JPS58206901A - 密封構造の高温用歪ゲ−ジ - Google Patents

密封構造の高温用歪ゲ−ジ

Info

Publication number
JPS58206901A
JPS58206901A JP58036777A JP3677783A JPS58206901A JP S58206901 A JPS58206901 A JP S58206901A JP 58036777 A JP58036777 A JP 58036777A JP 3677783 A JP3677783 A JP 3677783A JP S58206901 A JPS58206901 A JP S58206901A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
gauge
inner member
sealed
members
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP58036777A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0216963B2 (ja
Inventor
ジヨン・マイケル・ニ−ルセン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Babcock and Wilcox Co
Original Assignee
Babcock and Wilcox Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Babcock and Wilcox Co filed Critical Babcock and Wilcox Co
Publication of JPS58206901A publication Critical patent/JPS58206901A/ja
Publication of JPH0216963B2 publication Critical patent/JPH0216963B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/16Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
    • G01B7/22Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in capacitance
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/14Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
    • G01L1/142Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、歪ゲージに関するものであり、籍には密封構
造を有しそして高温及び蒸気雰囲気において使用するに
適した有用な歪ゲージに関する。
レコーダエレク)erニクス技術における最近の進歩は
キャパシタンスの測定を歪ゲージ測定手段として使用す
ることを可能なら:′シ、めた。この種のゲージの利点
は、それが比較的昇温下で使用されうろことであるが、
既知の装置はいずれもきわめて高い温度においてはまた
水、水蒸気或いは同様の蒸気環境において使用するには
適当でない。
本発明に従えは、完全密封構造Ωキャパシタンス型歪ゲ
ージが提供され、ここでは隔置されたコンデンサ極板が
各端を密閉された内側及び外側部材間の間隙内に配列さ
れる。内側及び外側部材はシム或いは支持板に取付けら
れ、後者は被測定部品に固着されうる。歪による支持板
の寸法変化がコンデンサ極板の対応する変位をもたらし
従ってその結果生ずるキャパシタンスにおける変化が歪
測定手段として使用されうる。同じ構成はまた、極板位
置における変化従って発生する歪を指示する為の光電式
装置と共にも使用されうる。
本発明の好ましい構成において、2つの同心シリンダが
取付用シム板上に取付けられそして該板に密封着される
。同心シリンダはそれらの間の間隙が好ましくは内側シ
リンダのまわりの直径方向\ に対向する位置において配列されるコンデンサ極板対を
収容しうるよう離間される、極板組は好ましくは、各組
の内側極板が内側シリンダの外壁に固定されそして各組
の外側極板が外側シリンダの内壁に固定されるように取
付けられる。非電導性接着剤で貼付けることが好ましい
。シリンダ部材は、はぼ平行なプレートコンデンサが内
側シリンダ周囲の対向する側即ち直径方向に対向する位
置に形成されうるよう相対的に寸法づけされそして同心
位置決めされる。シリンダの適正な同心位置決めは各シ
リンダの底端を取付用シムにシール溶接することにより
維持される。シリンダの反対端は内側シリラダの穴に重
ねて同心的に位置づけられる内部開口を有する蓋板リン
グを溶接することにより密閉される。しかし、好適には
、蓋は、内側シリンダ穴を通して延在しそして取付用シ
ム板に固着される中央部及び外側シリンダ外壁を越えて
張出すスカートを提供することによシ外側シリンダ外壁
及び内側シリンダの穴に沿うよう作製されうる。
本発明の目的は、高温において作動することができそし
て液体す)IJウム或いは蒸気条件のような苛酷な環境
において作動することのできる抜書された歪ゲージを提
供することである。
本発明のまた別の目的は、嵌合して配列される内側及び
外側部材を含み、それらの間の間隙が内側部材の対向し
あう側において離間された平行関係に配列される一対の
コンデンサ極板を収容し、そして2つの内側及び外側部
材間の間隙の一端を閉成する蓋を含みそして装置な被測
定部品に固定する為の取付用シム板が反対端において封
着される歪ゲージを提供することである。この構造によ
り、取付板に酵起される歪を通してもたらされる内側及
び外側部材の変位がコンデンサ極板の位置変化即ちキャ
パシタンス変化として測定される。
本発明のまた別の目的は、設計において簡単であり、構
造において堅牢でありそして軽済的に作製できる歪ゲー
ジを提供することである。
ここで図面を参照すると、第1〜4図には高温部品或い
は蒸気券囲気中に配置される部品の歪を測定するよう特
に設計された密封構造型の高温用歪ゲージが全体を10
として示されている。歪ゲージ10は、歪を測定される
べき部品に例え#′fWによって示されるようなスポッ
ト溶接付着点によ9取付けられるに適応する取付用シム
板12を備えている。第1丙側シリンダ部材14は取付
用シム板12に固着される一端14aを有しそしてこれ
は例えtf′iX子ビームシール溶接部をによりもたら
される。同じく、外側シリンダ部材16が内側シリンダ
部材14の周囲に配列され、同様にその一端16aが電
子ビームシール溶接部W′によりシム板12に密封着さ
れる。
本発明に従えは゛、第1及び第2の組の離間されたコン
デンサ極板18及び20が内l111Lシリンダ14の
周囲の直径方向に実質上対向する位置に配列され、そし
てこれらは電導性リード線18 a及び20aに、よっ
て外側シリンダ16を通して伸びる外装リードf#22
を通して接続される。蓋板24が内側及び外側シリンダ
の取付用シム板とは反対側の端上に配置される。蓋板2
4は、その内周及び外周に沿って延在するシール#!接
部W+による等してa−M着される。  □ 本発明に従えは、外装リード[22は電気エネルギーを
供給する電導体及び被測定部品が歪な受けている時コン
デンサ極板18及び20の変位により生じるキャパシタ
ンスの変化を感知する為の手段を含んでいる。コンデン
サ極板18及び20と関連する感知手段は、歪測定中止
じうる様々のキャパシタンス変化を感知する為の適当な
電気的計器から構成でき、そしてこの目的の為には別々
のコンデンサ対が半ブリツジ回路配列において同時に測
定されうるしまた所望に応じて別々に測定されうる。第
4図において、コンデンサ極板変化を感知する為の感知
手段は極板変動を感知する為極板18及び20の変位の
行路に位置づけられる光電武装TjJ1.26及び28
を含む例が示しである。
第5図に示される具体例において、部品のすべては先の
具体例と同様に作製されまた同じ参照番号を符しである
。しかし、ここでは、コンデンサ極板18及び20は歪
測定中のキャパシタンスにおける変化を示す為外装リー
ド組と関連する検知11 手段に接続されている。
第6〜9図に示す具体例において、歪ゲージ10′は取
付用シム板121及び中央穴j6bを有するブロックの
形態の外側部材161を含んでおり、中央穴16bは内
側部材14′から外方に離間される内側壁を定義する。
この具体例において、コンデンサ極板18は外側部材の
穴ISbの壁に付設されるものとして示されそして極板
20は内側部材14’の外壁に付設されるものとして示
されている。両方の場合とも、非電導性の接着剤が使用
される。第9図に示されるように、蓋24’);、内側
部材14’の穴内でシム板f 2’の中央部を覆う中央
部分24′aと、内側及び外側部材の外端を覆って延在
する中間部分241bと、必要なら外一部材の外面に沿
って延在する九個部分241cとを包含し、これらは密
封着される。
内側部材14は好適には外側部材16内に同心的に位置
づけられそして小さなコンデンサ極板18及び20を1
800の間隔において関連する内側及び外側部材に貼着
するのが有利である。これは極板18及び20が実質上
平行であることを保証する。ひとたびこの同心配列が為
されそして内側及び外@部材が取付用シム板12に固着
されると、構造全体が蓋24を被覆することにより完全
に密封着されうる。この型式のゲージは既知の抵抗型ゲ
ージ4と同程度の良好な感度を有しそして取付用シム板
がスポット溶接された部品の歪測定中外側シリンダに対
して内側シリンダが変位することにより一般的に機能す
る。歪量は、所定の定数を1史用する計器を使用してそ
して外側シリンダに対する内側シリンダの変位により発
生するキャパシタンス変化を探知することにより測定さ
れる。
本発明に従って組立てられた装置が試験されそしてこの
歪ゲージはその密封構造により漂遊キャパシタンス変化
により悪影響を受けないことが確認された。この構造は
また使用環境変化や乱暴な使用に耐える非常に堅牢なゲ
ージを提供する。このゲージは、歪ローゼットとして使
用することを可能としまた3つの異った方向での歪のf
f1ll定に使用することを可能とするようなものであ
る。
本発明の精神内で多くの改変を為しうろことを銘6己さ
れたい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に従う歪ゲージの上面図、第2図は第1
図のゲージの端面図、第3図は第1図の6−3線に沿う
断面図、第4図は第3図の4−4線に沿う断面図、第5
図はまた別の具体例の分解図、第6図は更に別の具体例
の上面図、第7図は第6図の端面図、第8図は第7図の
8−841i[に沿う断面図、そして第9図は第6図の
9−9線に沿う断面図である。 10: 歪ゲージ 12: 取付用シム板 14: 第1内側部材 16: 第2外側部材 14a 、 16a :  一端 24: 蓋板 W′:シール溶接部 18・2°2 °7デ″″極板 等 図面の浄II(内容に変だなし) IG  9 手続補正書(方式) %式% 事件の表示 昭和58年 特願第36777  号発明
の名称 密封構造の高温用歪ゲージ補正をする者 事件との関係          特許出願人代理人 〒103

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1)高温部品の歪を測定する為の密封構造の歪ゲージで
    あって、取付用シム板と、該シム板に密劇着される一端
    を有する第1内側部材と、該内側部材の周囲に配置され
    そして前記シム板に密封着される第2外側部材であって
    、該第1内側部材の外壁から離間される内壁を具備する
    第2外@部材と、前記第1内側部材と第2外側部材との
    間に配置されそして実質上直径方向に対向する位置に配
    列される第1及び第2の離間したコンデンサ極板対と、
    前記第1内側部材と第2外側部材との間の間隙を閉成す
    る為該第1内側部材及び第2外1I11部材の反対端に
    密封着される蓋板と、部品の応力を指示する為前記コン
    デンサ極板の変位に応答する該コンデンサ極板と関連す
    る感知手段とを包含する前記歪ゲージ。 2)コンデンサ極板が関連する内側及び外側部材から絶
    縁される特許請求の範囲第1項記載のゲージ。 3)取付用シム板と外側及び内側部材の各々との間並び
    に蓋と外側及び内側部材の各々との間に電子ビームシー
    ル溶接部が形成されて、該外側及び内側部材間の間隙を
    その各端において密閉する特許請求の範囲第1項記載の
    ゲージ。 4)コンデンサ極板と関連する感知手段がそのキャパシ
    タンス変化を感知する為該極板への電気的接続体を備え
    ている特許請求の範囲第1項記載のゲージ。 5)コンデンサ極板の変化を感知する為の感知手段が極
    板の変位行路に配置される光感応性部材を含む特許請求
    の範囲第1項記載のゲージ。 6)感知手段が外@部材を通して伸延しそしてコンデン
    サ極板へ接続される電気的導体を含む外装リード線を包
    含する特許請求の範囲第1項記載のゲージ。 7)蓋が内側部材の穴に重なる中央開口を有するリング
    部材小ら成り、内側及び外側部材がシリンダ状である特
    許請求の範囲第1項記載のゲージ。 8)外側部材が中央円形穴を有する直方体ブロック部材
    でありそして内側部材が外側部材内に同心配列される特
    許請求の範囲第1項記載のゲージ。 9)蓋が、内側部材の穴内に配置される中央部分と、内
    側部材を越えて外側部材へと延在しそしてその外周にお
    いて外側部材に接合される中間部分とを含む特許請求の
    範囲第1項記載のゲージ。
JP58036777A 1982-03-08 1983-03-08 密封構造の高温用歪ゲ−ジ Granted JPS58206901A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/356,054 US4445386A (en) 1982-03-08 1982-03-08 Hermetically sealed high temperature strain gage
US356054 1982-03-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS58206901A true JPS58206901A (ja) 1983-12-02
JPH0216963B2 JPH0216963B2 (ja) 1990-04-19

Family

ID=23399915

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58036777A Granted JPS58206901A (ja) 1982-03-08 1983-03-08 密封構造の高温用歪ゲ−ジ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4445386A (ja)
EP (1) EP0088629B1 (ja)
JP (1) JPS58206901A (ja)
DE (1) DE3371249D1 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4944181A (en) * 1988-08-30 1990-07-31 Hitec Products, Inc. Capacitive strain gage having fixed capacitor plates
US4896100A (en) * 1988-08-30 1990-01-23 Hitec Products, Inc. Signal conditioner for capacitive transducer
US8607640B2 (en) * 2010-07-19 2013-12-17 Odd Harald Steen Eriksen Sensor for measuring large mechanical strains in shear or lateral translation
US10131419B2 (en) 2010-10-15 2018-11-20 Goodrich Corporation Systems and methods for detecting landing gear ground loads
US9886057B2 (en) * 2015-09-22 2018-02-06 Apple Inc. Electronic device with enhanced pressure resistant features
CN113218558B (zh) * 2021-05-08 2022-11-01 广西大学 一种电容式六维力传感器电容器极板位移计算方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1552069A (ja) * 1967-11-07 1969-01-03
DK139644B (da) * 1976-12-30 1979-03-19 Nils Aage Juul Eilersen Kapacitiv kraftmåler.
FR2459462A1 (fr) * 1979-06-18 1981-01-09 Testut Aequitas Dynanometre a diaphragmes

Also Published As

Publication number Publication date
DE3371249D1 (en) 1987-06-04
EP0088629A3 (en) 1984-07-18
JPH0216963B2 (ja) 1990-04-19
US4445386A (en) 1984-05-01
EP0088629A2 (en) 1983-09-14
EP0088629B1 (en) 1987-04-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7397233B2 (en) Voltage measuring device
US3928796A (en) Capacitive displacement transducer
EP0291507A1 (en) ELECTRONIC INCLINOMETER.
US20190324073A1 (en) Capacitive sensor and capacitive sensor head
JPS58206901A (ja) 密封構造の高温用歪ゲ−ジ
JPH05340963A (ja) 加速度信号発生器
JP2001091205A (ja) 物体搭載装置
JP2514067Y2 (ja) セラミック製トランスデュ−サ
JP4872989B2 (ja) 静電容量型センサ部品、物体搭載体、半導体製造装置および液晶表示素子製造装置
US5022264A (en) Instrument for measuring accelerations, particularly gravitation components for goniometry
DE3787321T2 (de) Elektrochemischer Fühler zur Messung der Korrrosion in einer metallischen Einrichtung.
US6351892B1 (en) Orientation sensor utilizing intra-pattern property measurements
US4890084A (en) Inductance strain gauge
GB2275533A (en) System for structural monitoring
JP2749158B2 (ja) 貼付型電気容量ひずみゲージ
KR960018518A (ko) 물체의 기하학적 위치를 측정하기 위한 방법 및 장치
CA1188130A (en) Hermetically sealed high temperature strain gage
SU879484A1 (ru) Устройство дл измерени тока
RU2174220C2 (ru) Тензорезисторный датчик давления
SU851245A1 (ru) Емкостный датчик сплошности
JPH064305Y2 (ja) 小型水圧センサ
KR20020022621A (ko) 벤딩 모멘트 센서
SU881553A1 (ru) Датчик давлени
SU761895A1 (ru) Емкостной датчик-зонд 1
SU1688210A1 (ru) Чувствительный элемент