JPS5816453A - 試料支持膜 - Google Patents
試料支持膜Info
- Publication number
- JPS5816453A JPS5816453A JP11384281A JP11384281A JPS5816453A JP S5816453 A JPS5816453 A JP S5816453A JP 11384281 A JP11384281 A JP 11384281A JP 11384281 A JP11384281 A JP 11384281A JP S5816453 A JPS5816453 A JP S5816453A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxidized film
- plate
- film
- microgrid
- anode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は透過電子−微鏡で試料を観察する時に用いる試
料支持膜の改良に関するものでおる。
料支持膜の改良に関するものでおる。
透過電子顕微鏡で微小な試料を観察する場合、メツシュ
の上に多数の微小な孔のあい九マイクログリッドと呼ぶ
支持膜を張り、その上に観察用の試料物体を乗せて観察
を行っている。このマイクログリッドの作成法に乾式法
と湿式法とがある。
の上に多数の微小な孔のあい九マイクログリッドと呼ぶ
支持膜を張り、その上に観察用の試料物体を乗せて観察
を行っている。このマイクログリッドの作成法に乾式法
と湿式法とがある。
前者はアセトブチルアセテ−１溶剤に溶かし次ものをガ
ラ哀板上に流し広げて作る。後者はコロジオン溶液を水
面上に滴下させて作るものである。
ラ哀板上に流し広げて作る。後者はコロジオン溶液を水
面上に滴下させて作るものである。
しかし、いずれもその膜の成分は有機物であるので、こ
れらのマイクログリッドＦｉ７１ｆ＠溶剤に弱い。
れらのマイクログリッドＦｉ７１ｆ＠溶剤に弱い。
この為有様溶剤に分散処理した試料には使えない０又熱
にも弱いので観察時の電子線衝撃で破損し易い。その上
これらの従来のマイクログリッドでは０．１μｍ以下の
微小な孔の膜の作成は困難であって、０．１μｍ以下の
微小試料の観察にＦｉＲえない。
にも弱いので観察時の電子線衝撃で破損し易い。その上
これらの従来のマイクログリッドでは０．１μｍ以下の
微小な孔の膜の作成は困難であって、０．１μｍ以下の
微小試料の観察にＦｉＲえない。
そξで本発明は上記の有機溶剤及び熱に弱い欠点を改良
し、かつ０．１μｍ以下の穴径ｔ−Ｖするマイクログリ
ッドが容易に作成できるようにしたものである。
し、かつ０．１μｍ以下の穴径ｔ−Ｖするマイクログリ
ッドが容易に作成できるようにしたものである。
以下本発明の一実施例を図面に基すいて説明する。第１
図は陽極酸化膜を形成し友アル１＝ウム板の断面図、第
２因はマイクログリッドの断面図である。これらの図面
において、（１）はアルミニウム板で、このアルミニウ
ム板（１）を適当な酸（硫酸、リン酸、蓚酸等）の水溶
液中で陽極酸化を行うと、アルミニウム板（１）上に陽
極酸化膜（２）が生成する。
図は陽極酸化膜を形成し友アル１＝ウム板の断面図、第
２因はマイクログリッドの断面図である。これらの図面
において、（１）はアルミニウム板で、このアルミニウ
ム板（１）を適当な酸（硫酸、リン酸、蓚酸等）の水溶
液中で陽極酸化を行うと、アルミニウム板（１）上に陽
極酸化膜（２）が生成する。
この陽極酸化膜（２）には微小な通電孔（３）と孔のな
い活性層（４）がある。陽極酸化膜（２）が適当な厚さ
まで生成したら通電を止め、陽極酸化膜（２）が生成し
たアルミニウム板（１）の陽極酸化膜（２）上にアルミ
ニクム板（１）に達する数−角のゴバン目状の傷を付け
、環化第二水銀水溶液、又はヨウ素アルコール溶液等で
アル１＝ウム板（１）より陽極酸化膜（２）を剥離する
つ剥離した陽極酸化膜＋２１ ＃′ｉ希水酸化アルカリ
水溶液か希弗化水素酸水溶液に短時間浸して、活性Ｊｍ
１４）を取シ除いて第２図に示す如く通電孔（３）を完
全に貫通させる。
い活性層（４）がある。陽極酸化膜（２）が適当な厚さ
まで生成したら通電を止め、陽極酸化膜（２）が生成し
たアルミニウム板（１）の陽極酸化膜（２）上にアルミ
ニクム板（１）に達する数−角のゴバン目状の傷を付け
、環化第二水銀水溶液、又はヨウ素アルコール溶液等で
アル１＝ウム板（１）より陽極酸化膜（２）を剥離する
つ剥離した陽極酸化膜＋２１ ＃′ｉ希水酸化アルカリ
水溶液か希弗化水素酸水溶液に短時間浸して、活性Ｊｍ
１４）を取シ除いて第２図に示す如く通電孔（３）を完
全に貫通させる。
このようにして得られた陽極酸化膜（２）は多数の微小
な通電孔があいたものでマイクログリッド（５）として
使える。通電孔の孔径は用いる酸溶液の種類及び化成ｌ
圧によって任意に変えられて、０．０１μｍ〜０．１μ
ｍの孔径が自由に得られる。膜の厚さも化成時間と共に
厚くなるからこれも任意のものが得られる。陽極酸化膜
の成分はアルミニウムの酸化物であるから、耐有機溶剤
に対して強いし、その上熱にも強い。
な通電孔があいたものでマイクログリッド（５）として
使える。通電孔の孔径は用いる酸溶液の種類及び化成ｌ
圧によって任意に変えられて、０．０１μｍ〜０．１μ
ｍの孔径が自由に得られる。膜の厚さも化成時間と共に
厚くなるからこれも任意のものが得られる。陽極酸化膜
の成分はアルミニウムの酸化物であるから、耐有機溶剤
に対して強いし、その上熱にも強い。
以上のようにアルミニウムの＠極酸化属を透過電子顕微
鏡の試料支持膜用のマイクログリッドに利用すれば、耐
有機溶剤性、耐熱性に優れており、その上０．１μｍ以
下の微小孔ｔＶするものが容易に作成できる。
鏡の試料支持膜用のマイクログリッドに利用すれば、耐
有機溶剤性、耐熱性に優れており、その上０．１μｍ以
下の微小孔ｔＶするものが容易に作成できる。
第３Ｅ及び第４図は本発明による試料支持膜の透過、電
子顕微鏡写真であシ、いずれも電解液として２−の蓚酸
を用い、化成電圧として８５図図示のものは５ｖ％ｌＩ
４図図示のものＦｉ５０Ｖにしたときの試料支持膜であ
る。
子顕微鏡写真であシ、いずれも電解液として２−の蓚酸
を用い、化成電圧として８５図図示のものは５ｖ％ｌＩ
４図図示のものＦｉ５０Ｖにしたときの試料支持膜であ
る。
鞄
図面は本発明による試料支持膜の一夷例を示し、第１図
社陽極酸化膜を形成したアル１＝ウム板の断面図、ｌｌ
Ｎ２図はマイクログリッドの断面図、第６図及び１１１
４図は試料支持膜の透過電子顕微鏡写真である。 （１）・・・アル建ニウム板、（２）・・・陽極酸化膜
、（３）用通電孔、（４）・・・活性層、（５）・・・
マイクログリッド。 第１図 第４１ 第２図 ０．５ｐ で
社陽極酸化膜を形成したアル１＝ウム板の断面図、ｌｌ
Ｎ２図はマイクログリッドの断面図、第６図及び１１１
４図は試料支持膜の透過電子顕微鏡写真である。 （１）・・・アル建ニウム板、（２）・・・陽極酸化膜
、（３）用通電孔、（４）・・・活性層、（５）・・・
マイクログリッド。 第１図 第４１ 第２図 ０．５ｐ で
Claims (1)
- （１）アルミニウムＯ有孔性陽極酸化膜の活性層を溶か
してへ通電孔を貫通させ几有孔性陽極酸化ｍをマイクロ
グリッドとして用いたことｔ−特徴とする試料支持膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11384281A JPS5816453A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 試料支持膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11384281A JPS5816453A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 試料支持膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5816453A true JPS5816453A (ja) | 1983-01-31 |
Family
ID=14622415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11384281A Pending JPS5816453A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 試料支持膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5816453A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61101946A (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-20 | Kao Corp | メツシユの製造方法 |
| US6129784A (en) * | 1997-09-30 | 2000-10-10 | Shiseido Co., Ltd. | Color titanated mica pigment and coated-body using the same |
-
1981
- 1981-07-20 JP JP11384281A patent/JPS5816453A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61101946A (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-20 | Kao Corp | メツシユの製造方法 |
| US6129784A (en) * | 1997-09-30 | 2000-10-10 | Shiseido Co., Ltd. | Color titanated mica pigment and coated-body using the same |
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