JPS58182256U - 試料汚染防止装置 - Google Patents

試料汚染防止装置

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Publication number
JPS58182256U
JPS58182256U JP7843282U JP7843282U JPS58182256U JP S58182256 U JPS58182256 U JP S58182256U JP 7843282 U JP7843282 U JP 7843282U JP 7843282 U JP7843282 U JP 7843282U JP S58182256 U JPS58182256 U JP S58182256U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sample
contamination prevention
prevention device
fixed
support device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7843282U
Other languages
English (en)
Inventor
後藤　正弐
馬場　靖孝
Original Assignee
日本電子株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電子株式会社 filed Critical 日本電子株式会社
Priority to JP7843282U priority Critical patent/JPS58182256U/ja
Publication of JPS58182256U publication Critical patent/JPS58182256U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
−第１図は従来の献料汚染防止装置を示す一部を切断し
た平面図、第２図はその■−■断面図、第３図はこの考
案の一実施例による試料汚染防止装置を示す垂直断面図
である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、１は試
料室、２は対物レンズ、３は試料、４はフィン、５は伝
熱棒、６は液体窒素容器、７は冷却槽、８は試料支持装
置、８ａはＷＤ切換用ベース、９は熱絶縁体、１０はブ
ラケット、１１は連絡管、１２は可撓性伝熱材である。

Claims (4)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. （１）試料室内に設けられた試料面に配置され、かつ試
    料支持装置に固定された汚染防止用のフィンと、このフ
    ィンを冷却するように、可撓性伝熱材を介して接続する
    冷却装置とを備えたことを特徴とする試料汚染防止装置
    。
  2. （２）フィンは熱絶縁体を介して試料支持装置に固定さ
    れている実用新案登録請求の範囲第１項記載の試料汚染
    防止装置。
  3. （３）フィンＣｔ試料支持装置の試料観察作動距離切換
    用ベースに固定されている実用新案登録請求の範囲第１
    項または第２項記載の試料汚染防止装置。
  4. （４）フィンは試料支持装置の傾斜機構ベースに固定さ
    れている実用新案登録請求の範囲第１項または第２項記
    載の試料汚染防止装置。
JP7843282U 1982-05-28 1982-05-28 試料汚染防止装置 Pending JPS58182256U (ja)

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JP7843282U JPS58182256U (ja) 1982-05-28 1982-05-28 試料汚染防止装置

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JP7843282U JPS58182256U (ja) 1982-05-28 1982-05-28 試料汚染防止装置

Publications (1)

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JPS58182256U true JPS58182256U (ja) 1983-12-05

Family

ID=30087639

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JP7843282U Pending JPS58182256U (ja) 1982-05-28 1982-05-28 試料汚染防止装置

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JP (1) JPS58182256U (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4523941Y1 (ja) * 1966-05-07 1970-09-21
JPS5068264A (ja) * 1973-10-17 1975-06-07
JPS5344785A (en) * 1976-10-04 1978-04-21 Koyo Denshi Kougiyou Kk General program set control apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4523941Y1 (ja) * 1966-05-07 1970-09-21
JPS5068264A (ja) * 1973-10-17 1975-06-07
JPS5344785A (en) * 1976-10-04 1978-04-21 Koyo Denshi Kougiyou Kk General program set control apparatus

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