JPS58175631U - 平行出し装置 - Google Patents

平行出し装置

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Publication number
JPS58175631U
JPS58175631U JP7150082U JP7150082U JPS58175631U JP S58175631 U JPS58175631 U JP S58175631U JP 7150082 U JP7150082 U JP 7150082U JP 7150082 U JP7150082 U JP 7150082U JP S58175631 U JPS58175631 U JP S58175631U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chuck body
base
holder
drive mechanisms
mechanisms
Prior art date
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Pending
Application number
JP7150082U
Other languages
English (en)
Inventor
平川　忠夫
大塩　広介
Original Assignee
株式会社東芝
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社東芝 filed Critical 株式会社東芝
Priority to JP7150082U priority Critical patent/JPS58175631U/ja
Publication of JPS58175631U publication Critical patent/JPS58175631U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図および第２図はそれぞれ従来例を示す断面図、第
３図はこの考案の一実施例を示す断面図゛である。 ２０・・・・・・基台、２１・・・・・・支承装置、２
２・・・・・・パルスモータ、２３・・・・・・ウェハ
チャック、２９・・・・・・端面カム、３０・・・・・
・球体、３１・・・・・・■溝体、３４・・・・・・板
ばね。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基台と、この基台の上方に位置するチャック本体と、こ
    のチャック本体の外周縁側の少なくとも等角度になる三
    箇所に係合して上記チャック本体を独立に昇降動する・
    複数の駆動機構と、上記基台とチャック本体とに連結し
    上記チャック本体の半径方向への移動を少なくとも等角
    度になる三箇所で緩衝する複数のばね体と、上記チャッ
    ク本体に対向して設けられるホルダと、上記各駆動機構
    の近傍に設けられ上記ホルダに支持される保持体の面と
    の距離を非接触に検出するギャップセンサと、これらギ
    ャップセンサよりの出力信号を入力して上記各駆動機構
    を独立に駆動させる制御装置とを備えることを特徴とす
    る平行出し装置。
JP7150082U 1982-05-18 1982-05-18 平行出し装置 Pending JPS58175631U (ja)

Priority Applications (1)

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JP7150082U JPS58175631U (ja) 1982-05-18 1982-05-18 平行出し装置

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JP7150082U JPS58175631U (ja) 1982-05-18 1982-05-18 平行出し装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58175631U true JPS58175631U (ja) 1983-11-24

Family

ID=30081112

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7150082U Pending JPS58175631U (ja) 1982-05-18 1982-05-18 平行出し装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58175631U (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5252579A (en) * 1975-10-27 1977-04-27 Canon Inc Clearance adjusng method
JPS5319901A (en) * 1976-07-28 1978-02-23 Mobil Oil Method of prospecting by earthquake
JPS5530823A (en) * 1978-08-25 1980-03-04 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Mask-wafer gap setting device
JPS5613726A (en) * 1979-07-14 1981-02-10 Nippon Kogaku Kk <Nikon> Gap setter in proximity-aligner
JPS5653849A (en) * 1979-10-08 1981-05-13 Kawasaki Steel Corp Continuous casting method of steel slab of less surface defects

Patent Citations (5)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5252579A (en) * 1975-10-27 1977-04-27 Canon Inc Clearance adjusng method
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JPS5530823A (en) * 1978-08-25 1980-03-04 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Mask-wafer gap setting device
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