JPS58188224A - 直線間欠移送装置 - Google Patents
直線間欠移送装置Info
- Publication number
- JPS58188224A JPS58188224A JP7241282A JP7241282A JPS58188224A JP S58188224 A JPS58188224 A JP S58188224A JP 7241282 A JP7241282 A JP 7241282A JP 7241282 A JP7241282 A JP 7241282A JP S58188224 A JPS58188224 A JP S58188224A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- intermittently
- intermittent
- transfer
- transfer device
- transferred
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G33/00—Screw or rotary spiral conveyors
- B65G33/08—Screw or rotary spiral conveyors for fluent solid materials
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
する。
一般に半導体装置等の製造ラインにおいＣ１半導体装置
に加工等の処理を行なう場合、複数の半導体装置を連続
的に加工処理装置へ移送する。このような移送には、通
常直線間欠移送装置（以下単に移送装置と林する）であ
る自動機械が用いられる。
に加工等の処理を行なう場合、複数の半導体装置を連続
的に加工処理装置へ移送する。このような移送には、通
常直線間欠移送装置（以下単に移送装置と林する）であ
る自動機械が用いられる。
このような移送装置では、第１図に示すように電動機等
の連続回転の駆動源ＩＩより減速機等の回転数変換装置
１１を介して駆動軸（以下カムシャフトと称する）１１
に回転運動が与えられる。このカムシャフト１３には、
バレルカム（１＊ａｒｒ＠ｌ ＠ａｍ）７４ ｍ 、
１４ ｂからなる駆動方向転換用の機械ｌ！本が取付け
られる。このバレルカム１４ｈ、１４ｂにより回転運動
を直線運動に変換して、被移送体である例えばパレツ）
１５を直線的に移送する。
の連続回転の駆動源ＩＩより減速機等の回転数変換装置
１１を介して駆動軸（以下カムシャフトと称する）１１
に回転運動が与えられる。このカムシャフト１３には、
バレルカム（１＊ａｒｒ＠ｌ ＠ａｍ）７４ ｍ 、
１４ ｂからなる駆動方向転換用の機械ｌ！本が取付け
られる。このバレルカム１４ｈ、１４ｂにより回転運動
を直線運動に変換して、被移送体である例えばパレツ）
１５を直線的に移送する。
このような移送装置を用いて、例えば半導体装置等の被
加工物を移送して加工を行なう場合、被加工物の移送は
間欠的に移送する必要がある。
加工物を移送して加工を行なう場合、被加工物の移送は
間欠的に移送する必要がある。
すなわち、移送期間は被加工物に対する加工処理は停止
され、逆に４１送の停止期間に加工処理が行なわれるこ
とになる。このような間欠移送は、上記移送装置のバレ
ルカム１４＊、１４ｂのＩｌ＃により行なわれている。
され、逆に４１送の停止期間に加工処理が行なわれるこ
とになる。このような間欠移送は、上記移送装置のバレ
ルカム１４＊、１４ｂのＩｌ＃により行なわれている。
すなわち、ノイレ用カム１４ｍ、１４！ａＪこは直線部
と曲線部からなる溝が設けられ、この曲線部（加速度曲
線）の状態に応じて被移送物であるパレット１５の運動
加速度が設定されることになる。
と曲線部からなる溝が設けられ、この曲線部（加速度曲
線）の状態に応じて被移送物であるパレット１５の運動
加速度が設定されることになる。
上記のようにして、被加工物の直線間欠移送を行なうこ
とができる。しかしながら、従来の移送装置では、Ｉｊ
ｉ線間欠移送の駆動を行なうバレルカムＪ４ｍ、７４ｂ
は、カムシャフト１３に送り用カム１４＆および止まり
用カム１４ｂとして平行に取付けられる。このため、バ
レルカム１４．．１４ｂに回転運動を与えて直線間欠移
送の駆動を行なう際、バレルカム１４ａ。
とができる。しかしながら、従来の移送装置では、Ｉｊ
ｉ線間欠移送の駆動を行なうバレルカムＪ４ｍ、７４ｂ
は、カムシャフト１３に送り用カム１４＆および止まり
用カム１４ｂとして平行に取付けられる。このため、バ
レルカム１４．．１４ｂに回転運動を与えて直線間欠移
送の駆動を行なう際、バレルカム１４ａ。
１４ｂの両者の曲線部の位相合わせをする必要があるが
、この位相合わせは非常に困難である。
、この位相合わせは非常に困難である。
したがって、移送装置の機械調整が困難となる欠点があ
った。また、上記のよう番こ間欠移送の際、被移送物の
運動加速度はバレルカム１４ａ。
った。また、上記のよう番こ間欠移送の際、被移送物の
運動加速度はバレルカム１４ａ。
１４ｂの曲線部に依存しているため、バレルカム１４ｈ
、１４ｂの曲線部である加速度曲線は１１Ｉ雑となる。
、１４ｂの曲線部である加速度曲線は１１Ｉ雑となる。
したがって、このような加工度の高いバレルカム１４ｍ
、 １４ｂは比較的コストアップとなり、移送装置全
体のコストも高くなる。
、 １４ｂは比較的コストアップとなり、移送装置全
体のコストも高くなる。
この尭嘴は、上記の事情を鑑みてなされたもので、被移
送体の直線間欠移送の駆動を行なう際の機械＃ｓＪ１を
簡単にすることができ、しかも確実で低コストの関欠躯
動手段を用いることにより装蟹全体のコストを低下でき
る直線間欠移送装置を提供することを目的とする。
送体の直線間欠移送の駆動を行なう際の機械＃ｓＪ１を
簡単にすることができ、しかも確実で低コストの関欠躯
動手段を用いることにより装蟹全体のコストを低下でき
る直線間欠移送装置を提供することを目的とする。
すなわち、この発明においては回転運動から直線運動に
変換するスクリュー装置を用いて、値移送体を直線移送
させる。このスクリュー装置自体に回転および停止の間
欠運動を与えることにより、被移送体の直線間欠移送の
駆動を行なうものである。
変換するスクリュー装置を用いて、値移送体を直線移送
させる。このスクリュー装置自体に回転および停止の間
欠運動を与えることにより、被移送体の直線間欠移送の
駆動を行なうものである。
以下図面を参照してこの発明の一実施例について説明す
る。第２図はこの発明番こ係る直線間欠移送装置（以下
単に移送装置と称する）の構成を示すもので、被移送体
である例えばパレット１ｊを直線移送するためのスクリ
ュー装置２１ｈ、ｌｌｂが設けられる。このスクリュー
装置１１＊、Ｉｌｂは、回転運動を直線運動に変換する
もので、回転運動は駆動軸（以下スクリューシャフトと
称する）１１により伝達される。このスクリューシャフ
ト１ｚには、電動機等の連続回転の駆動源１１より間欠
駆動装置ｚ３を介して回転運動が与えられる。この間欠
駆動装置２３は、通常減速機を備えて駆動源ＩＩからの
回転運動を一定の回転数で減速し、さらにエフ ’ｙ
ＩＪンダ等（またはバレルカムでもよＣす◇からなる間
欠駆動機を備えて回転８よび停止の間欠回転運動を上記
スクリューシャフト１２に与える。
る。第２図はこの発明番こ係る直線間欠移送装置（以下
単に移送装置と称する）の構成を示すもので、被移送体
である例えばパレット１ｊを直線移送するためのスクリ
ュー装置２１ｈ、ｌｌｂが設けられる。このスクリュー
装置１１＊、Ｉｌｂは、回転運動を直線運動に変換する
もので、回転運動は駆動軸（以下スクリューシャフトと
称する）１１により伝達される。このスクリューシャフ
ト１ｚには、電動機等の連続回転の駆動源１１より間欠
駆動装置ｚ３を介して回転運動が与えられる。この間欠
駆動装置２３は、通常減速機を備えて駆動源ＩＩからの
回転運動を一定の回転数で減速し、さらにエフ ’ｙ
ＩＪンダ等（またはバレルカムでもよＣす◇からなる間
欠駆動機を備えて回転８よび停止の間欠回転運動を上記
スクリューシャフト１２に与える。
このような移送装置において、例えば被加工物をパレッ
ト１５上に載置して所定の加工装置まで間欠移送させる
。この場合、間欠駆動装置２１で上記のようにスクリュ
ー装置２１＊ 。
ト１５上に載置して所定の加工装置まで間欠移送させる
。この場合、間欠駆動装置２１で上記のようにスクリュ
ー装置２１＊ 。
１１−に１ｇ１転および停止の間欠運動を与え、さら−
こその回転時の運動を所定の加速度番こ設定する。そし
て、回転角度と直線運動（移送量）が比例するスクリュ
ー装置１１ｍ、２１ｂによりパレット１５は所定の加速
度で直線運動を行なう。
こその回転時の運動を所定の加速度番こ設定する。そし
て、回転角度と直線運動（移送量）が比例するスクリュ
ー装置１１ｍ、２１ｂによりパレット１５は所定の加速
度で直線運動を行なう。
このようにして、スクリュー装置２１ａ。
ｘｌｂｉｄよび間欠駆動装置２１の動作により、確実に
パレット１５を直線間欠移送することができる。しかも
、この場合、送り側スクリュー装置ｚ１１と止まり側ス
クリュー装置２１ｂの位相合わせは、全く不要であるた
め、移送装置の機ｍ＊＊はきわめて容易である。さらに
、被移送体（パレット１５）を間欠移送する際の加速度
は、前記第１図に示したように複雑な加速度曲線を有す
る加工度の高いバレルカムｉ ４１Ｌ。
パレット１５を直線間欠移送することができる。しかも
、この場合、送り側スクリュー装置ｚ１１と止まり側ス
クリュー装置２１ｂの位相合わせは、全く不要であるた
め、移送装置の機ｍ＊＊はきわめて容易である。さらに
、被移送体（パレット１５）を間欠移送する際の加速度
は、前記第１図に示したように複雑な加速度曲線を有す
る加工度の高いバレルカムｉ ４１Ｌ。
１４−を使用することなく、加工度の低いスクリュー装
置１１＊、２１ｂの回転運動に依存している。したがっ
て、バレルカム１４ｍ、１４ｂに比較してコストの低い
スクリュー装置２１ａ。
置１１＊、２１ｂの回転運動に依存している。したがっ
て、バレルカム１４ｍ、１４ｂに比較してコストの低い
スクリュー装置２１ａ。
ＪＪｂを使用すること１こより、移送装置全体のコスト
を大幅に低下させることができる。また、被移送体を間
欠移送させる際の加速度を、スクリュー装Ｗ１２１ ｍ
、 ２ ｌ ｂ自体を間欠駆動装置２Ｊにより間欠運
動させて設定するため、その設定精度は従来と比較して
高くすることができる利点もある。
を大幅に低下させることができる。また、被移送体を間
欠移送させる際の加速度を、スクリュー装Ｗ１２１ ｍ
、 ２ ｌ ｂ自体を間欠駆動装置２Ｊにより間欠運
動させて設定するため、その設定精度は従来と比較して
高くすることができる利点もある。
以上詳述したようにこの発明によれば、被移送体の直線
間欠移送の駆動において、回転運動を直線運動に変換す
る手段としてスクリュー装置を用いることにより、移送
装置の機械調整はきわめて容易である。また、間欠運動
は加工度く で が低≠妻菊低コストのスクリュー装置自体を回転および
停止の間欠運動をさせることにより行なうため、移送装
置全体のコストを大幅に低下させることができるもので
ある。さらにこの場合、被移送体の間欠移送を行なう際
の加速度の設定精度を高めることができる効果もある。
間欠移送の駆動において、回転運動を直線運動に変換す
る手段としてスクリュー装置を用いることにより、移送
装置の機械調整はきわめて容易である。また、間欠運動
は加工度く で が低≠妻菊低コストのスクリュー装置自体を回転および
停止の間欠運動をさせることにより行なうため、移送装
置全体のコストを大幅に低下させることができるもので
ある。さらにこの場合、被移送体の間欠移送を行なう際
の加速度の設定精度を高めることができる効果もある。
１１１図は従来の直線間欠移送装置の構成図、第２図は
この発明の一実施例に係る直線間欠移送４ｔ＆電の構成
図である。 １１・・・連続回転駆動源、１２・・・回転数変換装置
、Ｉ Ｊ 、 ｆｆｉ ｊ−’駆動軸、１４＆、１４ｂ
・・・バレルカム、１ｊ・・・パレット、２１ｍ、２１
ｂ・・・スクリュー装置、２３・・・間欠駆動装置。
この発明の一実施例に係る直線間欠移送４ｔ＆電の構成
図である。 １１・・・連続回転駆動源、１２・・・回転数変換装置
、Ｉ Ｊ 、 ｆｆｉ ｊ−’駆動軸、１４＆、１４ｂ
・・・バレルカム、１ｊ・・・パレット、２１ｍ、２１
ｂ・・・スクリュー装置、２３・・・間欠駆動装置。
Claims (1)
- 回転運動から直線運動に変換して被移送体を直線移送さ
せるスクリュー装置と、このスクリュー装置に間欠回転
運動を与える間欠駆動手段と、この間欠駆動手段に連続
回転運動を与える連続回転駆動手段とを具備してなるこ
とを％砿とする直線間欠移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7241282A JPS58188224A (ja) | 1982-04-28 | 1982-04-28 | 直線間欠移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7241282A JPS58188224A (ja) | 1982-04-28 | 1982-04-28 | 直線間欠移送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58188224A true JPS58188224A (ja) | 1983-11-02 |
Family
ID=13488538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7241282A Pending JPS58188224A (ja) | 1982-04-28 | 1982-04-28 | 直線間欠移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58188224A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002032792A1 (de) * | 2000-10-16 | 2002-04-25 | Siemens Schweiz Ag | Vorrichtung zum fördern und sortieren von stückgütern |
| WO2008147240A1 (en) * | 2007-05-30 | 2008-12-04 | Schlumberger Canada Limited | Dry material transporting device |
| CN103803248A (zh) * | 2012-11-08 | 2014-05-21 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种可实现物料自动定位的输送系统 |
-
1982
- 1982-04-28 JP JP7241282A patent/JPS58188224A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002032792A1 (de) * | 2000-10-16 | 2002-04-25 | Siemens Schweiz Ag | Vorrichtung zum fördern und sortieren von stückgütern |
| EP1213239A2 (de) * | 2000-10-16 | 2002-06-12 | Siemens Schweiz AG | Vorrichtung zum Fördern und Sortieren von Stückgütern |
| EP1213239A3 (de) * | 2000-10-16 | 2002-07-03 | Siemens Schweiz AG | Vorrichtung zum Fördern und Sortieren von Stückgütern |
| WO2008147240A1 (en) * | 2007-05-30 | 2008-12-04 | Schlumberger Canada Limited | Dry material transporting device |
| CN103803248A (zh) * | 2012-11-08 | 2014-05-21 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种可实现物料自动定位的输送系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR880010854A (ko) | 나사 가공 장치 | |
| ES2104921T3 (es) | Convertidor de velocidad. | |
| KR880010475A (ko) | 웨이퍼 운반장치 | |
| GB1371985A (en) | Electronic control device in particular for use in a variable- reluctance motor | |
| JPS58188224A (ja) | 直線間欠移送装置 | |
| JP2009049251A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| DE58906261D1 (de) | Vorrichtung zur Steuerung eines Sternrades zur Positionierung von Probenbehältern. | |
| JPS59148588A (ja) | 電動機の速度制御装置 | |
| JPH01169939A (ja) | 半導体ウエハのセンタ合せ装置 | |
| KR20100049226A (ko) | 유리패널 반송설비의 구동장치 | |
| JP4860399B2 (ja) | ワーク搬送装置およびその制御方法 | |
| JP2002252268A (ja) | 基板搬送用把持装置 | |
| JPH0533247Y2 (ja) | ||
| WO1986000430A1 (en) | Apparatus for detecting absolute position of servo control system | |
| JP3013998B2 (ja) | 数値制御装置における回転軸零点復帰方法 | |
| EP0365995A3 (en) | Apparatus for turning travelling glass sheets | |
| JPS6036463Y2 (ja) | 伝票処理装置 | |
| JPH0517018A (ja) | 搬送レール装置 | |
| JPS6427839A (en) | Feed control method for machine tool | |
| JP2003040428A (ja) | クラッチブレーキモータによる高速、高精度位置決め | |
| SU488669A1 (ru) | Устройство дл автоматического копировани криволинейных замкнутых контуров при сварке | |
| GB1310333A (en) | Machine for grinding edges of glass articles | |
| SU1514562A1 (ru) | Конвейерная машина зинина (5 7) | |
| JPS56165623A (en) | Magazine positioner | |
| JPS61159355A (ja) | 加工物の認識および位置決め方法 |