JPS5816453A - 試料支持膜 - Google Patents
試料支持膜Info
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- JPS5816453A JPS5816453A JP11384281A JP11384281A JPS5816453A JP S5816453 A JPS5816453 A JP S5816453A JP 11384281 A JP11384281 A JP 11384281A JP 11384281 A JP11384281 A JP 11384281A JP S5816453 A JPS5816453 A JP S5816453A
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- oxidized film
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は透過電子−微鏡で試料を観察する時に用いる試
料支持膜の改良に関するものでおる。
料支持膜の改良に関するものでおる。
透過電子顕微鏡で微小な試料を観察する場合、メツシュ
の上に多数の微小な孔のあい九マイクログリッドと呼ぶ
支持膜を張り、その上に観察用の試料物体を乗せて観察
を行っている。このマイクログリッドの作成法に乾式法
と湿式法とがある。
の上に多数の微小な孔のあい九マイクログリッドと呼ぶ
支持膜を張り、その上に観察用の試料物体を乗せて観察
を行っている。このマイクログリッドの作成法に乾式法
と湿式法とがある。
前者はアセトブチルアセテ−1溶剤に溶かし次ものをガ
ラ哀板上に流し広げて作る。後者はコロジオン溶液を水
面上に滴下させて作るものである。
ラ哀板上に流し広げて作る。後者はコロジオン溶液を水
面上に滴下させて作るものである。
しかし、いずれもその膜の成分は有機物であるので、こ
れらのマイクログリッドFi71f@溶剤に弱い。
れらのマイクログリッドFi71f@溶剤に弱い。
この為有様溶剤に分散処理した試料には使えない0又熱
にも弱いので観察時の電子線衝撃で破損し易い。その上
これらの従来のマイクログリッドでは0.1μm以下の
微小な孔の膜の作成は困難であって、0.1μm以下の
微小試料の観察にFiRえない。
にも弱いので観察時の電子線衝撃で破損し易い。その上
これらの従来のマイクログリッドでは0.1μm以下の
微小な孔の膜の作成は困難であって、0.1μm以下の
微小試料の観察にFiRえない。
そξで本発明は上記の有機溶剤及び熱に弱い欠点を改良
し、かつ0.1μm以下の穴径t−Vするマイクログリ
ッドが容易に作成できるようにしたものである。
し、かつ0.1μm以下の穴径t−Vするマイクログリ
ッドが容易に作成できるようにしたものである。
以下本発明の一実施例を図面に基すいて説明する。第1
図は陽極酸化膜を形成し友アル1=ウム板の断面図、第
2因はマイクログリッドの断面図である。これらの図面
において、(1)はアルミニウム板で、このアルミニウ
ム板(1)を適当な酸(硫酸、リン酸、蓚酸等)の水溶
液中で陽極酸化を行うと、アルミニウム板(1)上に陽
極酸化膜(2)が生成する。
図は陽極酸化膜を形成し友アル1=ウム板の断面図、第
2因はマイクログリッドの断面図である。これらの図面
において、(1)はアルミニウム板で、このアルミニウ
ム板(1)を適当な酸(硫酸、リン酸、蓚酸等)の水溶
液中で陽極酸化を行うと、アルミニウム板(1)上に陽
極酸化膜(2)が生成する。
この陽極酸化膜(2)には微小な通電孔(3)と孔のな
い活性層(4)がある。陽極酸化膜(2)が適当な厚さ
まで生成したら通電を止め、陽極酸化膜(2)が生成し
たアルミニウム板(1)の陽極酸化膜(2)上にアルミ
ニクム板(1)に達する数−角のゴバン目状の傷を付け
、環化第二水銀水溶液、又はヨウ素アルコール溶液等で
アル1=ウム板(1)より陽極酸化膜(2)を剥離する
つ剥離した陽極酸化膜+21 #′i希水酸化アルカリ
水溶液か希弗化水素酸水溶液に短時間浸して、活性Jm
14)を取シ除いて第2図に示す如く通電孔(3)を完
全に貫通させる。
い活性層(4)がある。陽極酸化膜(2)が適当な厚さ
まで生成したら通電を止め、陽極酸化膜(2)が生成し
たアルミニウム板(1)の陽極酸化膜(2)上にアルミ
ニクム板(1)に達する数−角のゴバン目状の傷を付け
、環化第二水銀水溶液、又はヨウ素アルコール溶液等で
アル1=ウム板(1)より陽極酸化膜(2)を剥離する
つ剥離した陽極酸化膜+21 #′i希水酸化アルカリ
水溶液か希弗化水素酸水溶液に短時間浸して、活性Jm
14)を取シ除いて第2図に示す如く通電孔(3)を完
全に貫通させる。
このようにして得られた陽極酸化膜(2)は多数の微小
な通電孔があいたものでマイクログリッド(5)として
使える。通電孔の孔径は用いる酸溶液の種類及び化成l
圧によって任意に変えられて、0.01μm〜0.1μ
mの孔径が自由に得られる。膜の厚さも化成時間と共に
厚くなるからこれも任意のものが得られる。陽極酸化膜
の成分はアルミニウムの酸化物であるから、耐有機溶剤
に対して強いし、その上熱にも強い。
な通電孔があいたものでマイクログリッド(5)として
使える。通電孔の孔径は用いる酸溶液の種類及び化成l
圧によって任意に変えられて、0.01μm〜0.1μ
mの孔径が自由に得られる。膜の厚さも化成時間と共に
厚くなるからこれも任意のものが得られる。陽極酸化膜
の成分はアルミニウムの酸化物であるから、耐有機溶剤
に対して強いし、その上熱にも強い。
以上のようにアルミニウムの@極酸化属を透過電子顕微
鏡の試料支持膜用のマイクログリッドに利用すれば、耐
有機溶剤性、耐熱性に優れており、その上0.1μm以
下の微小孔tVするものが容易に作成できる。
鏡の試料支持膜用のマイクログリッドに利用すれば、耐
有機溶剤性、耐熱性に優れており、その上0.1μm以
下の微小孔tVするものが容易に作成できる。
第3E及び第4図は本発明による試料支持膜の透過、電
子顕微鏡写真であシ、いずれも電解液として2−の蓚酸
を用い、化成電圧として85図図示のものは5v%lI
4図図示のものFi50Vにしたときの試料支持膜であ
る。
子顕微鏡写真であシ、いずれも電解液として2−の蓚酸
を用い、化成電圧として85図図示のものは5v%lI
4図図示のものFi50Vにしたときの試料支持膜であ
る。
鞄
図面は本発明による試料支持膜の一夷例を示し、第1図
社陽極酸化膜を形成したアル1=ウム板の断面図、ll
N2図はマイクログリッドの断面図、第6図及び111
4図は試料支持膜の透過電子顕微鏡写真である。 (1)・・・アル建ニウム板、(2)・・・陽極酸化膜
、(3)用通電孔、(4)・・・活性層、(5)・・・
マイクログリッド。 第1図 第41 第2図 0.5p で
社陽極酸化膜を形成したアル1=ウム板の断面図、ll
N2図はマイクログリッドの断面図、第6図及び111
4図は試料支持膜の透過電子顕微鏡写真である。 (1)・・・アル建ニウム板、(2)・・・陽極酸化膜
、(3)用通電孔、(4)・・・活性層、(5)・・・
マイクログリッド。 第1図 第41 第2図 0.5p で
Claims (1)
- (1)アルミニウムO有孔性陽極酸化膜の活性層を溶か
してへ通電孔を貫通させ几有孔性陽極酸化mをマイクロ
グリッドとして用いたことt−特徴とする試料支持膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11384281A JPS5816453A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 試料支持膜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11384281A JPS5816453A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 試料支持膜 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5816453A true JPS5816453A (ja) | 1983-01-31 |
Family
ID=14622415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11384281A Pending JPS5816453A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 試料支持膜 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5816453A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61101946A (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-20 | Kao Corp | メツシユの製造方法 |
US6129784A (en) * | 1997-09-30 | 2000-10-10 | Shiseido Co., Ltd. | Color titanated mica pigment and coated-body using the same |
-
1981
- 1981-07-20 JP JP11384281A patent/JPS5816453A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61101946A (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-20 | Kao Corp | メツシユの製造方法 |
US6129784A (en) * | 1997-09-30 | 2000-10-10 | Shiseido Co., Ltd. | Color titanated mica pigment and coated-body using the same |
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