は信号の組合せ装置（
   １４）の前に置かれることを特徴とする。 （力、特許請求の範囲第１項乃至第４項の何れかに記載
   の分析装置であって、２個の二次ピックアップ（８ａ１
   ８ｂ）は変位ピックアップであることを特徴とする。 （８ル　　特許請求の範囲第７項に記載の分析装置であ
   って、２個の二次ピックアップ（８ａ、８ｂ）が渦電流
   ピックアップであることを特徴とする。 （９）、ｆｉ’ＦＩ−請求の範囲第１項乃至第８項の何
   れかに記載の分析装置であって、さらに、−次ピツクア
   ップ（２ａ　、２ｂ）および・または二次ピックアップ
   （８８，８ｂ’）から出される電気信号の分極化の排除
   装置（６４）を含むことを特徴とする。 ＧＯ）、特許請求の範囲第１項乃至第９項の何れかに記
   載の分析装置であって、さらに、−次、二次２ツクアツ
   プから出される電気信号の増幅装置（１２）を含むこと
   を特徴とする。 （＋１）、　　特許請求の範囲第１項乃至第１０項の何
   れかに記載の分析装置であって、同時に、−次ぎツクア
   ップｆ２ａ、２ｂ）から出されるが、軸（６）の変位の
   関数ではない雑音電気信号の排除装置（４８，５０，５
   ２）を含むことを特徴とする。 （１２＋、　　特許請求の範囲第１項乃至第１１項の何
   れかに記載の分析装置であって、さらに、−次、二次ぎ
   ツクアップから出される電気信号の振幅を較正する装置
   （２０）を持つことを特徴とする。 （１３）、　　特許請求の範囲第１項乃至第１２項の何
   れかに記載の分析装置てあって、２個の一次ビツクアッ
   プが相互の間で作る角度、および２個の二次ピックアッ
   プが相互の間で作る角度は９００に等しいことを特徴と
   する。 α４）、特許請求の範囲第１項乃至第１３項の何れかに
   記載の分析装置であって、ディスプレー装置に次のもの
   が含オねることを特徴とする。 −スクリーン（１６）とウェネルト制御装置を備え、２
   個の入力部Ｘ、Ｙを持つディスプレー器（１８）および 一軸受からの４個の入力部と、ディスプレー器の入力部
   Ｘ、Ｙとに対応する２個の出力部を持つマルチプレクサ
   −（２６，２８）装置０Ｓ、特許請求の範囲第１０項乃
   至第１４項の何れかに記載の分析装置であって、ディス
   プレー装置が同時に円形の動きを減速する装置（３６）
   を持つことを特徴とする。 θｅ、特許請求の範囲第１項乃至第１５項の何れかに記
   載の分析装置であって、可動円形（３０゜３２）を描く
   装置は、角度％の位相差の正弦電気信号２組を発生させ
   る発振器（２４）と、軸と軸受の変位による電気信号を
   正弦電気信号と組合せる装置（２２）によって構成され
   ることを特徴とする。 圃　特許請求の範囲第１４項及び第１５項の何れかに記
   載の分析装置であって、円形の可動を減速する装置が、
   ディスプレー装置（１８）のウェネルト制御装置と接続
   する、調節可能周波数のストロボスコープ（３６）で構
   成されることを特徴とする。 側０％許請求の範囲第１７項に記載の分析装置であって
   、さらに、ストロボスコープ（３６）に接続する、円形
   の可動周波数の表示装置（３８）を含むことを特許とす
   る。 ０凱　特許請求の範囲第１項乃至第１８項の何れかに記
   載の分析装置であって、さらに、軸と軸受の絶対運動、
   もしくは軸受に対する軸の相対運動のいずれかを選択す
   る装置を含むととを特徴とする。 （２ｏ）、　　特許請求の範囲第５項及び第６項の何れ
   かに記載の分析装置であって、さらに、単一積分装置（
   ５６）または二重積分装置（５６，５８）から出される
   電気信号の増幅装置（６０）を含むことを特徴とする。 （２］）、　　特許請求の範囲第１項乃至第２０項の何
   れかに記載の分析装置であって、さらに、軸と軸受の変
   位の数値、および観察された各種の運動の位相差を直接
   に測定する装置を含むことを特徴とする。 （２、特許請求の範囲第１項乃至第２１項の何れかに記
   載の分析装置であって、最低１個の軸受に支えられた最
   低１個の軸をそれぞれに備えた、複数の回転機械の振動
   運動の分析を可能とするもので、それらの機械ごとに対
   応する各可動円形の位置の記憶装置（４２）を持つこと
   を特徴とする。