JPS581959A - 電子顕微鏡等用電子銃のフイラメント加熱装置 - Google Patents
電子顕微鏡等用電子銃のフイラメント加熱装置Info
- Publication number
- JPS581959A JPS581959A JP9961081A JP9961081A JPS581959A JP S581959 A JPS581959 A JP S581959A JP 9961081 A JP9961081 A JP 9961081A JP 9961081 A JP9961081 A JP 9961081A JP S581959 A JPS581959 A JP S581959A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- voltage
- power
- output
- load
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
- H01J37/242—Filament heating power supply or regulation circuits
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Control Of Electrical Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子顕微鏡等に用いられる電子銃のフィラメン
ト加熱電源装置の改良に関するものである。
ト加熱電源装置の改良に関するものである。
電子顕微鏡等に用いられる電子銃においては極□ めて
安定した電子ビーム電流を得仝事が必要であり、そのた
めにはフィラメントの加熱温度、即ちフィラメントにお
ける消費電力が常に適宜な値に保たれている事が要求さ
れる。
安定した電子ビーム電流を得仝事が必要であり、そのた
めにはフィラメントの加熱温度、即ちフィラメントにお
ける消費電力が常に適宜な値に保たれている事が要求さ
れる。
従来のフィラメント、加熱装置は定電圧電源又は定電流
電源の出力を直接フィラメントに接続する構成となって
いる。従ってフィラメントを適宜な加熱温度に設定する
ため前記定電圧（電流）電源の出力電圧（電流）を調整
する操作を行う事が必要である。しかしながら電子銃室
は比較的高い真空度であるため、高温に加熱されたフィ
ラメントは徐々に蒸発してその形状は細くなる。そのた
めフィラメントの抵抗値は徐々に増加し前記定電圧（電
流）電源を用いる場合には、フィラメントにおける消費
電力即ちフィラメント加熱温度は前記適宜な加熱温度か
らはずれる事となる。
電源の出力を直接フィラメントに接続する構成となって
いる。従ってフィラメントを適宜な加熱温度に設定する
ため前記定電圧（電流）電源の出力電圧（電流）を調整
する操作を行う事が必要である。しかしながら電子銃室
は比較的高い真空度であるため、高温に加熱されたフィ
ラメントは徐々に蒸発してその形状は細くなる。そのた
めフィラメントの抵抗値は徐々に増加し前記定電圧（電
流）電源を用いる場合には、フィラメントにおける消費
電力即ちフィラメント加熱温度は前記適宜な加熱温度か
らはずれる事となる。
以上に説明した理由から前記定電圧（電流）電源の出力
電圧（電流）の調整は装置の使用毎に或いは一定使用時
間毎に行う事が必要となり電子顕微鏡等の使用に不便を
来たしている。
電圧（電流）の調整は装置の使用毎に或いは一定使用時
間毎に行う事が必要となり電子顕微鏡等の使用に不便を
来たしている。
本ｉ明はフィラメントに一定電力を供給できる電源を使
用したことを特徴とし、その目的は理想的なフィラメン
ト加熱温度から′はずれる事を防、止し、フィラメント
加熱装置の操作゛を短時間に且つ容易に行い得る事及び
長時間の加熱による加熱温度の変化をなくすことにある
。以下本発明を実施例によって詳細に説明する。
用したことを特徴とし、その目的は理想的なフィラメン
ト加熱温度から′はずれる事を防、止し、フィラメント
加熱装置の操作゛を短時間に且つ容易に行い得る事及び
長時間の加熱による加熱温度の変化をなくすことにある
。以下本発明を実施例によって詳細に説明する。
第１図は本発明の装置の一実施例を示す回路図であって
、ｌはフィラメント、２は電流検出抵抗器、３はアナロ
グ乗算器、４は電力設定ボリューム、５は基準電圧源、
６は増幅器、７は制御トランジスタである。
、ｌはフィラメント、２は電流検出抵抗器、３はアナロ
グ乗算器、４は電力設定ボリューム、５は基準電圧源、
６は増幅器、７は制御トランジスタである。
これを動作するには端子ＡＢ間に非安定な直流電圧を印
加し、電力設定ボ＋）ｘ−ｉ４で負荷へ供給する適宜な
電力を設定するだけでよい。このとき０点からは出力電
圧（出力端子電圧）、Ｄ点からは出力電流（負荷すなわ
ちフィラメントを流れる電流）に比例した電圧がアナロ
グ乗算器３に人力され、Ｄ点には出力電力に比例した電
圧が出力される。この様な電圧を得れば、増幅器６や制
御トランジスタ７は一般の定電圧電源と同様に動作させ
ることができるので、電力設定ボリューム４゛゛ で設
定した電力がフ）ラメントに常に印加されるごとになる
。
加し、電力設定ボ＋）ｘ−ｉ４で負荷へ供給する適宜な
電力を設定するだけでよい。このとき０点からは出力電
圧（出力端子電圧）、Ｄ点からは出力電流（負荷すなわ
ちフィラメントを流れる電流）に比例した電圧がアナロ
グ乗算器３に人力され、Ｄ点には出力電力に比例した電
圧が出力される。この様な電圧を得れば、増幅器６や制
御トランジスタ７は一般の定電圧電源と同様に動作させ
ることができるので、電力設定ボリューム４゛゛ で設
定した電力がフ）ラメントに常に印加されるごとになる
。
この結果フィラメントの抵抗値が蒸発等により変化して
もフィラメントへの供給電力、すなわ−ちフィラメント
加熱温度が変化せずフィラメントは常に適正なる温度に
保たれて極めて安定し、た電子ビーム電流を得ることが
できる。
もフィラメントへの供給電力、すなわ−ちフィラメント
加熱温度が変化せずフィラメントは常に適正なる温度に
保たれて極めて安定し、た電子ビーム電流を得ることが
できる。
以上説明したように本発明に基づく装置を用いる事によ
り、適正なフィラメント加熱温度を短時間に且つ容易に
調整する事及び長時間の加熱による加熱温度の変化を殆
んど無くす事が可能となる利点がある。
り、適正なフィラメント加熱温度を短時間に且つ容易に
調整する事及び長時間の加熱による加熱温度の変化を殆
んど無くす事が可能となる利点がある。
第１図は本発明装置の実施例の回路図である。
１・・・フィラメント ２・・・電流検出抵抗器３・
・・アナログ乗算器 ４・・・電力設定ボリューム５
・・・基準電圧源 ６・・・増幅器７・・・制御
トランジスタ。 特許出願人 日本電信電話公社 代理人弁理士 中 村 純之助 チ１図
・・アナログ乗算器 ４・・・電力設定ボリューム５
・・・基準電圧源 ６・・・増幅器７・・・制御
トランジスタ。 特許出願人 日本電信電話公社 代理人弁理士 中 村 純之助 チ１図
Claims (1)
- フィラメントを有する負荷回路に電力を供給するフィラ
メント加熱装置において、上記負荷回路に直列に挿入さ
れる制御トランジスタと該制御トランジスタを駆動する
ための増幅器とを備えた定電圧電源回路を設け、かつ該
定電圧電源回路に、出力端子電圧及び負荷回路を流れる
電流に比例した電圧を人力とし出力には出力電力に比例
した電圧が出力されるアナログ乗算器を付加し、該アナ
ログ乗算器の出力電圧を負荷へ供給する電力の設定用ボ
リュームを介して前記増幅器に人力するよう構成し、フ
ィラメントを有する負荷回路への供給電力を一定ならし
めたことを特徴とする電子顕微鏡等用電子銃のフィラメ
ント加熱装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9961081A JPS581959A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 電子顕微鏡等用電子銃のフイラメント加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9961081A JPS581959A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 電子顕微鏡等用電子銃のフイラメント加熱装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS581959A true JPS581959A (ja) | 1983-01-07 |
Family
ID=14251860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9961081A Pending JPS581959A (ja) | 1981-06-29 | 1981-06-29 | 電子顕微鏡等用電子銃のフイラメント加熱装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS581959A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60116512U (ja) * | 1984-01-18 | 1985-08-07 | 菊水電子工業株式会社 | 電子負荷装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5519782A (en) * | 1978-07-31 | 1980-02-12 | Toshiba Corp | Electron gun |
-
1981
- 1981-06-29 JP JP9961081A patent/JPS581959A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5519782A (en) * | 1978-07-31 | 1980-02-12 | Toshiba Corp | Electron gun |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60116512U (ja) * | 1984-01-18 | 1985-08-07 | 菊水電子工業株式会社 | 電子負荷装置 |
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