JPS5818111A - 超音波による板厚測定方法及び同装置 - Google Patents

超音波による板厚測定方法及び同装置

Info

Publication number
JPS5818111A
JPS5818111A JP11634681A JP11634681A JPS5818111A JP S5818111 A JPS5818111 A JP S5818111A JP 11634681 A JP11634681 A JP 11634681A JP 11634681 A JP11634681 A JP 11634681A JP S5818111 A JPS5818111 A JP S5818111A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
point
ultrasonic
echo
probe
ultrasonic wave
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11634681A
Other languages
English (en)
Inventor
Sakae Sugiyama
栄 杉山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP11634681A priority Critical patent/JPS5818111A/ja
Priority to GB08220437A priority patent/GB2104219B/en
Priority to DE19823227640 priority patent/DE3227640A1/de
Publication of JPS5818111A publication Critical patent/JPS5818111A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/36Detecting the response signal, e.g. electronic circuits specially adapted therefor
    • G01N29/38Detecting the response signal, e.g. electronic circuits specially adapted therefor by time filtering, e.g. using time gates
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B17/00Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
    • G01B17/02Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/04Analysing solids
    • G01N29/07Analysing solids by measuring propagation velocity or propagation time of acoustic waves
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/02Indexing codes associated with the analysed material
    • G01N2291/028Material parameters
    • G01N2291/02854Length, thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2291/00Indexing codes associated with group G01N29/00
    • G01N2291/04Wave modes and trajectories
    • G01N2291/044Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、凹凸の大難−板状の被検体の厚さ寸法【高精
度で測定し得る方法および同装置に関するものである。
板状の被検体に超音波探触子tmてて超音波ビーム管見
射し、エコーを受信することによって被検体の厚さ寸法
を測定する方法および装置は一般に広く用いられている
。しかし、従来OIl定装置においては超音波探触子か
も発射される超音波ビームには一定の指向角範囲内での
拡が〕が有るため、被検体の裏面に大暑−凹凸が有る場
合、測定誤差が混入し易いと−う技留的問題がある。
第1図は上記測定誤差の説明図で、lは板状O被検体、
2は超音波探触子、3は超音波送受信装置である。
超音波探触子2は被検体10表面の点Pから板面に垂直
KPB方向に指向角δで超音波ビームを発射し、その反
射波を上記の点Pの探触子2で受信する。これにより、
第2図に示すような送受信波形が得られる0時間軸上O
の位置の波形T′は送信波、時間軸上1.0位置の波形
R1は受信波である。普検体1の内部における音速に上
記の時間t■の1/2t−乗じるとPB間の距離が算出
される。
ところが第1図に示すように被検体1の裏面に大きい凹
凸があり、その凹部の点Aが超音波ビームの指向角δの
範囲内にありて超音波ビームするエコー源となる場合に
、PB>FAであると第2WiK示すごとく時間軸上の
tムの位置く反射波形Rムが現われるので、従来の超音
波厚さ針は上記2つの反射波形RsとR轟とを識別でき
ず、その結果、時間1.に基づいて板厚を算出しこれを
PBの寸法であると誤認する不具合があった。探触子2
を被検体1の表面の1点Pに静止させて測定する場合だ
けでなく、被検体1の表面に沿って探触子を走査しつつ
測定する場合も同様の不具合がある。
上記のような誤認は、点状のエコー源が単独に存在して
いる場合には被検体表面の2個所においてエコー源の検
出を行うことによって防止することができる。その方法
を次に述べる。
第3図のように被検体1の中にエコー111Aカあり、
探触子(図示せず)を走査して点P、 、  pHの2
個所から超音波ビームを発射し、受信し九場合、点P1
からの発射ビームは指向角aで三角形P*  Qs  
St  (以下ΔPIQI8m と記す)の範囲内(伝
播し、エコー原人で反射して点P、で受信される。これ
だけではA点を標定することはできないが、点Ps t
−中心とする円弧C0上にエコー源が存在することが判
る。ただし、上記の円弧C3は点P、 管中心とし、エ
コー源ムまでの距離を半径とする円弧である。そして、
その次のステップでは点P、からの投射ビームによって
前記と同様にして円弧C1上にエコー源があると判断す
る。これにより、エコー原人の位置は円弧C15C1の
交点として標定される。
ところが、1s4図のように、第1回の検出区域ΔPs
  Qt  S’tの範囲外にあるエコー源Bが第2回
の検出区域ΔPg Qs  Smの範囲内に入ると、次
記の理由でエコー源位置の標定が狂わされる。
点P、 において超音波の発射・受信をしたときエコー
原人か円弧C1l上忙ある4のと判断される。
次いで点P、で発射・受信をすると、点ht−通る円弧
C1lと点BYt通る円弧C□との両方が算出され、前
回の円弧C□′との交点として点Aが標定される他に交
点B′も疑似的なエコー源として検出されてしまう。
本発明は上述の事情に鍾みて為され、被検体に大きい凹
凸があって複数個の個所からエコーが受信される場合、
そのエコー源の位置を正確和標定して正しい板厚を高精
度で測定し得る超音波測定方法および同装置を提供する
ことを目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明は、被検物の表面に
沿って超音波探触子を走査しつつ、走査線上の1個所に
おりる受信エコーと、当皺個所の1乃至数ステップ前の
個所で受信した各エコーとを用い、各ステップにおける
超音波ビームの発射・受信点管中心とし各超音波エコー
伝播距St半径とし九2乃至数個の円弧の交点を求め、
前記超音波探触子の超音波ビームが重畳する範囲内にお
ける円弧の交点をエコー源の位置と判定することを特徴
とする。
次に、本発明に係る測定方法の一実施例について説明す
る。前述のごとく、第4図のようにエコー源が2個ある
場合に於いては、点P、と点P。
とて超音波を発射・受信して円弧clt I cut 
eC□を求めただけではエコー−〇位置を確定できない
ので、第5図に示すように更に点P、で超音波を発射・
受信してエコー源A、Bからの反射波を受信し、超音波
の伝播距離を半径とする円弧を求める0本例にお−ては
点P、からエコー源Atでと同Btでとがほぼ等距離で
ある丸め、点P。
を中、CFとする1個の円弧C□が得られる。
本実施例では、点P、で超音波の発射・受信を行った時
点において、その前のステップである点P1におけるデ
ータと、更にその前のステップである点P、 Kシける
デニタと管用いて次のように判定する。
イ)点AKついては、点Plで投射・受信したときの円
弧C11と、点P、 Kおける円弧CWtと、点p、 
Kシける円弧C,1とが一点Aで交わっている。こめ場
合これt真正のエコー源と判定する。
口)点B′については、点P、で発射・受信したときの
円弧C1lがこの点を通っていないので、この点B′は
疑似のエコー源であるシ判定し、この点B′は採らない
ハ)点BKついては、点PSにおいて発射・受信した際
、点Bが点p、 Kおける指向角δの範囲外にある為そ
の反射波が受信されていない。これ虻より、点P、で発
射・受信した時点においては、B、laKついて未だ評
価の途中であるとして次のステップまで判定を保留する
。どのステップの段階においてエコー源が真正のものか
否かの判定をするかについては次に述べる。
被検体の表面を走査しつつ順次に超音波の発射とエコー
の受信を行い、1番目のステップで1つのエコーが受信
されて1つの円弧が求められ、次のステップ即ち1千1
番目で受信したエコーによって描いた円弧との交点が、
超音波ビームの拡がシの重複範囲内でL個得られ九とし
た場合、最初の1つのエコー源の真Ir!を確認する丸
めにFii+L番目のステップまで順次に交点を求めな
ければ述らない。そして1番目からi+L番目までL+
1回のステップで求めた各円弧が1点で交わったとき、
これを真正のエコー源として判定する。
本実施例は以上のようにして走査線上の1個所における
エコーと、尚該個所の1乃至数ステップ前の個所で受信
した各エコーと會用い、各ステップI/cシける超音波
ビームの発射・受信点を中心とし各超誉波エコー伝播組
離を半径とした2乃至数個の円弧の交点を求め、前記超
音波探触子が発射した超音波ビームの重畳範囲内にシけ
る円弧の交点tエコー源の位置と判定する。
上述の測定方法を迅速・容易に行うため、本発明に係る
装置は超音波探触子と、上記の超音波探触子を走査する
手段とt備えた超音波厚さ測定装置に於て、上記の超音
波厚さ測定装置に自動演算装置管付設し、この自−動演
算装置は連続した数個所における測定結果を入力されて
上記数個所のそれぞれについて超音波ビームの発射・受
信点を中心としエコー源壕での距離を半径とする数個の
円を解析幾何学的に算定するとともに上記数個の円が一
点で交わる点を算出する機能、並びに上記の算出した交
点が予め与えられた数式の範囲内であるか否かを判定す
る機能を有するものとし、前記の算出し九交点が予め与
えられた数式の範囲内であるときその交点をエコー源と
判定するように構成したこと管特徴とする。
次に1本発明に係る装置の一実施例を第6図について説
明する・。
超音波−触子2で受信したエコーの波形を表わす電気信
号Rは閾値ゲー)4’J−経て伝播時間検出回路54m
51 ・・・5−1に入力される。これらの伝播時間検
出回路により複数個の超音波エコーの伝播時間をそれぞ
れ検出して、その出力信号を次段の位置標定回路6に入
力させる。
上記の位置標定回路6は走査位置検出器9から探触子の
走査線上の位置x’f与えられて次式の演算を行う機能
を有するものとする。
z=(t+鵞−X”)” えにし、X;−探触子2の走査方向の座標軸(第5図参
照) 2;−被検体1の板厚方向の座標軸(第5図参照) Xlニー  1番目のステップ時の探触子2の位置 ム;−1番目のステップ時のエコーの伝播距離 X;−エコー源位置のX座標値 2;−エコー源位置の2座標値 本実施例は以上のようにして、連続しぇ数哀テップ(t
、l+1.l+2・−・−i+n)K:おける超音波測
定結果を入力されて上記数ステップにおける超音波発射
・受信点を中心とし工;−源tでの距離を半径とする数
個の円を解析幾何学的に算定する七ともに、数個の円を
表わす数個の数式を連立方1式として解くことにより、
上記数個の円の交点を求める機能を有する演算装置を設
ける。
以上のようにして位置標定回路6で算定し九円の交点管
表わす信号出力を領域限定回路7に入力させるとともに
、指向角δの値と板厚最大調定範囲Tとを予め与えであ
る記憶装置10から上記a。
Tの値を領域限定回路7に入力させ、前記のエコー源位
置(X、Z)が探触子2の各ステップ(1〜i+n)K
シける超音波ビームの拡がりの重畳範囲に入っているか
否かを次のようにして判定する。
第7図は連続した3ステツプに於てそれぞれ点P%9点
P31点P、03点で超音波ビームを発射・受信してエ
コー源At標定する方法を示す。
この場合はエコー源が1個であるから点P、 KThけ
る超音波ビームの拡が〕の範囲ΔP* Qt 8tと、
点P、における拡4、がシの範囲ΔPt Qt atと
の重畳する範囲、ΔUst’Qt L内に円の交点Aが
有るか否かによってエコー源が真正であるか否かを判定
する。
一般的に1番目のステップとその次のステップとの超音
波ビームの拡が力の重畳範St−ノUQ8で表わす、上
記U、Q、8各点の座標は、となる、領域限定回路7は
位置標定回路6かも入力された円弧の交点がΔUQ8の
範囲内にあればこれを真正のエコー源5劣判定する。
既述のとと<、1*目のステップで受信!た1つのエコ
ーの円弧と、1+1番目のステップで求められた円弧と
の交点がビーム重畳範囲内に1個有った場合tii +
L番目のステップまで順次に交点1求める。これに従っ
て上記の点U、Q、8の座標を求める演算を順次に行い
、−テップl+1・・・ステップ1+L★で順次にシフ
トしつつ繰返すことにより、円弧の交点が超音波ビーム
の拡がすの重畳範囲ΔLIQI9の内にあるか否かを判
定する。
本実施例は以上説明したようにして、算出され九円弧の
交点が予め与えられ九数弐によって表わされる区域ΔU
Q8 (超音波ビーム重畳間M)内であ本か否かを判定
する機能を有する自動演算装置を設けである。
本尭明和係る装置は以上のように構成されていて、超音
波探触子2が受信゛したエコーに基づいて各伝播時間検
出回路s−t s 5−t・・・50.がエコー源まで
の伝播時間を算出してこれを位置標定回路6に入力する
ので、位置標定回路6は各走査位置を中心とし伝播距離
を半径とする円弧としてエコー源を認識し、かつ複数−
の円弧の交点1求める演算によってエコー源の位置管標
定する。そして領域限定回路7により、記憶装置10か
ら与えられた数1IiK基づいて演算を行−1前記の交
点が真正のエコー源であるか否かt判定して、真正のエ
コー源を表示器8によって表示させる。
以上説明したように、本発明の超音波測定方法は、走査
線上の1個所における受信エコーと、当該個所の1乃至
数ステップ前の個所で受信、した各エコーとを用い、各
ステップにおける超音波ビームの投射・受信点を中心と
し各超音波エコー伝播距離管半径とした2乃至数個の円
弧の交点を求め、前記超音波探触子の超音波ビームの拡
がpが重畳する範囲内における円弧の交点tエコー源の
位置と判定する仁とにより、被検体に大きい凹凸があっ
て複数個の個所からエコーが受信される場合【、エコー
源の位置を正確に標定して正しい板厚寸法を高精度で測
定する仁とができる。
まえ、本発明に係る超音波による板厚測定装置は、超音
波探触子と、上記の超音波探触子を走査する手段とを備
えた超音波厚さ測定装置に於て、上記の超音波厚さ測定
装置に自動演算装置を付設し、この自動演算装置は連続
した数個所における測定結果含入力されて上記数個所の
それぞれについて超音波ビームの発射・受信点を中心と
しエコー源までの距離を半径とする数個の円を解析幾何
学的に算出するとともに上記数個の円が一点で交わる点
を算出する機能、並びに上記の算出し一#卒点が予め与
えられた数式によって表わされる区域内であるか否かを
判定する機能を有するものとすることにより、前述した
本発明に係る測定方法を迅速、容易に%施してその効果
を発揮することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来一般に用いられている超音波厚さ測定装置
における作用説明図、第2図は上記厚さ測定装置におけ
る受信波形の図表、第3図および第4図は上記の厚さ測
定装置によるエコー源の検出方法の説明図、第S図は本
発明方法の一実施例におけるエコー源の検出方法の説明
図、第6図は本発明装置の一実施例におけるブロック図
、第7図は上記実施例の作用説明図である。 1・・・被検体、2t・探触子、3・・・超音波送受信
機、4・・・閾値ゲート、5−1*5−1〜5−1・・
・伝播時間検出回路、6・・・位置標定回路、7・・・
領域限定回路、δ・・・超音波ビームの指向角、R,R
ム、Rm・・・超音波エコー、A、B・・・エコー源。 代理人 弁理士 秋本正実 第 1 図 第 20 寮 3 図 シ ↑

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 t 被検物の表面に沿って超音波探触子を走査しつつ被
    検物Ojlさ寸法會測定する方法において、走査線上の
    1個所における受信エコーと―!!&諌個所の1乃至数
    ステップ前の個所で隻信した各エコーとt用い、各ステ
    ップにおける超音波ビームの発射・受信点を中心として
    超音波エコー伝播距離管半径とした1乃至数個の円弧の
    交点を求め、前i超音波探触子が発射する超音波ビーム
    の拡が)が重畳する範囲内−おけ′る円弧の交点管エコ
    ー源の位置と判定する仁とt特徴とする超音波による板
    厚側一方法。 2 超音波探触子と、上記の超音波探触子を走査する手
    段とを備えた超音波厚さ測定装置に於て、上記の超音波
    厚さ測定装置に自動演算装置を付設し、この自動演算装
    置は連続した数個所におけろ測定結果を入力されて上記
    数個所のそれぞれについて超音波ビームの発射φ受信点
    管中心としエコー源までの距離を半径とする数個0円を
    解析幾何学的に算定する機能、上記数−の円が一点で交
    わる点を算出する機能、及び、上記の算出し九交点が予
    め与えられた数式によって表わされる区域内であるか否
    かを判定する機能を有するものとしたことt特徴とする
    超音波による板厚測定装置。
JP11634681A 1981-07-27 1981-07-27 超音波による板厚測定方法及び同装置 Pending JPS5818111A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11634681A JPS5818111A (ja) 1981-07-27 1981-07-27 超音波による板厚測定方法及び同装置
GB08220437A GB2104219B (en) 1981-07-27 1982-07-14 Measuring sizes by means of ultrasonic waves
DE19823227640 DE3227640A1 (de) 1981-07-27 1982-07-23 Verfahren und anordnung zur groessenbestimmung mit ultraschallwellen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11634681A JPS5818111A (ja) 1981-07-27 1981-07-27 超音波による板厚測定方法及び同装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5818111A true JPS5818111A (ja) 1983-02-02

Family

ID=14684670

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11634681A Pending JPS5818111A (ja) 1981-07-27 1981-07-27 超音波による板厚測定方法及び同装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPS5818111A (ja)
DE (1) DE3227640A1 (ja)
GB (1) GB2104219B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4951649A (en) * 1987-02-06 1990-08-28 Katsuyoshi Inouchi Method and apparatus for heating and generating infrared rays
US5044353A (en) * 1989-06-28 1991-09-03 Shizuoka Seiki Co., Ltd. Liquid fuel combustion type infrared ray irradiating apparatus

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104019777A (zh) * 2014-06-13 2014-09-03 西安热工研究院有限公司 汽轮机叶片表面开口裂纹深度的超声测量方法
CN107084654A (zh) * 2017-03-23 2017-08-22 西安飞机工业(集团)有限责任公司 一种雷达罩静力试验加载点确定方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5242752A (en) * 1975-10-01 1977-04-02 Furuno Electric Co Ltd System for measuring relative positions
JPS5352188A (en) * 1976-10-22 1978-05-12 Hitachi Ltd Ultrasonic inspector

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1575301A (en) * 1977-02-21 1980-09-17 Emi Ltd Acoustic imaging techniques
US4265121A (en) 1978-11-13 1981-05-05 Litton Industrial Products, Inc. High resolution ultrasound diagnostic apparatus

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5242752A (en) * 1975-10-01 1977-04-02 Furuno Electric Co Ltd System for measuring relative positions
JPS5352188A (en) * 1976-10-22 1978-05-12 Hitachi Ltd Ultrasonic inspector

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4951649A (en) * 1987-02-06 1990-08-28 Katsuyoshi Inouchi Method and apparatus for heating and generating infrared rays
US5044353A (en) * 1989-06-28 1991-09-03 Shizuoka Seiki Co., Ltd. Liquid fuel combustion type infrared ray irradiating apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
DE3227640C2 (ja) 1987-06-11
GB2104219B (en) 1985-03-27
GB2104219A (en) 1983-03-02
DE3227640A1 (de) 1983-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5280457A (en) Position detecting system and method
US4529316A (en) Arrangement of eliminating erroneous data in three-dimensional optical sensors
CN109781860B (zh) 一种对比试块及校准方法
JPS5818111A (ja) 超音波による板厚測定方法及び同装置
US3592052A (en) Ultrasonic crack depth measurement
MCKerrow et al. Modelling multiple reflection paths in ultrasonic sensing
JP2002243703A (ja) 超音波探傷装置
JPS61160053A (ja) 超音波探傷試験方法
JP4632474B2 (ja) 超音波探傷画像表示方法及び超音波探傷画像表示装置
GB2327266A (en) Acoustic location systems
JP2747825B2 (ja) 超音波断層検出方法および装置
JPH0850177A (ja) 超音波式距離測定装置
JPS61245055A (ja) 超音波探傷装置
RU2791163C1 (ru) Способ обнаружения зондирующих сигналов
Kreczmer Ultrasonic range finder for support of human gestures recognition
JPH0222695Y2 (ja)
JP3162873B2 (ja) 船舶用速度測定装置
JP2000241545A (ja) 航行物体までの距離検出装置および距離検出方法
JPH0850172A (ja) 音波方位計測装置
JPH02154144A (ja) 超音波探傷画像処理装置
JPS61773A (ja) 埋設物検出装置
JPH0376708B2 (ja)
JPS63193085A (ja) 超音波式距離計
SU1320742A1 (ru) Способ ультразвукового теневого контрол изделий и устройство дл его осуществлени
JPS61241685A (ja) 超音波距離計