JPS58206935A - 水晶温度計 - Google Patents

水晶温度計

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Publication number
JPS58206935A
JPS58206935A JP7434882A JP7434882A JPS58206935A JP S58206935 A JPS58206935 A JP S58206935A JP 7434882 A JP7434882 A JP 7434882A JP 7434882 A JP7434882 A JP 7434882A JP S58206935 A JPS58206935 A JP S58206935A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibrator
around
rotating angle
temperature measuring
range
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7434882A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshitsugu Ueda
敏嗣 植田
Eiji Ogita
英治 荻田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Yokogawa Hokushin Electric Corp
Yokogawa Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp, Yokogawa Hokushin Electric Corp, Yokogawa Electric Works Ltd filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP7434882A priority Critical patent/JPS58206935A/ja
Publication of JPS58206935A publication Critical patent/JPS58206935A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/32Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using change of resonant frequency of a crystal

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、水晶振動子を測温素子として用いた水晶温度
計に関する。
水晶は結晶異方性を有しているので、切り出し角を適当
に選択することによって、温度係数を零にすることもで
き、又、逆に温度係数を大きくすることもできる。この
温度係数の大きな振動子を測温素子として用いたものが
水晶潟庭計で、^分解能、高安定性、周波数出力等の特
徴を有している。
ところで、水都シ動子の周波数温度特性は、F: (’
?” ) ==・F (’l’o )  (1+A (
1−−1−0)+  B  (T、、、   ’T’o
   )   2  −F C(T’−1’o   )
   ’   )・・・(1) 但し、 f (丁)二重℃における周波数A、I’3.
C: 1.2.3次の温度係数で、切り出し角によって 決まる定数 e示される3、従来の水晶温度計では、この1次の温度
係数Aが大きく、2次及び3次の温度係数13.Cが零
に近い、厚みJべり振動を基本とし/j水晶振動子が、
用いられ1いる。例えば、2次及び3次の温度係数B、
Cがほぼ零で、1次の温度係数Aが水晶の最大温度係数
の約1/3の、l−Cカットと呼ばれる水晶振動子が、
温度測定用振動子として用いられでいる(尚、2次及び
3次の温度係数B、Cを零に近づけるの番11水晶振動
子の共振周波数と温度との関係をリニアにするためであ
る)、l しかし、沖みリベり撮動を基本とした振動Yは、小形化
が回能な土に、消費電ツノが人さ′いという欠点を有し
ており、これが、そのまま従来の水晶温度計にお番ノる
測温素子部の欠点となっていた。
本発明は、この点に賜み1なされIcもの(・、その目
的は、測温素子部の小形化及び低消費電力化が司能な水
晶1■1を提供することにある以F1図面を参照し本発
明の詳細な説明づる第1図は本発明に係る水晶1il 
III ifの測温木f部の一実施例を承り正面断面図
、第2図は側面11i面図である。両図において、1は
後)ホの水へ−1振動子、2はこの振動子1を収納する
ための金属ケース、3は振動子1を金属ケース2内部に
固定する取付部である。この取付部3は、ぞの表面積が
振動子1と同程度で、熱伝尋率の高い材料から構成され
ている。又、4は金属ケース2下部のベース5に取り付
けられた端子である。
尚、金属ケース2内には、振動子1と被測定雰囲気との
間の熱伝達を迅速に行うため、ヘリウムガス等の不活性
ガスや、窒素ガス等の活性のここで、上述の振動(−1
の説明に戻る。この実施例の振動子1は、断面形状が長
方形状で、その共振周波数1は次式で示される。
f=−a−■/ Q’ ) ・CrηB−・72 >但
し、a;振動姿態、断面形状により決まるまる定数 Q;振動子1の長さ [;振動子1の岸さ ρ:系動子1の密度 S:振動子1の−」ンプライアンス 従って、この振動f1の周波数温度特性は、次式のよう
になる。
ここr1100にjJζすように、αを電気軸Xまわり
の回転角にとり、第4図に示づように、βを舶記α回転
後の光軸7−J、わりの回転角にとり、α、βを変えた
どきの湯度特性を求めるとそれぞれ第5図、第6図のよ
うになる(縦軸tよ共振周波数の変化Δf/fをホし、
第5図(−i、1β−0°、第6図では、−α=60°
である)本発明では、αを40°〈−α<140”の範
囲にとり、βを−403くβ〈+40°の範囲にとって
おり、振動7−1のカットも、この条f’1を満足する
bのである。、第3図及び第4図の如く切り出された振
動子1の振動モードは、屈曲振動(音叉形回曲)である
。この振動f−1のドライブは、従来と全く同様41回
路にて行われる尚、この実施例の場合、振動子の共振周
波数自体は、1次の渇1真特性を右しないことになるが
、マイクロ′プロセッサ等を用いれば容易にリニアライ
ズできるので、水晶温度計としては何ら障害にならない
このような構成の上記実施例の場合、水都の最大潟度係
数若しくはその付近の油を使用できるIこめ、分M能が
上がる。又、切り出し角に多少のずれがターじても温1
111係数にあまり影響が出ないように、切り出し角を
選択できる。更に、P−みづベリ振動を用いないため、
測温素子部の小形化・低消費電力化を達成できる。
尚、」−記実施例において(J、振動し−ドとしく屈曲
振動の例を述べたが、第4図の代わりに第7図の如く切
り出せば、長辺振動のiiI振動子とじ−(用いること
かできる。この場合のβの範囲も、第4図の場合の範囲
とtよば同一である1゜又、振動子の形状は、B叉形に
限らず、複合音叉形や棒形等であってもよい。要は、振
動モードどして、屈曲振動、縦振動を用いているものC
あればよい1゜ 以上説明したように、本発明によれば、厚みづべり振動
の振動子を用いないため、測温素子部の小形化及び低温
¥に電JJ化を実現ぐきる。
【図面の簡単な説明】
第1図Iよ本発明の一実施例の要部を示J正面断面図、
第2図は側面断面図、第3図及び第4図は第1図、中の
振動子の切り出しに関9る説明図、第5図及び第6図は
第3図及び第4図中のα、βに灼−4る共振周波数の変
動を承り説明図。 第7図は他の振動子の切り出しに関づる説明図である。 1・・・水品振勅子   2・・・金属ケース3・・・
取付部     4・・・端子5・・・ベース 特蔚出願人  株式会社 横河′#i機製n所代  理
  人   弁理士  小  沢  伝  助第1図 尾3図 M4図 −” IPPmI”CI 第50 0  20 40 60 80  TOO+20 14
0’+60 180−、ir度トーー伽 第6図 −CA:60” m−−一□−一一一

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 αを電気軸まわりの回転角、βを酌hizαだIJ向回
    転た光軸まわりの回転角とし!ことき、−140°くα
    <−40’ 一40°くβく→−40゜ の範囲で切り出した水晶振動fを測ル1索了どして用い
    たことを特徴とする水晶編tail。
JP7434882A 1982-04-30 1982-04-30 水晶温度計 Pending JPS58206935A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7434882A JPS58206935A (ja) 1982-04-30 1982-04-30 水晶温度計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7434882A JPS58206935A (ja) 1982-04-30 1982-04-30 水晶温度計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58206935A true JPS58206935A (ja) 1983-12-02

Family

ID=13544518

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7434882A Pending JPS58206935A (ja) 1982-04-30 1982-04-30 水晶温度計

Country Status (1)

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JP (1) JPS58206935A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60131434A (ja) * 1983-12-20 1985-07-13 Yokogawa Hokushin Electric Corp 温度センサ
US4772130A (en) * 1985-06-17 1988-09-20 Yokogawa Electric Corporation Quartz thermometer
US4986670A (en) * 1988-11-19 1991-01-22 Agency Of Industrial Science & Technology Temperature measurement device
US5607236A (en) * 1987-02-27 1997-03-04 Seiko Epson Corporation Quartz oscillator temperature sensor

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60131434A (ja) * 1983-12-20 1985-07-13 Yokogawa Hokushin Electric Corp 温度センサ
US4772130A (en) * 1985-06-17 1988-09-20 Yokogawa Electric Corporation Quartz thermometer
US5607236A (en) * 1987-02-27 1997-03-04 Seiko Epson Corporation Quartz oscillator temperature sensor
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