JPS58223639A - 光フアイバ端面への反射防止膜形成方法 - Google Patents
光フアイバ端面への反射防止膜形成方法Info
- Publication number
- JPS58223639A JPS58223639A JP57106381A JP10638182A JPS58223639A JP S58223639 A JPS58223639 A JP S58223639A JP 57106381 A JP57106381 A JP 57106381A JP 10638182 A JP10638182 A JP 10638182A JP S58223639 A JPS58223639 A JP S58223639A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- fiber
- optical fiber
- antireflection film
- tips
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ） 発明の技術分野
本発明は光コネクタに収容する光フアイバ端面への反射
防止Ｈへの形成方法に関′する。
防止Ｈへの形成方法に関′する。
ｆｂ） 技術の背景
光通信は光ファイバを伝送路とし、レーザ光などを用い
て通信を行うものである。こＸで光ファイバにけ＾純度
の二酸化硅素（ｓｉｏｔ）を主成分とする石英系ファイ
バ、多成分のガラスからなる多成分系ファイバおよび合
成樹脂からなるグラスチック系ファイバなどがある。然
し光通信に使用される光ファイバは低損失なことが必要
条件であシ、この点から石英系ファイバが主として用い
られ、現在は波長１．２〜１．３ ｐｍ領域において０
５〔ｄ Ｊ３ ／ｋｍ ：］程度の低損失のものまで実
現されている。
て通信を行うものである。こＸで光ファイバにけ＾純度
の二酸化硅素（ｓｉｏｔ）を主成分とする石英系ファイ
バ、多成分のガラスからなる多成分系ファイバおよび合
成樹脂からなるグラスチック系ファイバなどがある。然
し光通信に使用される光ファイバは低損失なことが必要
条件であシ、この点から石英系ファイバが主として用い
られ、現在は波長１．２〜１．３ ｐｍ領域において０
５〔ｄ Ｊ３ ／ｋｍ ：］程度の低損失のものまで実
現されている。
さて、光通信路における光ファイバの接続は光コネクタ
を用いて行われるが、光ファイバと空気との屈折率が異
るために界面における反射が避けられずそれによる損失
を生じていた。
を用いて行われるが、光ファイバと空気との屈折率が異
るために界面における反射が避けられずそれによる損失
を生じていた。
（Ｃ） 従来技術と問題点
第１図は元コネクタの断面構造を示すものであって（Ａ
ｌは装着後の状態また０３）は光ファイバの外観を示し
ている。
ｌは装着後の状態また０３）は光ファイバの外観を示し
ている。
ここで光ファイバの場合光をファイバ内に閉じ込めるた
めにレーザ光が伝播する中心のコア部分の屈折率を周囲
のクラッド部より大きく形成されている。例えは石英系
光ファイバの場合コア部分の屈折率は１．４６、クラッ
ド部分は１．４５程度であリ、また大きさについて言え
ば線径が１ｍｍのファイバの鳴合、コア部分の直径は約
５０μｍ１またクラッド部分の直径は約１２５μｍであ
り、これを合成樹脂例λ−ばナイロンにより被覆し保繰
することによってファイバケーブルが構成されている。
めにレーザ光が伝播する中心のコア部分の屈折率を周囲
のクラッド部より大きく形成されている。例えは石英系
光ファイバの場合コア部分の屈折率は１．４６、クラッ
ド部分は１．４５程度であリ、また大きさについて言え
ば線径が１ｍｍのファイバの鳴合、コア部分の直径は約
５０μｍ１またクラッド部分の直径は約１２５μｍであ
り、これを合成樹脂例λ−ばナイロンにより被覆し保繰
することによってファイバケーブルが構成されている。
ζ＼で光フアイバ相互を接続するには第１図（Ｉ３）に
示すよう罠プラスチック被覆１を部分的に除いて光ファ
イバ２を露出させた１対の光ケーブル３．３′をそれぞ
れフェルールに固定し研磨盤を使用してフェルールの端
面と光ファイバ２の端面とが同一面と々るように研磨す
る。研磨が終った光ファイバは第１図囚に示すようにフ
ェルール４４′に固定された才まの状態でアダプタ５に
収容後カップリングナツトＣ６′を用いてアダプタ５に
嵌着することで光ファイバ２２′の接続が行われていた
。然し乍らこの場合、光ファイバ２２′の接続は完全に
行われているわけではなく数１０！ｉｎの間隙の存在は
腫けられず、光ファイバと空気との屈折率が異るため反
射を生じ１ケ所につき約４％の反射損失を生じている。
示すよう罠プラスチック被覆１を部分的に除いて光ファ
イバ２を露出させた１対の光ケーブル３．３′をそれぞ
れフェルールに固定し研磨盤を使用してフェルールの端
面と光ファイバ２の端面とが同一面と々るように研磨す
る。研磨が終った光ファイバは第１図囚に示すようにフ
ェルール４４′に固定された才まの状態でアダプタ５に
収容後カップリングナツトＣ６′を用いてアダプタ５に
嵌着することで光ファイバ２２′の接続が行われていた
。然し乍らこの場合、光ファイバ２２′の接続は完全に
行われているわけではなく数１０！ｉｎの間隙の存在は
腫けられず、光ファイバと空気との屈折率が異るため反
射を生じ１ケ所につき約４％の反射損失を生じている。
また反射光が存在するとこれがレーザ光源にまで戻る結
果としてレーザ発振の不安定性を招いている。それでこ
れを防ぐ方法として光ファイバの端面に反射防止膜を設
けれはよいことは判っていたが、光フアイバケーブルの
長さが充分に長いためにこの端面のみ弁動に反射防止膜
を設ける方法は見当らなかった。
果としてレーザ発振の不安定性を招いている。それでこ
れを防ぐ方法として光ファイバの端面に反射防止膜を設
けれはよいことは判っていたが、光フアイバケーブルの
長さが充分に長いためにこの端面のみ弁動に反射防止膜
を設ける方法は見当らなかった。
（ｄ） 発明の目的
本発明は光フアイバケーブルの端面に酸化物系の多層構
成の反射防止膜を形成する方法を提供することを目的と
する。
成の反射防止膜を形成する方法を提供することを目的と
する。
ｔｅｌ 発明の構成
本発明の目的は端面を研磨した複数個の光フアイバケー
ブルを縦に分割したゴム弾性をもつ円筒状のファイバホ
ルダに挟着した状態でスパッタ装置に装着し、次にこの
光ファイバの先端部を陽極基板に予め設けである複数個
のファイバ孔よシ突出せしめた状態でスパッタ処理を施
すことによって多層膜からなる反射防止膜を光ファイバ
の先端部に設ける反射防止膜形成方法により達成される
。
ブルを縦に分割したゴム弾性をもつ円筒状のファイバホ
ルダに挟着した状態でスパッタ装置に装着し、次にこの
光ファイバの先端部を陽極基板に予め設けである複数個
のファイバ孔よシ突出せしめた状態でスパッタ処理を施
すことによって多層膜からなる反射防止膜を光ファイバ
の先端部に設ける反射防止膜形成方法により達成される
。
（ｆ） 発明の実施例
本発明は酸化物系のｒ＊ｉを層状に形成することによシ
使用波長領域に互って反射防止を行うものであって、薄
膜の拐料としては５ｉＯ１（屈折率１．４５ ）、二酸
化チタンＴｉ１ｌ（屈折率２．３）、酸化アルミＡＡＩ
Ｏ＋（屈折率１．６５）などがあり、これを層状に形成
して反射防止膜とする。
使用波長領域に互って反射防止を行うものであって、薄
膜の拐料としては５ｉＯ１（屈折率１．４５ ）、二酸
化チタンＴｉ１ｌ（屈折率２．３）、酸化アルミＡＡＩ
Ｏ＋（屈折率１．６５）などがあり、これを層状に形成
して反射防止膜とする。
この組合せＫついて例を挙げれば、５ｉｏｔ−ＡＡＯｓ
−ＴｉＯ２−５ｌｏｔからなる組合わせ、或はＡ＆へ−
Ｔｉ０１−８ｉＯ１の組合せなどがよい。
−ＴｉＯ２−５ｌｏｔからなる組合わせ、或はＡ＆へ−
Ｔｉ０１−８ｉＯ１の組合せなどがよい。
本発明はこれらの酸化物をスパッタ方法によシ形成する
ものであるがこの場合に適当な膜厚は次式で与えられる
。
ものであるがこの場合に適当な膜厚は次式で与えられる
。
乙・±・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・
・・・・・・・（１） ｎ ここでλ・・・・・・レーザ光の波長 ル・・・・・・酸化物の屈折率 以下薄膜形成法について説明する。
・・・・・・・（１） ｎ ここでλ・・・・・・レーザ光の波長 ル・・・・・・酸化物の屈折率 以下薄膜形成法について説明する。
第２図は本発明に係るスパッタ装置の構成図また第３図
は光ファイバをセットする陽極の構成を示すものである
。
は光ファイバをセットする陽極の構成を示すものである
。
第２図のスタッパ装置は陽極７およびファイバホルダの
装着口８を除いては通常のスパッタ装置す と変らない。すなわちスパッタ〃べき酸化物よりなるタ
ーゲット９は陰極１０上にセットされていると共に内側
を水冷されてお勺高圧ｉｔ源１１の負極側に接続されて
おシまた陽極７は電源１１の正極側に接続されている。
装着口８を除いては通常のスパッタ装置す と変らない。すなわちスパッタ〃べき酸化物よりなるタ
ーゲット９は陰極１０上にセットされていると共に内側
を水冷されてお勺高圧ｉｔ源１１の負極側に接続されて
おシまた陽極７は電源１１の正極側に接続されている。
またＩＩＩ源より絶縁されて存在する排気鐘１２は図示
してない排気系により排気口１３よシ排気されると共に
ニードルパルプ１４を通してアルゴン（Ａｔ）或は酸素
（Ｏりなどが供給され、一定の真空度の下でスパッタが
行われるようになっている。なおスパッタ効率を高める
ためにバイアスコイル１５が設けられている。
してない排気系により排気口１３よシ排気されると共に
ニードルパルプ１４を通してアルゴン（Ａｔ）或は酸素
（Ｏりなどが供給され、一定の真空度の下でスパッタが
行われるようになっている。なおスパッタ効率を高める
ためにバイアスコイル１５が設けられている。
以上のようなスパッタ装置において複数個の光ケーブル
３は第１図（１３１に示すように先端部のプラスチック
被覆１を除き先端部を研磨した状態のものを排気鐘のフ
ァイバホルダの装着口８を通して装置内に導き陽極板１
６設けである多数のケーブルセット孔１７に挿入する。
３は第１図（１３１に示すように先端部のプラスチック
被覆１を除き先端部を研磨した状態のものを排気鐘のフ
ァイバホルダの装着口８を通して装置内に導き陽極板１
６設けである多数のケーブルセット孔１７に挿入する。
こ＼でケーブルセット孔１７は光ケーブル３が嵌合する
大きさに作られている。こ＼で陽極板１６に設けられて
いるケ−ブルセノ１孔１７の先端のファイバ孔１８は光
ファイバ２の径に合わせ段差をもって設けられているの
で九ファイバ２は陽極１６の下面より僅かに突出する状
態に保持される。なお陽極板１６の内部は水冷されてお
り、スパッタの際の発熱により、ケーブルのプラスチッ
ク被覆１が軟化溶着しないようになっている。
大きさに作られている。こ＼で陽極板１６に設けられて
いるケ−ブルセノ１孔１７の先端のファイバ孔１８は光
ファイバ２の径に合わせ段差をもって設けられているの
で九ファイバ２は陽極１６の下面より僅かに突出する状
態に保持される。なお陽極板１６の内部は水冷されてお
り、スパッタの際の発熱により、ケーブルのプラスチッ
ク被覆１が軟化溶着しないようになっている。
さて必要数の光ケーブル３を陽極板１６に挿着した後は
縦に２分割された円筒状のゴム弾性をも゛つ拐科例えば
シリコン樹脂よりなるファイバホルダに光ケーブル３を
挟着しファイバホルダの装着口８に装着することによシ
気密を保持することができる。
縦に２分割された円筒状のゴム弾性をも゛つ拐科例えば
シリコン樹脂よりなるファイバホルダに光ケーブル３を
挟着しファイバホルダの装着口８に装着することによシ
気密を保持することができる。
このようにして光ケーブル３の一部のみを装置内に入れ
以後通常のスパッタを行うことにより５ｌｏｓ 、’Ｉ
”ｌＯｔ 、 Ａ＾０．などの酸化物を光ファイバ２の
断面に析出させ、反射防止膜を作ることができる。
以後通常のスパッタを行うことにより５ｌｏｓ 、’Ｉ
”ｌＯｔ 、 Ａ＾０．などの酸化物を光ファイバ２の
断面に析出させ、反射防止膜を作ることができる。
（ｇｌ 発明の効果
本発明の実施により光ファイバの端面に対し反射防止膜
の形成が可能となりこれにより光コネクタ接続における
反射損失を無くすることが可ｊ泪となった。
の形成が可能となりこれにより光コネクタ接続における
反射損失を無くすることが可ｊ泪となった。
第１図囚は光コネクタの断面図で同図（１３）は光ケー
ブルの斜視図、第２図は本発明を突流するに必要なスパ
ッタ装置の構成図、また第３図はこの陽極板の構造で（
イ）は正面図、０３）ｌ−４断面図である。 図において、１けプラスチック被覆、２２’（ｒｉ光フ
ァイバ３３′は光ケーブル、７は陽極、８ｔ↓フアイバ
ホルダの挿入口、１６は陽極板、１７はケーブルセット
孔、１８はファイバ孔。
ブルの斜視図、第２図は本発明を突流するに必要なスパ
ッタ装置の構成図、また第３図はこの陽極板の構造で（
イ）は正面図、０３）ｌ−４断面図である。 図において、１けプラスチック被覆、２２’（ｒｉ光フ
ァイバ３３′は光ケーブル、７は陽極、８ｔ↓フアイバ
ホルダの挿入口、１６は陽極板、１７はケーブルセット
孔、１８はファイバ孔。
Claims (1)
- 端面を研磨しまた複数個の光フアイバケーブルを縦鈍分
割したゴム弾性をもつ円筒状のファイバホルダに挟着し
た状態でスパッタ装置に装着し、次に該光ファイバの先
端部を陽極基板に予め設けであるＦ ｌ’＆ ｆｌＺＩ
のファイバ孔より突出せしめた状態でスパッタ処理を施
すことによって多属腋からなる反射時＋Ｌ、膜を尤ファ
イバの先端部に設けることを％徴とする光フアイバ端面
への反射防止膜形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57106381A JPS58223639A (ja) | 1982-06-21 | 1982-06-21 | 光フアイバ端面への反射防止膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57106381A JPS58223639A (ja) | 1982-06-21 | 1982-06-21 | 光フアイバ端面への反射防止膜形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58223639A true JPS58223639A (ja) | 1983-12-26 |
| JPH0250065B2 JPH0250065B2 (ja) | 1990-11-01 |
Family
ID=14432127
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57106381A Granted JPS58223639A (ja) | 1982-06-21 | 1982-06-21 | 光フアイバ端面への反射防止膜形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58223639A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2576302A1 (fr) * | 1985-01-22 | 1986-07-25 | Avx Corp | Procede d'application de revetements conducteurs sur des corps ceramiques |
| JPH01118807A (ja) * | 1987-11-02 | 1989-05-11 | Hitachi Ltd | チタン酸化物薄膜の製造方法 |
| EP0473140A2 (en) * | 1990-08-29 | 1992-03-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of forming thin film on fiber end surface |
| WO2004061502A1 (en) * | 2002-12-19 | 2004-07-22 | 3M Innovative Properties Company | Optical fiber mount for vapor deposition equipment |
-
1982
- 1982-06-21 JP JP57106381A patent/JPS58223639A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2576302A1 (fr) * | 1985-01-22 | 1986-07-25 | Avx Corp | Procede d'application de revetements conducteurs sur des corps ceramiques |
| JPH01118807A (ja) * | 1987-11-02 | 1989-05-11 | Hitachi Ltd | チタン酸化物薄膜の製造方法 |
| EP0473140A2 (en) * | 1990-08-29 | 1992-03-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of forming thin film on fiber end surface |
| WO2004061502A1 (en) * | 2002-12-19 | 2004-07-22 | 3M Innovative Properties Company | Optical fiber mount for vapor deposition equipment |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0250065B2 (ja) | 1990-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4445751A (en) | Metal coated, tapered, optical fiber coupled to substrate and method of fabrication | |
| US4375312A (en) | Graded index waveguide structure and process for forming same | |
| US5991492A (en) | Optical fiber-fixing substrate, method of producing the same and optical device | |
| US4907853A (en) | Optical connector using a polarization-maintaining optical fiber | |
| US4917451A (en) | Waveguide structure using potassium titanyl phosphate | |
| JP2002131569A (ja) | 平面型導波路を作成する方法 | |
| US4711514A (en) | Product of and process for forming tapered waveguides | |
| US4398795A (en) | Fiber optic tap and method of fabrication | |
| US4365864A (en) | Optical fibre multiport couplers | |
| GB1440178A (en) | Methods for the manufacturing of preforms for the drawing of glass fibres | |
| KR910005948B1 (ko) | 기판 지지 도파관과 정렬된 콤포넌트를 구비한 소자 | |
| JPS58223639A (ja) | 光フアイバ端面への反射防止膜形成方法 | |
| JPS6083906A (ja) | フアイバ形光結合子およびその製造方法 | |
| JPS58102911A (ja) | 光コネクタ製造方法 | |
| JPS60257413A (ja) | 光電気複合装置 | |
| JPS59148030A (ja) | 光フアイバ−デイスプレイ装置 | |
| JPS56167115A (en) | Connection structure of multicore optical fiber | |
| JPH09152513A (ja) | 光ファイバ心線の無反射端末部 | |
| GB2058390A (en) | Star Coupler | |
| JPS58209709A (ja) | 多モ−ド光フアイバ−用スタ−カプラ及びその製造方法 | |
| JPH07318734A (ja) | 石英系ガラス導波路及びその製造方法 | |
| JP2828276B2 (ja) | 偏波保持形光ファイバカプラの製造方法 | |
| JPS6125110A (ja) | 光分配器 | |
| JPH01239508A (ja) | シングルモード光ファイバとマルチモード光ファイバの接続処理方式 | |
| JPS61166504A (ja) | 光回路デバイス |