JPS58166234A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS58166234A JPS58166234A JP3676783A JP3676783A JPS58166234A JP S58166234 A JPS58166234 A JP S58166234A JP 3676783 A JP3676783 A JP 3676783A JP 3676783 A JP3676783 A JP 3676783A JP S58166234 A JPS58166234 A JP S58166234A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- casing
- pressure sensor
- diaphragm
- base plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は特許請求の範囲第１項の上位概念に記載された
形式の圧力センサに関する。
形式の圧力センサに関する。
絶対圧力又は相対圧力を測定するために、圧力に応じて
変位可能であるダイヤフラムボックスが、磁場に感応す
る不動に設けられた部材と協働する永久磁石を有してい
る形式の圧力センサは公知である。このような形式のセ
ンサは例えばドイツ連邦共和国特許出願公開第２８４２
１４０号明細書に記載されている。
変位可能であるダイヤフラムボックスが、磁場に感応す
る不動に設けられた部材と協働する永久磁石を有してい
る形式の圧力センサは公知である。このような形式のセ
ンサは例えばドイツ連邦共和国特許出願公開第２８４２
１４０号明細書に記載されている。
この公知のセンサの欠点は、別個の評価回路を必要とし
、温度との不都合な関連性が生じ、しかも運転電圧に関
連した特別な手段を必要とするという点にある。
、温度との不都合な関連性が生じ、しかも運転電圧に関
連した特別な手段を必要とするという点にある。
これに対して、特許請求の範囲第１項に記載された特徴
を有する本発明による圧力センサは、評価回路をセンサ
ケーシングに組み込んだことによって、センサの構造が
特にコンノξクトでしかも故障しにくいという利点を有
している。さらに、使用された、磁場に感応しやすい部
材は特にわずかな温度変化しか生じないようになってお
り、この場合なお残存するわずかな温度変化はさらに組
み込まれた評価回路によって補償されるようになってい
る。また本発明に使用された前記部材はわずかな供給電
圧を必要とするだけである。
を有する本発明による圧力センサは、評価回路をセンサ
ケーシングに組み込んだことによって、センサの構造が
特にコンノξクトでしかも故障しにくいという利点を有
している。さらに、使用された、磁場に感応しやすい部
材は特にわずかな温度変化しか生じないようになってお
り、この場合なお残存するわずかな温度変化はさらに組
み込まれた評価回路によって補償されるようになってい
る。また本発明に使用された前記部材はわずかな供給電
圧を必要とするだけである。
特許請求の従属項に記載された手段によって特許請求の
範囲第１項に記載された圧力センサの有利な実施態様が
可能である。
範囲第１項に記載された圧力センサの有利な実施態様が
可能である。
センサを絶対圧力センサとして構成する場合、密閉した
、有利には排気されたダイヤフラムボックスが使用され
る。ケーシングはベースプレートによって閉鎖されて測
定圧力によって負荷される。測定圧力にさらされない方
の側に磁場に感応する部材と評価回路とを配置したこと
によって、この磁場に感応する部材を圧力媒体に対して
保護することができる。
、有利には排気されたダイヤフラムボックスが使用され
る。ケーシングはベースプレートによって閉鎖されて測
定圧力によって負荷される。測定圧力にさらされない方
の側に磁場に感応する部材と評価回路とを配置したこと
によって、この磁場に感応する部材を圧力媒体に対して
保護することができる。
絶対圧力センサを形成する際に、組み込まれた評価回路
及び磁場に感応する部材用のベースプレートとして銅プ
レートが使用され、この銅プレートに・波形ダイヤフラ
ム・ノ・−フゼツクスがはんだ付けされておシ、これに
よってこの波形ダイヤフラム・ハーフボックスとベース
ル−トとが１つの構造ユニットヲ形成するようになって
いるので特にコン・ξクトな構造が得られる。これによ
って本発明によるセンサは簡単な製造技術によってより
簡単に製造される。
及び磁場に感応する部材用のベースプレートとして銅プ
レートが使用され、この銅プレートに・波形ダイヤフラ
ム・ノ・−フゼツクスがはんだ付けされておシ、これに
よってこの波形ダイヤフラム・ハーフボックスとベース
ル−トとが１つの構造ユニットヲ形成するようになって
いるので特にコン・ξクトな構造が得られる。これによ
って本発明によるセンサは簡単な製造技術によってより
簡単に製造される。
次に図面に示した実施例について本発明の構成を具体的
に説明する。
に説明する。
第１図に示されたダイヤフラムボックス１゜には接続管
片１１を介して圧力が供給されるようになっている。ダ
イヤフラムボックス１０は永久磁石１２、有利にはコ・
ζルト希土類合金、例えばＣｏＳｍを有している。永久
磁石１２の向かい側では、ＧａＡｓホール効果素子１３
がベースプレート１４に固定されている。ベースプレー
ト１４はさらに厚層抵抗１５ａ、１５ｂ並びに少なくと
も１つの差圧増幅器１６から成るハイブリッド回路を有
している。ベースプレート１４は、ケーシングの１端部
を制限しており、この１端部にはねじ山１９を備えた円
板１８がねじ込まれている。円板１８は永久磁石１２を
備えた接続管片１１若しくはダイヤプラムボックス１０
を有している。円板１８はばね２０を介してケーシング
１７に支えられている。ノ・イブ９７１回路用の電気的
な接続部２１が設けられている。
片１１を介して圧力が供給されるようになっている。ダ
イヤフラムボックス１０は永久磁石１２、有利にはコ・
ζルト希土類合金、例えばＣｏＳｍを有している。永久
磁石１２の向かい側では、ＧａＡｓホール効果素子１３
がベースプレート１４に固定されている。ベースプレー
ト１４はさらに厚層抵抗１５ａ、１５ｂ並びに少なくと
も１つの差圧増幅器１６から成るハイブリッド回路を有
している。ベースプレート１４は、ケーシングの１端部
を制限しており、この１端部にはねじ山１９を備えた円
板１８がねじ込まれている。円板１８は永久磁石１２を
備えた接続管片１１若しくはダイヤプラムボックス１０
を有している。円板１８はばね２０を介してケーシング
１７に支えられている。ノ・イブ９７１回路用の電気的
な接続部２１が設けられている。
ダイヤフラムボックス１０に接続管片１１を介して測定
圧力が供給されると、ダイヤフラムボックス１ｏは変位
させられて、これによってＧａＡｓホール効果素子１３
からの永久磁石１２の間隔は変化せしめられる。さらに
これによって、ＧａＡｓホール効果素子１３の出力信号
は変化する。
圧力が供給されると、ダイヤフラムボックス１ｏは変位
させられて、これによってＧａＡｓホール効果素子１３
からの永久磁石１２の間隔は変化せしめられる。さらに
これによって、ＧａＡｓホール効果素子１３の出力信号
は変化する。
この場合、ＧａＡｓは信号量が大きい時でも特に低い温
度係数を有している。ケーシング１７のベースプレート
１４に増幅器を組み込んだことによって、ＧａＡｓホー
ル効果素子１３の発信信号を直接的に評価することが可
能である。厚層抵抗１５ａ、１５ｂを合わせることによ
って、圧力センサの特性曲線は、例えば種種異なる温度
において調節されるので、温度変化を完全に補償するこ
とが可能である。同様に、本発明によれば、零時点は円
板１８を回転させることによつて変化させることができ
る。
度係数を有している。ケーシング１７のベースプレート
１４に増幅器を組み込んだことによって、ＧａＡｓホー
ル効果素子１３の発信信号を直接的に評価することが可
能である。厚層抵抗１５ａ、１５ｂを合わせることによ
って、圧力センサの特性曲線は、例えば種種異なる温度
において調節されるので、温度変化を完全に補償するこ
とが可能である。同様に、本発明によれば、零時点は円
板１８を回転させることによつて変化させることができ
る。
図面では、ダイヤフラムボックス１０！ｌｋ−給可能な
圧力を測定するための装置の実施例が示すしている。も
ちろんダイヤフラムボックス１０を絶対圧力ボックスと
して密閉して構成し、ケーシング１７の内部に測定圧力
を導くことも可能である。さらに、１つのＧａＡｓホー
ル効果素子１３に作用する多数のダイヤフラムボックス
１０を使用することも可能であるので、この形式で差圧
測定が可能である。また、補償する目的で、センサの軸
線上の、ＧａＡｓホール効果素子１３の、永久磁石１２
とは反対側、有利には別のねじ込み可能な円板に別の永
久磁石を配置することもできる。
圧力を測定するための装置の実施例が示すしている。も
ちろんダイヤフラムボックス１０を絶対圧力ボックスと
して密閉して構成し、ケーシング１７の内部に測定圧力
を導くことも可能である。さらに、１つのＧａＡｓホー
ル効果素子１３に作用する多数のダイヤフラムボックス
１０を使用することも可能であるので、この形式で差圧
測定が可能である。また、補償する目的で、センサの軸
線上の、ＧａＡｓホール効果素子１３の、永久磁石１２
とは反対側、有利には別のねじ込み可能な円板に別の永
久磁石を配置することもできる。
さらに、使用されたダイヤフラムボックス１０並びに永
久磁石１２の特性が再生可能であれば、第１図の実施例
において設けられた、ダイヤフラムボックス１０を調整
するための円板１ｓｔ−省くことができることは明らか
である。これは第２図による実施例に示されており、鷺
呪この第２図の実施例では円板１８ａがケーシング１７
ａ内に不動に配置されている。第２図によるセンサは絶
対圧力センサとして構成されている。ダイヤフラムぎツ
クスｌｏａは密閉されていて有利には排気されている。
久磁石１２の特性が再生可能であれば、第１図の実施例
において設けられた、ダイヤフラムボックス１０を調整
するための円板１ｓｔ−省くことができることは明らか
である。これは第２図による実施例に示されており、鷺
呪この第２図の実施例では円板１８ａがケーシング１７
ａ内に不動に配置されている。第２図によるセンサは絶
対圧力センサとして構成されている。ダイヤフラムぎツ
クスｌｏａは密閉されていて有利には排気されている。
測定圧力は接続管片１１と、ダイヤフラムボックス１０
ａＫ沿って案内された接続部２１とを介してケーシング
１７ａの内部に供給される。ケーシング１７ａはペース
プレート１４ａによってその底部が気密に閉鎖されてい
る３磁場に感応しゃすいＧａＡｓホール効果素子１３並
びにハイブリッ１回路コアの厚層抵抗１５ａ、１５ｂ、
差圧増幅器１６はペースプレー）１４ａの外側に配置さ
れているので、これらはケーシング１７ａの内部の圧力
媒体によって負荷されない。
ａＫ沿って案内された接続部２１とを介してケーシング
１７ａの内部に供給される。ケーシング１７ａはペース
プレート１４ａによってその底部が気密に閉鎖されてい
る３磁場に感応しゃすいＧａＡｓホール効果素子１３並
びにハイブリッ１回路コアの厚層抵抗１５ａ、１５ｂ、
差圧増幅器１６はペースプレー）１４ａの外側に配置さ
れているので、これらはケーシング１７ａの内部の圧力
媒体によって負荷されない。
第３図による第３実施例においては、圧力センサは前記
実施例と同様に接続管片３１として構成されていて、こ
のスリーブ３１を通してケーシング３２の内部忙、この
場合絶対圧力であるところの測定圧力が供給される。こ
のために、必要な密閉された絶対圧力１ツクスは、永久
磁石３５を有する波形ダイヤスラム・ハーフｌソクス３
３によって形成されている。波形ダイヤフラム・ハーフ
ボックス３３は銅ベースプレート３４にはんだ付けされ
ており、これによって密閉された絶対圧力ボックスが形
成される。銅（−スプレート３４はその表面でエナメル
絶縁体３９を有しておシ、このエナメル絶縁体３９には
ＧａＡｓホール効果素子３６並びに厚層抵抗３８及び増
幅器３７が配置されている。波形ダイヤフラム・ハーフ
ダツクス３３と銅ベースプレート３４とによって形成さ
れた絶対圧力ぜツクスは有利には排気されているので、
スリーブ３１を介して供給された絶対測定圧は波形ダイ
ヤプラム・ハーフボックス３３を変向させ、これＫよっ
て永久磁石３５をＧａＡｓホール効果素子３６に対して
相対的に変位させる。このような形式によって、絶対圧
力を測定するための、特にコンパクトな構造の圧力セン
サが得られ、この場合絶対圧カゼツクスを製造するため
簡単な技術が使用される。
実施例と同様に接続管片３１として構成されていて、こ
のスリーブ３１を通してケーシング３２の内部忙、この
場合絶対圧力であるところの測定圧力が供給される。こ
のために、必要な密閉された絶対圧力１ツクスは、永久
磁石３５を有する波形ダイヤスラム・ハーフｌソクス３
３によって形成されている。波形ダイヤフラム・ハーフ
ボックス３３は銅ベースプレート３４にはんだ付けされ
ており、これによって密閉された絶対圧力ボックスが形
成される。銅（−スプレート３４はその表面でエナメル
絶縁体３９を有しておシ、このエナメル絶縁体３９には
ＧａＡｓホール効果素子３６並びに厚層抵抗３８及び増
幅器３７が配置されている。波形ダイヤフラム・ハーフ
ダツクス３３と銅ベースプレート３４とによって形成さ
れた絶対圧力ぜツクスは有利には排気されているので、
スリーブ３１を介して供給された絶対測定圧は波形ダイ
ヤプラム・ハーフボックス３３を変向させ、これＫよっ
て永久磁石３５をＧａＡｓホール効果素子３６に対して
相対的に変位させる。このような形式によって、絶対圧
力を測定するための、特にコンパクトな構造の圧力セン
サが得られ、この場合絶対圧カゼツクスを製造するため
簡単な技術が使用される。
第１図は本発明による圧カセノサの第１実維例の断面図
、第２図は第２実施例の断面図、第３図は第３実施例の
断面図である。 １０・・・ダイヤフラムボックス、１１・・・接続管片
、１２・・・永久磁石、１３・・・（）ａＡｓホール効
果素子、１４ 、１４ ｈ ＝−＜−スプレート、１５
ａ。 １５ｂ・・厚層抵抗、１６・・・差圧増幅器、１７・・
・ケーシング、１８・・・円板、１９・・・ねじ山、２
゜・・・ばね、２１・・・接続部、３１・・・圧力セン
サ、３２・−ケーシング、３３・・・波形ダイヤフラム
・ノ・−フｌツクス、３４・・・銅ペースプレート、３
５・・永久磁石、３６・・ＧａＡｓホール効果素子、３
７・・・増幅器、３８・・厚層抵抗、３９・・・エナメ
ル絶縁体
、第２図は第２実施例の断面図、第３図は第３実施例の
断面図である。 １０・・・ダイヤフラムボックス、１１・・・接続管片
、１２・・・永久磁石、１３・・・（）ａＡｓホール効
果素子、１４ 、１４ ｈ ＝−＜−スプレート、１５
ａ。 １５ｂ・・厚層抵抗、１６・・・差圧増幅器、１７・・
・ケーシング、１８・・・円板、１９・・・ねじ山、２
゜・・・ばね、２１・・・接続部、３１・・・圧力セン
サ、３２・−ケーシング、３３・・・波形ダイヤフラム
・ノ・−フｌツクス、３４・・・銅ペースプレート、３
５・・永久磁石、３６・・ＧａＡｓホール効果素子、３
７・・・増幅器、３８・・厚層抵抗、３９・・・エナメ
ル絶縁体
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 ケーシング（１７，１７ａ 、３２）を備えた圧
力センサであって、ｌ壁部に永久磁石を備えた、測定圧
力にさらされるダイヤフラムボックス（１０，ｌＯａ、
３’３）と、磁場に感応する部材とが前記ケーシング（
１７，１７ａ、３２）の軸線上に互いに接近して相前後
して配置されている形式のものにおいて、磁場に感応す
る前記部材がＧａＡｓ・ホール効果素子（１３，３６）
であって、該ＧａＡｓ・ホール効果素子（１３，３６）
がベースプレート（１４，１４ａ 、３４）に配置され
ており、該イースジｌ／ ）（１４，１４ａ、３４）
が種種異なる温度係数を有する厚層抵抗（１５ａ、１５
ｂ；３８）と差圧増幅器（１６，３７）とを備えている
ことを特徴とする、圧力センサ。 ２、 前記ダイヤフラムボックス（ｌｏ＆）が密閉した
絶対圧カゼツクスとして構成されていて、前記ケーシン
グ（１７ａ）が前記イースジ’ ）（１４ａ）によっ
て密閉され測定圧力によって負荷されるケーシングとし
て構成されており、ハイブリッド回路と磁場に感応する
前記部材とが、前記ベースプレート（１４ａ）の、測定
圧力にさらされない方の側に配置されている、特許請求
の範囲第１項記載の圧力センサ。 ３、 ベースプレート（３４）がエナメル絶縁体（３９
）を備えた銅よシ成っており、ダイヤフラムボックスが
、波形ダイヤフラム・ノ１−フＩツクス（３３）をに−
スプレート（３４）にはんだ付けすることによって形成
されている、特許請求の範囲第１項記載の圧力センサ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3208243 | 1982-03-08 | ||
| DE32082436 | 1982-03-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58166234A true JPS58166234A (ja) | 1983-10-01 |
| JPH0531092B2 JPH0531092B2 (ja) | 1993-05-11 |
Family
ID=6157595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3676783A Granted JPS58166234A (ja) | 1982-03-08 | 1983-03-08 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58166234A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990011503A1 (en) * | 1989-03-27 | 1990-10-04 | Taisei Kogyo Co., Ltd. | Differential pressure gauge |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5021783A (ja) * | 1973-05-24 | 1975-03-07 | ||
| JPS52138981A (en) * | 1976-05-17 | 1977-11-19 | Hitachi Ltd | Stress indicator |
| JPS5587021A (en) * | 1978-12-25 | 1980-07-01 | Japan Electronic Control Syst Co Ltd | Gas pressure sensor |
| JPS5686324A (en) * | 1979-11-17 | 1981-07-14 | Bosch Gmbh Robert | Pressure sensor provided with hall ic |
| JPS56155824A (en) * | 1980-04-10 | 1981-12-02 | Bosch Gmbh Robert | Mechanical/electrical pressure converter |
-
1983
- 1983-03-08 JP JP3676783A patent/JPS58166234A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5021783A (ja) * | 1973-05-24 | 1975-03-07 | ||
| JPS52138981A (en) * | 1976-05-17 | 1977-11-19 | Hitachi Ltd | Stress indicator |
| JPS5587021A (en) * | 1978-12-25 | 1980-07-01 | Japan Electronic Control Syst Co Ltd | Gas pressure sensor |
| JPS5686324A (en) * | 1979-11-17 | 1981-07-14 | Bosch Gmbh Robert | Pressure sensor provided with hall ic |
| JPS56155824A (en) * | 1980-04-10 | 1981-12-02 | Bosch Gmbh Robert | Mechanical/electrical pressure converter |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990011503A1 (en) * | 1989-03-27 | 1990-10-04 | Taisei Kogyo Co., Ltd. | Differential pressure gauge |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0531092B2 (ja) | 1993-05-11 |
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