JPS58223033A - 屈折率分布型レンズの収差測定方法 - Google Patents
屈折率分布型レンズの収差測定方法Info
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- JPS58223033A JPS58223033A JP10703082A JP10703082A JPS58223033A JP S58223033 A JPS58223033 A JP S58223033A JP 10703082 A JP10703082 A JP 10703082A JP 10703082 A JP10703082 A JP 10703082A JP S58223033 A JPS58223033 A JP S58223033A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は屈折率分布型レンズの球面収差を精度良く測定
する方法に関する。
する方法に関する。
一般にレンズには種々の収差が存在するが、球面収差は
最も基本的な収差である。この球面収差は次のように定
義される。すなわち、オ／図に示すように一般にレンズ
／のガウス像平面（近軸光線−の焦点面）３とレンズ光
軸ダとの交点を０、光軸から充分大なａの距離をおいて
光軸に平行に入射しレンズ／を通過した遠軸光線Ｓがガ
ウス像平面３を横切るときの交点をＢとするとＯＢ間の
距離へｓｔが横収差（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ ａｂｅｒ
ａｔｉｏｎ） を表わし、遠軸光線ｊと光軸ｌとの交
点Ｃと上記０点との間の距離へＳｌが軸上縦収差（Ｌｏ
ｎｇｉｔｕｄ卸ａｌａｂｅｒｒａｔｉｏｎ ）を表わす
。
最も基本的な収差である。この球面収差は次のように定
義される。すなわち、オ／図に示すように一般にレンズ
／のガウス像平面（近軸光線−の焦点面）３とレンズ光
軸ダとの交点を０、光軸から充分大なａの距離をおいて
光軸に平行に入射しレンズ／を通過した遠軸光線Ｓがガ
ウス像平面３を横切るときの交点をＢとするとＯＢ間の
距離へｓｔが横収差（Ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅ ａｂｅｒ
ａｔｉｏｎ） を表わし、遠軸光線ｊと光軸ｌとの交
点Ｃと上記０点との間の距離へＳｌが軸上縦収差（Ｌｏ
ｎｇｉｔｕｄ卸ａｌａｂｅｒｒａｔｉｏｎ ）を表わす
。
符号は牙１図の例の場合△Ｓｔ＜Ｏ、△Ｓｌ〈○ てあ
る。
る。
上記のようにして光軸からの距離ａを種々変えて求めた
△ｓ６とａとの関係を第７図（イ）のようにグラフ化す
ることにより、球面収差のうち軸上縦収差（Ｌ、Ｓ、Ａ
）が示され、また近軸光線−と遠軸光線夕との成す角を
ＵとしてｔａｎＵとへＳｔの関係を第２図（ロ）ように
グラフ化することにより球面収差のうち横収差（Ｔ、Ｓ
、Ａ）が示される。
△ｓ６とａとの関係を第７図（イ）のようにグラフ化す
ることにより、球面収差のうち軸上縦収差（Ｌ、Ｓ、Ａ
）が示され、また近軸光線−と遠軸光線夕との成す角を
ＵとしてｔａｎＵとへＳｔの関係を第２図（ロ）ように
グラフ化することにより球面収差のうち横収差（Ｔ、Ｓ
、Ａ）が示される。
」１記のような球面収差を写真レンズや望遠鏡用対物レ
ンズなどのレンズについて測定する一般的な方法として
ハルトマンテストが知られている。
ンズなどのレンズについて測定する一般的な方法として
ハルトマンテストが知られている。
このハルトマンテストでは、コリメーターがら射出する
平行光線束をコリメーターに正対しておいた被験レンズ
で受りる。コリメーターと被験レンズの間に等間隔に配
置したピンホールをもつ隔板をおくと、ピンホールから
出た光は一本一本が光線のようにレンズを通過してその
焦点に集るが、焦点をはさんで前後においた一枚の乾板
で順次撮影すると光線のレンズの入射高り４両乾板にお
ける高２ｈ１・ｈ２ 、両乾板の間隔りがら、光線が光
軸と交る点の前方乾板からの距離ｌは、で求められる。
平行光線束をコリメーターに正対しておいた被験レンズ
で受りる。コリメーターと被験レンズの間に等間隔に配
置したピンホールをもつ隔板をおくと、ピンホールから
出た光は一本一本が光線のようにレンズを通過してその
焦点に集るが、焦点をはさんで前後においた一枚の乾板
で順次撮影すると光線のレンズの入射高り４両乾板にお
ける高２ｈ１・ｈ２ 、両乾板の間隔りがら、光線が光
軸と交る点の前方乾板からの距離ｌは、で求められる。
次にたて軸にり、横軸にｌをよってｌ （ｈ）の曲線を
描きｈ＝ｏに対する４の値ｌｐを求めれば１−６ｐが球
面収差となる。
描きｈ＝ｏに対する４の値ｌｐを求めれば１−６ｐが球
面収差となる。
しかしながら上記測定方法を屈折率分布型レンズの球面
収差測定に適用するとなると屈折率分布型レンズに個有
の次のような問題を生じる。
収差測定に適用するとなると屈折率分布型レンズに個有
の次のような問題を生じる。
すなわちコリメーターと被験レンズとの間に配置される
隔板のピンホールの孔径を充分に小さくし−（モレンズ
から出射するビームの径がレンズ入射時に比べて相当量
拡大するという現像を生じ、このため前述の乾板上での
光スポツト径がかなり大きなものとなるとともに周辺部
はぼけているため光軸との間の距離ｈ１あるいはｈ２を
精度よく測 １．１定できないという問題があっ
た。
隔板のピンホールの孔径を充分に小さくし−（モレンズ
から出射するビームの径がレンズ入射時に比べて相当量
拡大するという現像を生じ、このため前述の乾板上での
光スポツト径がかなり大きなものとなるとともに周辺部
はぼけているため光軸との間の距離ｈ１あるいはｈ２を
精度よく測 １．１定できないという問題があっ
た。
本発明の目的は上述の問題点を解決し、屈折率分布型レ
ンズの球面収差を高精度で測定することのできる方法を
提供することである。
ンズの球面収差を高精度で測定することのできる方法を
提供することである。
以Ｆ本発明について詳細に説明する。
屈折率分布型レンズは、光軸」−での屈折率を、ｎｏ
として光軸からｒの距離におりる屈折率ｎ （ｒ）が、 ｎ２（ｒ）＝ｎ２ｏ （／−（ｇｒ）２）・・・・・・
・（１）ｇ：分布定数 で表わされる屈折率分布をもつ透明なガラスまたはプラ
スチックからなるレンズであって一般的には両端面を平
竹平面とし半径方向に上記屈折率分布を与えた円柱体で
ある。
として光軸からｒの距離におりる屈折率ｎ （ｒ）が、 ｎ２（ｒ）＝ｎ２ｏ （／−（ｇｒ）２）・・・・・・
・（１）ｇ：分布定数 で表わされる屈折率分布をもつ透明なガラスまたはプラ
スチックからなるレンズであって一般的には両端面を平
竹平面とし半径方向に上記屈折率分布を与えた円柱体で
ある。
このような屈折率分布型レンズにあっては第３図に示す
ように屈折率分布型レンズ１０の一方の端面において光
軸から偏位させて入射させた光ビーム／／はレンズ内を
サインカーブを描いて進行した後、他端面から出射する
。
ように屈折率分布型レンズ１０の一方の端面において光
軸から偏位させて入射させた光ビーム／／はレンズ内を
サインカーブを描いて進行した後、他端面から出射する
。
そして入射端面上でのビームスポット半径Ｗが、この屈
折率分布型レンズ１０に固有のスポットサイズＷＯより
も大であると第３図（イ）のようにビームがレンズ１０
の集束作用により集束された後拡散するので精度の良い
測定ができなくなる。
折率分布型レンズ１０に固有のスポットサイズＷＯより
も大であると第３図（イ）のようにビームがレンズ１０
の集束作用により集束された後拡散するので精度の良い
測定ができなくなる。
また逆にビームスポット半径Ｗが上記固有スポットサイ
ズＷＯよりも小さい場合は第３図（ロ）のように回折で
広がり角をもつビームがコリメートされて出射されるた
めビーム径ｄが大きくなりやはり」１記と同様に測定精
度が悪くなる。
ズＷＯよりも小さい場合は第３図（ロ）のように回折で
広がり角をもつビームがコリメートされて出射されるた
めビーム径ｄが大きくなりやはり」１記と同様に測定精
度が悪くなる。
上記問題を回避するため本発明方法では、球面収差を測
定すべき屈折率分布レンズの一方の端面に光軸から偏位
させて光ビームを、レンズ端面上でのビームスポット半
径Ｗが上記レンズの固有スポットサイズＷＯにほぼ一致
するように制御して入射させる。
定すべき屈折率分布レンズの一方の端面に光軸から偏位
させて光ビームを、レンズ端面上でのビームスポット半
径Ｗが上記レンズの固有スポットサイズＷＯにほぼ一致
するように制御して入射させる。
ここで固有スポットサイズＷＯは、
ＷＯ−λ／２π・ｎＯｌ・ｇ・・・・・・・・・・ （
，２）で求めることができる。
，２）で求めることができる。
（））式においてλは使用光線波長、ｎｏはレンズの光
軸上の屈折率１ｇは（１）式における屈折率分布定数で
あり、一般にはＷｏ−１０〜ノ３μｍが使用される。こ
のようにレンズの入射端面Ｊ、でのビームスポット半径
を上記固有スポットサイズに選んだ場合は入射したビー
ムは一定のスポットサイズで進行し、中心軸に垂直な各
断面においてはビームの光線同志の間に位相速度のずれ
はない。
軸上の屈折率１ｇは（１）式における屈折率分布定数で
あり、一般にはＷｏ−１０〜ノ３μｍが使用される。こ
のようにレンズの入射端面Ｊ、でのビームスポット半径
を上記固有スポットサイズに選んだ場合は入射したビー
ムは一定のスポットサイズで進行し、中心軸に垂直な各
断面においてはビームの光線同志の間に位相速度のずれ
はない。
このためレンズから出射するビームはほとんど拡がり角
をもたず非常に細いため、レンズ端面から離れた仮想測
定面上におけるビーム中心と光軸との距離を例えば後述
実施例で示すような光電的測定方法を併用することによ
って極めて高精度で測定することができる。
をもたず非常に細いため、レンズ端面から離れた仮想測
定面上におけるビーム中心と光軸との距離を例えば後述
実施例で示すような光電的測定方法を併用することによ
って極めて高精度で測定することができる。
以Ｆ本発明を図面に示した実施例について詳細に説明す
る。
る。
オ１図は本発明方法を実施する装置の全体の平面図を示
し、オタ図に要部の平面視を模式的に示す。ｉｏは球面
収差が測定される屈折率分布型レンズであり、このレン
ズＩＯはｘ−ｙ−ｚの平行三軸およびアｎり角度三軸か
らなる３１六軸方向に移動できる微動ステージ／２ 上
の■溝基台に載せてあり、この微動ステージ７．２はＸ
−７軸方向に移動調整できる一＼−ススチーシフ３上に
載置されている。
し、オタ図に要部の平面視を模式的に示す。ｉｏは球面
収差が測定される屈折率分布型レンズであり、このレン
ズＩＯはｘ−ｙ−ｚの平行三軸およびアｎり角度三軸か
らなる３１六軸方向に移動できる微動ステージ／２ 上
の■溝基台に載せてあり、この微動ステージ７．２はＸ
−７軸方向に移動調整できる一＼−ススチーシフ３上に
載置されている。
また、このベースステージ／３上には、他の六輪微動ス
テージ／ｌが載置してあり、この微動ステージ／グにス
リット板／！；が取り付けられていてこのスリット板／
ｊを被測定レンズ１０の端面から若干部して、一般には
数ミリ以内の距離で光軸に直交させて配置している。
テージ／ｌが載置してあり、この微動ステージ／グにス
リット板／！；が取り付けられていてこのスリット板／
ｊを被測定レンズ１０の端面から若干部して、一般には
数ミリ以内の距離で光軸に直交させて配置している。
このスリット板／ｊは透明ガラス乾板に開口幅が約７０
μｍの遮光被膜を設けたものである。
μｍの遮光被膜を設けたものである。
また、スリット板／Ｓの背後には光軸に直交させてフォ
トディテクター／６が配置してあり、このフォトディテ
クター／乙で検出された受光量がパワーメーター／７で
測定される。
トディテクター／６が配置してあり、このフォトディテ
クター／乙で検出された受光量がパワーメーター／７で
測定される。
被測定レンズＩＯの前方にはレーザー光源／ざ。
偏光ビームスプリッタ／９，４分の／波長板−〇。
マツチングレンズ２／が中心軸を一致させて順次配置し
である。
である。
上記装置において光源／ざとして例えば、λ−乙３２ざ
Ａの直線偏波のヘリウムネオンレーザ−を使用し、この
光源／ざからのビーム、２−を偏光ビームスプリッタ／
９および１分の／波長板、２０に通ず。これにより反射
光はその偏波面がレーザーから出射した直後の光線に対
して直交するため矢印ノ３の方向匠除去される。次に４
分の／波長板、２０を通したビームはマツチングレンズ
、２／により、屈折率分布型レンズ１０の端面」二での
スポット半径Ｗが前述（２）式で求められる上記レンズ
１０の固有スポットサイズＷＯに一致するように絞り込
み、被測定レンズＩＯＫ光軸がら偏位させて且つ光軸に
平行に入射させる。
Ａの直線偏波のヘリウムネオンレーザ−を使用し、この
光源／ざからのビーム、２−を偏光ビームスプリッタ／
９および１分の／波長板、２０に通ず。これにより反射
光はその偏波面がレーザーから出射した直後の光線に対
して直交するため矢印ノ３の方向匠除去される。次に４
分の／波長板、２０を通したビームはマツチングレンズ
、２／により、屈折率分布型レンズ１０の端面」二での
スポット半径Ｗが前述（２）式で求められる上記レンズ
１０の固有スポットサイズＷＯに一致するように絞り込
み、被測定レンズＩＯＫ光軸がら偏位させて且つ光軸に
平行に入射させる。
マツチングレンズ２／としては焦点距離１カ）、ｆ−，
２Ｗ○・、！Ｗｇ ゛・ ０．１．２λ λ−波長 Ｗｌ−レンズに入射するレーザー光のビーム半径のもの
を使用するのが望ましい。−例としてｆ＝夕Ｑｍｍ程度
の顕微鏡対物レンズを用いる。なお、マツチングレンズ
２／を使用するがわりに、上記固有スボソトザイズＷＯ
に等しい孔径のピンホールにレーザービームを通した後
、被測定レンズに入射させるようにしてもよい。
２Ｗ○・、！Ｗｇ ゛・ ０．１．２λ λ−波長 Ｗｌ−レンズに入射するレーザー光のビーム半径のもの
を使用するのが望ましい。−例としてｆ＝夕Ｑｍｍ程度
の顕微鏡対物レンズを用いる。なお、マツチングレンズ
２／を使用するがわりに、上記固有スボソトザイズＷＯ
に等しい孔径のピンホールにレーザービームを通した後
、被測定レンズに入射させるようにしてもよい。
ただし、実施例のようにレンズ、２／で固有スポットサ
イズに集光させる方がビームパワーが大きく検出感度が
高くなるので有利である。
イズに集光させる方がビームパワーが大きく検出感度が
高くなるので有利である。
上記装置を用いて屈折率分布型レンズ１０の球面Ｑ差を
測定するに当っては当初スリット板／ｊをオｌの仮想測
定面Ｐ／に配置する。
測定するに当っては当初スリット板／ｊをオｌの仮想測
定面Ｐ／に配置する。
次にスリット板／Ｓの開ロアＫｋを通ってフォトディテ
クター／乙に受光される光量をパワーメーター７７で測
定しつつ微動ステージ／ｑによりスリット板ｉｓを光軸
直交方向に移動させて上記受光量が最大となる位置を求
め、光軸から上記位置までのスリット移動距離を測定す
る。この移動距離はスリット板／！；を支持する微動ス
テージ、１に接触させて配置したダイアルゲージ、２１
で読みとる。
クター／乙に受光される光量をパワーメーター７７で測
定しつつ微動ステージ／ｑによりスリット板ｉｓを光軸
直交方向に移動させて上記受光量が最大となる位置を求
め、光軸から上記位置までのスリット移動距離を測定す
る。この移動距離はスリット板／！；を支持する微動ス
テージ、１に接触させて配置したダイアルゲージ、２１
で読みとる。
上記操作によって屈折率分布型レンズ１０の端面に光軸
からｈの距離偏位させて入射したビームがレンズｉｏで
曲げられて出射した後、測定面Ｐ１と交わる点と光軸と
の間の距離ｈ１を高精度で測定することができる。
からｈの距離偏位させて入射したビームがレンズｉｏで
曲げられて出射した後、測定面Ｐ１と交わる点と光軸と
の間の距離ｈ１を高精度で測定することができる。
次にスリット板１５を第１図のＺ軸方向に平行移動させ
、第２の仮想測定面Ｐ２において上記と同様の操作を行
なって出射ビームと測定面Ｐ、２との交点から光軸まで
の距離ｈ２を測定する。
、第２の仮想測定面Ｐ２において上記と同様の操作を行
なって出射ビームと測定面Ｐ、２との交点から光軸まで
の距離ｈ２を測定する。
上記の測定面Ｐ／およびＰ２の位置は任意でよいがあま
りレンズ端面から離れるとビームのひろがりが大きくな
って測定精度が悪くなるのでレンズ端面から３ｍ／ｍ以
下程度に選ぶことが望ましい。
りレンズ端面から離れるとビームのひろがりが大きくな
って測定精度が悪くなるのでレンズ端面から３ｍ／ｍ以
下程度に選ぶことが望ましい。
次に微動ステージ７．２を操作して屈折率分布型レンズ
１０を光軸直交方向に移動させ、前述の距離りを変えて
」〕記と同様にして測測定面Ｐ／およびＰノでの光軸か
らのビーム偏位量ｈ１．ｈ２を測定する。
１０を光軸直交方向に移動させ、前述の距離りを変えて
」〕記と同様にして測測定面Ｐ／およびＰノでの光軸か
らのビーム偏位量ｈ１．ｈ２を測定する。
この過程を繰り返して種々の距離ｈ（プラス側およびマ
イナス側）の入射光線に対するｈ１＋ ｈ２ を求める
。
イナス側）の入射光線に対するｈ１＋ ｈ２ を求める
。
具体的数値例をオ乙図に示す。。
本例は被測定レンズ１０として直径、２ ｍ／ｍ 、分
布定数ｇ ＝ ０ 、３７ ｍ／ｍ−１ｙレンズ長０．
２２周期長、固有スポットサイズＷｏ＝１５μφの屈折
率分布型レンズを用い、レンズ半径の１０分の／のピン
チで入射ビームの光軸からの偏位量を順欧変化（光軸か
らプラス側ヘワ点、マイナス側へ７点）させて求めたＪ
、１１２のグラフである。
布定数ｇ ＝ ０ 、３７ ｍ／ｍ−１ｙレンズ長０．
２２周期長、固有スポットサイズＷｏ＝１５μφの屈折
率分布型レンズを用い、レンズ半径の１０分の／のピン
チで入射ビームの光軸からの偏位量を順欧変化（光軸か
らプラス側ヘワ点、マイナス側へ７点）させて求めたＪ
、１１２のグラフである。
被測定レンズ端面からオ／の測定面Ｐ／までの距離を、
２．００μｍ、オフの測定面までの距離をｌｒｏｏｔｔ
ｍに選んでいる。
２．００μｍ、オフの測定面までの距離をｌｒｏｏｔｔ
ｍに選んでいる。
オ乙図のグラフの左右たて軸はそれぞれ測定面Ｐ／、Ｐ
２での光軸からのビーム偏位量ｈ１．ｈ２を表わす。中
央の破線は近軸焦点位置を示す。
２での光軸からのビーム偏位量ｈ１．ｈ２を表わす。中
央の破線は近軸焦点位置を示す。
このように各りに対応するｈｌ １ ｈ２の画点を直線
で結び、＋ｈと−ｈの直線の交点と中心軸との距離を求
めればこれが球面収差となる。
で結び、＋ｈと−ｈの直線の交点と中心軸との距離を求
めればこれが球面収差となる。
オフ図にオ乙図のグラフから求めた球面収差（Ｌ。
Ｓ、Ａ）のグラフを示す。
牙７図のグラフにおいてたて軸はレンズ半径ｒ。
を／としたときの入射ビームと光軸間の距離りを示し、
横軸は球面収差量（単位μｍ）を表わす。
横軸は球面収差量（単位μｍ）を表わす。
以上のようにして本発明方法によれば、被測定レンズ内
および出射後においてビームの広がりがほとんど生しな
いためコマや非点収差の影響を受りず、また被測定レン
ズ端面から測定面Ｐ／、Ｐ２までの距離をビーム径の増
大をは々んど伴なわずに相対−的に大きくとることがで
きるため、測測定面Ｐ／、Ｐ、２での光軸からのビーム
偏位置を簡単な装置を用いて容易に高い精度で測定する
ことができる。
および出射後においてビームの広がりがほとんど生しな
いためコマや非点収差の影響を受りず、また被測定レン
ズ端面から測定面Ｐ／、Ｐ２までの距離をビーム径の増
大をは々んど伴なわずに相対−的に大きくとることがで
きるため、測測定面Ｐ／、Ｐ、２での光軸からのビーム
偏位置を簡単な装置を用いて容易に高い精度で測定する
ことができる。
また」１記偏位量を測定するにあたり、図示例のように
スリット、ピンホール等の微小な開口幅をもつ遮光体を
介して出射ビームの受光量を測定しつつ最人光債の得ら
れる遮光体位置を求めるようにすれば、ビームの中心位
置を極めて簡単に高精度で決定することができる。
スリット、ピンホール等の微小な開口幅をもつ遮光体を
介して出射ビームの受光量を測定しつつ最人光債の得ら
れる遮光体位置を求めるようにすれば、ビームの中心位
置を極めて簡単に高精度で決定することができる。
オフ図はレンズの球面収差の定義を示す模式図。
オフ図（イ）、（ロ）はそれぞれ球面収差のうち軸」二
縦収差（Ｌ、Ｓ、Ａ）および横収差（Ｔ、Ｓ、Ａ）を示
すグラフ、第３図（イ）、（ロ）は屈折率分布型レンズ
の球面収差測定において入射ビーム径が不適切である場
合の問題を示す側断面図、オＩ１図は本発明方法を実施
するための装置の一例を示す平面図、１５図は第４／図
の装置の要部を示す平面図、オ乙図は具体例数値例につ
いて測測定面Ｐ／、Ｐ、２における光軸からのビーム偏
位量を示ずグラフ、オフ文はオ乙図のグラフから求めた
屈折率分布型レンズのグラフである。 １０・・・・・・・・屈折率分布型レンズ、／Ｓ・・・
・・・スリット板／乙・・・・・・・・フォトディテク
ター。 ／Ｉｒ・・・・・・・・レーザー光線、／ワ・・・・・
・偏光ビームスプリッタ 、２０・・・・・・・・１分の／波長板、Ｐ／、Ｐ’２
・・・・・・・・測定面第１図 第２図 （イ） （ロ）第３図 第４図 第６因 Ｐ４
Ｐ２Ｕンス゛戯祖ｐ祐シカ＼二２つアε＃
（ｔＬｍ）第７図 柚詐出ＭＡＦＵ木板硝半鰺すΔ）↓ ／ 事件の表示 ＃！ｊ願昭５７〜１０７０斗０号 礪沿追−−−−−−−−−ゆ− ！ 発明の名称 屈折率分布型レンズの収差測定方法 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 大阪府大阪市東区道修町４丁目８番地名称 （
１／θ０）日本板硝子株式会社代表者 刺 賀 信
雄 グ代理人 ７ 補１１−の内容 １） 明細書の牙！頁ノオ７６行目１ｐｃ ［ａ、ｂｅ
ｒａｔｉｏｎ ｊとあルノをｌ’ ａ、ｂｅｒｒａｔｉ
ｏｎ 、１ と補市する。 ２） 明細書オ／／頁オワ行ないしオ／／行に、１次に
敞動ステージ／２を操作して ・・・移動させ、前述の
距離りを変えて−」とあるのを、［この過程を種々の距
ａｈの入射光線について行ないｈｌを求める。 吹にスリット板／Ｓをオグ図の２軸方向に平ｔＴ移動さ
せオフの仮想測定面Ｐ２において、上記と同様の操作を
行なって出射ビームと測定面Ｐ２との交点から光軸まで
の距離ｈ２ を測定する。」と補第１図 瞥
縦収差（Ｌ、Ｓ、Ａ）および横収差（Ｔ、Ｓ、Ａ）を示
すグラフ、第３図（イ）、（ロ）は屈折率分布型レンズ
の球面収差測定において入射ビーム径が不適切である場
合の問題を示す側断面図、オＩ１図は本発明方法を実施
するための装置の一例を示す平面図、１５図は第４／図
の装置の要部を示す平面図、オ乙図は具体例数値例につ
いて測測定面Ｐ／、Ｐ、２における光軸からのビーム偏
位量を示ずグラフ、オフ文はオ乙図のグラフから求めた
屈折率分布型レンズのグラフである。 １０・・・・・・・・屈折率分布型レンズ、／Ｓ・・・
・・・スリット板／乙・・・・・・・・フォトディテク
ター。 ／Ｉｒ・・・・・・・・レーザー光線、／ワ・・・・・
・偏光ビームスプリッタ 、２０・・・・・・・・１分の／波長板、Ｐ／、Ｐ’２
・・・・・・・・測定面第１図 第２図 （イ） （ロ）第３図 第４図 第６因 Ｐ４
Ｐ２Ｕンス゛戯祖ｐ祐シカ＼二２つアε＃
（ｔＬｍ）第７図 柚詐出ＭＡＦＵ木板硝半鰺すΔ）↓ ／ 事件の表示 ＃！ｊ願昭５７〜１０７０斗０号 礪沿追−−−−−−−−−ゆ− ！ 発明の名称 屈折率分布型レンズの収差測定方法 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 大阪府大阪市東区道修町４丁目８番地名称 （
１／θ０）日本板硝子株式会社代表者 刺 賀 信
雄 グ代理人 ７ 補１１−の内容 １） 明細書の牙！頁ノオ７６行目１ｐｃ ［ａ、ｂｅ
ｒａｔｉｏｎ ｊとあルノをｌ’ ａ、ｂｅｒｒａｔｉ
ｏｎ 、１ と補市する。 ２） 明細書オ／／頁オワ行ないしオ／／行に、１次に
敞動ステージ／２を操作して ・・・移動させ、前述の
距離りを変えて−」とあるのを、［この過程を種々の距
ａｈの入射光線について行ないｈｌを求める。 吹にスリット板／Ｓをオグ図の２軸方向に平ｔＴ移動さ
せオフの仮想測定面Ｐ２において、上記と同様の操作を
行なって出射ビームと測定面Ｐ２との交点から光軸まで
の距離ｈ２ を測定する。」と補第１図 瞥
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ］） ＩｉＴ！折率分布型レンズの一しの端面に光軸
から偏位させて光ビームを、レンズ端面上でのビームス
ポット１′−径ＷＯが ＷＯ−λ／２π・ｎＯ・ｇた
たし、λ・使用光線波長 ｎＯ：レンズ中心屈折率 ｇ：レンズの屈折率分布定数 の関係をほぼ満足するように入射させ、レンズ他端面か
ら一定距離をおいた仮想測定面上での出射ビームとソＣ
軸間の距離を測定することを特徴とする屈折率分布型レ
ンズの収差測定方法。 ２） 前記測定面に微小幅の開口を設けた遮光体を配置
するとともにこの遮光体背後にフォトディテクターを配
置し、前記フォトディテクターにより受光量を測定しつ
つ遮光体を光軸に直交する方向に移動さセ、基準点から
前記受光量が最大となる位置までの遮光体移動距離を測
定することにより、測定面上における出射ビーム中心と
光軸間の距離を求めるようにした特許請求の範囲オ／項
記載の屈折率分布型レンズの収差測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10703082A JPH0237972B2 (ja) | 1982-06-22 | 1982-06-22 | Kutsusetsuritsubunpugatarenzunoshusasokuteihoho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10703082A JPH0237972B2 (ja) | 1982-06-22 | 1982-06-22 | Kutsusetsuritsubunpugatarenzunoshusasokuteihoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58223033A true JPS58223033A (ja) | 1983-12-24 |
| JPH0237972B2 JPH0237972B2 (ja) | 1990-08-28 |
Family
ID=14448731
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10703082A Expired - Lifetime JPH0237972B2 (ja) | 1982-06-22 | 1982-06-22 | Kutsusetsuritsubunpugatarenzunoshusasokuteihoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0237972B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08210947A (ja) * | 1995-10-25 | 1996-08-20 | Topcon Corp | レンズメーター |
| RU2606781C1 (ru) * | 2015-06-30 | 2017-01-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Иркутский государственный университет путей сообщения" (ФГБОУ ВО ИрГУПС) | Способ определения сферической аберрации объективов и линз |
-
1982
- 1982-06-22 JP JP10703082A patent/JPH0237972B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08210947A (ja) * | 1995-10-25 | 1996-08-20 | Topcon Corp | レンズメーター |
| JP2598247B2 (ja) * | 1995-10-25 | 1997-04-09 | 株式会社トプコン | レンズメーター |
| RU2606781C1 (ru) * | 2015-06-30 | 2017-01-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Иркутский государственный университет путей сообщения" (ФГБОУ ВО ИрГУПС) | Способ определения сферической аберрации объективов и линз |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0237972B2 (ja) | 1990-08-28 |
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