JPS5818430B2 - Electroless plating bath and plating method - Google Patents

Electroless plating bath and plating method

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JPS5818430B2
JPS5818430B2 JP50050163A JP5016375A JPS5818430B2 JP S5818430 B2 JPS5818430 B2 JP S5818430B2 JP 50050163 A JP50050163 A JP 50050163A JP 5016375 A JP5016375 A JP 5016375A JP S5818430 B2 JPS5818430 B2 JP S5818430B2
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bath
group
plating
metal
gold
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JP50050163A
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Japanese (ja)
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JPS50149542A (en
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デイ ベ−カ− ケネス
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Engelhard Corp
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Publication date
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Publication of JPS5818430B2 publication Critical patent/JPS5818430B2/en
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/38Coating with copper
    • C23C18/40Coating with copper using reducing agents
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
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    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/42Coating with noble metals
    • C23C18/44Coating with noble metals using reducing agents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は基質上にIB族金属を自動接触的に析出させる
ための改良無電解メッキ浴に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to an improved electroless plating bath for the automated catalytic deposition of Group IB metals on substrates.

さらに詳細には、本発明は接触的表面上に自動接触的に
析出させるための改良された無電解銀、銅および金メッ
キ浴に関しており、その浴は改善されたメッキ速度を含
むメッキ特性を提供する。
More particularly, the present invention relates to improved electroless silver, copper and gold plating baths for automated catalytic deposition on contact surfaces, the baths providing plating properties including improved plating rates. .

さらに詳細には、本発明はその上にメッキされるべきI
B族金属の無電解メッキ浴を用いて種々の基質をメッキ
する改良法に関している。
More specifically, the present invention provides an I
This invention relates to improved methods for plating various substrates using electroless plating baths of Group B metals.

種々の基質上へ金およびその他のIB族金属を自動的触
的に析出させるための無電解メッキ浴の使用は広く知ら
れるところになっている。
The use of electroless plating baths for the automated catalytic deposition of gold and other Group IB metals onto a variety of substrates has become widely known.

普通の電解メッキ浴に比べてこのような浴は電気を使用
する必要なしに種々の金属質または非金属質の基質上に
それらの金属を析出させうるという特徴を有している。
Compared to conventional electrolytic plating baths, such baths have the advantage that they can deposit metals on a variety of metallic or non-metallic substrates without the need for the use of electricity.

たとえば、1970年9月始めに出版されたメッキに関
する一連の論文中でオキナカ博士は、還元剤としてボロ
ハイドライドおよびジメチルアミンボレインを、かつ金
の源としてアルカリ金属シアン化物を使用する金の無電
解析出について記載しているが、その中で、シアン化物
濃度の増加、特に追加のアルカリ土属金シアン化部での
補充時のその増加によって、浴における明確な退化があ
ることが示されている。
For example, in a series of papers on plating published in early September 1970, Dr. Okinaka presented an electroless analysis of gold using borohydride and dimethylamineboreine as reducing agents and alkali metal cyanide as the source of gold. It is shown that there is a clear deterioration in the bath by the increase in cyanide concentration, especially upon replenishment with additional alkaline earth metal cyanide fraction. .

事実、1971年11月の論文で彼はこのことを特に論
証しており(その論文の第2図参照)、かつ遊離シアン
化物イオンの蓄積が析出(メッキ)速度を低下させるも
のとして知られていることを指摘している。
In fact, he specifically demonstrated this in his November 1971 paper (see Figure 2 of that paper), and that the accumulation of free cyanide ions is known to reduce the rate of deposition (plating). It points out that there are.

一回の補充ののちにその著者はいくらかの金が沈でんし
たことを指摘している。
After one replenishment, the author notes that some gold sank.

オキナカ博士は彼の方法によって時間当り約2.5ミク
ロンに達するメッキ速度が得られ、かつこのような速度
が得られたのではあるが重大な浴不安定性が生じたこと
を開示している。
Dr. Okinaka discloses that his method resulted in plating rates reaching approximately 2.5 microns per hour, and that although these rates were achieved, significant bath instability occurred.

さらに鬼MCCormackへの米国特許3.589,
916号には水溶性ボロハイドライドまたはアミンボレ
イン還元剤および安定化量のシアン化物化合物に加えて
水溶性金塩およびその金に対する錯化化合物を含有し、
それらのすべてが10乃至14のT)Hに維持されてい
る無電解金メッキ浴が記載されている。
Furthermore, U.S. Patent No. 3.589 to Oni MC Cormack,
No. 916 contains, in addition to a water-soluble borohydride or amineboreine reducing agent and a stabilizing amount of a cyanide compound, a water-soluble gold salt and its complexing compound for gold;
Electroless gold plating baths are described, all of which are maintained at T)H between 10 and 14.

このようにしてその開示は、メッキ中の金の沈でんを防
止する目的で金コンプレックスを形成させるために錯化
化合物を使用することを教示している。
The disclosure thus teaches the use of complexing compounds to form gold complexes for the purpose of preventing gold precipitation during plating.

この開示はまたリットル当り5マイクログラム乃至50
0ミリグラムの水溶性シアン化物化合物の量が臨界的で
あることを教示している。
This disclosure also includes 5 micrograms per liter to 50 micrograms per liter.
It is taught that an amount of water-soluble cyanide compound of 0 milligrams is critical.

しかしながら、従来使用された金源のそれぞれは完全に
満足されるものではなかった。
However, each of the gold sources used heretofore has not been completely satisfactory.

このようにして、金シアン化物化合物の使用については
、そのメッキ浴にはシアン化物イオン濃度が増加するに
つれて、特にその浴の補充の際に、決定的な退化が見ら
れた。
Thus, with the use of gold cyanide compounds, the plating bath experienced a significant deterioration as the cyanide ion concentration increased, especially upon replenishment of the bath.

さらに、それらの化合物は大きな程度には水溶性でなく
したがって溶液状を保つためには相当な努力が必要とさ
れ、かつ米国特許3、’589,916号に記載されて
いるように水溶性金塩の使用ということに加えてその浴
の分解がもたらされた。
Furthermore, these compounds are not water soluble to a large extent and therefore require considerable effort to remain in solution, and water soluble compounds, as described in U.S. Pat. No. 3, '589,916, In addition to the use of salt, the decomposition of the bath resulted.

このようにして、本発明の目的の一つは銀、銅および金
を含むIB族金属を自動接触的に析出させるための改良
無電解メッキ浴を提供することである。
Thus, one of the objects of the present invention is to provide an improved electroless plating bath for the automatic catalytic deposition of Group IB metals including silver, copper and gold.

本発明の別の目的は改善されたメッキ速度およびメッキ
寿命を有する無電解メッキ浴を提供することである。
Another object of the invention is to provide an electroless plating bath with improved plating speed and plating life.

本発明のさらに別の目的は、より良好な密着性、厚さ、
輝度および展延性を含む改善された緒特性を有するIB
族金属メッキの析出をもたらすような無電解メッキ浴を
提供することである。
Yet another object of the present invention is to improve adhesion, thickness,
IB with improved properties including brightness and spreadability
An object of the present invention is to provide an electroless plating bath that results in the deposition of group metal plating.

本発明のさらに別の目的はこのような無電解メッキ浴を
使用して種々の金属質および非金属質の基質をメッキす
るための方法を提供することである。
Yet another object of the present invention is to provide a method for plating a variety of metallic and non-metallic substrates using such electroless plating baths.

本発明にしたがえば、種々の基質上に厚い銀、銅および
金メッキを与える自動接触的析出を行なわせるための無
電解メッキ浴が提供される。
In accordance with the present invention, an electroless plating bath is provided for automated catalytic deposition of thick silver, copper and gold plating on a variety of substrates.

本発明の無電解メッキ浴はメッキされるべきIB族金属
のイミドコンプレックス;その浴を安定化させるに十分
な量のアルカリ金属シアン化物;および水溶性アルカリ
金属ボロ/\イドライド、水溶性アミンボレインならび
にホルムアルデヒドを含む群から選択される還元剤;の
水溶液から成っている。
The electroless plating bath of the present invention comprises an imide complex of the Group IB metal to be plated; an alkali metal cyanide in an amount sufficient to stabilize the bath; a reducing agent selected from the group comprising;

その浴のpHは約11乃至14に維持される。The pH of the bath is maintained at about 11-14.

このようにして、その無電解メッキ浴が付随する浴の分
解なしに優れたメッキ速度を示すことが見いだされた。
It has thus been found that the electroless plating bath exhibits excellent plating rates without concomitant bath decomposition.

より詳細には、その浴によって時間当り2.5ミクロン
よりも上の、かつ好ましくは2.7ミクロンよりも上の
メッキ速度が得られる。
More particularly, the bath provides a plating rate of greater than 2.5 microns per hour, and preferably greater than 2.7 microns per hour.

本発明の好ましい実施態様においては、必要とされるそ
のpHの水準がその浴へアルカリ金属水酸化物を添加す
ることによって維持され、かつ好ましくはpH制御の優
れた程度を得るために、そのアルカリ金属水酸化物に加
えてアルカリ金属緩衝塩がその浴に添加される。
In a preferred embodiment of the invention, the required pH level is maintained by adding an alkali metal hydroxide to the bath, and preferably the alkali metal hydroxide is added to the bath to obtain a good degree of pH control. In addition to the metal hydroxide, an alkali metal buffer salt is added to the bath.

さらに、成る種の有機キレート化剤がそれらの無電解メ
ッキ浴へ添加されてもよく、特に金属質基質がその浴に
よってメッキされるべき場合には、置換金属とコンプレ
ックスを形成してその沈でんを防止するために有機キレ
ート化剤が添加される。
Additionally, certain organic chelating agents may be added to those electroless plating baths to form complexes with the substituting metals and inhibit their precipitation, especially if metallic substrates are to be plated by the baths. Organic chelating agents are added to prevent this.

さらに、本発明にしたがえば、種々の基質をメッキする
ための改良法が提供されるが、その方法においては金属
質または非金属質の基質がその改良無電解メッキ浴中に
浸漬される前に接触的に活性にされる。
Additionally, in accordance with the present invention, an improved method for plating a variety of substrates is provided, in which the metallic or non-metallic substrate is immersed in the improved electroless plating bath. catalytically activated.

このようにして、使用された基質に対して強い密着性を
有しかつ従来技術のメッキ浴によって得られるメッキと
比較してより均一な厚さを有する展延性の銀、銅および
金メッキが提供される。
In this way, malleable silver, copper and gold platings are provided which have strong adhesion to the substrate used and have a more uniform thickness compared to platings obtained by prior art plating baths. Ru.

このようにして、メッキされるべきIB族金属のイミド
コンプレックスがその金属、たとえば金の源として使用
された場合に、高度に改善された無電解メッキ浴が得ら
れることが見いだされた。
It has thus been found that highly improved electroless plating baths are obtained when an imide complex of a Group IB metal to be plated is used as the source of that metal, for example gold.

このようなイミド化合物はこうしてメッキされるべきそ
のIB族金属と期待もできなかったような強固なコンプ
レックスを形成し、それによってメッキ中のIB族金属
の沈でんが防止されると同時にそれら金属がそのメッキ
溶液中に完全に溶解して、それらが析出する前に還元剤
と反応することが無いように十分に安定になる。
Such imide compounds thus form unexpectedly strong complexes with the Group IB metals to be plated, thereby preventing precipitation of the Group IB metals during plating and at the same time allowing the metals to They completely dissolve in the plating solution and become sufficiently stable that they do not react with the reducing agent before they are deposited.

メッキされるべきIB族金属、たとえば金と特に強固な
コンプレックスを形成することのできる本発明のイミド
は次のような一般式: (式中Rは、アルキレン、置換アルキレン、アリレン、
置換アリレンを含む群から選択されるラジカルである)
を有する。
The imides of the present invention which are capable of forming particularly strong complexes with Group IB metals to be plated, such as gold, have the general formula: where R is alkylene, substituted alkylene, arylene,
a radical selected from the group containing substituted arylene)
has.

好ましくは、そのRはスルフォニル−D−フェニレン、
−802−C6H4−1置換アリレン基でありかつ特定
的にはスルホベンゾイックイミド、C6H4(SO2)
(CO)NHである。
Preferably, R is sulfonyl-D-phenylene,
-802-C6H4-1 substituted arylene group, and specifically sulfobenzoic imide, C6H4(SO2)
(CO)NH.

このようにして、無電解金メッキ浴の調製に対してそれ
らイミドと金とのコンプレックス、たとえばアルカリ土
属金スルホベンゾイックイミドが調製される。
In this way, complexes of these imides and gold, such as alkaline earth metal sulfobenzoic imides, are prepared for the preparation of electroless gold plating baths.

好ましくは、メンキされるべきIB族金属がそれによっ
て錯化されるイミドは次のように一般式(式中Rは、ア
ルキレン、置換アルキレン、アリレン、又は置換アリレ
ンを含む群から選択されるラジカルである)。
Preferably, the imide with which the Group IB metal to be complexed has the general formula: where R is a radical selected from the group comprising alkylene, substituted alkylene, arylene, or substituted arylene. be).

好ましくはRはアルキレンである。Preferably R is alkylene.

たとえば、Rがエチレン、−CH2CH2−の場合には
そのイミドはサクシニミドでありかつRがD−フェニレ
ン、C6H14=の場合にはそのイミドはフタルイミド
であろう。
For example, if R is ethylene, -CH2CH2-, the imide will be succinimide, and if R is D-phenylene, C6H14=, the imide will be phthalimide.

無電解金メッキ浴が所望の場合にはこれらの2つの化合
物、すなわちサクシニミドおよびフタルイミドは特に好
ましいものであり、こうしてアルカリ土属金すクシニミ
ド、特定的にはカリウム金すクシニミドおよびアルカリ
土属金フタルイミド、特定的にはカリウム金フタルイミ
ドの形態で金とのコンプレックスが形成される。
These two compounds, namely succinimide and phthalimide, are particularly preferred when an electroless gold plating bath is desired, thus alkaline earth metal succinimide, specifically potassium gold succinimide and alkaline earth metal phthalimide, Specifically, a complex with gold is formed in the form of potassium gold phthalimide.

本発明の無電解メッキ浴がその浴の安定性を維持するた
めに臨界的な量で可溶性のシアン化物化合物を含有する
こともまた本質的なことである。
It is also essential that the electroless plating bath of the present invention contains a critical amount of soluble cyanide compounds in order to maintain the stability of the bath.

これらの水溶性シアン化物化合物としてはシアン化ナト
リウム、カリウムおよびリジウムのようなアルカリ金属
シアン化物がある。
These water-soluble cyanide compounds include alkali metal cyanides such as sodium, potassium and lysium cyanide.

それらの中でもシアン化ナトリウムおよびカリウムが特
に好ましい。
Among them, sodium and potassium cyanide are particularly preferred.

しかしながら、このような化合物の他のもの、たとえば
米国特許3,589,916号に記載されているような
アルファーヒドロキシニトリル等を含むニトリル類が使
用されてもよく、したがってそれらの化合物は参照とし
て本明細書に統合されるものである。
However, other such compounds may be used, such as nitriles, including alpha hydroxynitriles, such as those described in U.S. Pat. No. 3,589,916, which are incorporated herein by reference. It shall be integrated into the specification.

しかしながら、それらの水溶性シアン化物化合物が特定
的な量で、一般にはリットル当り約2乃至20グラム、
かつ好ましくはリットル当り約5乃至15グラムの量で
使用されることが臨界的である。
However, these water-soluble cyanide compounds are present in specific amounts, generally about 2 to 20 grams per liter.
It is critical that it is used and preferably in an amount of about 5 to 15 grams per liter.

このようにして、リットル当り約2グラムよりも下では
本発明の無電解メツーキ浴が比較的に不安定であってメ
ッキされるべき金属が浴から沈でんし、かつそのシアン
化物化合物の濃度がリットル当り約20グラムまで増大
するとその浴によって得られるメッキ速度が急速に減退
することが見いだされた。
Thus, below about 2 grams per liter, the electroless Metuki bath of the present invention is relatively unstable such that the metal to be plated precipitates from the bath and the concentration of cyanide compounds decreases. It has been found that as the plating rate is increased to about 20 grams per bath, the plating rate achieved by the bath decreases rapidly.

したがって、米国;特許3,589,916号に記載さ
れている水溶性シアン化物化合物の使用量は前述したよ
うに本明細書の教示する量よりも相当に低く、したがっ
てそれにしたがって調製される無電解メッキ浴は高度に
不安定である。
Therefore, the amount of water-soluble cyanide compound described in U.S. Pat. Plating baths are highly unstable.

; 本発明の無電解メッキ液との関連で使用される還元
剤には可溶性でかつ水溶液で安定なボロハイドライドま
たはアミンボレインのどのようなものでもが含まれる。
Reducing agents used in connection with the electroless plating solution of the present invention include any soluble and aqueous stable borohydride or amine boreine.

このようにして、アルカリ金属ボロハイドライド、好ま
しくはナトリウムおよび:カリウムボロハイドライドが
使用されるが、種々の置換ボロハイドライド、たとえば
ナトリウムまたはカリウム、トリメトキシボロハイドラ
イド、NaCK)B(OCHs) s Hlもまた使用
されうる。
In this way, alkali metal borohydrides are used, preferably sodium and:potassium borohydrides, but also various substituted borohydrides, such as sodium or potassium, trimethoxyborohydride, NaCK)B(OCHs)sHl. can be used.

またモノ−およびジー低級アルキル(たとえばC6ま1
でのアルキル)−アミンボレインのようなアミンボンイ
ン類が使用され、特にイソプロビルアミンボレインおよ
びジメチルアミンボレインが好ましい。
Also mono- and di-lower alkyl (e.g. C6 or
Aminebonins such as alkyl)-amineboreines are used, with isoprobylamineboreine and dimethylamineboreine being particularly preferred.

さらに、ホルムアルデヒドもまたそれらの浴に使用する
ために優れた還元剤であり、特に銅および銀の析出に好
適である。
Additionally, formaldehyde is also an excellent reducing agent for use in these baths, and is particularly suitable for copper and silver precipitation.

本発明の無電解メッキ浴が主としてその自生的な分解を
防止するために約11乃至14のpHに維持されるべき
こともまた本質的なことである。
It is also essential that the electroless plating bath of the present invention should be maintained at a pH of about 11 to 14 primarily to prevent its spontaneous decomposition.

このようにして、そのpHをこの水準に維持する;ため
にアルカリ金属水酸化物、たとえば水酸化ナトリウムま
たはカリウムが使用されることが好ましい。
Preferably, an alkali metal hydroxide, such as sodium or potassium hydroxide, is used to maintain the pH at this level in this way.

しかしながら、そのアルカリ金属水酸化物に加えてアル
カリ金属緩衝塩が使用される場合にはそのpHの調節が
相当に容易であることが見いだされている。
However, it has been found that adjusting the pH is considerably easier when an alkali metal buffer salt is used in addition to the alkali metal hydroxide.

このようにして、本発明の無電解メッキ浴をメッキの間
に所要のpH水準に維持するためには、そのpHが低下
しようとするのでアルカリ金属水酸化物が必要であるが
、一方そのpH調節の容易さはこのようなアルカリ金属
緩衝塩の添加によって相当に助長される。
Thus, in order to maintain the electroless plating bath of the present invention at the required pH level during plating, an alkali metal hydroxide is necessary as the pH tends to decrease; Ease of control is considerably facilitated by the addition of such alkali metal buffer salts.

こうして、それらのアルカリ金属緩衝塩にはアルカリ金
属燐酸塩、クエン酸塩、酒石酸塩、メク硼酸塩等が含ま
れる。
Thus, these alkali metal buffer salts include alkali metal phosphates, citrates, tartrates, mechborates, and the like.

特に、それらのアルカリ金属緩衝塩には燐酸ナトリウム
゛またはカリウム、ピロ燐カリウム、クエン酸ナトリウ
ムまたはカリウム、酒石酸ナトリウムカリウム、硼酸ナ
トリウムまたはカリウム、メク硼酸ナトリウムまたはカ
リウム等が含まれる。
In particular, these alkali metal buffer salts include sodium or potassium phosphate, potassium pyrophosphate, sodium or potassium citrate, sodium or potassium tartrate, sodium or potassium borate, sodium or potassium meborate, and the like.

好ましいアルカリ金属緩衝塩はクエン酸ナトリウムまた
はカリウムおよび酒石酸ナトリウムまたはカリウムであ
る。
Preferred alkali metal buffer salts are sodium or potassium citrate and sodium or potassium tartrate.

本発明の無電解メッキ浴をさらに改善するために、その
浴に有機キレート化剤ヲ添加することが好ましい。
To further improve the electroless plating bath of the present invention, it is preferred to add an organic chelating agent to the bath.

そのようなキレート化剤は置換表面金属イオンと結合し
、こうしてそれら金属のそのメッキ工程への妨害、なら
びにその結果としての析出メツ年層の色特性および同様
に密着性ならびに厚さといったようなその他のメッキ特
性の退化が防止される。
Such chelating agents bind to displacing surface metal ions and thus interfere with the plating process of those metals, as well as the resulting color properties of the deposited layer as well as other properties such as adhesion and thickness. Deterioration of plating properties is prevented.

このようにして、それらの有機キレート化剤にはエチレ
ンジアミン4酢酸のジ−ナトリウム、トリーナトリウム
およびテトラ−ナトリウムおよびカリウム塩、ジ−エチ
レントリアミン5酢酸、ニトリロ3酢酸が含まれる。
Thus, these organic chelating agents include the di-, trisodium and tetra-sodium and potassium salts of ethylenediaminetetraacetic acid, di-ethylenetriaminepentaacetic acid, nitrilotriacetic acid.

中でもエチレンジアミン4酢酸およびそのジー、トリー
、およびテトラ−ナトリウム塩が好ましいキレート化剤
であり、特にそのトリーおよび。
Among these, ethylenediaminetetraacetic acid and its di-, tri-, and tetra-sodium salts are preferred chelating agents, especially its di-, tri-, and tetra-sodium salts.

テトラ−ナトリウム塩が特に好ましい。Particular preference is given to the tetra-sodium salt.

たとえば金メッキのようなIB族金属のメッキを本発明
にしたがって自動接触的に析出させるためには、そのよ
うな無電解メッキ溶液を接触的に活性な基質表面と接触
させることが必要である。
In order to autocatalytically deposit a Group IB metal plating, such as gold plating, in accordance with the present invention, it is necessary to contact such an electroless plating solution with a catalytically active substrate surface.

このようにして、金属質基質が用いられる場合には、そ
のような表面はその浴中に溶けている金属陽イオンの還
元に対して接触的であるすべての金属を包含する。
Thus, if a metallic substrate is used, such surface includes all metals that are accessible to the reduction of dissolved metal cations in the bath.

したがって成る場合にはその基質をこの面の技術の専門
家には公知の処理によってさらに感受性にすることが好
ましいのではあるが、ニッケル、コバルト、鉄、銅、パ
ラジウム、白金、銅、真鍮、マンガン、クロム、モリブ
デン、タングステン、チタニムム、スズ、銀、等番金属
基質として、その上にIB族金属、たとえば金のような
金属をメッキするように使用することが可能である。
It is therefore preferable to make the substrate more susceptible to metals such as nickel, cobalt, iron, copper, palladium, platinum, copper, brass, manganese, etc., by treatments known to those skilled in the art. , chromium, molybdenum, tungsten, titanium, tin, silver, etc. can be used as a metal substrate onto which metals such as Group IB metals, such as gold, can be plated.

しかしながら、非金属質の基質では、それらの表面はそ
の上に接触的物質粒子のフィルムを生成させることによ
って接触的活性にされなければならない。
However, with non-metallic substrates, their surfaces must be made catalytically active by forming a film of catalytic material particles thereon.

このことは米国特許3,589,91.6号に記載の方
法で、ガラス、セラミック、種々のプラスチック等のよ
うな表面上に行なわれうる。
This can be done on surfaces such as glass, ceramics, various plastics, etc. in the manner described in US Pat. No. 3,589,91.6.

好ましくは、プラスチック基質が本発明にしたがってメ
ッキされるべき場合には、そのものは最初にエツチング
され、好ましくはクロム酸および硫酸の溶液中でエツチ
ングされる。
Preferably, if a plastic substrate is to be plated according to the invention, it is first etched, preferably in a solution of chromic acid and sulfuric acid.

その基質は注ぎ洗いされたのちに、塩化第1スズの酸性
溶液、たとえば塩化第1スズと塩酸といったような溶液
中に浸漬され、水洗されかつそののちに貴金属の酸性溶
液、たとえば塩化パラジウムと塩酸といった溶液と接触
される。
The substrate is poured and rinsed, then immersed in an acidic solution of stannous chloride, such as stannous chloride and hydrochloric acid, rinsed with water, and then soaked in an acidic solution of precious metals, such as palladium chloride and hydrochloric acid. It comes into contact with a solution such as

引続いて、このようにして今や接触的に活性となった非
金属質基質はその上にIB族金属のメッキを自動接触的
に析出するように本発明の無電解メッキ溶液と接触され
うる。
Subsequently, the now catalytically active non-metallic substrate can be contacted with the electroless plating solution of the present invention to autocatalytically deposit a plate of Group IB metal thereon.

金属基質がメッキされるべき、本発明の非常に好ましい
実施態様においては、予備メッキ段階が用いられる。
In highly preferred embodiments of the invention, where a metal substrate is to be plated, a pre-plating step is used.

こうして、本発明の接触的に活性な金属質基質が本明細
書の無電解メッキ浴で直接的に使用される場合には、そ
の上にメッキされるIB族金属によって置換された基質
金属でのそのメッキ浴の汚染が生じ、それによって得ら
れる析出物の純度およびその無電解メッキ溶液の安定性
が左右されることが発見された。
Thus, when the catalytically active metallic substrates of the present invention are used directly in the electroless plating baths herein, the substrate metal is replaced by the Group IB metal being plated thereon. It has been discovered that contamination of the plating bath occurs, thereby affecting the purity of the deposit obtained and the stability of the electroless plating solution.

したがって、このような状況においては金の薄層を準備
するための予備メッキ段階を行なうことが好ましい。
Therefore, in such situations it is preferable to carry out a pre-plating step to prepare a thin layer of gold.

このことは米国特許3,230,098号に記載の’A
tO−me x ”法を使用することによって達成され
るが、その方法においてはその金属質基質がアルカリ土
属金シアン化物を含む群から選択される可溶性金塩、そ
の浴のpHを約5.5乃至14に維持することのできる
アンモニウム緩衝剤、および使用した基質の金属イオン
とキレート化しうる有機キレート化剤を含有する水性金
メツキ浴中に浸漬される。
This is explained in US Pat. No. 3,230,098.
tO-mex'' method, in which the metallic substrate is a soluble gold salt selected from the group comprising alkaline earth metal cyanides, and the pH of the bath is adjusted to about 5. It is immersed in an aqueous gilding bath containing an ammonium buffer that can be maintained at a temperature between 5 and 14, and an organic chelating agent that can chelate with the metal ions of the substrate used.

薄層、すなわち約2乃至10マイクロインチ、好ましく
は5乃至10マイクロインチの金が上記のような方法で
メッキされたのちに、そのメッキされた基質が、本発明
にしたがって得られる改善された特性を有するIB族金
属の厚い、展延性のメッキ層を得るために、本発明の無
電解メッキ浴中に浸漬されうる。
After a thin layer of gold, approximately 2 to 10 microinches, preferably 5 to 10 microinches, has been plated in the manner described above, the plated substrate exhibits the improved properties obtained in accordance with the present invention. can be immersed in the electroless plating bath of the present invention to obtain a thick, malleable plated layer of Group IB metal having a .

本発明にしたがって調製される代表的メッキ浴を以下に
示す。
A typical plating bath prepared according to the present invention is shown below.

実施例 1 カリウム金すクシニミドを水に溶解して約70乃至95
℃に加熱することによって全溶液が得られる。
Example 1 Potassium gold succinimide dissolved in water has a concentration of about 70 to 95
A total solution is obtained by heating to °C.

シアン化カリウム、クエン酸3カリウム、水酸化カリウ
ムおよびエチレンジアミン4酢酸を上記溶液に加え、か
つそのpHを約13に保ち温度を約80℃に維持した。
Potassium cyanide, tripotassium citrate, potassium hydroxide and ethylenediaminetetraacetic acid were added to the solution and the pH was maintained at about 13 and the temperature at about 80°C.

次にジメチルアミンボレイシを水に溶解しこれを上記溶
液に添加した。
Next, dimethylamine boron was dissolved in water and added to the above solution.

その金メッキを続けるために、カリウム金すクシニミド
として金を含有する水溶液によって金を補給した。
To continue the gold plating, gold was replenished with an aqueous solution containing gold as potassium gold succinimide.

ジメチルアミンボレインの追加量および同様に適正なp
Hを維持するための水酸化カリウムの添加が要求される
であろう。
Additional amount of dimethylamineborein and also suitable p
Addition of potassium hydroxide to maintain H may be required.

このようにして調製された初期メッキ浴は次のような組
成を有していた。
The initial plating bath thus prepared had the following composition.

金、カリウム金すクシニ ミドとして ・・・・・・・・・ 3.0
?/lシアン化カリウム ・・・・・・・・・
5.0 f/1EDTA(4ナトリウム塩)・・・・・
・ 2.0 !/lクエン酸3カリウム ・・・・・
・・・・25.0 ’?/を水酸化カリウム ・
・・・・曲1o、oグ/lジメチルアミンボレイン・・
・・川・・10.0 ?/1実施例 2 ナトリウム銀フタルイミドを酒石酸ナトリウムカリウム
、カリウム銀すクシニミド、および水酸化カリウムと共
に水に溶解して銀溶液を調製した。
Gold, potassium gold as succinimide 3.0
? /l Potassium cyanide ・・・・・・・・・
5.0 f/1 EDTA (tetrasodium salt)...
・2.0! /l tripotassium citrate...
...25.0'? / potassium hydroxide ・
...Song 1 o, og/l dimethylamine borein...
...River...10.0? /1 Example 2 A silver solution was prepared by dissolving sodium silver phthalimide in water with sodium potassium tartrate, potassium silver succinimide, and potassium hydroxide.

次にその溶液を約55℃に加熱しかつそれに37%ホル
ムアルデヒド溶液を添加した。
The solution was then heated to about 55°C and a 37% formaldehyde solution was added to it.

こうして調製された銀メッキ浴は次の組成を有していた
: 銀、ナトリウム銀フク・・・・・・・・・ 2.Off
/lルイミドとして シアン化カリウム ・・・・・・・・・IOP/を酒
石酸ナトリウムカリ ラム ・・・・・・・・・259/を水
酸化カリウム ・・・・・・・・・ 5 ?/l
ホルムアルデヒド(37%)・・・50711Vt実施
例 3 カリウム銅スルホベンゾイックイミドを酒石酸ナトリウ
ムカリウム、シアン化カリウム、および水酸化カリウム
の水溶液中に溶解して銅溶液を調製した。
The silver plating bath prepared in this way had the following composition: Silver, sodium silver fume...2. Off
Potassium cyanide as /l limide ・・・・・・・・・IOP/ is sodium potassium tartrate ・・・・・・・・・259/ is potassium hydroxide ・・・・・・・・・ 5 ? /l
Formaldehyde (37%)...50711Vt Example 3 A copper solution was prepared by dissolving potassium copper sulfobenzoicimide in an aqueous solution of potassium sodium tartrate, potassium cyanide, and potassium hydroxide.

次にこの溶液を約30℃に加熱しその中へ37%ホルム
アルデヒド溶液を添加した。
This solution was then heated to about 30° C. and a 37% formaldehyde solution was added thereto.

このようにして得られた銅浴は次の組成を有していた: 銅、カリウム銅スルホベンゾ イックイミドとして ・・・・・・・・・3 ?
/lシアン化カリウム ・・・・・・・・・2
?/を酒石酸ナトリウムカリウム ・・・・・・30
9/を水酸化カリウム ・・・・・・10
?/lホルムアルデヒド(37%)・・・・・・2om
tvt以下に本発明の実施態様を示す。
The copper bath thus obtained had the following composition: copper, potassium as copper sulfobenzoic imide...3?
/l Potassium cyanide ・・・・・・・・・2
? / Sodium Potassium Tartrate 30
9/ potassium hydroxide ・・・・・・10
? /l formaldehyde (37%)...2om
tvt The embodiments of the present invention are shown below.

(1)特許請求の範囲第1項に記載の無電解メッキ浴に
おいて、メッキされるべきそのIB族金属が金、銀およ
び銅を含む群から選択されることを特徴とする無電解メ
ッキ浴。
(1) An electroless plating bath according to claim 1, characterized in that the Group IB metal to be plated is selected from the group containing gold, silver and copper.

(2) 4?許請求の範囲第1項に記載の無電解メッ
キ浴において、そのアルカリ金属シアン化物が1リット
ル肖り約2乃至20グラムの量で存在することを特徴と
する無電解メッキ浴。
(2) 4? An electroless plating bath according to claim 1, wherein the alkali metal cyanide is present in an amount of about 2 to 20 grams per liter.

(3)特許請求の範囲第1項に記載の無電解メッキ浴に
おいて、その浴がその浴へアルカリ金属水酸化物を添加
することによって約11乃至14のpHに維持されるこ
とを特徴とする無電解メッキ浴。
(3) An electroless plating bath according to claim 1, characterized in that the bath is maintained at a pH of about 11 to 14 by adding an alkali metal hydroxide to the bath. Electroless plating bath.

(4)前記第3項に記載の無電解メッキ浴において、そ
の浴がアルカリ金属燐酸塩、クエン酸塩、酒石酸塩、硼
酸塩、メタ硼酸塩およびそれらの混合物を含む群から選
択されるアルカリ金属緩衝塩を含有することを特徴とす
る無電解メッキ浴。
(4) The electroless plating bath according to item 3 above, wherein the bath contains an alkali metal selected from the group comprising alkali metal phosphates, citrates, tartrates, borates, metaborates, and mixtures thereof. An electroless plating bath characterized by containing a buffer salt.

(5)特許請求の範囲第1項に記載の無電解メッキ浴に
おいて、メッキされるべきそのIB族金属のイミドコン
プレックスが式RNHCOC式中Rはアルキレン、置換
アルキレン、アリレン又は置換アリレン基を含む群から
選択されるものである)を有するイミドを含有すること
を特徴とする無電解メッキ浴。
(5) In the electroless plating bath according to claim 1, the imide complex of the Group IB metal to be plated has the formula RNHCOC, where R is a group containing alkylene, substituted alkylene, arylene, or substituted arylene group. An electroless plating bath characterized in that it contains an imide having a composition selected from the following.

(6)特許請求の範囲第1項に記載の無電解メッキ浴に
おいて、メッキされるべきそのIB族金属のイミドコン
プレックスが式嬰]セ世SOC式中Rはアルキレン、置
換アルキレン、アリレン又は置換アリレン基を含む群か
ら選択されるものである)を有する環状イミドを含有す
ることを特徴とする無電解メッキ浴。
(6) In the electroless plating bath according to claim 1, the imide complex of the IB group metal to be plated is of the formula [Seise SOC], where R is alkylene, substituted alkylene, arylene, or substituted arylene. 1. An electroless plating bath characterized in that it contains a cyclic imide having a cyclic imide selected from the group consisting of:

(7)前記第(6)項に記載の無電解メッキ浴において
、そのイミドがサクシニミドおよびフタルイミドを含む
群から選択されることを特徴とする無電解メッキ浴。
(7) The electroless plating bath according to item (6), wherein the imide is selected from the group containing succinimide and phthalimide.

(8)特許請求の範囲第3項に記載の方法において、ソ
ノ段階(イ)で金メッキされた層が約2乃至10ミクロ
ンの厚さであることを特徴とする金属質基質のメッキ方
法。
(8) A method for plating a metallic substrate according to claim 3, wherein the layer plated with gold in the sono step (a) has a thickness of about 2 to 10 microns.

(9)特許請求の範囲第3項に記載の方法において、そ
のアルカリ金属シアン化物がリットル当り約2乃至20
グラムの量で存在することを特徴とする金属質基質のメ
ッキ方法。
(9) A method according to claim 3, wherein the alkali metal cyanide is about 2 to 20% per liter.
A method of plating a metallic substrate characterized in that it is present in an amount of grams.

(10) 特許請求の範囲第3項に記載の方法におい
て、その無電解メッキ浴がその浴にアルカリ金属水酸化
物を添加することによって約11乃至14のpHに維持
されることを特徴とする金属質基質のメッキ方法。
(10) A method according to claim 3, characterized in that the electroless plating bath is maintained at a pH of about 11 to 14 by adding an alkali metal hydroxide to the bath. Method of plating metallic substrates.

0υ 前記第QO)項に記載の方法において、その無電
解メッキ浴がアルカリ金属緩衝塩を含有することを特徴
とする金属膏基質のメッキ方法。
0υ A method for plating a metal plaster substrate according to item QO), characterized in that the electroless plating bath contains an alkali metal buffer salt.

(12) 特許請求の範囲第2項に記載の方法におい
て、その無電解メッキ浴がその基質の金属とキレートを
形成しうる有機キレート化剤を含有することを特徴とす
る金属質基質のメッキ方法。
(12) A method for plating a metallic substrate according to claim 2, wherein the electroless plating bath contains an organic chelating agent capable of forming a chelate with the metal of the substrate. .

α3)特許請求の範囲第2項に記載の方法において、そ
のIB族金属イミドコンプレックスカ弐世話専0(式中
Rはアルキレン、置換アルキレン、アリレン又は置換ア
リレン基を含む群から選択されるものである)を有する
イミドを含むことを特徴とする金属質基質のメッキ方法
α3) In the method according to claim 2, the group IB metal imide complex is selected from the group consisting of alkylene, substituted alkylene, arylene, or substituted arylene group. 1. A method for plating a metallic substrate, characterized by containing an imide having the following properties:

04)前記第(13)項に記載の方法において、そのイ
ミドがスルホベンゾイックイミドから成ることを特徴と
する金属質基質のメッキ方法。
04) A method for plating a metallic substrate according to item (13), wherein the imide is sulfobenzoic imide.

αつ 特許請求の範囲第2項に記載の方法において、そ
のIB族金属イミドコンプレックスが式RCONHCO
C式中Rはアルキレン、置換アルキレン、アリレン又は
置換アリレン基を含む群から選択されるものである)を
有するイミドを含有することを特徴とする金属質基質の
メッキ方法。
The method according to claim 2, wherein the group IB metal imide complex has the formula RCONHCO
1. A method for plating a metallic substrate, characterized in that it contains an imide having the formula C, in which R is selected from the group consisting of alkylene, substituted alkylene, arylene, or substituted arylene groups.

(16)前記第a!19項に記載の方法について、その
イミドがサクシニミドおよびフタルイミドを含む群から
選択されるイミドから成ることを特徴とする金属質基質
のメッキ方法。
(16) Part a! 20. A method for plating a metallic substrate according to item 19, wherein the imide is an imide selected from the group comprising succinimide and phthalimide.

17)そのIB族金属が金から成ることを特徴とする特
許請求の範囲第2項に記載の金属。
17) Metal according to claim 2, characterized in that the Group IB metal consists of gold.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 基質上にIB族金属を自動接触的に析出させるため
の無電解メッキ浴において、メッキされるべきそのIB
族金属のイミドコンプレックス;上記の浴を安定化させ
るに十分な量のアルカリ金属シアン化物;および水溶性
アルカリ金属ボロハイドライド、水溶性アミンボランな
らびにホルムアルデヒドを含む群から選択される還元剤
;の水溶液から成りかつその浴が11〜14のpHに維
持されることを特徴とする無電解メッキ浴。 2 IB族金属で金属質基質をメッキするに当り、(
/r)上記の基質を、アルカリ土属金シアン化物を含む
群から選択される可溶性金塩;上記の浴を55乃至14
のpHに維持しうるアンモニウム緩衝剤;上記基質の金
属イオンをキレート化しうる有機キレート化剤;から成
る水性金メツキ浴中に、その基質を薄い金の層でメッキ
するに十分な時間浸漬すること、および (ロ)上記の部分的に金メッキされた金属基質を、IB
族金属イミドコンプレックス;その浴を安定化させるに
十分な量のアルカリ金属シアン化物;および水溶性アル
カリ金属ボロハイドライド、水溶性アミンボランおよび
ホルムアルデヒドを含む群から選択される還元剤;の水
溶液から成りかつ11〜14のpHに維持される無電解
メッキ浴中に引続いて浸漬すること、 を特徴とする金属質基質のメッキ方法。
[Claims] 1. In an electroless plating bath for automatic catalytic deposition of group IB metals on a substrate, the IB metal to be plated
an aqueous solution of a group metal imide complex; an alkali metal cyanide in an amount sufficient to stabilize the bath; and a reducing agent selected from the group comprising water-soluble alkali metal borohydrides, water-soluble amineboranes, and formaldehyde. An electroless plating bath characterized in that the bath is maintained at a pH of 11 to 14. 2 When plating a metallic substrate with a group IB metal, (
/r) the above substrate is treated with a soluble gold salt selected from the group comprising alkaline earth metal cyanides;
immersing the substrate in an aqueous gold plating bath consisting of an ammonium buffer capable of maintaining the pH of the substrate at a pH of . , and (b) the partially gold-plated metal substrate described above is
a group metal imide complex; an alkali metal cyanide in an amount sufficient to stabilize the bath; and a reducing agent selected from the group comprising water-soluble alkali metal borohydrides, water-soluble amineboranes, and formaldehyde; A method for plating a metallic substrate, comprising: subsequent immersion in an electroless plating bath maintained at a pH of ~14.
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MX (1) MX146110A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60179127U (en) * 1984-05-09 1985-11-28 ヤンマー農機株式会社 combine

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4082908A (en) * 1976-05-05 1978-04-04 Burr-Brown Research Corporation Gold plating process and product produced thereby
DE2747562A1 (en) * 1977-10-20 1979-05-03 Schering Ag PROCESS AND PLANT FOR THE RECOVERY OF METALS AND OTHER RECYCLING SUBSTANCES IN WASTE WATER FROM CHEMICAL SURFACE TREATMENT PLANTS
US4162337A (en) * 1977-11-14 1979-07-24 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Process for fabricating III-V semiconducting devices with electroless gold plating
FR2441666A1 (en) * 1978-11-16 1980-06-13 Prost Tournier Patrick PROCESS FOR CHEMICAL DEPOSITION OF GOLD BY SELF-CATALYTIC REDUCTION
US4340451A (en) * 1979-12-17 1982-07-20 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Method of replenishing gold/in plating baths
DE3029785A1 (en) * 1980-08-04 1982-03-25 Schering Ag, 1000 Berlin Und 4619 Bergkamen ACID GOLD BATH FOR ELECTRIC DEPOSIT OF GOLD
US4337091A (en) * 1981-03-23 1982-06-29 Hooker Chemicals & Plastics Corp. Electroless gold plating
US4374876A (en) * 1981-06-02 1983-02-22 Occidental Chemical Corporation Process for the immersion deposition of gold
US4474838A (en) * 1982-12-01 1984-10-02 Omi International Corporation Electroless direct deposition of gold on metallized ceramics
US4822641A (en) * 1985-04-30 1989-04-18 Inovan Gmbh & Co. Kg Method of manufacturing a contact construction material structure
US4863766A (en) * 1986-09-02 1989-09-05 General Electric Company Electroless gold plating composition and method for plating
US4925491A (en) * 1986-09-30 1990-05-15 Lamerie, N.V. Solutions and creams for silver plating and polishing
US4798626A (en) * 1986-09-30 1989-01-17 Lamerie, N.V. Solutions and creams for silver plating and polishing
US4919720A (en) * 1988-06-30 1990-04-24 Learonal, Inc. Electroless gold plating solutions
ATE79563T1 (en) * 1988-11-15 1992-09-15 Holland Biotechnology METHOD OF PRODUCTION OF ELEMENTARY SOLES.
US5130168A (en) * 1988-11-22 1992-07-14 Technic, Inc. Electroless gold plating bath and method of using same
US4978559A (en) * 1989-11-03 1990-12-18 General Electric Company Autocatalytic electroless gold plating composition
US4979988A (en) * 1989-12-01 1990-12-25 General Electric Company Autocatalytic electroless gold plating composition
US5206055A (en) * 1991-09-03 1993-04-27 General Electric Company Method for enhancing the uniform electroless deposition of gold onto a palladium substrate
US5338343A (en) * 1993-07-23 1994-08-16 Technic Incorporated Catalytic electroless gold plating baths
EP1245697A3 (en) * 2002-07-17 2003-02-19 ATOTECH Deutschland GmbH Process for electroles silver plating
JP2004176171A (en) * 2002-09-30 2004-06-24 Shinko Electric Ind Co Ltd Non-cyanogen type electrolytic solution for plating gold
US20060141149A1 (en) * 2004-12-29 2006-06-29 Industrial Technology Research Institute Method for forming superparamagnetic nanoparticles
US20090139264A1 (en) * 2007-11-30 2009-06-04 Rachel Brown Antique jewelry articles and methods of making same
US20150345039A1 (en) * 2015-07-20 2015-12-03 National Institute Of Standards And Technology Composition having alkaline ph and process for forming superconformation therewith
US11579344B2 (en) 2012-09-17 2023-02-14 Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of Commerce Metallic grating
CN102925933B (en) * 2012-11-05 2015-03-04 福州大学 Au-FeNi double-section type alloy nano motor and production method thereof

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3230098A (en) * 1962-10-09 1966-01-18 Engelhard Ind Inc Immersion plating with noble metals
US3515571A (en) * 1963-07-02 1970-06-02 Lockheed Aircraft Corp Deposition of gold films
US3294578A (en) * 1963-10-22 1966-12-27 Gen Aniline & Film Corp Deposition of a metallic coat on metal surfaces
US3589916A (en) * 1964-06-24 1971-06-29 Photocircuits Corp Autocatalytic gold plating solutions
US3506462A (en) * 1966-10-29 1970-04-14 Nippon Electric Co Electroless gold plating solutions
US3482974A (en) * 1966-12-27 1969-12-09 Gen Electric Method of plating gold films onto oxide-free silicon substrates
US3700469A (en) * 1971-03-08 1972-10-24 Bell Telephone Labor Inc Electroless gold plating baths
US3697296A (en) * 1971-03-09 1972-10-10 Du Pont Electroless gold plating bath and process

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60179127U (en) * 1984-05-09 1985-11-28 ヤンマー農機株式会社 combine

Also Published As

Publication number Publication date
US3917885A (en) 1975-11-04
IT1035454B (en) 1979-10-20
MX146110A (en) 1982-05-18
FR2268595B1 (en) 1981-03-20
DE2518559A1 (en) 1975-11-13
GB1448659A (en) 1976-09-08
FR2268595A1 (en) 1975-11-21
JPS50149542A (en) 1975-11-29
DD117488A5 (en) 1976-01-12
CA1038559A (en) 1978-09-19
AU8052375A (en) 1976-10-28
BR7502540A (en) 1976-03-03

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