JPS58171005A - 導光路板の製法 - Google Patents
導光路板の製法Info
- Publication number
- JPS58171005A JPS58171005A JP5436082A JP5436082A JPS58171005A JP S58171005 A JPS58171005 A JP S58171005A JP 5436082 A JP5436082 A JP 5436082A JP 5436082 A JP5436082 A JP 5436082A JP S58171005 A JPS58171005 A JP S58171005A
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- JP
- Japan
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- light
- light guide
- photosensitive resin
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- areas
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
- G02B6/138—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by using polymerisation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は導光路板の製法に閤する。導光路と該導光路
を外側から囲んで該導光路内を導光するクラッドとを備
えた導光路板は、通常導光路となる導光材料をたとえば
ガラスファイバーあるいは硬化性樹−で作製し、これを
該導光路を埋め込む溝を有するクラッドになるプレート
を両側からはさんで抜溝に導光路を埋め込み、さらに上
記プレート同士を接着する方法が採用されている。とこ
ろかこの方法によったものは接着層を有することから曲
げなどを加えると飼離が生じやすく、さらにはクラッド
と導光路間に空隙が生じるために導光損失を招き、性能
面で改善の余地があった。
を外側から囲んで該導光路内を導光するクラッドとを備
えた導光路板は、通常導光路となる導光材料をたとえば
ガラスファイバーあるいは硬化性樹−で作製し、これを
該導光路を埋め込む溝を有するクラッドになるプレート
を両側からはさんで抜溝に導光路を埋め込み、さらに上
記プレート同士を接着する方法が採用されている。とこ
ろかこの方法によったものは接着層を有することから曲
げなどを加えると飼離が生じやすく、さらにはクラッド
と導光路間に空隙が生じるために導光損失を招き、性能
面で改善の余地があった。
この発明は以上の事実に鑑みてなされたもので曲げなど
の変形に強く、かつ導光路とクラッドとの間の空隙によ
る導光損失の低減をはかった導光路板の製法を提供する
ものである。
の変形に強く、かつ導光路とクラッドとの間の空隙によ
る導光損失の低減をはかった導光路板の製法を提供する
ものである。
以ト、この発明を図面−こ基づいて詳説する。
□この発明によって得られる導光路板の断面は第１図に
／］＜す如くクラッド１と導光路２間に空隙がなく、導
光路２は全周が単一のクラッド１゛で囲まれている。こ
の様な断面を有する導光路板３の製込について以下説明
すると、第２図に示す如く先す感光性樹脂層４の両面に
マスク５，５・・を施して上記感光性樹脂層４の一部が
露出する露光部６を両面に対応させて形成する。ここで
感光性樹脂層１は、メタアクリル酸メチル、メタアクリ
ル酸エチル、メタアクリル酸ブチル、シクロへキシルメ
タアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタアクリレー
ト、グリシジルメタアクリレート、ジメチルレア之ノエ
チルメタアクリレート、ベンジルメタアクリレート、慎
−ナフチルメタアクリレート、アリルメタアクリレート
、フェニルメタアクリレート、アクリル酸メチルスチレ
ン、アクリロニトリル等種々の樹脂層に光増減剤として
ベンゾインアルキルエーテル、ベンジルジメチルケター
ル、ベンゾフェノン、これの誘導体、アセトフェノン。
／］＜す如くクラッド１と導光路２間に空隙がなく、導
光路２は全周が単一のクラッド１゛で囲まれている。こ
の様な断面を有する導光路板３の製込について以下説明
すると、第２図に示す如く先す感光性樹脂層４の両面に
マスク５，５・・を施して上記感光性樹脂層４の一部が
露出する露光部６を両面に対応させて形成する。ここで
感光性樹脂層１は、メタアクリル酸メチル、メタアクリ
ル酸エチル、メタアクリル酸ブチル、シクロへキシルメ
タアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタアクリレー
ト、グリシジルメタアクリレート、ジメチルレア之ノエ
チルメタアクリレート、ベンジルメタアクリレート、慎
−ナフチルメタアクリレート、アリルメタアクリレート
、フェニルメタアクリレート、アクリル酸メチルスチレ
ン、アクリロニトリル等種々の樹脂層に光増減剤として
ベンゾインアルキルエーテル、ベンジルジメチルケター
ル、ベンゾフェノン、これの誘導体、アセトフェノン。
これの誘導体、ベンゾイン等を加えて構成される。
この感光性樹脂層１は上記構成の外にポリメチルメタア
クリレート、ポリアリルメタアクリレート、ポリジアリ
ルフタレート、ポリカーボネート、ポリスチレン、アリ
ルジグラフイコールカーボネートの如く非感光性樹脂に
上記の如き感光性樹脂組成物を高密度に含有して成る感
光性シートで構成されてあってもよい。
クリレート、ポリアリルメタアクリレート、ポリジアリ
ルフタレート、ポリカーボネート、ポリスチレン、アリ
ルジグラフイコールカーボネートの如く非感光性樹脂に
上記の如き感光性樹脂組成物を高密度に含有して成る感
光性シートで構成されてあってもよい。
次ぎこの感光性樹脂層４の対応する一対の露光部６．６
に該露光部６．６の一方から入射して他方に出射する入
射光９を照射する。この場合、入射の条件は上記感光性
樹脂層４内に一対の露光部６．６から入射した各々の光
量が互いに加算されて倍増された光量区域７．７が形成
されねばならない。すなわちこの倍増された光量区域７
に含有される感光性樹脂は他の区域８と比べて高エネル
ギーを受けるので重合度、硬度、透明性が増大し、導光
路２が構成されるのであるっすなわちこの場合導光路９
を囲む感光性樹脂層４の光量の小さい区Ｖｃ８は重合度
、硬度、透明性いずれも光量区域７と比べて低く、おの
ずと屈折率に差が生じその結果導光路２に導光性が付与
されるのである。
に該露光部６．６の一方から入射して他方に出射する入
射光９を照射する。この場合、入射の条件は上記感光性
樹脂層４内に一対の露光部６．６から入射した各々の光
量が互いに加算されて倍増された光量区域７．７が形成
されねばならない。すなわちこの倍増された光量区域７
に含有される感光性樹脂は他の区域８と比べて高エネル
ギーを受けるので重合度、硬度、透明性が増大し、導光
路２が構成されるのであるっすなわちこの場合導光路９
を囲む感光性樹脂層４の光量の小さい区Ｖｃ８は重合度
、硬度、透明性いずれも光量区域７と比べて低く、おの
ずと屈折率に差が生じその結果導光路２に導光性が付与
されるのである。
以上の如くこの発明によると導光路２を内部に有するク
ラッド１は単一で構成され、かつ硬化した導光路２の材
料とクラッド１の材料を組合せて作製するものでなく、
重合度の差異に基づいて興なる屈折率を有する区域を形
成するものであるから導光路２とクラッド１間に空隙が
生ぜず、光損失も低減できるのである。
ラッド１は単一で構成され、かつ硬化した導光路２の材
料とクラッド１の材料を組合せて作製するものでなく、
重合度の差異に基づいて興なる屈折率を有する区域を形
成するものであるから導光路２とクラッド１間に空隙が
生ぜず、光損失も低減できるのである。
なお、導光路２の断面積、新曲形状は、露光部６に入射
する入射角とこの露光部６の巾等暑とよって調整できる
。
する入射角とこの露光部６の巾等暑とよって調整できる
。
以下、この発明の実施例を挙げる。
実施例１
塩化メチレン １０００ｍ＃スチレン
ＣｎＤ＝ １．５９ ’） １００ｍｊポリ
メチルメタクリレート（＊Ｄ−１，４９） １００
ｆ／アントラキノン １２ハイド
ロキノン ０．ｉｆＩ上紀王妃の
混合溶液からＷｉ３図に示す如く塩化メチレンを蒸発さ
せ厚さ３００μの感光性樹脂層４を作成した。ここでＪ
）はポリマーの屈折率を示す。この層の上下に巾３００
μ、長さ５０■の開口部を持つマスク５を重ねて両面に
対応する露光部６を形成し、この露光部６に該感光性樹
脂層４の上面から角度＃−３５°で５００Ｗの超高圧水
銀灯からの平行光を１５分間照射した。そして真空下に
保存して未反応スチレンモノマーを蒸発させて除去し導
光路板とした。得られた導光路板の一端に先を照射した
結果、他端から出射が認められ、その導光路２は第３図
に示す如く露光部６を形成したマスク５の開口部を中心
に左右対称に平イ」四辺形の断面形状を有するものでこ
の導光路２での損失は０８３μの光において０．３ ｄ
Ｂ／ｃｍ（あり、かつ屈曲試験を加えても破損が認めら
れなか−）だ。
ＣｎＤ＝ １．５９ ’） １００ｍｊポリ
メチルメタクリレート（＊Ｄ−１，４９） １００
ｆ／アントラキノン １２ハイド
ロキノン ０．ｉｆＩ上紀王妃の
混合溶液からＷｉ３図に示す如く塩化メチレンを蒸発さ
せ厚さ３００μの感光性樹脂層４を作成した。ここでＪ
）はポリマーの屈折率を示す。この層の上下に巾３００
μ、長さ５０■の開口部を持つマスク５を重ねて両面に
対応する露光部６を形成し、この露光部６に該感光性樹
脂層４の上面から角度＃−３５°で５００Ｗの超高圧水
銀灯からの平行光を１５分間照射した。そして真空下に
保存して未反応スチレンモノマーを蒸発させて除去し導
光路板とした。得られた導光路板の一端に先を照射した
結果、他端から出射が認められ、その導光路２は第３図
に示す如く露光部６を形成したマスク５の開口部を中心
に左右対称に平イ」四辺形の断面形状を有するものでこ
の導光路２での損失は０８３μの光において０．３ ｄ
Ｂ／ｃｍ（あり、かつ屈曲試験を加えても破損が認めら
れなか−）だ。
実施例２
塩化メチレン ｉｏｏｏｍｊメタクリ
ル酸メチル（＊Ｄ＝１．４９） ３０ｍｊ小リカ
ーすネ―ト（ｎｐ＝１．５９ ） ８０ ｆｌベ
ンゾインエチルエーテル ２ｙハイド
ロキノン ０．０５９上記組成の混
合溶液から塩化メチレンを蒸発させ第４図に示す犀さ２
５０μの感光性樹脂層を作成した。この鳩の上下に中２
０′０μ、長さ５〇−の？ Ｌｌ ＆ｌｓをもつマスク
５を重ね合わせて両面に対応する一対の露光部６を形成
し、この露光部６に角良（θ’−２２’で５００Ｗの超
高圧水銀灯からの平？１光を４０分照射せしめ次に真空
下においてメタクリル酸メチル七ツマ−を蒸発させ、導
光路板とした。
ル酸メチル（＊Ｄ＝１．４９） ３０ｍｊ小リカ
ーすネ―ト（ｎｐ＝１．５９ ） ８０ ｆｌベ
ンゾインエチルエーテル ２ｙハイド
ロキノン ０．０５９上記組成の混
合溶液から塩化メチレンを蒸発させ第４図に示す犀さ２
５０μの感光性樹脂層を作成した。この鳩の上下に中２
０′０μ、長さ５〇−の？ Ｌｌ ＆ｌｓをもつマスク
５を重ね合わせて両面に対応する一対の露光部６を形成
し、この露光部６に角良（θ’−２２’で５００Ｗの超
高圧水銀灯からの平？１光を４０分照射せしめ次に真空
下においてメタクリル酸メチル七ツマ−を蒸発させ、導
光路板とした。
実施例１と同様にして一端に光を照射した結果他端から
出射が認められ、その導光路３は第４図に示す如く上下
の露光部６の間に形成されその断面は平行四辺形をなす
ものであることを確認した。
出射が認められ、その導光路３は第４図に示す如く上下
の露光部６の間に形成されその断面は平行四辺形をなす
ものであることを確認した。
この導光路２の損失は０．８３声の光において０．２５
ｄＢ／ｃＩＩであった。又この導光路板に屈曲試験を施
した結果、破損もなく、さらには屈曲試験後の損失も同
一であった。
ｄＢ／ｃＩＩであった。又この導光路板に屈曲試験を施
した結果、破損もなく、さらには屈曲試験後の損失も同
一であった。
実施例３
メタクリル酸メチル（反応性比ｒｘｍ８．３ ）
５０９安息香酸ビニル（反応性比ｒ、＝０．０４８）
１５ ｆ！ベンゾインメチルエーテル
５Ｆ上上記台溶液を間隔をｌ−に調節した透明基板２
０間に保持し、この透明基板２０の上下に中１−１長さ
５０−の開口部を有するマスクを血ね合わせて両面に対
応する一対の露光部６を形成し、この露光部６に角度θ
＝３５°で５００ｗの超高圧水銀灯からの平行光を３０
分照射した。次に６０℃で２０時間加温し重合反応を完
結させ導光路板とした。これの一端に光を入射させたと
ころ他端から出射が認められた。その形状は平行四辺形
であって、その位置は上下の露光分の中央であった。導
光路２の損失を求めたところ０，８３μの光において０
．５ ｄＢ／ｃｍであり、かつ−２０〜６０℃の熱衝撃
試験を行った後の損失も増加が認められず安定であった
。
５０９安息香酸ビニル（反応性比ｒ、＝０．０４８）
１５ ｆ！ベンゾインメチルエーテル
５Ｆ上上記台溶液を間隔をｌ−に調節した透明基板２
０間に保持し、この透明基板２０の上下に中１−１長さ
５０−の開口部を有するマスクを血ね合わせて両面に対
応する一対の露光部６を形成し、この露光部６に角度θ
＝３５°で５００ｗの超高圧水銀灯からの平行光を３０
分照射した。次に６０℃で２０時間加温し重合反応を完
結させ導光路板とした。これの一端に光を入射させたと
ころ他端から出射が認められた。その形状は平行四辺形
であって、その位置は上下の露光分の中央であった。導
光路２の損失を求めたところ０，８３μの光において０
．５ ｄＢ／ｃｍであり、かつ−２０〜６０℃の熱衝撃
試験を行った後の損失も増加が認められず安定であった
。
第１図はこの発明によって得られる目的物の一例を示す
導光路板の要部断面図、第２図は感光性樹脂層に光照射
を施す際の断面図であり、第３図。 第・１図、第５図は実施例３．４．５において得られた
導光路板の要部断面図である。 特許出願人 松下電工株式会社 代理人弁理士 竹 元 敏 丸 （ほか２名） 第１図 第２図 第３図
導光路板の要部断面図、第２図は感光性樹脂層に光照射
を施す際の断面図であり、第３図。 第・１図、第５図は実施例３．４．５において得られた
導光路板の要部断面図である。 特許出願人 松下電工株式会社 代理人弁理士 竹 元 敏 丸 （ほか２名） 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- （１１導光路と該導光路を外側から囲んで該導光路内を
導光するクラッドとを備えた導光路板の製法において、
感光性樹脂層の両面にマスクを施して両面に対応する露
光部を形成し、該対応する一対の露光部の一方から入射
して他方に出射する入射光を一対の露光部に入射させて
上記感光性樹脂履内番こ一対の露光部から各々入射した
光量が互いに加算されて俺増した光量区域を生ぜしめる
ことを特徴とする導光路板の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5436082A JPS58171005A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | 導光路板の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5436082A JPS58171005A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | 導光路板の製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58171005A true JPS58171005A (ja) | 1983-10-07 |
Family
ID=12968468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5436082A Pending JPS58171005A (ja) | 1982-03-31 | 1982-03-31 | 導光路板の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58171005A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997028473A1 (de) * | 1996-02-03 | 1997-08-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur herstellung von optischen bauelementen und optisches bauelement |
-
1982
- 1982-03-31 JP JP5436082A patent/JPS58171005A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997028473A1 (de) * | 1996-02-03 | 1997-08-07 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur herstellung von optischen bauelementen und optisches bauelement |
| US6178281B1 (en) | 1996-02-03 | 2001-01-23 | Robert Bosch Gmbh | Method for the manufacture of optical components, and optical component |
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