JPS5821583A - コリメ−タ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子顕微鏡のアタッチメノシとして使用される
Ｘ線マイタロアナライザー（以下ｘＭムという）の半導
体検出器の入射部に取シ付けられるコリメーターに関す
る。さらに、コリメーターの従来の働きである散乱線を
防止する能力を同上させる目的で、二つの孔を有するよ
うＫしたのが。

本発明の特徴である。

１１１図に従来のコリメーターの構成国を示す−４、サ
ンプル上のｊｌｌｃＫ電子ビームが照射され。

：Ｉリメータ−６の孔を通って半導体検出器ｈＫＸ線及
び散１線が入射して論る。ここで、サンプル上のドーナ
ツ型の領域ｄからの散乱線は、コリメーター〇の内壁で
鏡面散乱して検出ｒｊＩｂに入射している。

この強−散乱線を検出ｍｈＫ入射させないことは。

ＸＭムのデーターのバッタグラｙ）″を小さくシ。

８／１ｉを上げることにつながる。

未発明は、上に述べｔような強い散乱線を防止すること
を目的としｔ２つの孔を有するコリメーターに関するも
のである。

第２図に本発明によるコリメーター−の構成国を示す、
領域ｄからの強−散乱線は検出器＆に入射せず、途中の
コリメーターによ〕纏断されている。途中のコリメータ
ーは１図中のｌとｆの関みの領域にあればその効果を発
揮する。コリメーターにあ社る孔の径は１分析点Ｃと検
出器すを結ぶ線が線断されない大きさが望ましい、従り
て検出器ｈＫ近＾方にコリメーターを設ければ、孔の径
は大きくなプ１分析点ＧＫ近い方に設ければ孔の径は小
さくてよ−。グラファイト材を使用して。

本発明によるコリメーターを作製し、その効果を実験し
た。Ｘ線の分析領−１，０〜２０＆ｍＶ　において８／
’Ｍはほぼ５倍向上した。

以上述べた１５に、二つの孔を有するコリメーターの使
用Ｋ　Ｊ：　ｌ）　８／Ｍを改善し、　ＸＭＡの検出線
ｉ及びＮＷの向上が計れる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のコリメーターの構Ｊ図 α・・ツリメーター ｂ・・半導体検出器 Ｃ・・電子ビームが照射されている測定点ｄ・・試料面
上で、−３リメーターの内面で鏡面反射して検出器に入
射してしまう領 域 謳２図は本発明のコリメーターの構鷹図−・・本発明に
するコリメーター ／、ｇａｓ　Ｃｅ　ｈを結ぶ線と散乱線の交叉する点に
・・新しく般社るコリメーターの有効な設電範囲を示す
ｅ 以　　　上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. Ｘ線マイタロアナライザーで使用される半導体検出器の
   入口に使用され、前部と後部に二つの孔を有することを
   特徴とすゐコリメーター。